JP2011174922A - ファブリペロー干渉計を利用して位置を取得する装置 - Google Patents
ファブリペロー干渉計を利用して位置を取得する装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011174922A JP2011174922A JP2011026084A JP2011026084A JP2011174922A JP 2011174922 A JP2011174922 A JP 2011174922A JP 2011026084 A JP2011026084 A JP 2011026084A JP 2011026084 A JP2011026084 A JP 2011026084A JP 2011174922 A JP2011174922 A JP 2011174922A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resonator mirror
- fabry
- perot interferometer
- mirror
- resonator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02041—Interferometers characterised by particular imaging or detection techniques
- G01B9/02042—Confocal imaging
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/002—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02055—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
- G01B9/02056—Passive reduction of errors
- G01B9/02061—Reduction or prevention of effects of tilts or misalignment
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02055—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
- G01B9/02075—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration of particular errors
- G01B9/02078—Caused by ambiguity
- G01B9/02079—Quadrature detection, i.e. detecting relatively phase-shifted signals
- G01B9/02081—Quadrature detection, i.e. detecting relatively phase-shifted signals simultaneous quadrature detection, e.g. by spatial phase shifting
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2290/00—Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
- G01B2290/25—Fabry-Perot in interferometer, e.g. etalon, cavity
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2290/00—Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
- G01B2290/45—Multiple detectors for detecting interferometer signals
Abstract
【解決手段】位置を取得する装置は、共焦点ファブリペロー干渉計200を有する。
【選択図】図5
Description
Claims (17)
- 位置を取得する装置であって、
共焦点ファブリペロー干渉計(100,200)を有する、装置。 - 前記共焦点ファブリペロー干渉計が、第1の共振器ミラー(1)および第2の共振器ミラー(2)と、前記第1の共振器ミラー(1)と前記第2の共振器ミラー(2)との間の光路上に配置されている折り返しミラー(7)と、を備えている、
請求項1に記載の装置。 - 前記折り返しミラー(7)が、位置を求める対象物に機械的に結合されている、
請求項2に記載の装置。 - 前記共焦点ファブリペロー干渉計(100,200)が、前記第1の共振器ミラー(1)と前記第2の共振器ミラー(2)との間の前記光路上に配置されているコリメータ(6,6’)を備えている、
請求項2または請求項3に記載の装置。 - 前記折り返しミラー(7)が、0.9より大きい反射率、特に、0.95より大きい反射率を有する、
請求項2から請求項4のいずれかに記載の装置。 - 前記折り返しミラー(7)が、前記ファブリペロー干渉計(200)の中の前記光路を、前記第1の共振器ミラー(1)から前記第2の共振器ミラー(2)に導き、かつ、前記第2の共振器ミラー(2)から前記第1の共振器ミラー(1)に導くような向きに配置されている、
請求項2から請求項5のいずれかに記載の装置。 - 前記第1の共振器ミラー(1)および前記第2の共振器ミラー(2)が、前記ファブリペロー干渉計(200)の光学軸線に関して径方向に互いにオフセットして配置されている、
請求項2から請求項6のいずれかに記載の装置。 - 前記第1の共振器ミラー(1)および前記第2の共振器ミラー(2)が互いに対して固定位置に配置されている、
請求項2から請求項7のいずれかに記載の装置。 - 前記ファブリペロー干渉計(100,200)のフィネスが1.0より小さい、特に、0.5より小さい、
請求項1から請求項8のいずれかに記載の装置。 - 前記第1の共振器ミラー(1)の反射率が0.15より小さい、特に、0.07より小さく、前記第2の共振器ミラー(2)の反射率が0.15より小さい、特に、0.07より小さい、
請求項2から請求項9のいずれかに記載の装置。 - 前記第1の共振器ミラー(1)の前記反射率と前記第2の共振器ミラー(2)の前記反射率とがほぼ等しい大きさである、
請求項2から請求項10のいずれかに記載の装置。 - 前記第1の共振器ミラー(1)が、光ファイバ(5)のコア(5a)の出口面を備えている、
請求項2から請求項11のいずれかに記載の装置。 - 前記第2の共振器ミラー(2)が、
前記第1の共振器ミラーに横方向に隣接して配置されている光学部分、特に、光ファイバ(5)のクラッド(5b)、の端面を備えている、
請求項2から請求項12のいずれかに記載の装置。 - 前記ファブリペロー干渉計(100,200)に送られる測定光を発生させる光源(201)と、
前記ファブリペロー干渉計(100,200)によって生成される干渉パターンの関数として測定信号を生成する検出器(210)と、
前記測定信号を評価する評価回路(204)と、
を備えている、請求項1から請求項13のいずれかに記載の装置。 - 10−4mより大きい、特に、10−3mより大きい、特に、10−2mより大きい測定範囲にわたり、変位測定を行うように設計されている、
請求項1から請求項14のいずれかに記載の装置。 - ポジショナー(500)と、位置を取得する装置とから構成されているシステムであって、
前記ポジショナー(500)と、請求項1から請求項15のいずれかに記載の、位置を取得する装置(100,200,300)とを備えている、
システム。 - 位置を取得する方法であって、
共焦点ファブリペロー干渉計(100,200)によって、対象物の前記位置に依存する干渉パターンを生成するステップと、
前記干渉パターンを検出するステップと、
前記検出によって得られる測定信号を評価して、前記対象物の位置を求めるステップと、
を含んでいる、方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP10153054.1 | 2010-02-09 | ||
EP10153054.1A EP2363685B1 (de) | 2010-02-09 | 2010-02-09 | Vorrichtung zur Positionserfassung mit konfokalem Fabry-Perot Interferometer |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011174922A true JP2011174922A (ja) | 2011-09-08 |
JP5306386B2 JP5306386B2 (ja) | 2013-10-02 |
Family
ID=42200873
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011026084A Active JP5306386B2 (ja) | 2010-02-09 | 2011-02-09 | ファブリペロー干渉計を利用して位置を取得する装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8773666B2 (ja) |
EP (1) | EP2363685B1 (ja) |
JP (1) | JP5306386B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020516851A (ja) * | 2017-04-18 | 2020-06-11 | クオリティー ヴィジョン インターナショナル インコーポレイテッドQuality Vision International, Inc. | 干渉測定機用光学ペン |
JP7115675B2 (ja) | 2018-02-27 | 2022-08-09 | 公立大学法人北九州市立大学 | 位置検出装置及び形状検出装置 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102011056002A1 (de) * | 2011-12-02 | 2013-06-06 | Grintech Gmbh | Optisch korrigierende Mikrosonde zur Weißlicht-Interferometrie |
DE102012217700B4 (de) * | 2012-09-28 | 2015-03-12 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Messvorrichtung zur Messung einer Strahlposition |
EP2806246B1 (en) | 2013-05-24 | 2019-11-20 | Attocube Systems AG | Dual laser interferometer |
CN104515621B (zh) * | 2014-12-24 | 2017-09-08 | 天津大学 | 基于密闭微腔气体热效应的光纤温度传感器及其制作方法 |
DE102016103109B4 (de) | 2016-02-23 | 2018-07-26 | Björn Habrich | Vermessung einer kavität mittels interferenzspektroskopie |
DE102018208147A1 (de) | 2018-05-24 | 2019-11-28 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Messanordnung zur frequenszbasierten Positionsbestimmung einer Komponente |
DE102018218488A1 (de) | 2018-10-29 | 2018-12-13 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Messanordnung zur interferometrischen Absolutmessung des Abstandes zwischen zwei Komponenten in einem optischen System für die Mikrolithographie |
CN110726366A (zh) * | 2019-10-28 | 2020-01-24 | 哈尔滨工业大学 | 光纤法布里珀罗干涉仪非线性误差修正方法 |
EP3872444A1 (en) * | 2020-02-25 | 2021-09-01 | ASML Netherlands B.V. | Interferometer system and lithographic apparatus |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1983003010A1 (en) * | 1982-02-24 | 1983-09-01 | Jackson, David, Alfred | Optical displacement sensing apparatus |
JPH02276961A (ja) * | 1989-04-19 | 1990-11-13 | Nippon Steel Corp | レーザ超音波探傷装置 |
JPH095028A (ja) * | 1995-04-17 | 1997-01-10 | Senshin Zairyo Riyou Gas Jienereeta Kenkyusho:Kk | 光学式センサ |
JP2000002690A (ja) * | 1998-06-18 | 2000-01-07 | Agency Of Ind Science & Technol | 超音波検出用光干渉装置 |
JP2001280914A (ja) * | 2000-03-29 | 2001-10-10 | Tokyo Sokki Kenkyusho Co Ltd | 光干渉測定方法 |
JP2001318081A (ja) * | 2000-05-10 | 2001-11-16 | Toshiba Corp | レーザ超音波検査装置 |
JP2005529498A (ja) * | 2002-06-06 | 2005-09-29 | アルファ・イーエックスエックス・エイビイ | 共振器 |
JP2006084392A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-30 | Nippon Steel Corp | レーザ超音波を利用したオンライン結晶粒径測定装置及び測定方法 |
JP2007517194A (ja) * | 2003-12-05 | 2007-06-28 | アルファ イーエックスエックス エービー | 測定装置 |
WO2009043421A1 (de) * | 2007-10-04 | 2009-04-09 | Attocube Systems Ag | Verfahren und vorrichtung zur positionserfassung |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4018998A1 (de) * | 1990-06-13 | 1992-01-02 | Dynisco Geraete Gmbh | Faseroptischer drucksensor |
US7492463B2 (en) * | 2004-04-15 | 2009-02-17 | Davidson Instruments Inc. | Method and apparatus for continuous readout of Fabry-Perot fiber optic sensor |
EP1869737B1 (en) * | 2005-03-16 | 2021-05-12 | Davidson Instruments, Inc. | High intensity fabry-perot sensor |
US7898731B2 (en) * | 2007-11-20 | 2011-03-01 | The Regents Of The University Of California | Fiber optical parametric oscillator with high power and bandwidth |
CN101562310B (zh) * | 2009-05-04 | 2010-09-01 | 北京国科世纪激光技术有限公司 | 被动锁模皮秒激光器 |
US8045175B2 (en) * | 2009-06-19 | 2011-10-25 | Zygo Corporation | Equal-path interferometer |
-
2010
- 2010-02-09 EP EP10153054.1A patent/EP2363685B1/de active Active
-
2011
- 2011-02-08 US US13/022,901 patent/US8773666B2/en active Active
- 2011-02-09 JP JP2011026084A patent/JP5306386B2/ja active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1983003010A1 (en) * | 1982-02-24 | 1983-09-01 | Jackson, David, Alfred | Optical displacement sensing apparatus |
JPH02276961A (ja) * | 1989-04-19 | 1990-11-13 | Nippon Steel Corp | レーザ超音波探傷装置 |
JPH095028A (ja) * | 1995-04-17 | 1997-01-10 | Senshin Zairyo Riyou Gas Jienereeta Kenkyusho:Kk | 光学式センサ |
JP2000002690A (ja) * | 1998-06-18 | 2000-01-07 | Agency Of Ind Science & Technol | 超音波検出用光干渉装置 |
JP2001280914A (ja) * | 2000-03-29 | 2001-10-10 | Tokyo Sokki Kenkyusho Co Ltd | 光干渉測定方法 |
JP2001318081A (ja) * | 2000-05-10 | 2001-11-16 | Toshiba Corp | レーザ超音波検査装置 |
JP2005529498A (ja) * | 2002-06-06 | 2005-09-29 | アルファ・イーエックスエックス・エイビイ | 共振器 |
JP2007517194A (ja) * | 2003-12-05 | 2007-06-28 | アルファ イーエックスエックス エービー | 測定装置 |
JP2006084392A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-30 | Nippon Steel Corp | レーザ超音波を利用したオンライン結晶粒径測定装置及び測定方法 |
WO2009043421A1 (de) * | 2007-10-04 | 2009-04-09 | Attocube Systems Ag | Verfahren und vorrichtung zur positionserfassung |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020516851A (ja) * | 2017-04-18 | 2020-06-11 | クオリティー ヴィジョン インターナショナル インコーポレイテッドQuality Vision International, Inc. | 干渉測定機用光学ペン |
JP7115675B2 (ja) | 2018-02-27 | 2022-08-09 | 公立大学法人北九州市立大学 | 位置検出装置及び形状検出装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8773666B2 (en) | 2014-07-08 |
EP2363685A1 (de) | 2011-09-07 |
EP2363685B1 (de) | 2013-11-20 |
US20110211199A1 (en) | 2011-09-01 |
JP5306386B2 (ja) | 2013-10-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5306386B2 (ja) | ファブリペロー干渉計を利用して位置を取得する装置 | |
Thurner et al. | Fabry-Pérot interferometry for long range displacement sensing | |
US7319528B2 (en) | Surface texture measuring instrument | |
US10234265B2 (en) | Distance measuring device and method for measuring distances | |
US8570529B2 (en) | Device for position detection | |
US7847953B2 (en) | Homodyne laser interferometer probe and displacement measurement system using the same | |
Giuliani et al. | Angle measurement by injection detection in a laser diode | |
Schulz et al. | Measurement of distance changes using a fibre-coupled common-path interferometer with mechanical path length modulation | |
Hausotte et al. | High-speed focal-distance-modulated fiber-coupled confocal sensor for coordinate measuring systems | |
US9671219B2 (en) | Reproduction of nano movements at a distance | |
US8437006B2 (en) | Displacement sensor with embedded coherent electromagnetic radiation interferometer for micro scale proximity measurements | |
JPH1144693A (ja) | 近接場光学顕微鏡のプローブチップ位置の測定方法とその装置および制御装置 | |
US9638513B2 (en) | Device and method for the interferometric measuring of an object | |
RU2279112C2 (ru) | Волоконно-оптическая сенсорная система | |
KR102656778B1 (ko) | 원자 힘 현미경 기반 간섭계 | |
US20120314200A1 (en) | Coupled multi-wavelength confocal systems for distance measurements | |
JP4895379B2 (ja) | レバー加振機構及び走査型プローブ顕微鏡 | |
JP6341325B2 (ja) | ステージの位置制御装置 | |
JPS6293603A (ja) | 光学式物理量測定装置 | |
Orłowska et al. | Metrological 2iOF fibre-optic system for position and displacement measurement with 31 pm resolution | |
JP3702334B2 (ja) | 自律制御端度器 | |
JP2022504306A (ja) | 試料の表面の局所的な高さおよび/または配向をクロマティック共焦点測定するための装置および試料の高さまたは粗さを測定するための対応する方法 | |
Zeng et al. | Multi-point dynamic displacement probe that uses a self-focusing micro-lens array | |
Lehmann et al. | Fiber optic interferometric sensor based on mechanical oscillation | |
Schulz et al. | Fiber optical interferometric sensor based on a piezo-driven oscillation |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130124 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130129 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130426 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130528 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130625 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5306386 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |