JP6341325B2 - ステージの位置制御装置 - Google Patents
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Description
図1は本発明に係るステージの位置制御装置の全体構成を示すブロック図である。
図2は、光コム計測器の第1の実施形態を示すブロック図である。
[数1]
Δi=δi−δi-1
により表すことができる。
図10は、光コム計測器の第2の実施形態を示すブロック図である。尚、図10において、図2に示した第1の実施形態の光コム計測器30と共通する部分には同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
本実施の形態の光コム計測器30、30Aは、参照面又は測定面を正弦波振動させ、参照光又は測定光に正弦波状の位相変調を与えることにより、正弦波状の位相変調に対応する干渉光を発生させるようにしたが、これに限らず、参照面又は測定面を正弦波振動させず、また、ロックインアンプ72を使用せずに、例えば、第2のピエゾ素子20に三角波状の電圧信号を印加して測定面18aのみを移動(走査)させ、光検出部64の出力信号にピーク値が生じたとき(干渉光が発生したとき)の電圧信号から測定面18aの変位量を検出するようにしてもよい。
Claims (5)
- ステージの移動指令を出力する移動指令部と、
前記ステージの可動範囲にわたって当該ステージの空間位置を検出する位置検出器と、
前記移動指令部により出力されるステージの移動指令と前記位置検出器により検出される位置検出信号とに基づいて、前記ステージの位置を制御する第1の制御部と、
所定の繰り返し周波数を有する光コムを発生する光周波数コム発生部と、
前記光周波数コム発生部から発生する光コムを分岐させ、それぞれ測定光及び参照光として前記ステージに取り付けられた測定対象物の測定面及び所定位置の参照面に入射させ、前記測定面及び参照面で反射した前記測定光と前記参照光との干渉光を発生させる干渉光学系と、
前記測定対象物の測定面を移動させ、前記干渉光学系の光路差を変化させる光路差可変部と、
前記干渉光学系により発生する干渉光を入射し、該干渉光に対応する電気信号を出力する光検出部と、
前記光検出部から出力される電気信号に基づいて、前記干渉光が最大になるように前記光路差可変部を制御する第2の制御部と、
前記第1の制御部により、前記光コムの所定の繰り返し周波数の周波数間隔に対応する空間間隔を有する位置毎に、前記ステージを位置決めさせる第3の制御部と、
前記第2の制御部による制御により前記干渉光が最大になったときの、前記測定対象物の測定面の変位量を検出する変位量検出部であって、前記第3の制御部により位置決め制御されたステージの位置毎に変位量を検出する変位量検出部と、
前記変位量検出部により検出される複数の変位量に基づいて、前記位置検出器により検出されるステージの空間位置を校正する校正部と、
を備えたステージの位置制御装置。 - 前記測定対象物の測定面及び所定位置の参照面のうちの一方を、所定の振幅及び周波数で振動させる加振部を備えた請求項1に記載のステージの位置制御装置。
- 前記第2の制御部は、前記加振部による振動の周波数に対応して、前記光検出部から出力される電気信号を位相検波する位相検波部を有し、前記位相検波部により検波される位相がゼロになるように前記光路差可変部を制御する請求項2に記載のステージの位置制御装置。
- 前記加振部は、前記参照面が取り付けられた第1のピエゾ素子と、所定の周波数の正弦波信号を発生する発信器と、前記正弦波信号を増幅し、前記第1のピエゾ素子に出力する増幅器とからなる請求項2又は3に記載のステージの位置制御装置。
- 前記光路差可変部は、前記測定面が取り付けられた第2のピエゾ素子と、前記第2のピエゾ素子を駆動する駆動部とからなる請求項4に記載のステージの位置制御装置。
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