JP2011176094A - フォトダイオード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電子走行層103の上に形成された第1導電型の半導体からなる電界制御層104を備える。第1半導体層102,電子走行層103、電界制御層104、および第2半導体層107は、光吸収層105を構成する半導体より大きなバンドギャップエネルギーを有する半導体から構成され、電子走行層103および光吸収層105は、第1半導体層102,電界制御層104、および第2半導体層107よりも不純物濃度が低い状態とされている。
【選択図】 図1A
Description
はじめに、本発明の実施の形態1について説明する。図1Aは、本発明の実施の形態1におけるフォトダイオードの構成を模式的に示す断面図である。このフォトダイオードは、基板101の上に形成された第1導電型の半導体からなる第1半導体層102と、第1半導体層102の上に形成された半導体からなる電子走行層103と、電子走行層103の上に形成された第1導電型の半導体からなる電界制御層104と、電界制御層104の上に形成された半導体からなる光吸収層105と、光吸収層105の上に形成された第2導電型の半導体からなる第2半導体層107と、第1半導体層102に形成された第1電極108および第2半導体層107に形成された第2電極109とを少なくとも備える。
次に、本発明の実施の形態2について説明する。図2Aは、本発明の実施の形態2におけるフォトダイオードの構成を模式的に示す断面図である。このフォトダイオードは、基板201の上に形成された第1導電型の半導体からなる第1半導体層202と、第1半導体層202の上に形成された半導体からなる電子走行層203と、電子走行層203の上に形成された第1導電型の半導体からなる電界制御層204と、電界制御層204の上に形成された半導体からなる光吸収層205と、光吸収層205の上に形成された第2導電型の半導体からなる第2導電型光吸収層206と、第2導電型光吸収層206の上に形成された第2導電型の半導体からなる第2半導体層207と、第1半導体層202に形成された第1電極208および第2半導体層207に形成された第2電極209とを少なくとも備える。
次に、本発明の実施の形態3について説明する。図3は、本発明の実施の形態3におけるフォトダイオードの構成を模式的に示す断面図である。このフォトダイオードは、基板301の上に形成された第1導電型の半導体からなる第1半導体層302と、第1半導体層302の上に形成された半導体からなる電子走行層303と、電子走行層303の上に形成された第1導電型の半導体からなる電界制御層304と、電界制御層304の上に形成された半導体からなる光吸収層305と、光吸収層305の上に形成された第2導電型の半導体からなる第2半導体層307と、第1半導体層302に形成された第1電極308および第2半導体層307に形成された第2電極309とを少なくとも備える。
Claims (3)
- 基板の上に形成された第1導電型の半導体からなる第1半導体層と、
この第1半導体層の上に形成された半導体からなる電子走行層と、
この電子走行層の上に形成された第1導電型の半導体からなる電界制御層と、
この電界制御層の上に形成された半導体からなる光吸収層と、
この光吸収層の上に形成された第2導電型の半導体からなる第2半導体層と、
前記第1半導体層に形成された第1電極および前記第2半導体層に形成された第2電極と
を少なくとも備え、
前記光吸収層は、対象とする光の波長に対応するバンドギャップエネルギーを有する半導体から構成され、
前記第1半導体層,前記電子走行層、前記電界制御層、および前記第2半導体層は、前記光吸収層を構成する半導体より大きなバンドギャップエネルギーを有する半導体から構成され、
前記第1半導体層,前記電界制御層、および前記第2半導体層は、不純物を導入することで各々の前記導電型とされ、
前記電子走行層および前記光吸収層は、前記第1半導体層,前記電界制御層、および前記第2半導体層よりも不純物濃度が低い状態とされている
ことを特徴とするフォトダイオード。 - 請求項1記載のフォトダイオードにおいて、
前記光吸収層と前記第2半導体層との間に配置され、前記光吸収層を構成する半導体を第2導電型とした半導体からなる第2導電型光吸収層を備える
ことを特徴とするフォトダイオード。 - 請求項1または2記載のフォトダイオードにおいて、
前記電子走行層に、動作時のキャリア濃度に等しい第1導電型の不純物が導入されている
ことを特徴とするフォトダイオード。
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