JP4276667B2 - 搭載真空発生装置を有する真空予荷重空気軸受け - Google Patents
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Description
本概要は、半導体リソグラフィ技術の状況で提供される。この環境は、本発明の特定の特徴を最もよく例示するために選択された。しかし、環境は、添付請求の範囲で言及された特徴を越えて、本発明を制限するものと解釈してはならない。言うまでもなく、半導体リソグラフィ・ツールの状況以外に、本明細書で説明する特徴を有する空気軸受けの多数の使用法が、当業者には想像することができる。
図1Aおよび図1Bは、真空予加重空気軸受け100を示す。空気軸受け100は、圧縮気体入口120、および真空発生源174と接続する開口125を有する軸受け本体102を有する。空気軸受け100は、上に気体薄膜を維持する活性表面110も有する。図1Bで示すように、活性表面110は、揚力部分112と予荷重部分114に分割される。
図2は、真空発生装置200を示す。真空発生装置200は、空気を動力とするベンチュリ・ノズルである。圧縮気体は、面積A1を有する入口202にて、初期圧力P1および速度V1で真空発生装置200に入る。圧縮気体がベンチュリ・ノズル208ののど部に入ると、断面積A2が小さくなるので、気体速度V2が増加する。よく知られたベルヌーイの流体力学の式によると、流速が増加した結果として、気体の圧力が低下する。圧力の低下により、真空開口206に真空が形成される。ベンチュリ・ノズル200ののど部208を出た後、圧縮気体はベンチュリ・ノズル200の発散排出204部分に入り、これはのど部208より大きい断面を有する。気体膨張(熱力学的に不可逆的なプロセスである)に固有の摩擦損のせいで、流速が低下しても、圧力P2は入口における初期圧力P1まで戻らない。この時点で圧力が低下している圧縮気体は、発生した真空の結果として真空開口206を通って引き込まれる気体があれば、それと共に真空発生装置の排出部204へと進む。以下で説明するように、このような真空発生装置200は、真空予荷重空気軸受け100と一体化することができる。
図3Aから図3Fは、空気を動力とする一体の真空発生装置200を有する再構成可能な真空予荷重空気軸受けを示す。例えば図3Aで示すように、空気を動力とする真空発生装置200は、軸受け本体102内に配置され、その一体部品である。しかし、真空発生装置200は、空気軸受けの一体部品と見なされるために、軸受け本体102内に配管する必要はない。例えば、図5Aから図5Fは、軸受け本体102上に配置された一体の真空発生装置200を示す。さらに、複数の真空発生装置を単一の軸受け本体に一体化することができる。
再構成可能な空気軸受け(300SP、300Pおよび300S)に関して上述したように、真空発生装置200を軸受け本体102の内部に一体化する場合に実現可能な様々な構成がある。図4Aから図4Fは、再構成不可能な形態で同様の構成を示す。例えば、図4Aおよび図4Bは、再構成不可能な直列並列構成400SPを示す。300SPに関して上述した実施形態のように、空気軸受け400SP内では、圧縮気体が圧縮気体入口120を通って軸受け本体102に入る。圧縮気体は、真空発生装置200の入口202および第3組の流路140の両方へと配向され、後者は活性表面110の揚力部分112に供給する。空気で駆動する真空発生装置200からの低圧排出気体も、第3流路140を介して活性表面110の揚力部分112に配向される。図示のように、圧縮気体流絞り402は、第1流路150と第3組の流路140との間に配置され、したがって活性表面110の揚力部分112に供給する気体の圧力は、第1流路150から直接来ても、空気で駆動する真空発生装置200の排出部204から来てもほぼ同じである。
図5Aから図5Fは、図3Aから図3Fおよび図4Aから図4Fに関して上述したものとほぼ同じ構成を示す。しかし、図5Aから図5Fで示した実施形態では、空気で駆動する真空発生装置200は、軸受け本体102内ではなく軸受け本体102上に配置される。図示の実施形態は、図3および図4の対応する実施形態とほぼ同様の方法で機能する。図5Aから図5Fで示した構造の追加の利点は、図1で示すような真空予荷重空気軸受けは、一体化した真空発生装置200に追加するように改造することができる。
図6は、本発明の代替実施形態を示す。図6で示す方法によると、気体薄膜が空気軸受けの活性表面に供給される。ステップ605によると、圧縮気体を空気軸受けの本体で受ける。空気軸受けは、空気を動力とする一体の真空発生装置を有する。上述したように、真空発生装置は、空気軸受けの本体内に一体で配置されるか、空気軸受けの本体上に一体で配置することができる。
102 軸受け本体
110 活性表面
112 揚力部分
114 予荷重部分
120 圧縮気体入口
125 開口
127 可撓性ホース
130 第2気体流路
140 第3組の気体流路
150 第1気体流路
172 圧縮気体発生源
174 真空発生源
180 栓
200 真空発生装置
202 入口
204 排出部
206 真空開口
208 ベンチュリ・ノズル
300 空気軸受け
352 排出流絞り
354 低圧流絞り
356 高圧流絞り
400 空気軸受け
402 圧縮気体流絞り
Claims (15)
- ペイロードを支持する空気軸受けであって、
揚力部分と予荷重部分とに分割された活性表面を有する軸受け本体と、
軸受け本体内の複数の気体分配流路と、を備え、
複数の気体分配流路は、圧縮気体を受け取る第1流路と、活性表面の予荷重部分に真空を供給する第2流路と、活性表面の揚力部分に正圧を供給する第3流路と、を含み、
軸受け本体は、空気を動力とする一体の真空発生装置を有し、この真空発生装置は、第1流路に結合された入口と、第2流路に結合された真空開口と、第3流路に結合された排出部と、を具備する、
空気軸受け。 - 第3流路が真空発生装置の入口および排出部の両方に結合される、
請求項1に記載の空気軸受け。 - 空気を動力とする真空発生装置を軸受け本体上に配置する、
請求項1に記載の空気軸受け。 - 空気を動力とする真空発生装置を軸受け本体内に配置する、
請求項1に記載の空気軸受け。 - 真空発生装置の排気を使用して、空気軸受けの選択された部分を冷却する、
請求項1に記載の空気軸受け。 - 真空発生装置の排気を、選択された運動軸線に沿って配向し、それによって選択された動作軸沿いの動作を容易にする、請求項1に記載の空気軸受け。
- さらに、
第1流路と第3流路の間の高圧気体流絞りと、
真空発生装置の排出部と第3流路との間の低圧気体流絞りと、
真空発生装置の排出部から排出される圧縮気体を軸受け本体内に閉じ込める排出気体流絞りと、を有し、
各流絞りが、(i)真空発生装置と並列で供給される活性表面の揚力部分と、(ii)真空発生装置の排出部から直列で供給される活性表面の揚力部分と、(iii)真空発生装置の排出部から直列、および真空発生装置と並列との両方で供給される活性表面の揚力部分と、を有するグループから選択される活性表面の揚力部分に圧縮気体を供給するように位置決めされる、
請求項1に記載の空気軸受け。 - 活性表面の揚力部分が、圧縮気体が流れる別個の幾つかの開口を有する中実材料から形成される、
請求項1に記載の空気軸受け。 - 活性表面の揚力部分が、一様に分布して圧縮気体が流れる開口の連続体を有する多孔性材料から形成される、
請求項1に記載の空気軸受け。 - 気体薄膜を空気軸受けの活性表面に供給する方法であって、
圧縮気体を空気軸受けの本体内で受けることを含み、空気軸受けは、空気を動力とする一体の真空発生装置を有し、さらに、
圧縮気体を真空発生装置の入口に配向することと、
真空発生装置を使用して、活性表面の予荷重部分上に真空を引き込むことと、
圧縮気体を活性表面の揚力部分に提供することと、を含み、
提供するステップがさらに、圧縮気体を真空発生装置の排出部から活性表面の揚力部分へと配向することを含む、
方法。 - 提供するステップがさらに、圧縮気体を(i)活性表面の揚力部分へと直接、および(ii)真空発生装置の排出部から活性表面の揚力部分へと配向することを含む、
請求項10に記載の方法。 - 真空発生装置を空気軸受け上に配置する、
請求項10に記載の方法。 - 真空発生装置を空気軸受け内に配置する、
請求項10に記載の方法。 - 真空発生装置の排気を使用して、空気軸受けの選択された部分を冷却する、
請求項10に記載の方法。 - 真空発生装置の排気が、選択された動作軸線に沿って配向され、それによって選択された動作軸線沿いの動作を容易にする、
請求項10に記載の方法。
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