JP2011179079A - 多槽電解銅めっき方法、及び、電磁波遮蔽材の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】多槽電解銅めっき方法は、電解銅めっき槽を複数備えた多槽電解銅めっき装置20に連続帯状のシート材Soを通して電解銅めっきするときに、通電すれば電解銅めっき出来る状態だが通電しない電解銅めっき槽21x中を1槽以上通した後に、通電させる電解銅めっき槽21o中を1槽以上通して電解銅めっきする。通電しない電解銅めっき槽21xを電解銅めっき前に通すと表面抵抗が低下しその後の電解銅めっき速度が速くなる。この方法を用いて、基材シートとして透明基材に導電性組成物層を印刷形成したシート材を用いて、電磁波遮蔽材を製造する。
【選択図】 図1
Description
そして、導電体パターン層の形成には、金属箔をフォトエッチング法で形成する方法もあるが、コスト面で有利な印刷法も各種提案され、更に印刷する際は、連続帯状シートを用いて、その長手方向に連続的に印刷するのが生産性の点で有利である(特許文献1、特許文献2、特許文献3)。
しかし、導電性組成物層の表面に電解銅めっき層を形成する電解めっき工程の所要時間は、導電性組成物の印刷工程の所要時間に比べて長く生産性が低いという問題があった。
(1)浴槽が互いに独立した電解銅めっき槽の2槽以上に連続帯状のシート材を連続して通して電解銅めっきする多槽電解銅めっき装置を用いて、連続帯状の基材シート上に銀粒子と樹脂バインダとを含有するパターン状の導電性組成物層が形成された連続帯状のシート材に対して、その導電性組成物層の表面上に電解銅めっき層を形成する多槽電解銅めっき方法であって、
シート材を2槽以上の電解銅めっき槽中を通過させる際に、通電すれば電解銅めっきが出来る状態だが電解銅めっき用の通電をしない電解銅めっき槽を1槽以上通してから、電解銅めっき用の通電をする電解銅めっき槽を1槽以上通して電解銅めっきする、多槽電解銅めっき方法。
(2)上記シート材に、基材シートとして透明基材を用い導電性組成物層が印刷法によって形成された連続帯状のシート材を用いて、該導電性組成物層の表面上に、上記(1)の多槽電解銅めっき法によって電解銅めっき層を形成し、導電性組成物層と電解銅めっき層とを有する導電体パターン層を形成する、電磁波遮蔽材の製造方法。
(2)また、この多槽電解銅めっき法を利用して、電磁波遮蔽材を製造することで、印刷形成した導電性組成物層の表面上への電解銅めっき層のめっき速度を速くできるので、生産性を向上できる。
先ず、本発明の多槽電解銅めっき方法の一実施形態例を、図1の概念的な説明図を参照して説明する。また、本実施形態例は、この多槽電解銅めっき方法を利用した、本発明の電磁波遮蔽材の製造方法でもある。
また、本実施形態では多槽電解銅めっき装置20に電解銅めっき槽21を8槽有する装置を使用し、上流側の1槽を非通電の電解銅めっき槽21xとして使用し、これに引き続く下流側の7槽を通常の通電した電解銅めっき槽21oとして使用した。なお、非通電の電解銅めっき槽21xも槽中に電解銅めっき液を有する。
また、導電性組成物層3のパターンの平面視形状は、正方格子状のメッシュ形状であり、導電性組成物層3の形成部である線部(ライン部)の線幅は15μm、格子周期は300μm、厚さ19μmであり、また表面抵抗率は2.9Ω/□(Ω/sq)である。
そして、最初の非通電の電解銅めっき槽21xを通した後、以降の合計7槽の通電する電解銅めっき槽21oは通さずに、そのまま巻きあげたシート材について、その導電性組成物層3の表面抵抗率を測定したところ、1.5Ω/□まで低下し(処理前後で差し引き1.4Ω/□低下)導電性が向上していることが判明した。したがって、電解めっき速度が速くなるのは、この導電性の向上が寄与していると考えられる。
本発明による多槽電解銅めっき方法では、めっき対象物であるシート材Soは、銀粒子と樹脂バインダとを含有しパターン状に基材シート上に形成された導電性組成物層3を有する連続帯状のシート材であれば特に制限はない。また、本発明による多槽電解銅めっき方法は、得られる銅めっきシートSmが電磁波遮蔽材となる、電磁波遮蔽材の製造に好適なめっき方法でもある。そこで、以下、これら両方法をまとめて説明することとし、また、特に電磁波遮蔽材に関することは、その旨説明する。
なお、本発明による電磁波遮蔽材の製造方法は、本発明による多槽電解銅めっき方法を利用して電解銅めっき層4を導電性組成物層3の表面上に形成して電磁波遮蔽材10を製造する方法であり、基材シートには透明基材1を用い、また導電性組成物層3には印刷形成したものである。
図2の電磁波遮蔽材10、乃至は銅めっきシートSmは、透明基材1等の基材シート上に導電体パターン層2として、導電性組成物層3と電解銅めっき層4とを有する構成例である。また、電磁波遮蔽材10の場合は、導電体パターン層2の非形成部が、光透過性確保の為の開口部5となる。また、図3は、前記実施形態でも説明した更にプライマ層6を有する構成例であり、同図の電磁波遮蔽材10、乃至は銅めっきシートSmは、透明基材1等の基材シート上に、プライマ層6を介して、導電体パターン層2として、導電性組成物層3と電解銅めっき層4とを有する構成例である。また、図3の構成でも、電磁波遮蔽材10の場合は、導電体パターン層2の非形成部が、光透過性確保の為の開口部5となる。
めっき対象物となるシート材Soは、連続帯状の基材シート上に、銀粒子と樹脂バインダとを含有するパターン状の導電性組成物層3が形成された連続帯状のシートである。
基材シートとしては、連続帯状であれば特に制限はない。透明、不透明、着色、無着色、いずれでも良く、得られる銅めっきシートSmの用途、性能等に応じたものを使用すれば良い。この様な基材シートとしては、樹脂シート等の有機系シートが代表的であるが、使用できるならば、ガラス、セラミック等の無機系シートでも良いし、有機系材料と無機系材料を積層乃至は混合した複合シートでも良い。
基材シートの中でも特に電磁波遮蔽材に好適なものは透明な基材シートであり、この透明な基材シートに限って本明細書では「透明基材」と呼ぶことにする。
連続帯状の透明基材1としては、公知の透明な材料を使用すれば良く、可視光領域での透明性、耐熱性、機械的強度、取扱性等を考慮すると、樹脂フィルム(乃至シート)が代表的である。樹脂フィルム(乃至シート)の樹脂は例えば、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル系樹脂、アクリル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリアミド系樹脂、或いは、シクロオレフィン重合体などのポリオレフィン系樹脂、トリアセチルセルロースなどのセルロース系樹脂等である。なかでも、2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムは好適な材料である。なお、透明基材1の厚みは、取扱性、コスト等の点で通常は、12〜500μm、好ましくは25〜200μmだが、特に制限はない。
導電体パターン層2は、透明基材1など基材シート上にパターン状に形成され、少なくとも導電性組成物層3と、その表面に電解銅めっきで形成される電解銅めっき層4とを有する。導電体パターン層2は、パターン形状や電気的特性などは、電解銅めっき後のシート材である銅めっきシートSmの用途に応じたものとすればよい。
導電性組成物層3は、導電性粒子である銀粒子と樹脂バインダとを含む層である。導電性組成物層3は、導電性粒子である銀粒子と樹脂バインダとを含む液状の導電性組成物(導電性ペースト、導電性インキ等とも呼ばれる)を用いて形成でき、導電性組成物を溶剤乾燥、電離放射線照射、加熱などのエネルギー付加、化学反応などの固化手段によって固化させて得られる。なお、銀粒子としては、樹脂粒子や無機非金属物粒子等の低導電性粒子の表面を銀で被覆した銀被覆粒子を用いてもよい。
また、上記樹脂バインダの樹脂(バインダ樹脂)としては、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、電離放射線硬化性樹脂などを単独使用又は併用する。熱可塑性樹脂には熱可塑性ポリエステル樹脂、熱可塑性アクリル樹脂など、熱硬化性樹脂にはメラミン樹脂、熱硬化性ポリエステル樹脂、熱硬化性アクリル樹脂、熱硬化性ウレタン樹脂などを使用する。また、電離放射線硬化性樹脂には、電離放射線で架橋など重合硬化するモノマー及び/又はプレポリマーを含む組成物を使用する。モノマーやプレポリマーにはラジカル重合性やカチオン重合性の化合物を使用する。なかでも、アクリレート系化合物を用いた電離放射性硬化性樹脂が代表的である。
ただし、電解銅めっき速度を速めるという本発明の効果の点では、めっき形成前の表面抵抗率が例えば1Ω/□以下と更に低い場合よりは、ある程度高い方が好ましい。それは、通電しない電解銅めっき槽21xの槽中を通す前処理操作による、導電性組成物層3の表面抵抗率の低減が、電解銅めっきの速度が遅い表面抵抗率の領域から、電解銅めっきの速度がそれよりも速まる表面抵抗率の領域まで低下する様な、前処理前後の表面抵抗率値の関係があるときに、より効果的だからである。つまり、めっき速度増加効果は、前処理前の表面抵抗率のレベルと、前処理によって低下する表面抵抗率の度合いと、前処理後の表面抵抗率のレベルの三種類の表面抵抗率に関係する。
この様な表面抵抗率の関係は、例えば、前処理前の表面抵抗率が好ましくは3〜10Ω/□、より好ましくは3〜5Ω/□の範囲が好ましい。この範囲の表面抵抗率を、前処理によって、例えば0.5Ω/□程度以上は低下させて、前処理後に表面抵抗率を3Ω/□未満まで低下させることで、電解めっき速度を効果的に速めることができる。
導電性組成物層3を基材シート上にパターン状に形成する方法は特に限定はない。公知のパターン形成法を用途、要求物性等に応じて適宜採用すれば良い。形成法の代表的な方法は、導電性組成物を用いた印刷法である。
導電性組成物を用いて導電性組成物層3を印刷形成する場合、その印刷方式としても基本的には特に制限はない。例えば、スクリーン印刷、フレキソ印刷、オフセット印刷、グラビア印刷、グラビアオフセット印刷、凹版印刷などの有版印刷、或いはインキジェット印刷に代表される無版印刷等である。これらの印刷法の中でも、前記特許文献3で開示された凹版印刷の一種である「引抜プライマ方式凹版印刷法」は、従来では不可能であった様な、細く且つ精細なパターン形成が可能となる点で好ましい印刷方式の一種であり、また、電磁波遮蔽材10に於いて優れた電磁波遮蔽性と優れた光透過性とを高度に両立できる。そこで、以下この印刷方式について、基材シートが透明基材1である場合で説明する。
すなわち、導電性組成物層3の形成部3aである導電性組成物層3自体の凸部の内部では、図4で概念的に示す様に、導電性粒子Cpが一様な均一な分布ではなく、導電性粒子Cpの分布が、相対的に、凸部の頂上部の近くが密でそれよりも頂上部から遠いプライマ層6の近くが疎である分布を持つ内部構造が好ましい。密とは単位体積中の導電性粒子Cpの粒子数で見た数密度(体積密度)である。つまり、凸部内部の導電性粒子Cpの数密度が、プライマ層6近くに比べて頂上部近くの方が大きくなる分布である。数密度が大きい方が導電性粒子Cp同士の電気的接触が行われ易い。従って、例え導電性組成物層3中の導電性粒子Cpの平均濃度が同じであっても、同じ数の導電性粒子Cpを数密度一様で分布させた場合に比べて、数密度が大きい部分での体積抵抗率の低下が寄与して全体として体積抵抗率が下がり、電磁波遮蔽材10に於いては電磁波遮蔽性能が向上する。更に、プライマ層6との境界近傍での導電性粒子Cpの数密度が小さいことによって、導電性組成物層3とプライマ層6との密着性が向上する。
この様に凸部頂上部の方に導電性粒子Cpを偏在させるには、例えば、プライマ流動層形成済みの透明基材1を版面に圧着する圧着力を強くすると共に、導電性組成物は粘度を低めにし且つ凹版凹部内では固化させずに版面から離版後に固化させると良い。この他、導電性粒子Cpと樹脂バインダとの比重差、固化前の導電性組成物の粘度(樹脂材料及び樹脂量、溶剤量、その他添加剤量、導電性粒子の形状、粒度分布、含有量など関係)、固化条件などにも依存するので、これらは適宜実験的に決定すると良い。
なお、導電性粒子Cpと樹脂バインダとの比重差については、通常は銀粒子である導電性粒子Cpの比重>樹脂バインダの比重、となる為、プライマ層6に対して頂部を重力の向きと同じ向きにして導電性凸状パターン層3を固化させると良い。
電解銅めっきは、図1で説明した様に、多槽電解銅めっき装置20によって行う。多槽電解銅めっき装置20は、電解銅めっき液の浴液が互いに独立した電解銅めっき槽21を複数備え、複数の電解銅めっき槽21の槽中にめっきすべき連続帯状のシート材Soを順次通して電解銅めっき槽21の槽内部で電解銅めっき液に接触させて、各電解銅めっき槽21毎に順次、銅の電解めっきを行って、電解銅めっき層6を積層していく装置である。
代表的なめっき条件は、浴温度摂氏20〜30度、陰極電流密度2〜6A/dm2、陽極電流密度1〜3A/dm2の範囲である。
この様に、槽中の電解銅めっき液の液組成を、通電しない電解銅めっき槽21xでも、通常に電解銅めっき可能な液組成としておくことで、通電用の電源のスイッチをオン・オフするのみで、容易に且つ迅速に、通電しない電解銅めっき槽21xと通電する電解銅めっき槽21oとを切り替えて、本発明に従って前処理込みで電解銅めっきするシート材Soと、通常に従来通り電解銅めっきするシート材Soとの製品切り替えを、極めて容易に行え、生産性の点で好ましい。
電解銅めっき層4は、パターン状に形成された導電性組成物層3の表面に上記電解銅めっきによって形成される。少なくとも当該電解銅めっき層4と前記導電性組成物層3とによって、導電体パターン層2が構成される。そして、電解銅めっき層4によって、導電体パターン層2としての表面抵抗率を、導電性組成物層3のみによる場合よりも下げることができる。また、電解めっきで形成する金属として銅は、各種電解めっき可能な金属のなかでも、材料費及び導電性に優れているので、好ましい金属である。
なお、電解銅めっき層4の厚みは、用途、要求物性に応じたものとすればよく、例えば、0.1〜10μmである。
なお、本発明では、本発明の主旨を逸脱しない範囲内であれば、上記した以外のその他の工程を含んでもよい。例えば、電解銅めっき層4の表面の酸化を防止する防錆層を設ける工程である。なお、防錆層は公知のクロメート処理で形成できる。
また、特に、銅めっきシートSmとして電磁波遮蔽材10を製造するのであれば、この他、画像の明室コントラストを向上させる黒化処理層を設ける工程、導電性パターン層2による凹凸を平坦化する平坦化樹脂層を設ける工程、導電体パターン層2が形成された側とは反対側の透明基材1の面に、ディスプレイ前面板などの被着体に貼り付ける為の粘着剤層やそのセパレータフィルムを設ける工程、或いは、導電体パターン層2側の面、或いはその反対側の透明基材1の面に、各種光学フィルタ、光学フィルタ以外のその他の機能層を積層する工程などある。なお、これら工程で設ける層には公知のものを適宜使用すれば良い。なお、黒化処理は、例えば黒化ニッケルめっき、銅−コバルト合金めっき、或いは粗面化処理等を利用できる。また、光学フィルタは、近赤外線吸収層、紫外線吸収層、ネオン光吸収層、色補正層、反射防止層(防眩、反射防止、防眩及び反射防止兼用のいずれか)、微小ルーバによる外光反射防止層(特開2007−272161号公報など参照)などであり、光学フィルタ以外の機能層では、保護層、ハードコート層、帯電防止層、汚染防止層、耐衝撃層、粘着剤層などである。
本発明による銅めっきシートSmは、各種用途に使用でき特に用途に制限はなく、電磁波遮蔽材、電気回路、電極、透明アンテナ(平面アンテナ)等に使用できるが、なかでも電磁波遮蔽材10は好適な用途である。
電磁波遮蔽材10は、特に、テレビジョン受像装置、測定機器や計器類、事務用機器、医療機器、電算機器、電話機、電子看板、遊戯機器等の表示部等に用いられるPDP、CRT、LCD、ELなどの各種画像表示装置の前面フィルタ用として好適であり、特にPDP用として好適である。又、その他、住宅、学校、病院、事務所、店舗等の建築物の窓、車輛、航空機、船舶等の乗物の窓、電子レンジ等の各種家電製品の窓等に於ける電磁波遮蔽用途にも使用可能である。
2 導電体パターン層
3 導電性組成物層
3a 導電性組成物層の形成部
3b 導電性組成物層の非形成部
4 電解銅めっき層
5 開口部
6 プライマ層
10 電磁波遮蔽材
20 電解銅めっき装置
21 電解銅めっき槽
21o 通電する電解銅めっき槽
21x 通電しない電解銅めっき槽
22 給電ローラ(カソード)
23 アノード
24 ガイドローラ
25 電源
Cp 導電性粒子
So シート材
Sm 銅めっきシート
Ta 導電性組成物層の形成部(凸部)のプライマ層の厚み
Tb 導電性組成物層の非形成部のプライマ層の厚み
Claims (2)
- 浴槽が互いに独立した電解銅めっき槽の2槽以上に連続帯状のシート材を連続して通して電解銅めっきする多槽電解銅めっき装置を用いて、連続帯状の基材シート上に銀粒子と樹脂バインダとを含有するパターン状の導電性組成物層が形成された連続帯状のシート材に対して、その導電性組成物層の表面上に電解銅めっき層を形成する多槽電解銅めっき方法であって、
シート材を2槽以上の電解銅めっき槽中を通過させる際に、通電すれば電解銅めっきが出来る状態だが電解銅めっき用の通電をしない電解銅めっき槽を1槽以上通してから、電解銅めっき用の通電をする電解銅めっき槽を1槽以上通して電解銅めっきする、多槽電解銅めっき方法。 - 上記シート材に、基材シートとして透明基材を用い導電性組成物層が印刷法によって形成された連続帯状のシート材を用いて、該導電性組成物層の表面上に、請求項1記載の多槽電解銅めっき法によって電解銅めっき層を形成し、導電性組成物層と電解銅めっき層とを有する導電体パターン層を形成する、電磁波遮蔽材の製造方法。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0941187A (ja) * | 1995-07-28 | 1997-02-10 | Kobe Steel Ltd | 表面性状の改善された電気亜鉛めっき鋼板の製造方法 |
JPH1161481A (ja) * | 1997-08-19 | 1999-03-05 | Kawasaki Steel Corp | 耐パウダリング性に優れたZn−Ni合金めっき鋼板 |
JP2000273686A (ja) * | 1999-03-18 | 2000-10-03 | Kawasaki Steel Corp | シーム溶接性および耐食性に優れた表面処理鋼板の製造方法 |
JP2006328476A (ja) * | 2005-05-26 | 2006-12-07 | Tdk Corp | めっき方法 |
JP2009138217A (ja) * | 2007-12-05 | 2009-06-25 | Dainippon Printing Co Ltd | めっきパターン部材及び電磁波シールド材 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0941187A (ja) * | 1995-07-28 | 1997-02-10 | Kobe Steel Ltd | 表面性状の改善された電気亜鉛めっき鋼板の製造方法 |
JPH1161481A (ja) * | 1997-08-19 | 1999-03-05 | Kawasaki Steel Corp | 耐パウダリング性に優れたZn−Ni合金めっき鋼板 |
JP2000273686A (ja) * | 1999-03-18 | 2000-10-03 | Kawasaki Steel Corp | シーム溶接性および耐食性に優れた表面処理鋼板の製造方法 |
JP2006328476A (ja) * | 2005-05-26 | 2006-12-07 | Tdk Corp | めっき方法 |
JP2009138217A (ja) * | 2007-12-05 | 2009-06-25 | Dainippon Printing Co Ltd | めっきパターン部材及び電磁波シールド材 |
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