JP2011185437A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI666421B (zh) * 2018-07-10 2019-07-21 英屬維京群島商詮優科技有限公司 自動化設備之位移量測機構
CN113833754A (zh) * 2021-09-17 2021-12-24 浙江健壮传动科技有限公司 一种组合导轨滑块系统
KR102797074B1 (ko) 2023-04-25 2025-04-21 주식회사 에스비씨리니어 리니어 가이드 장치의 정강성 측정 시스템
CN119021974B (zh) * 2024-10-10 2025-03-18 江苏领臣精密机械有限公司 一种气体静压导轨
CN120619867B (zh) * 2025-08-13 2025-10-21 湖南先进技术研究院 一种静压导轨及其加工方法

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57187926U (enExample) * 1981-05-25 1982-11-29
JPS58177245A (ja) * 1982-04-12 1983-10-17 Toyoda Mach Works Ltd 静圧軸受を用いた可動台のバ−ガイド装置
JP2706184B2 (ja) * 1991-05-21 1998-01-28 住友重機械工業株式会社 可動ステージ装置
JPH05215133A (ja) * 1992-02-03 1993-08-24 Canon Inc 静圧流体軸受およびその位置決め制御装置
JPH06330944A (ja) * 1993-05-24 1994-11-29 Fujitsu Autom Ltd 静圧移動案内装置
JPH11351857A (ja) 1998-06-08 1999-12-24 Kuroda Precision Ind Ltd 薄板の表面形状測定方法および薄板の表面形状測定装置
JP4322380B2 (ja) 1999-03-23 2009-08-26 株式会社山文電気 シート厚み又はうねり計測方法及び装置
JP4132503B2 (ja) 1999-11-24 2008-08-13 黒田精工株式会社 薄円板の支持構造
JP2003508696A (ja) 2000-02-18 2003-03-04 株式会社ニコン 静圧気体軸受
JP3942971B2 (ja) * 2002-07-08 2007-07-11 株式会社ソディック 移動体駆動装置
JP2004330405A (ja) 2003-05-06 2004-11-25 Azumino Sekkeishitsu:Kk 精密移動位置決めステージ
JP2006033910A (ja) * 2004-07-12 2006-02-02 Sumitomo Heavy Ind Ltd リニアモータ及びこのリニアモータを用いたステージ装置
JP4535991B2 (ja) * 2005-11-29 2010-09-01 京セラ株式会社 静圧スライダ
US20090297075A1 (en) * 2005-12-15 2009-12-03 Kyocera Corporation Hydrostatic Slider
TW200729673A (en) * 2006-01-27 2007-08-01 Min-Fu Xie Synchronized motion control system for dual parallel linear motors
JP2008067463A (ja) * 2006-09-06 2008-03-21 Nsk Ltd リニアモータ式テーブル装置
CN101414185B (zh) * 2008-11-21 2010-08-11 广东工业大学 精密伺服线性驱动系统性能试验装置

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