JP2011183245A - 超純水製造方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】有機物特に尿素を含有する原水を前処理システム10で前処理した後、反応槽11に導入し、水溶性臭化物塩と次亜塩素酸塩を添加して尿素を酸化分解処理する。この酸化分解処理水を活性炭塔12に通水して残留する次亜塩素酸塩を除去し、次いで脱炭酸塔13に通水し、脱炭酸と共にトリハロメタン除去を行う。この脱炭酸塔13の流出水を一次純水システム20及びサブシステム30で処理することにより超純水を製造する。
【選択図】図1
Description
図1に示す超純水製造装置により、工業用水を原水として超純水の製造を行った。この工業用水の尿素濃度は平均して45μg/Lである。
No2RO:回収率90%、膜種ES−20(日東電工製)
混床式イオン交換:非再生型 通水SV50hr−1
UF膜:回収率95%
ユースポイントTOC測定機器:Sivers500RL
脱炭酸塔を省略したこと以外は実施例1と同様にして超純水を製造した。得られた超純水のTOC濃度の平均値と、クロロホルム濃度の平均値と、尿素濃度の平均値を表1に示す。
臭化ナトリウム及び次亜塩素酸ナトリウムを添加しなかったこと以外は実施例1と同様にして超純水を製造した。得られた超純水のTOC濃度の平均値と、クロロホルム濃度の平均値と、尿素濃度の平均値を表1に示す。
11 反応槽
12 活性炭塔
13 脱炭酸塔
20 一次純水処理システム
30 サブシステム
Claims (2)
- 被処理水を一次純水システムで処理した後、サブシステムで処理する超純水製造方法において、被処理水に水溶性臭化物塩及び次亜塩素酸塩を添加して尿素を酸化分解した後、脱気処理し、この脱気処理水を該一次純水システムに供給することを特徴とする超純水製造方法。
- 一次純水システムと、該一次純水システムの処理水を処理するサブシステムとを備える超純水製造装置において、
被処理水に水溶性臭化物塩及び次亜塩素酸塩を添加して尿素を酸化分解する尿素分解手段と、
この尿素分解手段からの処理水を脱気する脱気手段とを備え、
この脱気手段からの処理水を一次純水システムに供給するよう構成したことを特徴とする超純水製造装置。
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