JP2011180528A - Memsミラー制御装置 - Google Patents
Memsミラー制御装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011180528A JP2011180528A JP2010047017A JP2010047017A JP2011180528A JP 2011180528 A JP2011180528 A JP 2011180528A JP 2010047017 A JP2010047017 A JP 2010047017A JP 2010047017 A JP2010047017 A JP 2010047017A JP 2011180528 A JP2011180528 A JP 2011180528A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable body
- vibration
- control device
- mems mirror
- mirror control
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Micromachines (AREA)
Abstract
【課題】 駆動コイルに電気信号を印加することによって可動体に発生する振動を機械的な制動機構を用いずに短時間に抑制することにある。
【解決手段】 反射ミラー14を有する可動体14が磁束の方向と直交する方向に配置されたトーションバー13a,13bに支持され、可動体の面部に施された駆動コイル21に入力される電気信号レベルに応じて可動体が所定の振角で揺動するMEMSミラーにおいて、駆動コイル21に電気信号を印加したとき、可動体やトーションバーの機械的要素に起因して当該可動体に発生する共振周波数の振動を検出し反転して駆動コイル21と併設される振動抑制コイル33に加えて抑制する振動抑制制御部30を備えたMEMSミラー制御装置である。
【選択図】図3
【解決手段】 反射ミラー14を有する可動体14が磁束の方向と直交する方向に配置されたトーションバー13a,13bに支持され、可動体の面部に施された駆動コイル21に入力される電気信号レベルに応じて可動体が所定の振角で揺動するMEMSミラーにおいて、駆動コイル21に電気信号を印加したとき、可動体やトーションバーの機械的要素に起因して当該可動体に発生する共振周波数の振動を検出し反転して駆動コイル21と併設される振動抑制コイル33に加えて抑制する振動抑制制御部30を備えたMEMSミラー制御装置である。
【選択図】図3
Description
本発明は、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems:微小電気機械システム)技術を用いて製造されるMEMSミラーを安定な振角で揺動させるMEMSミラー制御装置に関する。
MEMSは、電気と機械を融合した微小電気機械システムであって、半導体の製造技術を応用した微細加工技術で作られるものである。
MEMS技術で製造されるMEMSミラーは、超小型軽量、高速動作、低消費電力に優れたものであって、その用途としては例えば光通信での光スイッチ、バーコードスキャナやレーザースキャンプロジェクタなどに用いられる。
MEMSミラーは、反射ミラーを有する可動体と、この可動体を揺動可能に支持するトーションバーと、前記可動体の周縁部に形成される駆動コイルとで構成され、電気信号の印加によって駆動コイルから発生するローレンツ力により可動体を揺動させるが、このとき、ローレンツ力とトーションバーの復元力とがつりあう位置まで可動体を揺動させる構造である。なお、トーションバーの基端部は、可動体を囲むように配置された固定体に接合される。
しかしながら、以上のようなMEMSミラーは、可動体を所定の傾きにする電気信号を印加後、その電気信号レベルが一定となっても、重量のある可動体やトーションバーなどの機械的要素に起因した共振周波数によって可動体が振動し、その振動が収まるまでの時間が長くなる。その結果、MEMSミラーの高速応答が阻害され、本来有する高速動作を十分に活かせない問題がある。
そこで、近年、反射ミラーを実装した可動体の共振動作を抑える技術が提案されている。
この可動体の共振動作抑制技術は、可動体の近傍にストッパを先端に設けたL字状のアーム及びこのアームに併設されるストッパ用電極を設け、電気信号を駆動コイルに印加したとき、ストッパ用電極にも駆動電圧を印加し、前記アームを所定位置まで押し出し、アーム先端のストッパで可動体の一側面に圧接することにより、可動体の共振動作を止める構成である(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、特許文献1の技術によれば、可動体の一側面に対してアーム先端から折り曲げられたストッパを押し付けて可動体の共振動作を抑える構造であるので、例えば周囲の温度変化等によってアーム部分の強度や弾力性が徐々に低下し、ストッパへ所定の押し付け力を付与することが難しくなる。また、ストッパが可動体の一側面を繰り返し押し付けるため、ストッパ先端及び可動体のストッパ接触部分が擦れて摩耗し、制動能力が大きく低下する問題がある。
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、駆動コイルに電気信号を印加した際に可動体に発生する共振周波数の振動を機械的な制動機構を用いずに短時間に抑制するMEMSミラー制御装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明は、反射ミラーを有する可動体が磁束の方向と直交する方向に配置されたトーションバーに支持され、前記可動体の面部に施された駆動コイルに入力される電気信号レベルに応じて前記可動体が所定の振角で揺動するMEMSミラーにおいて、前記駆動コイルに前記電気信号が入力されたとき、前記可動体やトーションバーの機械的要素に起因して当該可動体に発生する共振周波数の振動を抑制する振動抑制制御部を設けたMEMSミラー制御装置である。
なお、前記振動抑制制御部としては、前記可動体に発生する共振周波数の振動成分を検出する振動センサと、この振動センサで検出された前記共振周波数の振動成分を反転させて出力する反転増幅回路と、反転出力信号を受けて前記振動成分を抑制する振動抑制コイルとを備えた構成である。
本発明によれば、駆動コイルに電気信号を印加した際に可動体に発生する共振周波数の振動を機械的な制動機構を用いることなく、短時間に電気的に抑制処理できるMEMSミラー制御装置を提供できる。
以下、本発明に係るMEMSミラー制御装置の一実施形態について、図1ないし図3を参照して説明する。図1はMEMSミラー制御装置のうち主としてミラー揺動機構部を示す上面図、図2は図1に示すA−A矢印方向から見た図、図3はMEMSミラー制御装置に関する電気的構成を示す図である。
このMEMSミラー制御装置は、反射ミラーを揺動可能に組み込んだミラー揺動機構部(MEMSミラー)10と、反射ミラーを所定の振角で揺動制御する駆動制御部20と、この駆動制御部20による駆動制御の初期時に発生する振動を抑制する振動抑制制御部30とで構成される。
先ず、ミラー揺動機構部10について説明する。
ミラー揺動機構部10は、所望とする強度を有する例えば方形のリング状に形成された基板などからなる固定体11が設けられている。固定体11は、方形のリング状である必要はなく、多角形のリング状であってもよい。なお、固定体11としては、後記するように半導体基板で作るのが望ましい。
この固定体11の相対する2辺の近傍には永久磁石などの一対の磁石体12a,12bが配置される。
さらに、一対の磁石体12a,12bによる磁束方向と直交する方向となる前記固定体11の内側対峙位置にはそれぞれトーションバー13a,13bの基端部が接合される。
トーションバー13a,13bは、基端部を軸として所要方向に捩れながら所定の復元力を得るように固定体11に接合する必要から例えば半導体シリコン材料等を用いて生成するのが好適である。そのため、固定体11としては、MEMS技術を用いてトーションバー13a,13bと一体的に製造する観点から、前述したように半導体基板を用いるのが望ましい。
14は反射ミラー15を実装する可動体である。可動体14は、リング状をなす固定体11の中間部分となる空間部に配置され、トーションバー13a,13bを軸に揺動可能に支持される。その結果、可動体14の上面部には反射ミラー15が配置されているので、可動体14を所要とする振角の揺動に伴い、入射されてくる光を所要の方向に反射させる機能を有する。
前記駆動制御部20は、図3に示すように駆動コイル21及び駆動信号印加制御部22からなる。駆動コイル21は、MEMS技術でもある例えばエッチング技術を用いて、可動体14の上面部の例えば周縁部に形成する。駆動コイル21への信号入力線23は、同様にエッチング技術を用いて、トーションバー13aを経由して固定体11の面部に施され、MEMS外部の駆動信号印加制御部22に接続される。
駆動信号印加制御部22は、駆動コイル21に所定の駆動電流Iである角度制御信号を印加するものである。
さらに、前述した振動抑制制御部30は、振動センサ31と、反転増幅回路32と、振動抑制コイル33とで構成される。
振動センサ31は、可動体14に発生する振動成分を取り出すものであって、図2に示すように可動体14の例えば上面部と反射ミラー15との間に積層される。すなわち、可動体14の上面部には振動センサ31及び反射ミラー15の順に積層される。なお、反射ミラー15としては、例えば振動センサ31の表面が光を反射するように鏡面状態に形成されているものでも良い。反転増幅回路32は振動センサ31で検出された振動成分を反転し予め定める増幅度で増幅し出力する。
振動抑制コイル33は、図4に示す拡大図で示すように、前記駆動コイル21と同様にエッチング技術を用いて、前記可動体14の上面部に駆動コイル21と併設するように形成される。そして、振動抑制コイル33に連なる外部取り出し信号線34は、例えばエッチング技術を用いて、トーションバー13bを経由して固定体11の面部に施され、MEMS外部の反転増幅回路32の出力側に接続される。
次に、可動体14に実装される反射ミラー15が揺動する動作原理について説明する。
一対の磁石体12a,12bによって可動体14上の駆動コイル21を横切る方向に磁束Bを形成させた後、駆動信号印加制御部22から駆動コイル21へ所定の駆動電流Iを流すと、その駆動電流Iによって駆動コイル21に図2に示す実線方向のローレンツ力Fが発生する。
このローレンツ力Fの発生に伴い、トーションバー13a,13bは、可動体14に加わる回転トルクとトーションバー13a,13bの復元力が釣り合う位置まで捩れ、駆動コイル21,反射ミラー15及び振動センサ31を実装する可動体14は、トーションバー13a,13bを軸として図示実線(イ)矢印方向に揺動する。
また、駆動信号印加制御部22から駆動コイル21に流す駆動電流Iを図1に示す方向と逆の方向に流すと、駆動コイル21に発生するローレンツ力は図2に示すように前述とは全く逆の点線方向に−Fが発生する。このとき、可動体14は、トーションバー13a,13bを軸として図示点線(ロ)矢印方向に揺動する。
このことは、駆動信号印加制御部22から駆動コイル21へ印加する駆動電流Iの大きさを変えることによって揺動角度を可変でき、入射する光の反射角度を変えることができ、例えば光通信ネットワークの高速多チャンネル光スイッチ等に適用することが可能となる。
次に、以上のように構成されたMEMSミラー制御装置において、特に可動体14に発生する揺動及びその振動の抑制処理について図5を参照して説明する。
先ず、反射ミラー15を実装した可動体14を揺動させるためには、一対の磁石体12a,12bによって可動体14上の駆動コイル21を横切る方向に磁束Bを形成させた後、駆動信号印加制御部22から駆動コイル21へ所定の駆動電流Iを流す。すなわち、駆動信号印加制御部22から可動体14を所定の振角とするための図5(a)に示す駆動電流Iである角度制御信号Iθを駆動コイル21に流す。
そこで、角度制御信号のレベルIθが“0”から“1”に変化させたとき、そのレベル変化に伴って、駆動コイル21に図2に示すローレンツ力Fが発生する。その結果、ローレンツ力Fによって可動体14に回転トルクが発生し、その回転トルクに従ってトーションバー13a,13bが捩れる。
ここで、トーションバー13a,13bは、可動体14に加わる回転トルクとトーションバー13a,13bの復元力が釣り合う位置まで捩れ、駆動コイル21,反射ミラー15及び振動センサ31を実装する可動体14が図5(b)に示すように角度制御信号のレベルIθ=“1”に相当する振角θ(=1)に向って揺動する。
しかし、実際には、駆動コイル21によるローレンツ力Fに伴って、可動体14に回転トルクが発生し、かつ、トーションバー13a,13bに捩れが生ずる結果、角度制御信号のレベルIθが“1”(一定値)に変化した後であっても、レベルIθ=“1”に追従しつつ振角θ(=1)となるように揺動しない。
すなわち、可動体14の重量やトーションバー13a,13bの材質,弾性等に基づき、図5(b)に示すように、ある期間Tに亘って共振周波数による振動が発生する。この振動は、角度制御信号のレベルIθが“1”に変化した直後に大きな振幅で振動し除々に減衰していく。従って、可動体14を振角θ(=1)に揺動させるには、その振動が収まる期間Tまで待つ必要がある。
そこで、本発明は、共振周波数による振動を抑制する手段として、図3に示す振動抑制制御部30が設けられている。
この振動抑制制御部30の一部を構成する振動センサ31は、可動体14の例えば上面部にMEMS技術により施したものであって、可動体14とほぼ一体的な構成となっている。その結果、振動センサ31は、可動体14に発生する共振周波数による振動、つまり期間Tに亘って可動体14に発生する振動の電気的な交流成分を取り出し、反転増幅回路32に入力する。
反転増幅回路32は、振動センサ31で検出された交流成分を180度反転した交流成分を取り出し、かつ、所定の増幅度で信号増幅した後、図5(c)に示す振動反転信号を可動体14の例えば上面部にMEMS技術により形成された振動抑制コイル33に印加する。
その結果、振動抑制コイル33から共振周波数による振動反転信号に相当するローレンツ力Hが発生し、可動体14に発生する共振周波数による振動を抑制する方向の力が作用し、可動体14には図5(d)に示すように振幅の大きな部分で僅かな変化が見られるが、短時間に振動を抑制することができる。
従って、以上のような実施形態によれば、電気信号を印加して駆動コイル21からローレンツ力Fを発生し、回転トルクを与えて可動体14を揺動するが、可動体14や可動体14を支持するトーションバー13a,13bなどの機械的要素に起因した共振周波数の振動が一定期間に亘って発生する。
このとき、従来のように駆動コイルに電気信号を印加する毎に可動体の側面をストップバーを押し付けて動きを封じる場合には常に機械的な磨耗や物理的な経年変化が生じ、振動抑制能力が大幅に低下させる問題がある。
この点、本発明においては、可動体14に振動センサ31を設置し、共振周波数による振動である交流成分を取り出し、その交流成分を反転し、可動体14に駆動コイル21と併設される振動抑制コイル33に印加し、共振周波数による振動を抑制するローレンツ力Hを発生するので、共振周波数による振動を電気的に抑制でき、可動体14の振動を短時間に抑制することができる。
これにより、MEMSミラーの応答速度を改善でき、ひいてはMEMSミラーの角度制御の高速化を実現できる。
(その他の実施形態)
(1) 上記実施形態では、振動センサ31によって可動体14に発生する共振周波数の振動を検出するようにしたが、この振動センサ31の代わりに、加速度センサを用いて、共振周波数の振動を検出しても、同様の効果を奏することができる。
(1) 上記実施形態では、振動センサ31によって可動体14に発生する共振周波数の振動を検出するようにしたが、この振動センサ31の代わりに、加速度センサを用いて、共振周波数の振動を検出しても、同様の効果を奏することができる。
(2) また、上記実施形態では、可動体14の表面側(上面側)にMEMS技術によって振動センサ31や加速度センサを施すようにしたが、可動体14の裏面側(下面側)に設けても、可動体14に発生する共振周波数の振動を検出することができる。
(3) 上記実施形態では、MEMSの外側に反転増幅回路32を配置し、振動センサ31の出力と接続するようにしたが、例えば可動体14の面部にMEMS技術により反転増幅回路32を構成するようにしてもよい。
(4) 上記実施形態では、駆動制御部20と振動抑制制御部30がそれぞれ独立的に動作するようにしたが、例えば駆動制御部20から駆動コイル21に駆動電流を流すタイミングに同期して振動センサ31による検出動作を開始するようにすれば、振動抑制制御部30による消費電力を節減できる。
その他、本発明は、上記実施の形態に限定されるものでなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施できる。
10…ミラー揺動機構部、11…固定体(基板)、12a,12b…一対の磁石体、13a,13b…トーションバー、14…可動体、15…反射ミラー、20…駆動制御部、21…駆動コイル、22…駆動信号印加制御部、30…振動抑制制御部、31…振動センサ、32…反転増幅回路、33…振動抑制コイル。
Claims (10)
- 反射ミラーを有する可動体が磁束の方向と直交する方向に配置されたトーションバーに支持され、前記可動体の面部に施された駆動コイルに入力される電気信号レベルに応じて前記可動体が所定の振角で揺動するMEMSミラーにおいて、
前記駆動コイルに前記電気信号が入力されたとき、前記可動体やトーションバーの機械的要素に起因して当該可動体に発生する共振周波数の振動を抑制する振動抑制制御部を設けたことを特徴とするMEMSミラー制御装置。 - 請求項1に記載のMEMSミラー制御装置において、
前記振動抑制制御部は、前記可動体に発生する共振周波数の振動成分を検出する振動センサと、この振動センサで検出された前記共振周波数の振動成分を反転させて出力する反転増幅回路と、反転出力信号を受けて前記振動成分を抑制する振動抑制コイルとを備えたことを特徴とするMEMSミラー制御装置。 - 請求項2に記載のMEMSミラー制御装置において、
前記可動体に発生する共振周波数の振動成分を、前記振動センサに代えて加速度センサにより検出することを特徴とするMEMSミラー制御装置。 - 請求項2ないし請求項4の何れか一項に記載のMEMSミラー制御装置において、
前記振動センサまたは前記加速度センサは、前記可動体と前記反射ミラーの間に積層配置することを特徴とするMEMSミラー制御装置。 - 請求項2または請求項3に記載のMEMSミラー制御装置において、
前記振動センサまたは前記加速度センサは、前記可動体の下面部に積層することを特徴とするMEMSミラー制御装置。 - 請求項2ないし請求項5の何れか一項に記載のMEMSミラー制御装置において、
前記振動センサまたは前記加速度センサは、前記可動体の上面部側または下面部側にMEMS技術によって形成することを特徴とするMEMSミラー制御装置。 - 請求項1ないし請求項3の何れか一項に記載のMEMSミラー制御装置において、
前記振動センサまたは前記加速度センサは、前記駆動コイルに前記電気信号を入力するタイミングに同期して前記可動体に発生する振動を検出することを特徴とするMEMSミラー制御装置。 - 請求項1ないし請求項4の何れか一項に記載のMEMSミラー制御装置において、
前記反射ミラーは、前記振動センサまたは前記加速度センサの表面部を鏡面に形成して使用することを特徴とするMEMSミラー制御装置。 - 請求項2に記載のMEMSミラー制御装置において、
前記反転増幅回路は、可動体の面部にMEMS技術によって構成することを特徴とするMEMSミラー制御装置。 - 請求項2に記載のMEMSミラー制御装置において、
前記振動抑制コイルは、前記可動体に施された前記駆動コイルと同一面部または異なる面部に施し、前記反転増幅回路から出力される反転出力信号を受けて前記振動成分を打ち消す方向のローレンツ力を発生することを特徴とするMEMSミラー制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010047017A JP2011180528A (ja) | 2010-03-03 | 2010-03-03 | Memsミラー制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010047017A JP2011180528A (ja) | 2010-03-03 | 2010-03-03 | Memsミラー制御装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011180528A true JP2011180528A (ja) | 2011-09-15 |
Family
ID=44692043
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010047017A Withdrawn JP2011180528A (ja) | 2010-03-03 | 2010-03-03 | Memsミラー制御装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2011180528A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014123123A (ja) * | 2012-12-12 | 2014-07-03 | Fraunhofer Ges | マイクロメカニカル共振装置 |
US20140327896A1 (en) * | 2012-02-17 | 2014-11-06 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optical component |
JP2015515117A (ja) * | 2012-02-17 | 2015-05-21 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 光学コンポーネント |
US10114212B2 (en) | 2012-05-29 | 2018-10-30 | Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho | Deflector |
-
2010
- 2010-03-03 JP JP2010047017A patent/JP2011180528A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20140327896A1 (en) * | 2012-02-17 | 2014-11-06 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optical component |
JP2015515117A (ja) * | 2012-02-17 | 2015-05-21 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 光学コンポーネント |
JP2015515116A (ja) * | 2012-02-17 | 2015-05-21 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 光学コンポーネント |
US9804501B2 (en) | 2012-02-17 | 2017-10-31 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optical component |
US10078271B2 (en) | 2012-02-17 | 2018-09-18 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optical component |
US10114212B2 (en) | 2012-05-29 | 2018-10-30 | Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho | Deflector |
JP2014123123A (ja) * | 2012-12-12 | 2014-07-03 | Fraunhofer Ges | マイクロメカニカル共振装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5391579B2 (ja) | 振動素子 | |
JP6349229B2 (ja) | 二軸光偏向器及びその製造方法 | |
KR20140145074A (ko) | 광학 디바이스, 광스캐너 및 화상 표시 장치 | |
EP3006395B1 (en) | Drive device | |
JP2005099760A (ja) | アクチュエータ | |
JP2008040353A (ja) | 光学デバイス、光スキャナおよび画像形成装置 | |
JP5976132B2 (ja) | アクチュエータ | |
JP2011180528A (ja) | Memsミラー制御装置 | |
JP3974068B2 (ja) | プレーナー型電磁アクチュエータ | |
JP2005137102A (ja) | アクチュエータ | |
JP2012055852A (ja) | アクチュエータの駆動装置 | |
JP2010169948A (ja) | 光走査装置用揺動ミラー、揺動状態検出装置、及び、光走査装置 | |
JP2007206480A (ja) | 光走査素子 | |
JP2011232589A (ja) | 光走査装置 | |
JP2007240626A (ja) | 光スキャナ駆動方法、および光スキャナ駆動装置 | |
JP6038319B2 (ja) | アクチュエータ | |
JP2010048897A (ja) | 光走査装置および画像形成装置 | |
JP5447411B2 (ja) | 2次元光走査装置及び画像投影装置 | |
JP5434668B2 (ja) | 光走査装置 | |
JP2014199326A (ja) | 駆動装置 | |
JP2006323001A (ja) | 揺動体装置、およびそれを用いた光偏向器 | |
JP6943655B2 (ja) | 偏光解消装置 | |
JPWO2013065126A1 (ja) | アクチュエータ | |
JP5681759B2 (ja) | 電磁式アクチュエータ | |
JP2015014753A (ja) | アクチュエータ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20130507 |