JP2011181657A - 反射型マスクおよびその修復方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 本発明は、EUV光を用いてマスクパターンをウェハ上に転写するためのEUV露光用の反射型マスクに関し、使用により汚染した反射型マスクを、洗浄することにより生じるEUV光反射率の低下に対し、EUV光反射率を元の反射率に復元することが可能な反射型マスクおよびその修復方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】 酸によるマスク洗浄を複数回繰り返すことによって削られたキャッピング層の上にEUV光の反射率を調整するための堆積膜を所定量形成することにより、上記課題を解決する。
【選択図】 図1
【解決手段】 酸によるマスク洗浄を複数回繰り返すことによって削られたキャッピング層の上にEUV光の反射率を調整するための堆積膜を所定量形成することにより、上記課題を解決する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、極端紫外光(Extreme Ultra Violet:以後、EUVと記す)を用いてマスクパターンをウェハ上に転写するためのEUV露光用の反射型マスクおよびその修復方法に関する。
半導体デバイスの微細化に伴い、現在、ArFエキシマレーザを用いた光学式の投影露光装置により、フォトマスクを用いてウェハ上にパターン転写する露光方法が行なわれている。しかし、これらの光学式の投影露光装置による露光方法では、いずれ解像限界に達するため、電子線描画装置による直描やインプリントリソグラフィやEUVリソグラフィのような新しいパターン形成方法が提案されている。
これらの新しいリソグラフィ技術の中でも、紫外線露光の短波長化の極限とみなされているEUV露光は、エキシマレーザよりもさらに短波長である波長13.5nm程度のEUV光を用いて通常1/4程度に縮小して露光する技術であり、半導体デバイス用の次世代リソグラフィ技術として注目されている。EUV露光においては、短波長のために屈折光学系が使用できないため、反射光学系が用いられ、マスクとしては反射型マスクが提案されている(例えば、特許文献1)。
従来のフォトマスクが、主に、光の透過部と遮光部でマスクパターンを形成していたのに対し、EUV露光用反射型マスク(以降、反射型マスクと記す)は、EUV光を反射する反射部とEUV光を吸収する吸収部とでマスクパターンを形成するマスクである。
図2は、従来の反射型マスクの一例を示す断面図である。
図2に示す反射型マスク10は、基板11上に多層膜構造でEUV光を反射する反射層12を有し、その上に反射層12の酸化防止やマスク洗浄時における保護層として作用するキャッピング層13を有し、その上にマスクパターン形成時のエッチングダメージを防止するためのバッファ層14が設けられ、さらにその上に吸収層15を有した構成になっている。
図2に示す反射型マスク10は、基板11上に多層膜構造でEUV光を反射する反射層12を有し、その上に反射層12の酸化防止やマスク洗浄時における保護層として作用するキャッピング層13を有し、その上にマスクパターン形成時のエッチングダメージを防止するためのバッファ層14が設けられ、さらにその上に吸収層15を有した構成になっている。
EUV光を効率的に反射するために、反射層12は、一般に、Mo(モリブデン)層(2.8nm厚)とSi(シリコン)層(4.2nm厚)を一組の層として40層に及ぶ多層膜構造をしているが、このMo層は酸化されやすく、もし、反射層12表面のMo層が酸化されてしまうと、反射型マスク10のEUV光反射率は低下してしまうことになる。
そこで、このMo層が酸化されることを防止するため、および、マスク洗浄時における保護層としてキャッピング層13が設けられる。キャッピング層13の材料としては、Si(シリコン)やRu(ルテニウム)が提案されている(例えば、特許文献2)。
そこで、このMo層が酸化されることを防止するため、および、マスク洗浄時における保護層としてキャッピング層13が設けられる。キャッピング層13の材料としては、Si(シリコン)やRu(ルテニウム)が提案されている(例えば、特許文献2)。
ただし、キャッピング層自体も、反射型マスクのEUV光の反射率を低下させてしまうため、その膜厚は適切に制御されていなければならない。
図3は、キャッピング層にSiを用いた場合のキャッピング層の膜厚とEUV光の反射率との関係を示す図である。
図3に示すように、EUV光の反射率は、キャッピング層の膜厚が増加するに伴い減少していくものの、キャッピング層が薄膜であるため、単調に減少するのではなく、光の干渉効果により、増減を繰り返す形態となる。
それゆえ、Siキャッピング層の膜厚は、通常11nmに設計されている。これは、図3に示す波形の第2のピークとなる膜厚に相当する(図中、破線で示す)。
図3は、キャッピング層にSiを用いた場合のキャッピング層の膜厚とEUV光の反射率との関係を示す図である。
図3に示すように、EUV光の反射率は、キャッピング層の膜厚が増加するに伴い減少していくものの、キャッピング層が薄膜であるため、単調に減少するのではなく、光の干渉効果により、増減を繰り返す形態となる。
それゆえ、Siキャッピング層の膜厚は、通常11nmに設計されている。これは、図3に示す波形の第2のピークとなる膜厚に相当する(図中、破線で示す)。
ここで、キャッピング層の膜厚を、図3に示す波形の第1のピークとなる膜厚(4nm)に設計しない理由は、このキャッピング層は、反射層を保護する最後の砦であり、下層のMo層が露出するとMoが酸化されて反射率を低下させてしまうが、一旦Moが酸化されてしまうと、もはや現状では修復方法が無いのに対し、膜厚4nmでは薄過ぎて制御が困難なことや、後に記す、洗浄での膜減りの問題があるからである。
一方、キャッピング層の材料としてRuも提案されているが、RuはSiよりもEUV光の反射率が低いため、キャッピング層にRuを用いる場合には、マスク全体として反射率を向上させるために、キャッピング層をより薄膜に形成する必要があり(例えば2.5nm)、精度確保や信頼性確保にはSiよりも困難性が伴う。
また、Ruはオゾンに弱いため、例えば、反射型マスク製造工程で、レジスト剥離時に酸素プラズマによるアッシングを行い難いという欠点もある。
また、Ruはオゾンに弱いため、例えば、反射型マスク製造工程で、レジスト剥離時に酸素プラズマによるアッシングを行い難いという欠点もある。
ところで、一般に、リソグラフィで使用されるマスクは、使用しているうちに付着物等により汚染されるため、実用化にはマスク洗浄できることが不可欠となる。
ここで、反射型マスクを搭載するEUV露光装置は、EUV光の吸収散乱を避けるためその内部は高真空に維持されているものの、被転写体であるウェハに塗布されているレジストに起因する汚染を避けることは困難である。
また、EUV光を効率よく透過するペリクル膜は、現在見出されておらず、既存のフォトマスクで使用されるようなペリクルを、この反射型マスクに使用することはできないため、反射型マスクにおいては、パーティクル付着による汚染の確率が、一般のフォトマスクより高くなる。したがって、反射型マスクでは、従来のフォトマスクと比較して洗浄回数が増えることになり、高い洗浄耐性が必要とされている。
そして、上述のキャッピング層は、マスク洗浄時における反射層の保護層としても作用する。
ここで、反射型マスクを搭載するEUV露光装置は、EUV光の吸収散乱を避けるためその内部は高真空に維持されているものの、被転写体であるウェハに塗布されているレジストに起因する汚染を避けることは困難である。
また、EUV光を効率よく透過するペリクル膜は、現在見出されておらず、既存のフォトマスクで使用されるようなペリクルを、この反射型マスクに使用することはできないため、反射型マスクにおいては、パーティクル付着による汚染の確率が、一般のフォトマスクより高くなる。したがって、反射型マスクでは、従来のフォトマスクと比較して洗浄回数が増えることになり、高い洗浄耐性が必要とされている。
そして、上述のキャッピング層は、マスク洗浄時における反射層の保護層としても作用する。
しかしながら、キャッピング層もマスク洗浄によって削られてしまうという課題がある。例えば、Siキャッピング層の場合、従来、洗浄に用いられてきた酸とアルカリによる洗浄では、Siが酸化されて酸化シリコンになり、その酸化シリコンがアルカリで溶かされてしまい、これを繰り返せば、いずれSiキャッピング層は消失し、Mo層が露出してしまうことになる。
例えば、図4に模式的に示すように、一般的な硫酸と過酸化水素による洗浄と、一般的なアルカリ洗浄の2種の洗浄工程を1サイクルとして、これを10サイクル程度繰り返した場合、Siキャッピング層が1.5nm程度削られてしまうことが判明した。そして、Siキャッピング層が、設計の11nm厚から1.5nm削られて、9.5nm厚になると、反射型マスクのEUV光反射率は1%程度低下することになる(図3)。
本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、マスク洗浄を繰り返すことによってEUV光の反射率が低下してしまった反射型マスクの反射率を、元の反射率に復元することが可能な反射型マスクおよびその修復方法を提供することである。
本発明者は、種々研究した結果、マスク洗浄によって削られたキャッピング層の上に
EUV光の反射率を調整するための堆積膜を形成することにより、上記課題を解決できることを見出して本発明を完成したものである。
EUV光の反射率を調整するための堆積膜を形成することにより、上記課題を解決できることを見出して本発明を完成したものである。
すなわち、本発明の請求項1に係る発明は、基板の一方の主面上に、EUV光を反射する多層膜からなる反射層と、前記反射層の上に反射層を酸化から保護するためのキャッピング層と、前記キャッピング層の上にパターン状に形成したEUV光を吸収する吸収層を、少なくとも設けてなるEUV露光用の反射型マスクであって、前記キャッピング層の上に、EUV光の反射率を調整するための堆積膜を有することを特徴とする反射型マスクである。
また、本発明の請求項2に係る発明は、前記堆積膜が、前記キャッピング層と同じ材料からなり、前記堆積膜の厚さが、前記反射型マスクの洗浄工程で消失した前記キャッピング層の厚さと同じであることを特徴とする請求項1に記載の反射型マスクである。
また、本発明の請求項3に係る発明は、前記堆積膜が、シリコンからなることを特徴とする請求項1〜2のいずれかに記載の反射型マスクである。
また、本発明の請求項4に係る発明は、基板の一方の主面上に、EUV光を反射する多層膜からなる反射層と、前記反射層の上に反射層を酸化から保護するためのキャッピング層と、前記キャッピング層の上にパターン状に形成したEUV光を吸収する吸収層を、少なくとも設けてなるEUV露光用の反射型マスクを、硫酸で洗浄した後に、前記洗浄で消失した前記キャッピング層の厚さと同じ厚さのシリコンを、真空成膜により堆積させたことを特徴とする反射型マスクの修復方法である。
本発明によれば、マスク洗浄によって削られたキャッピング層は修復されて、低下した反射型マスクのEUV光反射率を復元することができるため、より多くの回数、若しくは、より強い条件の洗浄を行うことができ、結果、反射型マスクの寿命を延長させることができる。
以下、本発明に係る反射型マスクおよびその修復方法について詳細に説明する。
<反射型マスク>
まず、本発明に係る反射型マスクについて説明する。
図1は、本発明に係る反射型マスクの一例を示す概略断面図である。
図1に示す反射型マスク1は、基板2の一方の主面上に、多層膜構造でEUV光を反射する反射層3を有し、その上に反射層3の酸化防止やマスク洗浄時における保護のための保護層として作用するキャッピング層4が設けられ、次いでマスクパターン形成時のエッチング停止層として作用するバッファ層5が設けられ、さらにその上にEUV光を吸収する吸収層6を有し、マスク洗浄により削られたキャッピング層4の部分には、EUV光の反射率を調整するための堆積膜7が設けられた構成になっている。
まず、本発明に係る反射型マスクについて説明する。
図1は、本発明に係る反射型マスクの一例を示す概略断面図である。
図1に示す反射型マスク1は、基板2の一方の主面上に、多層膜構造でEUV光を反射する反射層3を有し、その上に反射層3の酸化防止やマスク洗浄時における保護のための保護層として作用するキャッピング層4が設けられ、次いでマスクパターン形成時のエッチング停止層として作用するバッファ層5が設けられ、さらにその上にEUV光を吸収する吸収層6を有し、マスク洗浄により削られたキャッピング層4の部分には、EUV光の反射率を調整するための堆積膜7が設けられた構成になっている。
ここで、図1においては、堆積膜7は吸収層6の表面にも堆積しているが、EUV露光において、この吸収層6の表面に形成された堆積膜7は、極めて薄膜(例えば1.5nm厚)であるため、パターン転写に影響を及ぼさないので問題にはならない。なお、この吸収層6の表面に形成された堆積膜7は、除去されていても良い。マスク洗浄により削られたキャッピング層4の部分にさえ、堆積膜7が設けられていれば、本発明の効果を奏することができるからである。これは、吸収層6の側面においても同様である。
このような構成とすることにより、本発明に係る反射型マスクは、マスク洗浄によって削られたキャッピング層を、EUV光の反射率を調整するための堆積物で修復しているため、EUV光の反射率を当初の反射率と同じにすることができる。
また、この堆積膜7を、キャッピング層4と同じ材料を用いて形成する場合には、堆積膜7の厚さを、マスクの洗浄工程で消失したキャッピング層4の厚さと同じに調整することで、EUV光の反射率を当初の膜厚のキャッピング層の反射率と同じにすることができる。例えば、キャッピング層4がSiであれば、堆積膜7としてSiを形成すればよい。
<反射型マスクの修復方法>
次に、本発明に係る反射型マスクの修復方法について説明する。
まず、洗浄後の反射型マスクのEUV光の反射率を推定し、所望の反射率を得るための堆積膜の成膜量を見積もり、次いで、スパッタ法、蒸着法、化学気相法(CVD法)などの真空成膜技術を用いて、キャッピング層の上に所定の堆積膜を形成する。
洗浄後の反射型マスクのEUV光の反射率は、例えば、波長257nmのDUV(Deep Ultraviolet:遠紫外線)光を照射して、その反射率の変化量から推定することができる。
また、予め、テスト用の反射型マスクを用いて、破壊検査である断面SEM観察やAFM計測等の方法により、洗浄によるキャッピング層の消失量を経験的に求めておき、実製品の反射型マスクにおいては、洗浄回数に応じて、上述の方法で得た消失量に相当する量を堆積させても良い。
なお、形成した堆積膜が所定よりも厚くなってしまった場合には、マスク洗浄と同じ条件でエッチングすることにより、膜厚を調整することも可能である。
次に、本発明に係る反射型マスクの修復方法について説明する。
まず、洗浄後の反射型マスクのEUV光の反射率を推定し、所望の反射率を得るための堆積膜の成膜量を見積もり、次いで、スパッタ法、蒸着法、化学気相法(CVD法)などの真空成膜技術を用いて、キャッピング層の上に所定の堆積膜を形成する。
洗浄後の反射型マスクのEUV光の反射率は、例えば、波長257nmのDUV(Deep Ultraviolet:遠紫外線)光を照射して、その反射率の変化量から推定することができる。
また、予め、テスト用の反射型マスクを用いて、破壊検査である断面SEM観察やAFM計測等の方法により、洗浄によるキャッピング層の消失量を経験的に求めておき、実製品の反射型マスクにおいては、洗浄回数に応じて、上述の方法で得た消失量に相当する量を堆積させても良い。
なお、形成した堆積膜が所定よりも厚くなってしまった場合には、マスク洗浄と同じ条件でエッチングすることにより、膜厚を調整することも可能である。
<反射型マスクの構成要素>
次に、本発明に係る反射型マスクを構成する要素について説明する。
次に、本発明に係る反射型マスクを構成する要素について説明する。
(基板)
本発明の反射型マスクを構成する基板2としては、パターン位置精度を高精度に保持するために低熱膨張係数を有し、高反射率および転写精度を得るために平滑性、平坦度が高く、マスク製造工程の洗浄などに用いる洗浄液への耐性に優れたものが好ましく、石英ガラス、SiO2−TiO2系の低熱膨張ガラス、β石英固溶体を析出した結晶化ガラスなどのガラス基板、さらにはシリコンを用いることもできる。マスクブランクスの平坦度としては、例えば、パターン領域において50nm以下が求められている。
本発明の反射型マスクを構成する基板2としては、パターン位置精度を高精度に保持するために低熱膨張係数を有し、高反射率および転写精度を得るために平滑性、平坦度が高く、マスク製造工程の洗浄などに用いる洗浄液への耐性に優れたものが好ましく、石英ガラス、SiO2−TiO2系の低熱膨張ガラス、β石英固溶体を析出した結晶化ガラスなどのガラス基板、さらにはシリコンを用いることもできる。マスクブランクスの平坦度としては、例えば、パターン領域において50nm以下が求められている。
(反射層)
反射層3は、EUV露光に用いられるEUV光を高い反射率で反射する材料が用いられ、Mo(モリブデン)層とSi(シリコン)層からなる多層膜が多用されており、例えば、2.8nm厚のMo層と4.2nm厚のSi層を各40層積層した多層膜よりなる反射層が挙げられる。それ以外には、特定の波長域で高い反射率が得られる材料として、Ru/Si、Mo/Be、Mo化合物/Si化合物、Si/Nb周期多層膜、Si/Mo/Ru周期多層膜、Si/Mo/Ru/Mo周期多層膜およびSi/Ru/Mo/Ru周期多層膜なども用いることができる。ただし、材料によって最適な膜厚は異なる。Mo層とSi層からなる多層膜の場合、DCマグネトロンスパッタ法により、まずSiターゲットを用いて、Arガス雰囲気下でSi層を成膜し、その後、Moターゲットを用いて、Arガス雰囲気下でMo層を成膜し、これを1周期として、30〜60周期、好ましくは40周期積層されて、多層膜の反射層が得られる。上記のように、EUV光を高い反射率で反射させるために、13.5nmのEUV光を入射角6.0度で入射したときの反射層3の反射率は、通常、60%以上を示すように設定されている。
反射層3は、EUV露光に用いられるEUV光を高い反射率で反射する材料が用いられ、Mo(モリブデン)層とSi(シリコン)層からなる多層膜が多用されており、例えば、2.8nm厚のMo層と4.2nm厚のSi層を各40層積層した多層膜よりなる反射層が挙げられる。それ以外には、特定の波長域で高い反射率が得られる材料として、Ru/Si、Mo/Be、Mo化合物/Si化合物、Si/Nb周期多層膜、Si/Mo/Ru周期多層膜、Si/Mo/Ru/Mo周期多層膜およびSi/Ru/Mo/Ru周期多層膜なども用いることができる。ただし、材料によって最適な膜厚は異なる。Mo層とSi層からなる多層膜の場合、DCマグネトロンスパッタ法により、まずSiターゲットを用いて、Arガス雰囲気下でSi層を成膜し、その後、Moターゲットを用いて、Arガス雰囲気下でMo層を成膜し、これを1周期として、30〜60周期、好ましくは40周期積層されて、多層膜の反射層が得られる。上記のように、EUV光を高い反射率で反射させるために、13.5nmのEUV光を入射角6.0度で入射したときの反射層3の反射率は、通常、60%以上を示すように設定されている。
(キャッピング層)
反射層3の反射率を高めるには屈折率の大きいMo層を最上層とするのが好ましいが、Moは大気で酸化され易く、反射率が低下するので、酸化防止やマスク洗浄時における保護のための保護層として、スパッタリング法などによりSiやRu(ルテニウム)を成膜し、キャッピング層4を設けることが行われている。例えば、キャッピング層4としてSiを用いる場合は、反射層3の最上層に11nmの厚さで設けられる。
反射層3の反射率を高めるには屈折率の大きいMo層を最上層とするのが好ましいが、Moは大気で酸化され易く、反射率が低下するので、酸化防止やマスク洗浄時における保護のための保護層として、スパッタリング法などによりSiやRu(ルテニウム)を成膜し、キャッピング層4を設けることが行われている。例えば、キャッピング層4としてSiを用いる場合は、反射層3の最上層に11nmの厚さで設けられる。
(バッファ層)
EUV露光に用いられるEUV光を吸収する吸収層6をドライエッチングなどの方法でパターンエッチングするときに、下層の反射層3に損傷を与えるのを防止するために、通常、反射層3と吸収層6との間にバッファ層5が設けられる。バッファ層5の材料としてはSiO2、Al2O3、Cr、CrNなどが用いられる。CrNを用いる場合は、RFマグネトロンスパッタ法によりCrターゲットを用いてN2ガス雰囲気下で、上記の反射層の上にCrN膜を5nm〜15nm程度の膜厚で成膜するのが好ましい。
EUV露光に用いられるEUV光を吸収する吸収層6をドライエッチングなどの方法でパターンエッチングするときに、下層の反射層3に損傷を与えるのを防止するために、通常、反射層3と吸収層6との間にバッファ層5が設けられる。バッファ層5の材料としてはSiO2、Al2O3、Cr、CrNなどが用いられる。CrNを用いる場合は、RFマグネトロンスパッタ法によりCrターゲットを用いてN2ガス雰囲気下で、上記の反射層の上にCrN膜を5nm〜15nm程度の膜厚で成膜するのが好ましい。
(吸収層)
マスクパターンを形成し、EUV光を吸収する吸収層6の材料としては、Ta、TaB、TaBNなどのTaを主成分とする材料、Cr、Crを主成分としN、O、Cから選ばれる少なくとも1つの成分を含有する材料などが、膜厚20nm〜100nm程度の範囲で用いられる。
マスクパターンを形成し、EUV光を吸収する吸収層6の材料としては、Ta、TaB、TaBNなどのTaを主成分とする材料、Cr、Crを主成分としN、O、Cから選ばれる少なくとも1つの成分を含有する材料などが、膜厚20nm〜100nm程度の範囲で用いられる。
(堆積膜)
キャッピング層4はマスク洗浄によって削られてしまい、EUV光の反射率が低下してしまう。そこで、EUV光の反射率を元の値に調整するために、堆積膜7が、削られたキャッピング層4を埋めるように設けられる。
堆積膜7の材料としては、SiやRuなどであり、キャッピング層と同じ材料とすることが好ましく、キャッピング層と同じ材料を用いる場合、堆積膜7の厚さは、キャッピング層4の削られた厚さと同じにするのが好ましい。
キャッピング層4はマスク洗浄によって削られてしまい、EUV光の反射率が低下してしまう。そこで、EUV光の反射率を元の値に調整するために、堆積膜7が、削られたキャッピング層4を埋めるように設けられる。
堆積膜7の材料としては、SiやRuなどであり、キャッピング層と同じ材料とすることが好ましく、キャッピング層と同じ材料を用いる場合、堆積膜7の厚さは、キャッピング層4の削られた厚さと同じにするのが好ましい。
(ハードマスク層)
吸収層6の上には、吸収層のエッチングマスクとしてハードマスク層を設けても良い。ハードマスク層の材料としては、吸収層6のエッチングに耐性をもつものであって、反射型マスクの転写パターンに応じた微細加工に適したものを用いる必要がある。例えば、クロム(Cr)、ジルコニウム(Zr)、ハフニュウム(Hf)およびその窒化物、酸化物などである。
また、ハードマスク層の材料は、バッファ層5と同一の材料であることが好ましい。この場合、吸収層6のエッチングの後に、ハードマスク層の除去とバッファ層5の除去とを同一工程で除去できる。
ハードマスク層の厚さは、その材料のエッチング耐性や転写パターンのサイズに応じた加工精度にもよるが、例えば5nm〜15nmである。
ハードマスク層は、例えば、Arと窒素の混合ガス雰囲気下で、Crをスパッタ成膜することで、CrNからなるハードマスク層を設けることができる。
吸収層6の上には、吸収層のエッチングマスクとしてハードマスク層を設けても良い。ハードマスク層の材料としては、吸収層6のエッチングに耐性をもつものであって、反射型マスクの転写パターンに応じた微細加工に適したものを用いる必要がある。例えば、クロム(Cr)、ジルコニウム(Zr)、ハフニュウム(Hf)およびその窒化物、酸化物などである。
また、ハードマスク層の材料は、バッファ層5と同一の材料であることが好ましい。この場合、吸収層6のエッチングの後に、ハードマスク層の除去とバッファ層5の除去とを同一工程で除去できる。
ハードマスク層の厚さは、その材料のエッチング耐性や転写パターンのサイズに応じた加工精度にもよるが、例えば5nm〜15nmである。
ハードマスク層は、例えば、Arと窒素の混合ガス雰囲気下で、Crをスパッタ成膜することで、CrNからなるハードマスク層を設けることができる。
(導電層)
基板2の一方の主面上に設けられたマスクパターンと相対する他方の主面上には、導電層が形成されていてもよい。この導電層は、反射型マスクの裏面を静電吸着するために、設けられるものである。この導電層は、導電性を示す金属や金属窒化物などの薄膜であって、例えば、クロム(Cr)や窒化クロム(CrN)などを厚さ20nm〜150nm程度に成膜して用いられる。
基板2の一方の主面上に設けられたマスクパターンと相対する他方の主面上には、導電層が形成されていてもよい。この導電層は、反射型マスクの裏面を静電吸着するために、設けられるものである。この導電層は、導電性を示す金属や金属窒化物などの薄膜であって、例えば、クロム(Cr)や窒化クロム(CrN)などを厚さ20nm〜150nm程度に成膜して用いられる。
以上、本発明に係る反射型マスクおよびその修復方法について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と、実質的に同一の構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなる場合であっても本発明の技術的範囲に包含される。
以下、実施例を用いて、本発明をさらに具体的に説明する。
(実施例1)
基板2として、光学研磨された大きさ6インチ角(厚さ0.25インチ)の合成石英基板を用い、その一方の主面(表面)上に、DCマグネトロンスパッタ法により、Arガス雰囲気下で、Siターゲットを用いてSi膜を4.2nm成膜し、続いてMoターゲットを用いてMo膜を2.8nm成膜し、これを1周期として40周期積層してMoとSiの多層膜よりなる反射層3を形成した後、最表面のMo膜の上にSi膜を11nm成膜してキャッピング層4を形成した。
(実施例1)
基板2として、光学研磨された大きさ6インチ角(厚さ0.25インチ)の合成石英基板を用い、その一方の主面(表面)上に、DCマグネトロンスパッタ法により、Arガス雰囲気下で、Siターゲットを用いてSi膜を4.2nm成膜し、続いてMoターゲットを用いてMo膜を2.8nm成膜し、これを1周期として40周期積層してMoとSiの多層膜よりなる反射層3を形成した後、最表面のMo膜の上にSi膜を11nm成膜してキャッピング層4を形成した。
次に、上記のSi膜の上に、RFマグネトロンスパッタ法によりCrターゲットを用いてN2雰囲気下で、CrN膜をバッファ層5として10nmの厚さに成膜し、続いて、上記のCrN膜上に、DCマグネトロンスパッタ法により、TaおよびBを含むターゲットを用いて、Arと窒素の混合ガス雰囲気下で、TaBN膜を80nmの厚さで形成し、EUV光を吸収する吸収層6とし、反射型マスクブランクスを得た。
次に、この反射型マスクブランクスを用い、EBレジストを塗布し、EB描画してレジストパターンを形成した。次いで、TaBNの吸収層6をCl2ガスでドライエッチングし、さらにCrNのバッファ層5をCl2と酸素との混合ガスでドライエッチングしてキャッピング層4を露出させ、レジストパターンを剥膜して、反射型マスクを得た。
この反射型マスクを用いて、一般的な硫酸と過酸化水素による洗浄と、一般的なアルカリ洗浄の2種の洗浄工程を1サイクルとして、これを10サイクル繰り返したところ、Siキャッピング層が、設計の11nm厚から1.5nm削られて9.5nm厚になった。
次に、上記洗浄後の反射型マスクのキャッピング層4上に、堆積膜7としてSi膜を1.5nm厚さで成膜して、洗浄により削られたキャッピング層4を修復し、本発明に係る反射型マスク1を得た。
1 反射型マスク
2 基板
3 反射層
4 キャッピング層
5 バッファ層
6 吸収層
7 堆積膜
10、20 反射型マスク
11 基板
12 反射層
13 キャッピング層
14 バッファ層
15 吸収層
2 基板
3 反射層
4 キャッピング層
5 バッファ層
6 吸収層
7 堆積膜
10、20 反射型マスク
11 基板
12 反射層
13 キャッピング層
14 バッファ層
15 吸収層
Claims (4)
- 基板の一方の主面上に、EUV光を反射する多層膜からなる反射層と、
前記反射層の上に反射層を酸化から保護するためのキャッピング層と、
前記キャッピング層の上にパターン状に形成したEUV光を吸収する吸収層を、
少なくとも設けてなるEUV露光用の反射型マスクであって、
前記キャッピング層の上に、
EUV光の反射率を調整するための堆積膜を有することを特徴とする反射型マスク。 - 前記堆積膜が、
前記キャッピング層と同じ材料からなり、
前記堆積膜の厚さが、
前記反射型マスクの洗浄工程で消失した前記キャッピング層の厚さと同じであることを特徴とする請求項1に記載の反射型マスク。 - 前記堆積膜が、シリコンからなることを特徴とする請求項1〜2のいずれかに記載の反射型マスク。
- 基板の一方の主面上に、EUV光を反射する多層膜からなる反射層と、
前記反射層の上に反射層を酸化から保護するためのキャッピング層と、
前記キャッピング層の上にパターン状に形成したEUV光を吸収する吸収層を、
少なくとも設けてなるEUV露光用の反射型マスクを、
硫酸で洗浄した後に、
前記洗浄で消失した前記キャッピング層の厚さと同じ厚さのシリコンを、
真空成膜により堆積させたことを特徴とする反射型マスクの修復方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010044034A JP2011181657A (ja) | 2010-03-01 | 2010-03-01 | 反射型マスクおよびその修復方法 |
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014112706A (ja) * | 2011-10-28 | 2014-06-19 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Euvリソグラフィ用の光学機構及び該光学機構を構成する方法 |
WO2015012151A1 (ja) * | 2013-07-22 | 2015-01-29 | Hoya株式会社 | 多層反射膜付き基板、euvリソグラフィー用反射型マスクブランク、euvリソグラフィー用反射型マスク及びその製造方法、並びに半導体装置の製造方法 |
US8999612B2 (en) | 2012-03-28 | 2015-04-07 | Shibaura Mechatronics Corporation | Method for manufacturing reflective mask and apparatus for manufacturing reflective mask |
KR20160132068A (ko) | 2014-03-11 | 2016-11-16 | 시바우라 메카트로닉스 가부시끼가이샤 | 반사형 마스크의 세정 장치 및 반사형 마스크의 세정 방법 |
-
2010
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014112706A (ja) * | 2011-10-28 | 2014-06-19 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Euvリソグラフィ用の光学機構及び該光学機構を構成する方法 |
US8999612B2 (en) | 2012-03-28 | 2015-04-07 | Shibaura Mechatronics Corporation | Method for manufacturing reflective mask and apparatus for manufacturing reflective mask |
US9513557B2 (en) | 2012-03-28 | 2016-12-06 | Shibaura Mechatronics Corporation | Method for manufacturing reflective mask and apparatus for manufacturing reflective mask |
WO2015012151A1 (ja) * | 2013-07-22 | 2015-01-29 | Hoya株式会社 | 多層反射膜付き基板、euvリソグラフィー用反射型マスクブランク、euvリソグラフィー用反射型マスク及びその製造方法、並びに半導体装置の製造方法 |
US9740091B2 (en) | 2013-07-22 | 2017-08-22 | Hoya Corporation | Substrate with multilayer reflective film, reflective mask blank for EUV lithography, reflective mask for EUV lithography, and method of manufacturing the same, and method of manufacturing a semiconductor device |
KR20160132068A (ko) | 2014-03-11 | 2016-11-16 | 시바우라 메카트로닉스 가부시끼가이샤 | 반사형 마스크의 세정 장치 및 반사형 마스크의 세정 방법 |
US11609491B2 (en) | 2014-03-11 | 2023-03-21 | Shibaura Mechatronics Corporation | Reflective mask cleaning apparatus and reflective mask cleaning method |
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