JP2003508696A

JP2003508696A - 静圧気体軸受

Info

Publication number: JP2003508696A
Application number: JP2000600014A
Authority: JP
Inventors: 拓真津田; 慎二篠原; 忍徳島; 至晴大久保; 敏正下田; ダグラス・シー・ワトソン; ダブリュー・トーマス・ノヴァク
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 2000-02-18
Filing date: 2000-02-18
Publication date: 2003-03-04

Abstract

(57)【要約】２軸からなる静圧気体軸受において、排気用配管（３）は下軸固定体（４）のみと接続されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】

本発明は、下軸、上軸の２軸からなり、真空中で使用される静圧気体軸受に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】

真空中で使用され、２軸からなる静圧気体軸受においては、従来、各軸それぞ
れの軸受機構について排気用配管が移動体に接続されている。つまり、各軸には
各軸毎の移動体に接続された専用の排気用配管が設けられており、各軸からの排
気は個別に行われていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】

ところで、従来の排気方法によると、上軸については軸受機構の移動体に対し
て排気用配管を接続することとなるが、効率のよい排気能力を得るには排気用配
管は大口径である必要があるため、移動時において排気用配管が大きな抵抗とな
り、軸受性能に重大な影響を及ぼしてしまう。この問題は、上軸移動体に対して
排気用配管が接続されている場合はもちろんのこと、上軸固定体内に設けられた
内部配管に対して排気用配管が設けられている場合においても生じる（なぜなら
ば、上軸固定体も移動するからである）。

【０００４】本発明は、２軸からなり真空中で使用可能な静圧気体軸受であって、浮上用気
体の排気用配管接続が軸受機構の動作に悪影響を及ぼすことのない静圧気体軸受
を提供する。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

上記の目的及び／又は他の目的を達成するために、本発明の１つの態様によれ
ば、下軸、上軸の２軸からなる静圧気体軸受で、下軸の固定体内に設けられた排
気用内部配管と、（下軸移動体上に固定された）上軸固定体内部に設けられた排
気用内部配管が接続されていることとした。

【０００６】上記構成にすることにより、排気用配管は下軸固定体に対してのみ接続され、
軸受機構の移動部分に対しては排気用配管接続の必要が無くなるため、大口径の
排気用配管が軸受性能に悪影響を及ぼすことが無くなる。

【０００７】また本発明の好ましい形態は、下軸固定体の排気用内部配管と、上軸固定体の
排気用内部配管との接続が、下軸移動体内部に設けられた排気用接続溝及び排気
用接続配管を通じて行われていることである。上記構成にすることにより、上軸
固定体に対する排気用配管接続の必要が無くなる。即ち、軸受機構の移動部分へ
の排気用配管接続が無くなるため、移動時の直進性などの軸受性能に排気用配管
が悪影響を及ぼすことが無くなる。

【０００８】本発明の好ましい形態は、下軸、上軸の固定体内に設けられた排気用内部配管
を通じて浮上用気体の排気を行うことである。上記構成により、下軸、上軸共に
その移動体に対する排気用配管接続を無くすことが可能となる。

【０００９】本発明の好ましい形態は、下軸、上軸の各エアパッド周囲に排気溝を備えるこ
とである。上記構成により、軸受隙間から真空チャンバーへ流出する浮上用気体
の量を微量に抑えることができるため、真空中での利用が可能となる。

【００１０】本発明の好ましい形態は、給気構造も固定体で行なう、つまり、下軸の固定体
内に設けられた給気用内部配管と、（下軸移動体上に固定された）上軸固定体内
部に設けられた給気用内部配管が接続されていることである。上記構成により、
給気、排気共に固定体内部で行なうため、移動部分への給気チューブ接続も無く
すことができる。

【００１１】

【発明の実施の形態】

ここに開示された静圧気体軸受は、被加工物の正確な位置決めが求められる種
々の精密工作応用機器に用いることができる。ここで、被加工物とは、例えば加
工される及び／若しくは検査される部品、又は、回路が形成された及び／若しく
は検査されたシリコンウェハ若しくはガラス（又は水晶）パネル等の基板である
。ここに開示された静圧気体軸受は、例えば写真製版装置（露光装置）において
基板を支持するために用いることができる。このような応用機器においては、上
軸移動体には、一般に基板を保持するためのウェハステージ及び／又はチャック
装置が含まれる。

【００１２】図１は、本発明による静圧軸受機構の一実施形態を表す斜視図であり、図２，
図２（ａ），図２（ｂ），図２（ｆ），図２（ｉ），及び図２（ｋ）は、図１の
静圧軸受機構の下軸移動体と上軸固定体との接続部を示す断面図である。

【００１３】これらの図において、下軸固定体４には給気チューブ２及び排気用配管３が接
続されている。給気チューブ２から供給される浮上用気体は、下軸固定体４内部
に設けられた給気用内部配管（気道）５を通り、更に気道６を通じて各エアパッ
ド７へ供給され、下軸移動体１を浮上させる。給気用内部配管については図２（
ｌ）を参照されたい。

【００１４】下軸の各エアパッド７に供給された浮上用気体は、その後、下軸固定体４と下
軸移動体１との間に流入し、エアパッド７の周囲を取り囲むように下軸移動体１
の内面に形成された排気溝８（図２（ｈ）参照）に流入する。排気溝８に流入し
た後、浮上用気体は下軸固定体４内部に設けられた排気穴（気道）２０から排気
用内部配管９を通じて、（排気用配管３によって）真空チャンバー外部へ排出さ
れる。排気用内部配管については図２（ｊ）を参照されたい。

【００１５】下軸固定体４内部の気道６は途中で分岐し、下軸移動体１に設けられた給気用
接続溝１３に接続されている（図２（ｈ）参照）。更に、上軸固定体１０内部に
設けられている気道１９は、給気用接続配管（気道）１４を介して給気用接続溝
１３と接続されている（図２（ｈ）参照）。下軸固定体４の上面におけるエアパ
ッド７、気道６の開口部、及び排気穴２０の開口部の配置は図２（ｇ）に示して
ある。この上面を通り、給気チューブ２から供給された浮上用気体の一部は給気
用接続溝１３、給気用接続配管１４、及び気道１９を通じて上軸のエアパッド１
７へ供給される。

【００１６】上軸のエアパッド１７に供給された浮上用気体は、その後、上軸移動体１５に
形成された排気溝１６に流入する。図２では図示していないが、排気溝１６と上
軸固定体１０の内部に設けられた排気用内部配管（気道）１８とは、下軸と同様
に排気穴３１（上軸移動体及び上軸固定体の断面図である図３参照）で接続され
ているため、排気溝１６に流入した浮上用気体は、その後、排気用内部配管１８
、排気用接続配管（気道）１２、排気用接続溝１１、及び排気用内部配管９を通
じて真空チャンバー外部に排出される。特に、排気穴３１の端部は上軸移動体１
５の排気溝１６と接続された上軸固定体１０の外周面における開口部３１′を規
定している。排気用内部配管１８及び気道１９の構造は、上軸固定体１０の外周
面上におけるエアパッド１７及び排気穴の開口部３１′の位置を示す図２（ｄ）
，図２（ｅ），及び図２（ｃ）から認識することができる。

【００１７】図４は、上軸移動体１５の（４つの内周面のうちの）１つの内周面を示す平面
図である。図４から分かるように、排気溝１６は（上軸固定体１０上に配置され
た）対応するエアパッド１７を取り囲むように、上軸移動体１５の内周面の周辺
に設けられる。従って、エアパッド１７へ吐き出された全ての浮上用気体は排気
溝１６によって受け入れられ、気体軸受が用いられている真空雰囲気中への流入
が防止される。上軸移動体１５は上軸固定体１０に沿って移動するため、排気溝
１６の縦溝部１６ａと排気穴３１との接続が維持され、排気された浮上用気体は
排気用内部配管１８、排気用接続配管１２、排気用接続溝１１、及び排気用内部
配管９を通じて最終的に排気用配管３から排出される。

【００１８】上軸移動体１５の４つの内周面の各々には、図４に示したものと同様の排気溝
１６が形成されている。下軸移動体１の４つの内周面の各々にも、排気溝１６に
似た構造の排気溝８が形成されている（図２（ｈ），図５（ａ），及び図５（ｂ
）参照）。排気溝８，１６は図４に示したの形状とは異なった形状にすることが
できる。例えば、終端溝部１６ｂは、縦溝部１６ａと交差する位置で終端するよ
りもむしろ内周面を完全に横断するように延長することができる。

【００１９】他の形態として、図５（ｃ）〜図５（ｅ）に示すように、２つの排気溝１６ａ
，１６ｂを、改良した上軸移動体１５′に備えることもできる。排気溝１６ａ，
１６ｂの各々は、上軸固定体上の排気穴の開口部３１ｂ′，３１ａ′にそれぞれ
接続される。この構造によって、上軸固定体の外周面の各々に４つのエアパッド
１７を設けることができる。下軸についても同様の構成とすることができる。

【００２０】浮上用気体が真空チャンバー内に流入するのを防止するため、下軸移動体１及
び上軸移動体１５は、対応するエアパッド７，１７それぞれを覆った状態のまま
にならなければならない。この様子を図２（ｂ）及び図５（ａ）〜図５（ｅ）に
示す。これらの図に示すように、下軸移動体１及び上軸移動体１５の移動範囲は
、多少制限される。しかしながら、エアパッド７，１７及び排気穴２０，３１を
下軸固定体４及び上軸固定体１０それぞれの中心部分の近くに配置することによ
って、十分に広い移動範囲を得ることができる。以上の機構により、下軸、上軸
共に浮上用気体が真空チャンバー内へ流入しないために、真空中で使用可能な軸
受機構を実現している。

【００２１】図６（ａ）〜図６（ｃ）及び図７（ａ）〜図７（ｃ）は、下軸移動体及び上軸
移動体にエアパッドを形成した複数の実施形態を示す図である。図６（ａ）〜図
７（ｃ）に示した態様とすることにより、上軸移動体及び下軸移動体の移動中に
おいて、軸受け機構の釣り合いをより良い状態に維持することができる。これら
の実施形態においては、排気に関連した構成は、図２に示した実施形態と同様で
ある。

【００２２】図６（ａ）及び図７（ａ）に示すように、下軸移動体１′はエアパッド７′を
含んで構成される。下軸移動体１′内に供給された給気は気道２７′を経てエア
パッド７′に供給される。気道２７′は、前述したように、給気用内部配管５に
接続された給気用接続溝１３からの給気を受ける。

【００２３】図６（ｃ）及び図７（ｃ）から分かるように、上軸固定体１０−１，１０−２
の上面には、前述した実施形態と同様に排気穴の開口部３１′が含まれるが、エ
アパッドは含まれない。逆に、上軸固定体内部に設けられた気道１９の排気口の
１つである給気開口部１９′が設けられる。

【００２４】図６（ａ）〜図６（ｃ）の実施形態においては、給気開口部１９′から放出さ
れた給気は上軸移動体１５−１の給気用接続溝３７′で受けられる。このとき、
浮上用気体は、エアパッド１７−１に達するまで上軸移動体１５−１中の気道１
９″を通過する。図７（ａ）〜図７（ｃ）の実施形態においては、給気開口部１
９′からの浮上用気体は給気用接続溝３７″中に放出され、上軸移動体１５−２
のエアパッド１７−２に中に流入する。

【００２５】２軸からなり、真空中で使用される静圧気体軸受であって、排気用配管が下軸
固定体のみに接続され、軸受機構の移動体に接続する必要がない静圧気体軸受を
構成したため、大口径を有する排気用配管が移動時の直進性などの軸受性能に悪
影響を及ぼすことが無い。

【００２６】上軸用の浮上用気体及び排気は下軸移動体１の一方又は両方を通じて上軸に運
ばれる。ここで用いている語句「気体」は静圧気体軸受において用いて好適ない
かなる流体を含む意味であり、厳密に大気中の空気に限定される訳ではない。

【００２７】以上、本発明について好ましい実施形態を参照して説明したが、本発明は以上
開示した実施形態又は構成に制限されないと理解すべきである。反対に、本発明
は種々の設計変更や均等物を含む趣旨である。更に、開示発明の種々の構成要件
が例示として様々な組み合わせ及び構成で示されているが、より多くの部材、よ
り少ない部材、又は単一の部材だけを含む他の組み合わせ及び構成もまた本発明
の精神に含まれ、本発明の範囲内である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による静圧軸受機構の一実施形態を表す斜視図である。

【図２】図１に示した静圧軸受機構の一部分を示す断面図である。

【図２（ａ）】図１の静圧軸受機構の断面図である。

【図２（ｂ）】図２（ａ）と同様の断面図であるが、上軸移動体が最も左
側の位置に移動した状態を示す図である。

【図２（ｃ）】図２（ｂ）中の矢印Ｃの方向で見られる上軸固定体の上面
の平面図である。

【図２（ｄ）】図２（ｂ）中の矢印Ｄの方向で見られる上軸の断面図であ
る。

【図２（ｅ）】図２（ｂ）中の矢印Ｅの方向で見られる上軸の断面図であ
る。

【図２（ｆ）】図２（ａ）と同様の断面図である。

【図２（ｇ）】図２（ｆ）中の矢印Ｇの方向で見られる下軸固定体の上面
を示す図である。

【図２（ｈ）】図２（ｆ）中の矢印Ｈの方向で見られる下軸移動体の内周
面を示す平面図である。

【図２（ｉ）】図２（ａ）と同様の断面図である。

【図２（ｊ）】図２（ｉ）中の矢印Ｊの方向で見られる下軸の断面図であ
る。

【図２（ｋ）】図２（ａ）と同様の断面図である。

【図２（ｌ）】図２（ｋ）中の矢印Ｌの方向で見られる下軸の断面図であ
る。

【図３】上軸固定体及び上軸移動体の図２（ａ）中における矢印Ａの方向
で見られる横断面図である。

【図４】図２（ｂ）中の矢印Ｂの方向で見られる上軸移動体の内周面の平
面図である。

【図５（ａ）】移動体が移動範囲の反対端それぞれに位置しているときの
、上軸及び下軸各々の固定体及び移動体の排気溝、エアパッド、及び排気穴の開
口部の相対位置を示す透視図である。

【図５（ｂ）】移動体が移動範囲の反対端それぞれに位置しているときの
、上軸及び下軸各々の固定体及び移動体の排気溝、エアパッド、及び排気穴の開
口部の相対位置を示す透視図である。

【図５（ｃ）】移動体が中心位置に配置されたときの、２つの溝を有する
変形実施形態における上軸固定体上の部材（エアパッド及び排気穴の開口部）と
上軸可動体上の対応部材（排気溝）との間の相対位置を示す図である。

【図５（ｄ）】移動体が最も左側の位置に配置されたときの、２つの溝を
有する変形実施形態における上軸固定体上の部材（エアパッド及び排気穴の開口
部）と上軸可動体上の対応部材（排気溝）との間の相対位置を示す図である。

【図５（ｅ）】移動体が最も右側の位置に配置されたときの、２つの溝を
有する変形実施形態における上軸固定体上の部材（エアパッド及び排気穴の開口
部）と上軸可動体上の対応部材（排気溝）との間の相対位置を示す図である。

【図６（ａ）】エアパッドが上軸移動体及び下軸移動体上に設けられてい
る変形実施形態による静圧気体軸受の断面図である。

【図６（ｂ）】図６（ａ）中の矢印Ｂ１の方向で見られる上軸移動体の内
周面の平面図である。

【図６（ｃ）】図６（ａ）中の矢印Ｃ１の方向で見られる上軸移動体の上
面の平面図である。

【図７（ａ）】図６（ａ）の実施形態とは異なる構成のエアパッドを有す
る静圧気体軸受の断面図である。

【図７（ｂ）】図７（ａ）中の矢印Ｂ２の方向で見られる上軸移動体の内
周面の平面図である。

【図７（ｃ）】図７（ｃ）中の矢印Ｃ２の方向で見られる上軸固定体の上
面の平面図である。

【符号の説明】

１，１′ 下軸移動体２給気チューブ３排気用配管４下軸固定体５給気用内部配管６気道７，７′ エアパッド８排気溝９排気用内部配管１０，１０−１，１０−２上軸固定体１１排気用接続溝１２排気用接続配管１３給気用接続溝１４給気用接続配管１５，１５′，１５−１，１５−２上軸移動体１６，１６ａ，１６ｂ排気溝１７，１７−１，１７−２エアパッド１８排気用内部配管１９，１９″ 気道１９′ 給気開口部２０排気穴２７′ 気道３１′ 開口部３７′ 給気用接続溝

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ，ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，ＫＥ，ＬＳ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＴＺ，ＵＧ，ＺＷ )，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＤＭ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＤ，ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ，ＨＲ，ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＮ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＡ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＳ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＡ，ＺＷ (72)発明者徳島忍東京都千代田区丸の内３丁目２番３号株式会社ニコン内 (72)発明者大久保至晴東京都千代田区丸の内３丁目２番３号株式会社ニコン内 (72)発明者下田敏正東京都千代田区丸の内３丁目２番３号株式会社ニコン内 (72)発明者ダグラス・シー・ワトソン東京都千代田区丸の内３丁目２番３号株式会社ニコン内 (72)発明者ダブリュー・トーマス・ノヴァク東京都千代田区丸の内３丁目２番３号株式会社ニコン内Ｆターム(参考） 3J102 AA02 BA05 CA36 EA02 EA06 EA23

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】固定体と当該固定体に対して移動可能に搭載された移動体と
を有し、当該固定体が第１排気用気道を含む第１軸と、固定体と当該固定体に対して移動可能に搭載された移動体とを有し、当該固定
体は前記第１軸の移動体に取り付けられ、前記第１排気用気道に接続された第２
排気用気道を含む第２軸とを備えることを特徴とする静圧気体軸受。
【請求項２】前記第１軸の移動体は、前記第１軸の固定体の第１排気用気
道と前記第２軸の固定体の第２排気用気道とを接続する排気用接続気道を含むこ
とを特徴とする請求項１記載の静圧気体軸受。
【請求項３】前記第１軸の固定体と移動体との間、及び、前記第２軸の固
定体と移動体との間のエアパッドが形成する浮上用気体は、前記第１排気用気道
及び前記第２排気用気道を通じて排気されることを特徴とする請求項２記載の静
圧気体軸受。
【請求項４】前記第１軸の固定体と移動体との間、及び、前記第２軸の固
定体と移動体との間のエアパッドが形成する浮上用気体は、複数の前記第１排気
用気道及び前記第２排気用気道を通じて排気されることを特徴とする請求項１記
載の静圧気体軸受。
【請求項５】前記第１軸及び前記第２軸の固定体の外周面は、前記第１排
気用気道及び前記第２排気用気道の各１つを接続する排気口を含み、前記第１軸
及び前記第２軸の移動体の内周面は、前記第１軸及び前記第２軸の固定体内の前
記排気口の各１つを接続する排気溝を含むことを特徴とする請求項４記載の静圧
気体軸受。
【請求項６】前記第１軸及び前記第２軸の固定体の外周面は、前記第１排
気用気道及び前記第２排気用気道の各１つを接続する排気口を含み、前記第１軸
及び前記第２軸の移動体の内周面は、前記第１軸及び前記第２軸の固定体内の前
記排気口の各１つを接続する排気溝を含むことを特徴とする請求項１記載の静圧
気体軸受。
【請求項７】前記第１軸及び前記第２軸の固定体の外周面は、前記第１排
気用気道及び前記第２排気用気道の各１つを接続する排気口を含み、前記第１軸
及び前記第２軸の移動体の内周面は、前記第１軸及び前記第２軸の固定体内の前
記排気口の各１つを接続する排気溝を含むことを特徴とする請求項２記載の静圧
気体軸受。
【請求項８】前記第１軸の固定体は第１給気用気道を含み、前記第２軸の
固定体は前記第１給気用気道に接続された第２給気用気道を含むことを特徴とす
る請求項７記載の静圧気体軸受。
【請求項９】前記第１軸の固定体は第１給気用気道を含み、前記第２軸の
固定体は前記第１給気用気道に接続された第２給気用気道を含むことを特徴とす
る請求項１記載の静圧気体軸受。
【請求項１０】前記第１軸の固定体は第１給気用気道を含み、前記第２軸
の固定体は前記第１給気用気道に接続された第２給気用気道を含むことを特徴と
する請求項２記載の静圧気体軸受。
【請求項１１】前記第１軸の固定体は第１給気用気道を含み、前記第２軸
の固定体は前記第１給気用気道に接続された第２給気用気道を含むことを特徴と
する請求項４記載の静圧気体軸受。
【請求項１２】前記第１軸の移動体は、前記第１軸の固定体の第１給気用
気道と前記第２軸の固定体の第２給気用気道とを接続する給気用接続気道を含む
ことを特徴とする請求項１１記載の静圧気体軸受。
【請求項１３】前記第１軸の移動体は、前記第１軸の固定体の第１給気用
気道と前記第２軸の固定体の第２給気用気道とを接続する給気用接続気道を含む
ことを特徴とする請求項８記載の静圧気体軸受。
【請求項１４】前記第１軸の移動体は、前記第１軸の固定体の第１給気用
気道と前記第２軸の固定体の第２給気用気道とを接続する給気用接続気道を含む
ことを特徴とする請求項９記載の静圧気体軸受。
【請求項１５】前記第１軸の移動体は、前記第１軸の固定体の第１給気用
気道と前記第２軸の固定体の第２給気用気道とを接続する給気用接続気道を含む
ことを特徴とする請求項１０記載の静圧気体軸受。
【請求項１６】固定体と当該固定体に対して移動可能に搭載された移動体
とを有し、当該固定体が第１排気用気道を含む第１軸を設ける工程と、固定体と当該固定体に対して移動可能に搭載された移動体とを有し、当該固定
体は前記第１軸の移動体に取り付けられ、前記第１排気用気道に接続された第２
排気用気道を含む第２軸を設ける工程とを有することを特徴とする静圧気体軸受の製造方法。
【請求項１７】前記第１軸の移動体は、前記第１軸の固定体の第１排気用
気道と前記第２軸の固定体の第２排気用気道とを接続する排気用接続気道を含む
ことを特徴とする請求項１６記載の静圧気体軸受の製造方法。
【請求項１８】前記第１軸の固定体と移動体との間、及び、前記第２軸の
固定体と移動体との間のエアパッドが形成する浮上用気体は、前記第１排気用気
道及び前記第２排気用気道を通じて排気されることを特徴とする請求項１６記載
の静圧気体軸受の製造方法。
【請求項１９】前記第１軸及び前記第２軸の固定体の外周面は、前記第１
排気用気道及び前記第２排気用気道の各１つを接続する排気口を含み、前記第１
軸及び前記第２軸の移動体の内周面は、前記第１軸及び前記第２軸の固定体内の
前記排気口の各１つを接続する排気溝を含むことを特徴とする請求項１６記載の
静圧気体軸受の製造方法。
【請求項２０】前記第１軸の固定体は第１給気用気道を含み、前記第２軸
の固定体は前記第１給気用気道に接続された第２給気用気道を含むことを特徴と
する請求項１６記載の静圧気体軸受の製造方法。
【請求項２１】前記第１軸の移動体は、前記第１軸の固定体の第１給気用
気道と前記第２軸の固定体の第２給気用気道とを接続する給気用接続気道を含む
ことを特徴とする請求項２０記載の静圧気体軸受の製造方法。
【請求項２２】固定体と当該固定体に対して移動可能に搭載された移動体
とを有する第１軸と、固定体と当該固定体に対して移動可能に搭載された移動体
とを有し、当該固定体は前記第１軸の移動体に取り付けられている第２軸とを含
む２軸静圧気体軸受から浮上用気体を排気する方法であって、前記第１軸の固定体内に配置された第１排気用気道及び前記第２軸の固定体内
に配置された第２排気用気道を介して、前記第２軸の固定体と移動体との間に配
置されたエアパッドからの浮上用気体を排気する工程を有することを特徴とする
２軸静圧気体軸受から浮上用気体を排気する方法。
【請求項２３】前記第１軸の移動体は、前記第１軸の固定体の第１排気用
気道と前記第２軸の固定体の第２排気用気道とを接続する排気用接続気道を含む
ことを特徴とする請求項２２記載の２軸静圧気体軸受から浮上用気体を排気する
方法。
【請求項２４】前記第１軸及び前記第２軸の固定体の外周面は、前記第１
排気用気道及び前記第２排気用気道の各１つを接続する排気口を含み、前記第１
軸及び前記第２軸の移動体の内周面は、前記第１軸及び前記第２軸の固定体内の
前記排気口の各１つを接続する排気溝を含むことを特徴とする請求項２２記載の
２軸静圧気体軸受から浮上用気体を排気する方法。
【請求項２５】前記第１軸の固定体内に配置された第１給気用気道、及び
、前記第２軸の固定体内に配置され、前記第１給気用気道に接続された第２給気
用気道を通じて、前記第２軸の固定体と移動体との間のエアパッドに浮上用気体
を給気する工程を更に有することを特徴とする請求項２２記載の２軸静圧気体軸
受から浮上用気体を排気する方法。
【請求項２６】前記第１軸の移動体は、前記第１軸の固定体の第１給気用
気道と前記第２軸の固定体の第２給気用気道とを接続する給気用接続気道を含む
ことを特徴とする請求項２５記載の２軸静圧気体軸受から浮上用気体を排気する
方法。