CN120619867B - 一种静压导轨及其加工方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种静压导轨及其加工方法，静压导轨底座两侧均设有间隙布置的第一支撑部和第二支撑部，第一支撑部支承竖直滑块，第二支撑部支承水平滑块，竖直滑块支承溜板，溜板底部的中心滑块与溜板的两侧之间设有用于容纳水平滑块的空隙，水平滑块和底座相对固定，且竖直滑块、溜板和中心滑块相对固定。加工方法包括：选取基准面，测量基准面的平面度误差形貌，使用控时磨削技术根据平面度误差形貌对基准面进行加工；测量其他加工面的平面度误差形貌，并测量其他加工面相对于基准面的平行度误差，将平行度误差与平面度误差叠加得到带平行度误差的误差形貌，使用控时磨削技术根据误差形貌对其他加工面进行加工。本发明易于加工且提高了加工精度。

Description

一种静压导轨及其加工方法

技术领域

本发明涉及超精密加工技术，具体涉及一种静压导轨及其加工方法。

背景技术

液体静压导轨是超精密机床的核心部件。根据静压导轨油膜匀化理论，要实现高精度的静压导轨直线精度，需要使静压导轨核心部件的平面度、平行度和垂直度皆满足油膜精度要求和装配要求。目前，液体静压导轨的高精度加工制造方法主要有：超精密磨削加工和手工研磨加工。超精密磨削加工要求超精密磨床具有高的运动精度，为保证工件的加工精度，一般要求机床的加工精度比件的精度指标高一个数量级，因此采用磨削加工方法加工高精度的导轨无疑将提升导轨的制造成本，并且随着超精密导轨行程不断的增长，其加工难度和加工成本将进一步提升；手工研磨加工相比于超精密磨削加工而言，对加工设备的要求较低，成本也相对较低，但是手工研磨加工需要操作人员具有丰富经验、娴熟的操作手法和精准的判断能力，因此该加工方法的人为不确定因素较多、加工精度难以精准保证、生产周期长，并且随着加工对象尺寸的增加，生产周期将成倍增加，因此手工研磨加工不仅费时费力，而且难以应用于批量生产加工。

发明内容

本发明要解决的技术问题：针对现有技术的上述问题，提供一种静压导轨及其加工方法，每个核心工作面都易于加工，且使用控时磨削技术实现了工作面平面度、平行度和垂直度的加工，使得静压导轨直线度满足要求。

为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为：

一种静压导轨，包括底座，所述底座的两侧均设有间隙布置的第一支撑部和第二支撑部，所述第一支撑部支承于竖直滑块下方，所述第二支撑部支承于水平滑块下方，所述竖直滑块支承于溜板的下方，所述溜板的底部设有中心滑块，所述中心滑块与溜板的两侧之间设有用于容纳水平滑块的空隙，所述水平滑块和底座相对固定，且所述竖直滑块、溜板和中心滑块相对固定，所述水平滑块的竖直工作面和中心滑块之间存在油膜间隙，所述水平滑块的水平工作面和竖直滑块的上表面存在油膜间隙，所述第一支撑部和竖直滑块的下表面之间存在油膜间隙。

进一步的，所述水平滑块包括上侧板、下侧板、左侧板和右侧板，所述上侧板、下侧板、左侧板和右侧板中的相邻侧板可拆卸连接。

进一步的，所述第一支撑部和第二支撑部的间隙大于10mm。

本发明提出一种静压导轨的加工方法，应用于所述的静压导轨，所述方法包括加工第一支撑部的加工面与第二支撑部的加工面的步骤，第一支撑部的加工面具体是第一支撑部的上表面，第二支撑部的加工面具体是第二支撑部的上表面，所述步骤包括：

选取一个第一支撑部的工作面作为基准面，测量基准面的平面度误差形貌，使用控时磨削技术根据平面度误差形貌对基准面进行加工，直到基准面的加工精度满足要求；

分别测量另一个第一支撑部的上表面以及每个第二支撑部的上表面的平面度误差形貌，并测量另一个第一支撑部的上表面以及每个第二支撑部的上表面相对于基准面的平行度误差，将平行度误差与对应的平面度误差叠加得到带平行度误差的误差形貌，使用控时磨削技术根据对应的误差形貌对另一个第一支撑部的上表面以及每个第二支撑部的上表面进行加工，直到所述上表面的加工精度满足要求。

进一步的，所述方法还包括加工水平滑块的加工面的步骤，水平滑块的加工面具体包括水平工作面以及竖直工作面，所述步骤具体包括：

以每个水平滑块的水平工作面为基准面，测量基准面的平面度误差形貌，使用控时磨削技术根据平面度误差形貌对基准面进行加工，直到基准面的加工精度满足要求；

测量每个基准面对应的竖直工作面的平面度误差形貌，并测量竖直工作面相对于对应基准面的垂直度误差，将垂直度误差与对应的平面度误差叠加得到带垂直度误差的误差形貌，使用控时磨削技术根据对应的误差形貌对每个竖直工作面进行加工，直到每个竖直工作面的加工精度满足要求。

进一步的，测量另一个第一支撑部的上表面以及每个第二支撑部的上表面相对于基准面的平行度误差时，包括：

测量基准面长边方向的线轮廓，然后测量当前上表面长边方向的线轮廓，分别计算基准面长边方向的线轮廓的斜率误差，以及当前上表面长边方向的线轮廓的斜率误差，将当前上表面对应的斜率误差减去基准面对应的斜率误差，得到当前上表面相对于基准面的平行度误差。

进一步的，测量竖直工作面相对于对应基准面的垂直度误差时，包括：

测量基准面短边方向的线轮廓，然后测量对应竖直工作面短边方向的线轮廓，分别计算基准面短边方向的线轮廓的斜率误差，以及竖直工作面短边方向的线轮廓的斜率误差，将竖直工作面对应的斜率误差减去基准面对应的斜率误差再加上指定值，得到竖直工作面相对于对应基准面的垂直度误差。

进一步的，所述线轮廓的斜率误差计算时，具体是在整个加工面上测量m条轮廓线，并将m条轮廓线的测量结果拟合成测量平面，最后计算拟合后的平面整体的斜率误差作为线轮廓的斜率误差，线轮廓的斜率误差公式如下：

其中，为线轮廓的第j条轮廓线在长边方向或者短边方向第i个测量位置，是第j条轮廓线在高度方向第i个测量位置，是一条轮廓线总的测量点数，m是总的测量轮廓线数。

进一步的，带平行度误差的误差形貌的计算公式如下：

其中，Z_P（x,y)为第一支撑部的上表面或者第二支撑部的上表面的平面度误差形貌，P为第一支撑部的上表面或者第二支撑部的上表面相对于基准面的平行度误差，x是静压导轨X方向位置。

进一步的，带垂直度误差的误差形貌的计算公式如下：

其中，Z_P ₂ （x,y)为竖直工作面的平面度误差形貌，为竖直工作面相对于基准面的垂直度误差，y是静压导轨Y方向位置。

与现有技术相比，本发明的优点在于：

本发明的静压导轨采用分体式设计，其第一支撑部和第二支撑部间隙设置，保证第一支撑部和第二支撑部的工作面能够使用控时磨削技术加工，同时水平滑块也采用分体式结构设计，保证其工作面易于加工。

本发明的静压导轨加工方法首先测量加工面的平面度误差，然后根据加工面与基准面的斜率误差拟合生成带平行度或者带垂直度的误差形貌，最后基于控时磨削技术加工降低误差形貌，实现了静压导轨关键工作面平面度、平行度和垂直度的加工。显著提高了加工精度，并且具有确定性。

附图说明

图1为本发明实施例的静压导轨的结构示意图。

图2为本发明实施例的静压导轨的加工方法流程图。

图3为本发明实施例中垂直度测量示意图。

图4为垂直度误差加工原理图。

图例说明：1-底座、2-竖直滑块、3-水平滑块、4-溜板、5-中心滑块、101-第一支撑部、102-第二支撑部。

具体实施方式

以下结合说明书附图和具体优选的实施例对本发明作进一步描述，但并不因此而限制本发明的保护范围。

实施例一

控时磨削技术结合精密的测量手段能够实现机械零件优于亚微米平面度的加工精度。但是传统的静压导轨结构无法使用控时磨削技术加工，需要对结构进行改进。

因此，本实施例提出一种静压导轨，其采用分体式结构，如图1所示，包括底座1、竖直滑块2、水平滑块3和溜板4，底座1的两侧均设有第一支撑部101和第二支撑部102，第一支撑部101支承于竖直滑块2下方，第二支撑部102支承于水平滑块3下方，竖直滑块2支承于溜板4的下方，溜板4的底部设有中心滑块5，中心滑块5与溜板4的两侧之间设有用于容纳水平滑块3的空隙，水平滑块3和底座1通过螺栓连接实现相对固定，且竖直滑块2、溜板4和中心滑块5也通过螺栓连接实现相对固定，水平滑块3的竖直工作面和中心滑块5之间存在油膜间隙，水平滑块3的水平工作面和竖直滑块2的上表面存在油膜间隙，第一支撑部101和竖直滑块2的下表面之间存在油膜间隙 ，使得静压移动时，电机带动中心滑块5，溜板4和竖直滑块2相对于底座1和水平滑块3移动。

为了保证静压导轨核心部件的平面度、平行度和垂直度皆满足油膜精度要求，需要对于核心工作面进行加工，本实施例的静压导轨的核心工作面包括左右两侧的第一支撑部101以及左右两侧的水平滑块3的工作面，其中：

第一支撑部101的工作面具体是第一支撑部101的上表面，为进行区分，将左侧与右侧第一支撑部101的工作面分别标记为A面和B面。

水平滑块3的工作面具体包括与竖直滑块2的上表面对应的水平工作面以及与中心滑块5侧壁对应的竖直工作面，本实施例中，为进行区分，将左侧与右侧水平滑块3的水平工作面分别标记为E面和F面，并将左侧与右侧水平滑块3的竖直工作面分别标记为G面与H面。

需要说明的是，为了保证装配精度，第二支撑部102的上表面也需要进行加工，将左侧与右侧第二支撑部102的上表面分别标记为C面与D面，由此可知，A面、B面、C面、D面、E面、F面、G面、H面均为加工面。

为了保证加工面A、B、C、D面能够使用控时磨削技术加工，本实施例中，同一侧的第一支撑部101和第二支撑部102间隙设置，且第一支撑部101和第二支撑部102之间的间隙距离d大于10mm。

为了保证加工面E、F、G、H面能够使用控时磨削技术加工且易于加工，本实施例中，水平滑块3采用分体式结构进行设计，具体的，水平滑块3包括上侧板、下侧板、左侧板和右侧板，上侧板、下侧板、左侧板和右侧板中的相邻侧板可拆卸连接，具体是通过螺纹连接的方式，使得水平滑块3成为两端开口的管状结构，然后将水平滑块3通过螺栓安装于底座1的对应的第二支撑部102。

综上所述，本实施例设计了分体式静压导轨结构，使每个核心工作面都满足控时磨削技术加工要求。

实施例二

本实施例提出一种静压导轨的加工方法，应用于实施例一所述的静压导轨，通过完整的平面度、平行度和垂直度加工，有效的降低了静压导轨的误差形貌，提高静压导轨直线度。如图2所示，该方法包括以下步骤：

S1）基准面加工：选取一个第一支撑部101的加工面作为基准面，本实施例中选取A面作为基准面，测量基准面的平面度误差形貌，使用控时磨削技术根据平面度误差形貌对基准面进行加工，直到基准面的加工精度满足要求；

S2）平行度加工：分别测量另一个第一支撑部101的加工面以及每个第二支撑部102的加工面（即B、C、D面）的平面度误差形貌，并测量B、C、D面相对于基准面（即A面）的平行度误差，将平行度误差与对应的平面度误差叠加得到带平行度误差的误差形貌，使用控时磨削技术根据对应的误差形貌对B、C、D面进行加工，直到每个加工面的加工精度满足要求；

S3）垂直度加工：以每个水平滑块3的水平工作面（即E面或F面）作为基准面，测量基准面的平面度误差形貌，使用控时磨削技术根据平面度误差形貌对基准面进行加工，直到基准面的加工精度满足要求；

测量基准面对应的竖直工作面（G面或H面）的平面度误差形貌，并测量G面或H面相对于对应基准面的垂直度误差，将垂直度误差与对应的平面度误差叠加得到带垂直度误差的误差形貌，使用控时磨削技术根据对应的误差形貌对G面或H面进行加工，直到每个竖直工作面的加工精度满足要求。

下面对于每个步骤进行详细说明。

本实施例的步骤S1包括以下步骤：

S11）测量基准面的平面度误差形貌，具体是使用精密轮廓仪测量工作面A的轮廓误差，生成控时磨削加工形貌H(x,y)。

S12）使用控时磨削技术根据平面度误差形貌对基准面进行加工时，具体是将控时磨削加工形貌H(x,y)代入卷积公式计算驻留时间，驻留时间表示的是控时磨削装置在误差高点的停留时间，根据停留时间即可生成控时磨削加工代码，卷积公式如下：

(1)

式中H(x,y)是控时磨削加工形貌，R(x,y)是去除函数形貌，T(x,y)是驻留时间。

S13）再次测量加工后的基准面的平面度误差形貌，将加工前后的基准面的平面度误差形貌进行比较，以判断基准面的加工精度是否满足要求，若不满足要求，则迭代执行步骤S11至步骤S13，将加工前后的基准面的平面度误差形貌进行比较时，具体是计算本次加工后的基准面的平面度误差形貌相比本次加工前的基准面的平面度误差形貌的比值n，比值n小于0.8则认为达到加工极限，确定基准面的加工精度满足要求。

本实施例的步骤S2包括以下步骤：

S21）测量基准面长边方向的线轮廓，然后测量当前加工面（即另一个第一支撑部101的上表面或者一个第二支撑部102的上表面）长边方向的线轮廓，具体是通过轮廓测量仪测量基准面A长边方向的线轮廓z₁（x），测量前确保温度漂移误差小于0.1μm，然后测量当前工作面长边方向的线轮廓z₂（x）；

S22）分别计算基准面长边方向的线轮廓的斜率误差，以及当前加工面长边方向的线轮廓的斜率误差，本实施例中，为避免单条轮廓线斜率测量误差，计算线轮廓的斜率误差具体是在整个加工面上测量m条轮廓线，并将m条轮廓线的测量结果拟合成测量平面，最后计算拟合后的平面整体的斜率误差作为整个加工面的线轮廓斜率误差，线轮廓的斜率误差公式如下：

(2)

其中，为线轮廓的第j条轮廓线在X方向第i个测量位置，X方向为线轮廓的测量方向，即基准面或者加工面长边方向，是z方向第i个测量位置，z方向为高度方向，高度方向垂直于基准面或者加工面所在平面，是一条轮廓线总的测量点数，m是总的测量轮廓线数；

S23）将当前加工面对应的斜率误差减去基准面对应的斜率误差，得到当前加工面相对于基准面的平行度误差，公式如下：

(3)

式中P是当前加工面相对于基准面A的平行度误差，k ₁是线轮廓z ₁ （x）的斜率误差，k ₂是线轮廓z ₂ (x)的斜率误差；

S24）测量当前加工面的平面度误差形貌，具体是使用精密轮廓仪测量当前加工面的轮廓误差，生成平面度误差形貌Z_P（x,y)，将平行度误差与对应的平面度误差叠加得到带平行度误差的误差形貌，公式如下：

(4)

其中，Z_P（x,y)为当前加工面（B面或C面或D面）的平面度误差形貌，x是被测静压导轨X方向位置，本实施例中指定被测静压导轨X方向为被测静压导轨长边方向；

S25）将带平行度误差的误差形貌Z_E（x,y)代入公式（1）计算驻留时间，并生成控时磨削加工代码进行控时磨削加工，对误差形貌高点进行去除，再次执行步骤S21至步骤S24得到加工后的带平行度误差的误差形貌，将误差形貌与预设阈值进行比较，以判断当前加工面的加工精度是否满足要求，若不满足要求，则再次将带平行度误差的误差形貌Z_E （x,y)代入公式（1）计算驻留时间，并生成控时磨削加工代码进行控时磨削加工，以迭代执行步骤S21至步骤S25，本实施例中预设预阈值为2μm，误差形貌小于2μm则认为加工精度满足要求。

本实施例的步骤S3包括以下步骤：

S31）将水平滑块3进行拆解，对水平工作面（E面或者F面）所在的侧板，测量E面或者F面的平面度误差形貌，使用控时磨削技术根据平面度误差形貌进行加工，直到加工精度满足要求，其具体实施步骤与步骤S11至步骤S13基本相同，在此不再赘述；

S32）使用光学六面体对轮廓测量仪本身的垂直度误差进行校准，如图3所示，将传感器分别沿着X方向和Y方向进行移动，进而获得设备X方向和Y方向的垂直度误差，并根据X方向和Y方向的垂直度误差校准轮廓测量仪，光学六面体的精度精度为0.5″，能够保证校准后的仪器具有较高的垂直度测量精度；

S33）使用校准完成后的轮廓测量仪的侧头测量基准面短边方向的线轮廓z₃（x），同样测量前确保温度漂移误差小于0.1μm，同时对竖直工作面（G面或者H面）所在的侧板，测量基准面对应竖直工作面短边方向的线轮廓z₄（x）；

S34）分别计算基准面短边方向的线轮廓的斜率误差，以及竖直工作面短边方向的线轮廓的斜率误差，具体是根据公式（2），以基准面或者竖直工作面短边方向为X方向，计算得到线轮廓z₃（x）和z₄（x）对应的斜率误差k ₃和k ₄；

S35）如图4所示，将竖直工作面对应的斜率误差减去基准面对应的斜率误差再加上指定值，得到竖直工作面相对于对应基准面的垂直度误差。计算公式如下：

(5)

式中是竖直工作面（G面或者H面）相对与基准面（E面或者F面）的垂直度误差；

S36）测量竖直工作面（G面或者H面）的平面度误差形貌，具体是使用精密轮廓仪测量G面或者H面的轮廓误差，生成平面度误差形貌Z_P ₂ （x,y)，将垂直度误差与对应的平面度误差叠加得到带垂直度误差的误差形貌，公式如下：

(6)

其中，Z_P ₂ （x,y)为竖直工作面（G面或者H面）的平面度误差形貌，y是被测静压导轨Y方向位置，本实施例中指定被测静压导轨Y方向为被测静压导轨短边方向；

S37）将带垂直度误差的误差形貌Z_E ₂ （x,y)代入公式（1）计算驻留时间，并生成控时磨削加工代码进行控时磨削加工，对误差形貌高点进行去除，再次执行步骤S33至步骤S36得到加工后的垂直度误差的误差形貌，将误差形貌与预设阈值进行比较，以判断竖直工作面的加工精度是否满足要求，若不满足要求，则再次将带平行度误差的误差形貌Z_E ₂ （x, y)代入公式（1）计算驻留时间，并生成控时磨削加工代码进行控时磨削加工，以迭代执行步骤S33至步骤S37，本实施例中预设预阈值为2μm，误差形貌小于2μm则认为加工精度满足要求。

综上所述，本实施例通过上述步骤，实现所提出的静压导轨的控时磨削加工，且平面度、平行度和垂直度皆优于2μm，进而使最终的静压导轨直线度优于0.2μm。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，本发明的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本发明思路下的技术方案均属于本发明的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (9)

1. 一种静压导轨的加工方法，其特征在于，所述静压导轨包括底座（1），所述底座（1）的两侧均设有间隙布置的第一支撑部（101）和第二支撑部（102），所述第一支撑部（101）支承于竖直滑块（2）下方，所述第二支撑部（102）支承于水平滑块（3）下方，所述竖直滑块（2）支承于溜板（4）的下方，所述溜板（4）的底部设有中心滑块（5），所述中心滑块（5）与溜板（4）的两侧之间设有用于容纳水平滑块（3）的空隙，所述水平滑块（3）和底座（1）相对固定，且所述竖直滑块（2）、溜板（4）和中心滑块（5）相对固定，所述水平滑块（3）的竖直工作面和中心滑块（5）之间存在油膜间隙，所述水平滑块（3）的水平工作面和竖直滑块（2）的上表面之间存在油膜间隙，所述第一支撑部（101）和竖直滑块（2）的下表面之间存在油膜间隙 ，所述方法包括加工第一支撑部（101）的加工面与第二支撑部（102）的加工面的步骤，第一支撑部（101）的加工面具体是第一支撑部（101）的上表面，第二支撑部（102）的加工面具体是第二支撑部（102）的上表面，所述步骤包括：

选取一个第一支撑部（101）的上表面作为基准面，测量基准面的平面度误差形貌，使用控时磨削技术根据平面度误差形貌对基准面进行加工，直到基准面的加工精度满足要求；

分别测量另一个第一支撑部（101）的上表面以及每个第二支撑部（102）的上表面的平面度误差形貌，并测量另一个第一支撑部（101）的上表面以及每个第二支撑部（102）的上表面相对于基准面的平行度误差，将平行度误差与对应的平面度误差叠加得到带平行度误差的误差形貌，使用控时磨削技术根据对应的误差形貌对另一个第一支撑部（101）的上表面以及每个第二支撑部（102）的上表面进行加工，直到所述上表面的加工精度满足要求；

所述方法还包括加工水平滑块（3）的加工面的步骤，水平滑块（3）的加工面具体包括水平工作面以及竖直工作面，所述步骤具体包括：

以每个水平滑块（3）的水平工作面为基准面，测量基准面的平面度误差形貌，使用控时磨削技术根据平面度误差形貌对基准面进行加工，直到基准面的加工精度满足要求；

测量每个基准面对应的竖直工作面的平面度误差形貌，并测量竖直工作面相对于对应基准面的垂直度误差，将垂直度误差与对应的平面度误差叠加得到带垂直度误差的误差形貌，使用控时磨削技术根据对应的误差形貌对每个竖直工作面进行加工，直到每个竖直工作面的加工精度满足要求。

2.根据权利要求1所述的静压导轨的加工方法，其特征在于，测量另一个第一支撑部（101）的上表面以及每个第二支撑部（102）的上表面相对于基准面的平行度误差时，包括：

测量基准面长边方向的线轮廓，然后测量当前上表面长边方向的线轮廓，分别计算基准面长边方向的线轮廓的斜率误差，以及当前上表面长边方向的线轮廓的斜率误差，将当前上表面对应的斜率误差减去基准面对应的斜率误差，得到当前上表面相对于基准面的平行度误差。

3.根据权利要求1所述的静压导轨的加工方法，其特征在于，测量竖直工作面相对于对应基准面的垂直度误差时，包括：

测量基准面短边方向的线轮廓，然后测量对应竖直工作面短边方向的线轮廓，分别计算基准面短边方向的线轮廓的斜率误差，以及竖直工作面短边方向的线轮廓的斜率误差，将竖直工作面对应的斜率误差减去基准面对应的斜率误差再加上指定值，得到竖直工作面相对于对应基准面的垂直度误差。

4.根据权利要求2或3所述的静压导轨的加工方法，其特征在于，所述线轮廓的斜率误差计算时，具体是在整个加工面上测量m条轮廓线，并将m条轮廓线的测量结果拟合成测量平面，最后计算拟合后的平面整体的斜率误差作为线轮廓的斜率误差，线轮廓的斜率误差公式如下：

其中，为线轮廓的第j条轮廓线在长边方向或者短边方向第i个测量位置，是第j条轮廓线在高度方向第i个测量位置， 是一条轮廓线总的测量点数，m是总的测量轮廓线数。

5.根据权利要求1所述的静压导轨的加工方法，其特征在于，带平行度误差的误差形貌的计算公式如下：

其中，Z_P（x,y)为第一支撑部（101）的上表面或者第二支撑部（102）的上表面的平面度误差形貌，P为第一支撑部（101）的上表面或者第二支撑部（102）的上表面相对于基准面的平行度误差，x是静压导轨X方向位置。

6.根据权利要求1所述的静压导轨的加工方法，其特征在于，带垂直度误差的误差形貌的计算公式如下：

其中，Z_P ₂ （x,y)为竖直工作面的平面度误差形貌，为竖直工作面相对于基准面的垂直度误差，y是静压导轨Y方向位置。

7.一种静压导轨，其特征在于，包括底座（1），所述底座（1）的两侧均设有间隙布置的第一支撑部（101）和第二支撑部（102），所述第一支撑部（101）支承于竖直滑块（2）下方，所述第二支撑部（102）支承于水平滑块（3）下方，所述竖直滑块（2）支承于溜板（4）的下方，所述溜板（4）的底部设有中心滑块（5），所述中心滑块（5）与溜板（4）的两侧之间设有用于容纳水平滑块（3）的空隙，所述水平滑块（3）和底座（1）相对固定，且所述竖直滑块（2）、溜板（4）和中心滑块（5）相对固定，所述水平滑块（3）的竖直工作面和中心滑块（5）之间存在油膜间隙，所述水平滑块（3）的水平工作面和竖直滑块（2）的上表面之间存在油膜间隙，所述第一支撑部（101）和竖直滑块（2）的下表面之间存在油膜间隙，所述第一支撑部（101）、第二支撑部（102）以及水平滑块（3）被权利要求1~6任一项所述的静压导轨的加工方法加工得到。

8.根据权利要求7所述的静压导轨，其特征在于，所述水平滑块（3）包括上侧板、下侧板、左侧板和右侧板，所述上侧板、下侧板、左侧板和右侧板中的相邻侧板可拆卸连接。

9.根据权利要求7所述的静压导轨，其特征在于，所述第一支撑部（101）和第二支撑部（102）的间隙大于10mm。