JP2011185437A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011185437A5 JP2011185437A5 JP2011047009A JP2011047009A JP2011185437A5 JP 2011185437 A5 JP2011185437 A5 JP 2011185437A5 JP 2011047009 A JP2011047009 A JP 2011047009A JP 2011047009 A JP2011047009 A JP 2011047009A JP 2011185437 A5 JP2011185437 A5 JP 2011185437A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slider
- receiving area
- pressure receiving
- guide rails
- pneumatic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 description 1
Images
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011047009A JP5624916B2 (ja) | 2010-03-10 | 2011-03-03 | 空気圧リニアガイド方式の並列スライダ装置およびその制御方法および測定装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PCT/JP2010/001714 WO2011111100A1 (ja) | 2010-03-10 | 2010-03-10 | 空気圧リニアガイド方式の並列スライダ装置およびその制御方法および測定装置 |
| WOPCT/JP2010/001714 | 2010-03-10 | ||
| JP2011047009A JP5624916B2 (ja) | 2010-03-10 | 2011-03-03 | 空気圧リニアガイド方式の並列スライダ装置およびその制御方法および測定装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2011185437A JP2011185437A (ja) | 2011-09-22 |
| JP2011185437A5 true JP2011185437A5 (enExample) | 2013-10-17 |
| JP5624916B2 JP5624916B2 (ja) | 2014-11-12 |
Family
ID=44562949
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2011047009A Expired - Fee Related JP5624916B2 (ja) | 2010-03-10 | 2011-03-03 | 空気圧リニアガイド方式の並列スライダ装置およびその制御方法および測定装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8984971B2 (enExample) |
| JP (1) | JP5624916B2 (enExample) |
| KR (1) | KR101562096B1 (enExample) |
| DE (1) | DE112010005364T5 (enExample) |
| TW (1) | TWI500902B (enExample) |
| WO (1) | WO2011111100A1 (enExample) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI666421B (zh) * | 2018-07-10 | 2019-07-21 | 英屬維京群島商詮優科技有限公司 | 自動化設備之位移量測機構 |
| CN113833754A (zh) * | 2021-09-17 | 2021-12-24 | 浙江健壮传动科技有限公司 | 一种组合导轨滑块系统 |
| KR102797074B1 (ko) | 2023-04-25 | 2025-04-21 | 주식회사 에스비씨리니어 | 리니어 가이드 장치의 정강성 측정 시스템 |
| CN119021974B (zh) * | 2024-10-10 | 2025-03-18 | 江苏领臣精密机械有限公司 | 一种气体静压导轨 |
| CN120619867B (zh) * | 2025-08-13 | 2025-10-21 | 湖南先进技术研究院 | 一种静压导轨及其加工方法 |
Family Cites Families (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57187926U (enExample) * | 1981-05-25 | 1982-11-29 | ||
| JPS58177245A (ja) * | 1982-04-12 | 1983-10-17 | Toyoda Mach Works Ltd | 静圧軸受を用いた可動台のバ−ガイド装置 |
| JP2706184B2 (ja) * | 1991-05-21 | 1998-01-28 | 住友重機械工業株式会社 | 可動ステージ装置 |
| JPH05215133A (ja) * | 1992-02-03 | 1993-08-24 | Canon Inc | 静圧流体軸受およびその位置決め制御装置 |
| JPH06330944A (ja) * | 1993-05-24 | 1994-11-29 | Fujitsu Autom Ltd | 静圧移動案内装置 |
| JPH11351857A (ja) | 1998-06-08 | 1999-12-24 | Kuroda Precision Ind Ltd | 薄板の表面形状測定方法および薄板の表面形状測定装置 |
| JP4322380B2 (ja) | 1999-03-23 | 2009-08-26 | 株式会社山文電気 | シート厚み又はうねり計測方法及び装置 |
| JP4132503B2 (ja) | 1999-11-24 | 2008-08-13 | 黒田精工株式会社 | 薄円板の支持構造 |
| JP2003508696A (ja) | 2000-02-18 | 2003-03-04 | 株式会社ニコン | 静圧気体軸受 |
| JP3942971B2 (ja) * | 2002-07-08 | 2007-07-11 | 株式会社ソディック | 移動体駆動装置 |
| JP2004330405A (ja) | 2003-05-06 | 2004-11-25 | Azumino Sekkeishitsu:Kk | 精密移動位置決めステージ |
| JP2006033910A (ja) * | 2004-07-12 | 2006-02-02 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | リニアモータ及びこのリニアモータを用いたステージ装置 |
| JP4535991B2 (ja) * | 2005-11-29 | 2010-09-01 | 京セラ株式会社 | 静圧スライダ |
| US20090297075A1 (en) * | 2005-12-15 | 2009-12-03 | Kyocera Corporation | Hydrostatic Slider |
| TW200729673A (en) * | 2006-01-27 | 2007-08-01 | Min-Fu Xie | Synchronized motion control system for dual parallel linear motors |
| JP2008067463A (ja) * | 2006-09-06 | 2008-03-21 | Nsk Ltd | リニアモータ式テーブル装置 |
| CN101414185B (zh) * | 2008-11-21 | 2010-08-11 | 广东工业大学 | 精密伺服线性驱动系统性能试验装置 |
-
2010
- 2010-03-10 WO PCT/JP2010/001714 patent/WO2011111100A1/ja not_active Ceased
- 2010-03-10 DE DE112010005364T patent/DE112010005364T5/de not_active Withdrawn
- 2010-03-10 KR KR1020127023341A patent/KR101562096B1/ko not_active Expired - Fee Related
- 2010-03-10 US US13/261,422 patent/US8984971B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-03-03 JP JP2011047009A patent/JP5624916B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2011-03-08 TW TW100107722A patent/TWI500902B/zh not_active IP Right Cessation
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| IT1399905B1 (it) | Struttura tessile laminare, particolarmente idonea per componenti acustici. | |
| PL2847225T3 (pl) | Przeciwciała przeciwko klaudynie 18.2 przydatne w diagnostyce nowotworów | |
| JP2014526140A5 (enExample) | ||
| JP2012097894A5 (enExample) | ||
| WO2013074970A8 (en) | Motive device for use in magnetically-sensitive environments | |
| JP2013525942A5 (enExample) | ||
| JP2011170856A5 (enExample) | ||
| JP2013248600A5 (enExample) | ||
| MX358563B (es) | Unidades de riel de guía ajustable. | |
| FR2973847B1 (fr) | Helice de generateur de flux d'air pulse, en particulier pour souffleur portatif. | |
| WO2013028042A3 (ko) | 얼라인먼트 장치 | |
| JP2012123959A5 (enExample) | ||
| JP2011229212A5 (enExample) | ||
| JP2013053645A5 (enExample) | ||
| JP2012184951A5 (enExample) | ||
| JP2012044147A5 (enExample) | ||
| JP2013005646A5 (enExample) | ||
| JP2011170857A5 (enExample) | ||
| JP2012001654A5 (enExample) | ||
| EP2889145A3 (en) | Recording apparatus | |
| JP2011181497A5 (enExample) | ||
| FI20105323L (fi) | Menetelmä rakennusteollisuudessa käytettävien rei'illä varustettujen levymäisten tai nauhamaisten kappaleiden valmistamiseksi sekä menetelmällä valmistettu kappale | |
| JP2011219902A5 (enExample) | ||
| Dikranjan et al. | Locally compact abelian groups admitting non-trivial quasi-convex null sequences | |
| ITRM20050308A1 (it) | Metodo per incrementare la sopravvivenza di ceppi batterici del genere rhizobium. |