JP2011158801A - 偏光素子、偏光素子の製造方法、液晶装置、電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】放熱性に優れた偏光素子、偏光素子の製造方法、液晶装置、電子機器を提供する。
【解決手段】基板と、前記基板上であって、平面視においてストライプ状に配列された複数の突起部と、それぞれの前記突起部の頂部に形成され、前記突起部の配列方向と直交する断面視において楕円形状を有する放熱部と、を備えた。
【選択図】図１

Description

本発明は、偏光素子、偏光素子の製造方法、液晶装置、電子機器に関する。

電子機器としてのプロジェクターは、光変調装置としての液晶装置を備えている。当該液晶装置は、対向配置された一対の基板間に液晶層が挟持された構成のものが知られている。この一対の基板には、液晶層に電圧を印加するための電極がそれぞれ形成されている。そして、各基板には偏光板が配置されており、液晶層に対して所定の偏光が入射及び出射される構成となっている。

ところで、上記プロジェクターでは、光源としてハロゲンランプや高圧水銀ランプ等が用いられている。そして、光源から偏光板に対して強力な光が照射されるため、照射した光による熱等により偏光板が劣化して光学特性が低下してしまうおそれがある。そこで、例えば、液晶装置と偏光板との間に冷却ファンによって風を送り込むことにより偏光板を冷却する構成のものが知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開平１１−２５８５６９号公報

しかしながら、上記の構成では、偏光板に風を送り込むための送風装置等を要するため、部品点数が増加してしまう。また、構成が複雑化してしまう、という課題があった。

本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例にかかる偏光素子は、基板と、前記基板上であって、平面視においてストライプ状に配列された複数の突起部と、それぞれの前記突起部の頂部に形成され、前記突起部の配列方向と直交する断面視において楕円形状を有する放熱部と、を備えたことを特徴とする。

この構成によれば、基板上に形成された突起部と、突起部上に形成された楕円形状を有する放熱部と、によって、容易な構成で、効果的に放熱を行うことができる。そして、例えば、偏光素子を、プロジェクターの光変調装置の一部として用いた場合において、光源としてのハロゲンランプや高圧水銀ランプ等から光を照射したとき、照射光による熱が、突起部及び放熱部から放熱され、熱による劣化等を防止することができる。さらに、突起部は、放熱部によって外力から保護されるため、取り扱い性を向上させることができる。

［適用例２］上記適用例にかかる偏光素子の前記放熱部は、隣接する前記突起部のうち、一方の前記突起部側の方向に形成された第１凸部と、隣接する前記突起部のうち、他方の前記突起部側の方向に形成された第２凸部と、を有することを特徴とする。

この構成によれば、隣接する突起部の双方に向けて形成された第１凸部と第２凸部により、容易な構成で、効果的に放熱を行うことができる。

［適用例３］上記適用例にかかる偏光素子では、隣接する前記放熱部との間に隙間を有することを特徴とする。

この構成によれば、突起部や放熱部からの放熱に加え、隣接する放熱部との間に形成された隙間からも熱を逃がし、さらに放熱性を向上させることができる。

［適用例４］上記適用例にかかる偏光素子では、前記突起部の表面に形成された保護膜を備え、前記放熱部が、前記保護膜上に形成されたことを特徴とする。

この構成によれば、突起部を保護し、信頼性を向上させることができる。例えば、突起部の材料にアルミニウムが用いられた場合では、水分等に反応して腐食が発生するおそれがあるが、突起部の表面を保護膜で覆うことにより、腐食の発生を防止することができる。

［適用例５］上記適用例にかかる偏光素子では、前記基板と隣接する前記突起部と隣接する前記突起部に形成された前記放熱部とで囲まれた空間を有することを特徴とする。

この構成によれば、例えば、放熱部側から基板側に向けて光を照射した際に、放熱部を透過した光は、空間を介して基板方向に進行する。ここで、空間における屈折率は、ほぼ１であるため、空間中に進入した光は、ほぼ屈折せずに基板方向に進行するため、光学特性を十分確保することができる。

［適用例６］上記適用例にかかる偏光素子の前記突起部は、前記基板上に形成された第１突起部と、前記第１突起部上に形成された第２突起部と、を有し、前記第１突起部は、相対的に光の反射性が高い光反射性材料からなり、前記第２突起部は、相対的に光の吸収性が高い光吸収性材料からなることを特徴とする。

この構成によれば、第１突起部において所望の光反射性を確保しつつ、第２突起部において所望の光吸収性を確保することができる。これにより、例えば、偏光素子を表示装置に用いた場合に、表示コントラストを向上させることができる。

［適用例７］本適用例にかかる偏光素子の製造方法は、基板上であって、平面視においてストライプ状に複数の突起部を形成する突起部形成工程と、それぞれの前記突起部の頂部に、前記突起部の配列方向と直交する断面視において楕円形状を有する放熱部を形成する放熱部形成工程と、を含むことを特徴とする。

この構成によれば、基板上に突起部が形成され、突起部上に楕円形状を有する放熱部が形成される。これにより、容易な構成で、効果的に放熱を行うことができる。そして、例えば、偏光素子を、プロジェクターの光変調装置の一部として用いた場合において、光源としてのハロゲンランプや高圧水銀ランプ等から光を照射したとき、照射光による熱が、突起部及び放熱部から放熱され、熱による劣化等を防止することができる。さらに、突起部は、放熱部によって外力から保護されるため、取り扱い性を向上させることができる。

［適用例８］上記適用例にかかる偏光素子の製造方法の前記放熱部形成工程では、隣接する前記突起部のうち、一方の前記突起部側の方向から斜方成膜して、隣接する前記突起部のうち、一方の前記突起部側の方向に向けた第１凸部を形成する第１凸部形成工程と、隣接する前記突起部のうち、他方の前記突起部側の方向から斜方成膜して、隣接する前記突起部のうち、他方の前記突起部側の方向に向けた第２凸部を形成する第２凸部形成工程と、を含むことを特徴とする。

この構成によれば、隣接する突起部の双方に向けて第１凸部と第２凸部が形成され、容易な構成で、効果的に放熱を行うことができる。

［適用例９］上記適用例にかかる偏光素子の製造方法の前記放熱部形成工程では、前記第１凸部形成工程と前記第２凸部形成工程を同時期に行うことを特徴とする。

この構成によれば、第１凸部と第２凸部の形成処理時間を短縮させることができる。

［適用例１０］上記適用例にかかる偏光素子の製造方法では、前記突起部形成工程と前記放熱部形成工程との間に、前記突起部の表面に保護膜を形成する保護膜形成工程を有することを特徴とする。

この構成によれば、保護膜の形成によって突起部が保護されるので、信頼性を向上させることができる。

［適用例１１］本適用例にかかる液晶装置は、上記の偏光素子、または、上記の偏光素子の製造方法によって製造された偏光素子を備えたことを特徴とする。

この構成によれば、放熱性に優れた液晶装置を提供することができる。

［適用例１２］本適用例にかかる電子機器は、上記の偏光素子、または、上記の偏光素子の製造方法によって製造された偏光素子、または、上記の液晶装置を搭載したことを特徴とする。

この構成によれば、高品位の電子機器を提供することができる。この場合、電子機器として、例えば、プロジェクター等の投射型表示装置や、携帯電話機等の携帯端末機、テレビ受像機等が該当する。

偏光素子の構成を示す概略図。 偏光素子の製造方法を示す工程図。 電子機器としてのプロジェクターの構成を示す概略図。 液晶装置の構成を示す概略図。 液晶装置を搭載した電子機器としての携帯電話機の構成を示す斜視図。 変形例にかかる偏光素子の構成を示す概略図。

以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材ごとに縮小を異ならせて図示している。

（偏光素子の構成）
まず、偏光素子の構成について説明する。図１は、偏光素子の構成を示し、同図（ａ）は、断面図であり、同図（ｂ）は、平面図である。なお、以下の説明においてはＸＹＺ座標系を設定し、このＸＹＺ座標系を参照しつつ各部材の位置関係を説明する。この際、水平面内における所定の方向をＸ軸方向、水平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、垂直面内においてＸ軸方向とＹ軸方向のそれぞれに直交する方向をＺ軸方向とする。本実施形態では、以下に説明する突起部３の延在方向をＸ軸方向とし、突起部３の配列軸をＹ軸方向として表している。

図１（ａ），（ｂ）に示すように、偏光素子１は、基板２と、基板２上であって、平面視においてストライプ状に配列された複数の突起部３と、それぞれの突起部３の頂部に形成された放熱部５を備えている。放熱部５は、突起部３の配列方向と直交する断面視において楕円形状を有している。基板２は、例えば、ガラスや石英、プラスチック等の透光性を有する材料である。なお、偏光素子１を適用する用途によっては、偏光素子１が蓄熱して高温になる場合があるため、基板２の材料としては、耐熱性の高いガラスや石英を用いることが好ましい。

基板２の表面（一方面側）には、Ｘ軸方向に延在する複数の突起部３が、平面視において略ストライプ状（縞状）に形成されている。突起部３は、光反射性が相対的に高い光反射性材料が用いられ、例えば、アルミニウム（Ａｌ）のような金属材料等である。そして、隣接する突起部３の間には溝部６が形成されている。溝部６は、可視光の波長よりも短い周期でＹ軸方向に均等な間隔で形成されており、突起部３も同周期で配列されている。例えば、突起部３の高さは、５０〜２００ｎｍであり、突起部３の幅は、７０ｎｍである。また、隣接する突起部３の間隔（溝部６のＹ軸方向の幅）は、７０ｎｍであり、周期（ピッチ）は、１４０ｎｍ、である。このように、偏光素子１は、ワイヤーグリッド構造を有している。

突起部３の表面には保護膜４が形成されている。保護膜４は、ＳｉＯ₂等の可視光に対して透明な光学材料である。なお、ＳｉＯ₂の他の材料としては、Ａｌ₂Ｏ₃やＭｇＦ₂等を用いることもできる。

それぞれの突起部３の頂部には、Ｘ軸方向に延在する放熱部５が形成されている。本実施形態では、突起部３の頂部であって、保護膜４上に放熱部５が形成されている。前述の通り偏光素子１を適用する用途によっては、偏光素子１が蓄熱して高温になるため、放熱部５は、効果的に放熱する機能を有している。放熱部５は、可視領域において光の吸収性が低い誘電体からなり、例えば、ＳｉＯ₂、Ａｌ₂Ｏ₃等の酸化物や、ＳｉＮ等の窒化物である。

各放熱部５は、突起部３の配列方向と直交する断面視において楕円形状を有し、表面積をより多く得ている。図１（ａ）に示すように、各放熱部５は、第１凸部５ａと第２凸部５ｂを有している。具体的には、第１凸部５ａは、隣接する突起部３のうち、一方の突起部３側の方向に形成され、第２凸部５ｂは、隣接する突起部３のうち、他方の突起部３側の方向に形成されている。また、隣接する放熱部５との間に隙間１０を有している。このように隙間１０を有することにより、基板２側での蓄熱を隙間１０を介して外部に逃がすことが可能となり、放熱効果を向上させることができる。また、放熱部５は突起部３の頂部に形成されるので、放熱部５によって突起部３が保護される。従って、当該放熱部５は、放熱機能を有するとともに、突起部３等を保護する保護膜としてとも機能する。

また、偏光素子１は、図１（ａ）に示すように、基板２と隣接する突起部３と隣接する突起部３に形成された放熱部５とで囲まれた空間１２を有している。当該空間１２は、空気（或いは、真空雰囲気）であるため、突起部３間は、屈折率がほぼ１となる。従って、光学特性を十分確保することができる。そして、上記のように構成された偏光素子１Ａでは、突起部３の延在方向に対して略直交する方向（Ｙ軸方向）に振動する直線偏光（ＴＭ波）を透過させ、突起部３の延在方向（Ｘ軸方向）に対して略平行方向に振動する直線偏光（ＴＥ波）を反射させることができる。

（偏光素子の製造方法）
次に、本実施形態の偏光素子１の製造方法について説明する。図２は、偏光素子の製造方法を示す工程図である。本実施形態にかかる偏光素子１の製造方法は、基板２上であって、平面視においてストライプ状に複数の突起部３を形成する突起部形成工程と、それぞれの突起部３の頂部に、突起部３の配列方向と直交する断面視において楕円形状を有する放熱部５を形成する放熱部形成工程と、を含むものである。以下、図面を参照しながら説明する。

図２（ａ）の突起部形成工程では、基板２上に突起部３を形成する。具体的には、石英等の基板２上に、アルミニウム等の導電性膜を成膜し、当該導電性膜上にレジスト膜を形成する。次いで、レジスト膜を露光し、その後に現像して、略ストライプ状のパターンをレジスト膜に発現させる。次いで、発現されたレジスト膜をエッチングマスクとして用いて、導電性膜を基板２面までエッチングする。その後、レジスト膜を除去することにより、図２（ａ）に示すように、基板２上にストライプ状に配置された複数の突起部３が形成される。

図２（ｂ）の保護膜形成工程では、突起部３の表面に保護膜４を形成する。例えば、スパッタ法を用いて、突起部３上にＳｉＯ₂等の誘電体膜を形成する。

図２（ｃ）の放熱部形成工程では、それぞれの突起部３の頂部に放熱部５を形成する。
当該放熱部形成工程は、隣接する突起部３のうち、一方の突起部３側の方向から斜方成膜して、隣接する突起部３のうち、一方の突起部３側の方向に向けた第１凸部を形成する第１凸部形成工程と、隣接する突起部３のうち、他方の突起部３側の方向から斜方成膜して、隣接する突起部３のうち、他方の突起部３側の方向に向けた第２凸部を形成する第２凸部形成工程と、を含む。ここで、本実施形態では、第１凸部形成工程と第２凸部形成工程
を同時期に行う。例えば、図２（ｃ）に示すように、スパッタ装置を用いて、一方の突起部３側の方向及び他方の突起部３側の方向から斜方成膜する。図２（ｃ）では、スパッタ粒子の入射方向を矢印で表し、スパッタ粒子の堆積段階における放熱部５’を示している。そして、さらに、スパッタ粒子を堆積させることにより、図２（ｄ）に示すように、断面視において楕円形状の放熱部５が形成される。基板２面に対する斜方成膜の斜方角度は、およそ０〜５０°の範囲で適宜設定することができる。斜方成膜は、所定の処理時間経過後に終了する。すなわち、所望の放熱部５の形状を得た段階で終了する。なお、さらに、斜方成膜を継続した場合には、放熱部５が、断面視において円形状に形成されていくが、処理時間の短縮化、材料削減等を考慮し、本実施形態では、放熱部５が、断面視において楕円形状を有した段階で放熱部形成工程を終了させる。

ここで、上記の放熱部形成工程では、斜方成膜した際、隣接した放熱部５’の一部が影（シャドーイング効果）となり、隣接する放熱部５との間に隙間１０が形成される。さらに、突起部３の一部や放熱部５’の一部が影（シャドーイング効果）となり、基板２と隣接する突起部３と隣接する突起部３に形成された放熱部５とで囲まれた空間１２が形成される。

なお、上記した放熱部形成工程における斜方成膜では、スパッタ装置のターゲットに近い側と遠い側では、堆積するスパッタ粒子の量が異なり、ターゲットに近いほど堆積するスパッタ粒子の量が多くなる傾向がある。このため、第１凸部５ａの体積は、スパッタ装置のターゲットに近い側（Ｙ軸負方向側）ほど大きく、ターゲットから遠い側（Ｙ軸正方向側）ほど小さくなる。一方、第２凸部５ｂの体積は、スパッタ装置のターゲットに近い側（Ｙ軸正方向側）ほど大きく、ターゲットから遠い側（Ｙ軸負方向側）ほど小さくなる。従って、各第１凸部５ａ及び各第２凸部５ｂの体積は異なるが、各突起部３に対応する第１凸部５ａと第２凸部５ｂとの体積の和は等しくなり、各突起部３上には、体積和が等しい放熱部５が形成される。これにより、偏光状態が安定し、光学特性を向上させることができる。以上の工程を経ることにより、偏光素子１を製造することができる。

（電子機器の構成）
次に、電子機器の構成について説明する。図３は、電子機器としてのプロジェクターの構成を示す概略図である。図３に示すように、プロジェクター８００は、光源８１０と、ダイクロイックミラー８１３，８１４と、反射ミラー８１５，８１６，８１７と、入射レンズ８１８と、リレーレンズ８１９と、出射レンズ８２０と、光変調部８２２，８２３，８２４と、クロスダイクロイックプリズム８２５と、投射レンズ８２６等を有している。

光源８１０は、メタルハライド等のランプ８１１とランプの光を反射するリフレクター８１２とからなる。なお、光源８１０としては、メタルハライド以外にも超高圧水銀ランプ、フラッシュ水銀ランプ、高圧水銀ランプ、Ｄｅｅｐ ＵＶランプ、キセノンランプ、キセノンフラッシュランプ等を用いることも可能である。

ダイクロイックミラー８１３は、光源８１０からの白色光に含まれる赤色光を透過させるとともに、青色光と緑色光とを反射する。透過した赤色光は反射ミラー８１７で反射されて、赤色光用の光変調部８２２に入射される。また、ダイクロイックミラー８１３で反射された青色光と緑色光のうち、緑色光は、ダイクロイックミラー８１４によって反射され、緑色光用光変調部８２３に入射される。青色光は、ダイクロイックミラー８１４を透過し、長い光路による光損失を防ぐために設けられた入射レンズ８１８、リレーレンズ８１９及び出射レンズ８２０を含むリレー光学系８２１を介して、青色光が光変調部８２４に入射される。

光変調部８２２〜８２４は、液晶ライトバルブ８３０を挟んで両側に、入射側偏光素子部８４０と射出側偏光素子部８５０と、が配置されている。入射側偏光素子部８４０と射出側偏光素子部８５０とは、互いの透過軸が直交して（クロスニコル配置）配置されている。そして、入射側偏光素子部８４０及び射出側偏光素子部８５０には、上記の偏光素子１が含まれている。

各光変調部８２２〜８２４により変調された３つの色光は、クロスダイクロイックプリズム８２５に入射する。このクロスダイクロイックプリズム８２５は４つの直角プリズムを貼り合わせたものであり、その界面には赤光を反射する誘電体多層膜と青光を反射する誘電体多層膜とがＸ字状に形成されている。これらの誘電体多層膜により３つの色光が合成されて、カラー画像を表す光が形成される。合成された光は、投射光学系である投射レンズ８２６によってスクリーン８２７上に投写され、画像が拡大されて表示される。

以上のような構成のプロジェクター８００では、入射側偏光素子部８４０及び射出側偏光素子部８５０に、上述した偏光素子１を用いるため、高出力の光源を用いても、放熱部５により放熱性が向上され、光変調部８２２〜８２４の劣化が抑えられる。そのため、信頼性が高く優れた表示特性を有するプロジェクター８００を提供することができる。

（液晶装置の構成）
次に、液晶装置の構成について説明する。図４は、液晶装置の構成を示す概略図である。図４に示すように、液晶装置９００は、素子基板９１０と、対向基板９２０と、素子基板９１０と対向基板９２０の間に配置された液晶層９５０と、を備えている。

素子基板９１０及び対向基板９２０のそれぞれには、偏光素子部９３０，９４０を備えている。偏光素子部９３０，９４０には、上記した偏光素子１が含まれている。

偏光素子部９３０は、基板本体９３１と突起部９３２及び放熱部９３３を備え、偏光素子部９４０は、基板本体９４１と突起部９４２及び放熱部９４３を備えている。本実施形態では、基板本体９３１，９４１は偏光素子の基板であると同時に液晶装置用の基板も兼ねている。また、突起部９３２と突起部９４２は、互いに交差するように配置されている。

偏光素子部９３０の内面側（液晶層９５０側）には、画素電極９１４や不図示の配線やＴＦＴ素子を備え、配向膜９１６が設けられている。同様に、偏光素子部９４０の内面側（液晶層９５０側）には、共通電極９２４や配向膜９２６が設けられている。

このような構成の液晶装置９００では、偏光素子部９３０，９４０に放熱部が設けられた偏光素子が配置されるため、放熱特性を向上させることができる。さらに、基板本体９３１，９４１が、液晶装置用の基板と、偏光素子用の基板との機能をかねることから、部品点数を削減することができる。そのため、装置全体が薄型化でき、液晶装置９００の機能を向上させることができる。更に、装置構造が簡略化されるので、製造が容易であるとともにコスト削減を図ることができる。

（液晶装置を搭載した電子機器の構成）
次に、上記の液晶装置を搭載した電子機器の構成について説明する。図５は、液晶装置を搭載した電子機器としての携帯電話機の構成を示す斜視図である。図５に示すように、携帯電話機１０００は、上記液晶装置９００を含む表示部１００１と、複数の操作ボタン１００２と、受話口１００３と、及び送話口１００４等を備えている。これにより、信頼性に優れ、高品質な表示が可能な表示部を具備した携帯電話機１０００を提供することができる。

また、上記の液晶装置９００は、上記携帯電話機１０００の他にも、例えば、電子ブック、パーソナルコンピューター、ディジタルスチールカメラ、液晶テレビ、プロジェクター、ビューファインダー型あるいはモニター直視型のビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳、電卓、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた機器等々の画像表示手段として好適に用いることができる。

従って、上記実施形態によれば、以下に示す効果がある。

（１）各突起部３上に形成された放熱部５により、簡易な構成で容易に放熱性を向上させることができる。

（２）隣接する放熱部５の間に隙間１０を形成した。これにより、突起部３や放熱部５からの放熱に加え、隙間１０からも放熱され、さらに放熱性を向上させることができる。

（３）突起部３の頂部に放熱部５が形成されるため、突起部３や基板２を保護する保護膜としても機能する。すなわち、放熱機能を有するとともに、取り扱い性を向上させることができる。

なお、上記の実施形態に限定されるものではなく、以下のような変形例が挙げられる。

（変形例１）上記実施形態では、突起部３は、相対的に光の反射性が高い光反射性材料のアルミニウムで形成されたが、これに限定されない。例えば、図６に示すように、突起部３は、基板２上に形成された第１突起部３ａと、第１突起部３ａ上に形成された第２突起部３ｂと、を有し、第１突起部３ａは、相対的に光の反射性が高い光反射性材料からなり、第２突起部３ｂは、相対的に光の吸収性が高い光吸収性材料からなる構成としてもよい。この場合、第１突起部３ａは、例えば、Ａｌ，Ａｕ，Ａｇ，Ｃｒ，Ｔｉ，Ｎｉ，Ｗ，Ｆｅ等の金属材料を用い、第２突起部３ｂは、例えば、Ｓｉ，Ｇｅ，Ｍｏ，Ｔｅ等の半金属材料等を用いる。なお、図６に示すように、第１突起部３ａと第２突起部３ｂとの間に、例えば、ＳｉＯ₂等の酸化膜からなる下地膜４を形成してもよい。このようにすれば、第１突起部３ａにより所望の光反射性を確保しつつ、第２突起部３ｂにより所望の光吸収性を確保することができる。従って、例えば、偏光素子１を液晶表示装置等に用いた場合に、表示コントラストを向上させることができる。また、第１突起部３ａを下層とし、第２突起部３ｂを上層とした積層構造を形成することにより、ＴＥ波を選択的に減衰させることができる。上層としての第２突起部３ｂが光吸収層、下層としての第１突起部３ａが光反射層とした場合に、上層側から入射したＴＥ波は、上層の第２突起部３ｂの光吸収作用によって減衰されるが、ＴＥ波の一部は吸収されずに下層の第１突起部３ａで反射される。この反射されたＴＥ波は上層を透過する際の吸収・干渉効果により更に減衰される。よって、以上のようなＴＥ波の選択的な減衰効果により、所望の偏光特性を得ることができる。

（変形例２）上記実施形態では、突起部３の断面形状が矩形であったが、これに限定されない。例えば、突起部３の断面形状は、台形や三角形であってもよい。このようにしても、上記同様の効果を得ることができる。

（変形例３）上記実施形態では、第１凸部５ａを形成する斜方成膜の斜方角度と、第２凸部５ｂを形成する斜方成膜の斜方角度は、ほぼ同様の角度としたが、これに限定されない。第１凸部５ａ及び第２凸部５ｂの斜方角度をそれぞれ異ならせて斜方成膜してもよい。このようにしても、上記同様の効果を得ることができる。

１…偏光素子、２…基板、３…突起部、３ａ…第１突起部、３ｂ…第２突起部、４…保護膜（下地膜）、５…放熱部、５ａ…第１凸部、５ｂ…第２凸部、１０…隙間、１２…空間、８００…プロジェクター、８４０…入射側偏光素子部、８５０…射出側偏光素子部、９００…液晶装置、９３０，９４０…偏光素子部、１０００…携帯電話機。

Claims (12)

1. 基板と、
   前記基板上であって、平面視においてストライプ状に配列された複数の突起部と、
   それぞれの前記突起部の頂部に形成され、前記突起部の配列方向と直交する断面視において楕円形状を有する放熱部と、を備えたことを特徴とする偏光素子。
2. 請求項１に記載の偏光素子において、
   前記放熱部は、
   隣接する前記突起部のうち、一方の前記突起部側の方向に形成された第１凸部と、
   隣接する前記突起部のうち、他方の前記突起部側の方向に形成された第２凸部と、を有することを特徴とする偏光素子。
3. 請求項１または２に記載の偏光素子において、
   隣接する前記放熱部との間に隙間を有することを特徴とする偏光素子。
4. 請求項１〜３のいずれか一項に記載の偏光素子において、
   前記突起部の表面に形成された保護膜を備え、
   前記放熱部が、前記保護膜上に形成されたことを特徴とする偏光素子。
5. 請求項１〜４のいずれか一項に記載の偏光素子において、
   前記基板と隣接する前記突起部と隣接する前記突起部に形成された前記放熱部とで囲まれた空間を有することを特徴とする偏光素子。
6. 請求項１〜５のいずれか一項に記載の偏光素子において、
   前記突起部は、
   前記基板上に形成された第１突起部と、
   前記第１突起部上に形成された第２突起部と、を有し、
   前記第１突起部は、相対的に光の反射性が高い光反射性材料からなり、
   前記第２突起部は、相対的に光の吸収性が高い光吸収性材料からなることを特徴とする偏光素子。
7. 基板上であって、平面視においてストライプ状に複数の突起部を形成する突起部形成工程と、
   それぞれの前記突起部の頂部に、前記突起部の配列方向と直交する断面視において楕円形状を有する放熱部を形成する放熱部形成工程と、を含むことを特徴とする偏光素子の製造方法。
8. 請求項７に記載の偏光素子の製造方法において、
   前記放熱部形成工程では、
   隣接する前記突起部のうち、一方の前記突起部側の方向から斜方成膜して、隣接する前記突起部のうち、一方の前記突起部側の方向に向けた第１凸部を形成する第１凸部形成工程と、
   隣接する前記突起部のうち、他方の前記突起部側の方向から斜方成膜して、隣接する前記突起部のうち、他方の前記突起部側の方向に向けた第２凸部を形成する第２凸部形成工程と、を含むことを特徴とする偏光素子の製造方法。
9. 請求項７または８に記載の偏光素子の製造方法において、
   前記放熱部形成工程では、
   前記第１凸部形成工程と前記第２凸部形成工程を同時期に行うことを特徴とする偏光素子の製造方法。
10. 請求項７〜９のいずれか一項に記載の偏光素子の製造方法において、
    前記突起部形成工程と前記放熱部形成工程との間に、
    前記突起部の表面に保護膜を形成する保護膜形成工程を有することを特徴とする偏光素子の製造方法。
11. 請求項１〜６のいずれか一項に記載の偏光素子、または、請求項７〜１０のいずれか一項に記載の偏光素子の製造方法によって製造された偏光素子を備えたことを特徴とする液晶装置。
12. 請求項１〜６のいずれか一項に記載の偏光素子、または、請求項７〜１０のいずれか一項に記載の偏光素子の製造方法によって製造された偏光素子、または、請求項１１に記載の液晶装置を搭載したことを特徴とする電子機器。

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