JP2011158477A - 3次元形状検査方法 - Google Patents
3次元形状検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011158477A JP2011158477A JP2011019160A JP2011019160A JP2011158477A JP 2011158477 A JP2011158477 A JP 2011158477A JP 2011019160 A JP2011019160 A JP 2011019160A JP 2011019160 A JP2011019160 A JP 2011019160A JP 2011158477 A JP2011158477 A JP 2011158477A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- polarity mark
- inspection target
- target part
- reference point
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 237
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 66
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 60
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 8
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims abstract description 3
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 39
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 11
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 4
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G16—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR SPECIFIC APPLICATION FIELDS
- G16Z—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR SPECIFIC APPLICATION FIELDS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G16Z99/00—Subject matter not provided for in other main groups of this subclass
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A41—WEARING APPAREL
- A41D—OUTERWEAR; PROTECTIVE GARMENTS; ACCESSORIES
- A41D23/00—Scarves; Head-scarves; Neckerchiefs
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A41—WEARING APPAREL
- A41D—OUTERWEAR; PROTECTIVE GARMENTS; ACCESSORIES
- A41D15/00—Convertible garments
- A41D15/04—Garments convertible into other articles
-
- D—TEXTILES; PAPER
- D03—WEAVING
- D03D—WOVEN FABRICS; METHODS OF WEAVING; LOOMS
- D03D15/00—Woven fabrics characterised by the material, structure or properties of the fibres, filaments, yarns, threads or other warp or weft elements used
- D03D15/40—Woven fabrics characterised by the material, structure or properties of the fibres, filaments, yarns, threads or other warp or weft elements used characterised by the structure of the yarns or threads
- D03D15/497—Knitted threads
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A41—WEARING APPAREL
- A41D—OUTERWEAR; PROTECTIVE GARMENTS; ACCESSORIES
- A41D2400/00—Functions or special features of garments
- A41D2400/10—Heat retention or warming
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Textile Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
【解決手段】3次元形状検査のために、測定対象物としてプリント回路基板のベース基板上に形成された所定の検査対象部品を選定し(S110)、検査対象部品に対する検査領域を設定した後(S120)、検査対象部品の高さ情報に基づいた3次元形状を取得し(S130)、検査対象部品の基準点を検出し(S140)、検査対象部品に形成された極性マークの基準点に対する相対的な位置情報を確認した後(S150)、基準点に対する相対的な位置情報と測定された検査対象部品の高さ情報を用いて極性マークの位置を検出し(S160)、極性マークの基準点に対する相対的な位置情報と検出された極性マークの位置とを比較して検査対象部品の良否を判断する(S170)。
【選択図】図2
Description
15 ベース基板
20 第1部品
22 ディンプル
30 第2部品
32 面取り
100 測定ステージ部
200 画像撮影部
210 カメラ
300 第1照明装置
400 第2照明装置
450 第2照明部
500 画像取得部
600 モジュール制御部
700 中央制御部
RP1 第1基準点
RP2 第2基準点
Claims (16)
- 照明装置から発生する光を測定対象物に照射して画像を撮影し、撮影された前記画像を用いて前記測定対象物の高さ情報に基づいた3次元形状を取得して前記測定対象物の良否を検査する3次元形状検査方法において、
前記測定対象物として基板に形成された所定の検査対象部品を選定し、
前記検査対象部品の形状を取得し、
前記検査対象部品の基準点を検出し、
前記検査対象部品に形成された極性マークの前記基準点に対する相対的な位置情報を確認し、
前記基準点に対する相対的な位置情報を用いて前記極性マークの存在可否を確認することで前記検査対象部品の良否を判断すること、
を含むことを特徴とする3次元形状検査方法。 - 前記照明装置から発生する光は格子パターン光であり、前記撮影された画像はパターン画像であることを特徴とする請求項1記載の3次元形状検査方法。
- 前記検査対象部品の形状を取得する以前に、前記検査対象部品に対する検査領域を設定することをさらに含むことを特徴とする請求項1記載の3次元形状検査方法。
- 前記検査対象部品の形状は高さ情報に基づいた3次元形状で取得され、前記極性マークの存在可否は前記検査対象部品の高さ情報を用いて確認されることを特徴とする請求項1記載の3次元形状検査方法。
- 前記基準点に対する相対的な位置情報を用いて前記極性マークの存在可否を確認することで前記検査対象部品の良否を判断することは、
前記基準点に対する相対的な位置情報を用いて前記極性マークが存在すると予想される位置に前記測定された検査対象部品の高さ情報を用いて前記極性マークが存在するかを確認して前記極性マークが存在する場合良好と判断し、前記極性マークが存在しない場合不良と判断することを特徴とする請求項4記載の3次元形状検査方法。 - 前記基準点に対する相対的な位置情報を用いて前記極性マークの存在可否を確認することで前記検査対象部品の良否を判断することは、
前記検査対象部品の高さ情報を用いて前記極性マークの位置を検出することと、
前記基準点に対する相対的な位置情報と前記検出された極性マークの位置とを比較して前記検査対象部品の良否を判断することと、を含むことを特徴とする請求項4記載の3次元形状検査方法。 - 前記検査対象部品の高さ情報を用いて前記極性マークの位置を検出することは、
前記基準点に対する相対的な位置情報を用いて前記極性マークが存在すると予想される第1位置に前記測定された検査対象部品の高さ情報を用いて前記極性マークが存在するかを確認して前記極性マークの位置を検出することと、
前記第1位置に前記極性マークが存在しない場合、前記検査対象部品が所定角度捩れた第2位置に前記測定された検査対象部品の高さ情報を用いて前記極性マークが存在するかを確認して前記極性マークの位置を検出することと、を含むことを特徴とする請求項6記載の3次元形状検査方法。 - 前記検査対象部品の高さ情報を用いて前記極性マークの位置を検出することは、
前記基準点に対する相対的な位置情報を用いて前記極性マークが存在すると予想される第1位置に前記測定された検査対象部品の高さ情報を用いて前記極性マークが存在するかを確認して前記極性マークの位置を検出することと、
前記第1位置に前記極性マークが存在しない場合、前記検査対象部品の所定角度捩れた第2位置に前記測定された検査対象部品の高さ情報を用いて前記極性マークが存在するかを確認して前記極性マークの位置を検出することと、
前記第2位置に前記極性マークが存在しない場合、前記検査対象部品が所定角度回転された第3位置に前記測定された検査対象部品の高さ情報を用いて前記極性マークが存在するかを確認して前記極性マークの位置を検出することと、を含むことを特徴とする請求項6記載の3次元形状検査方法。 - 前記検査対象部品に形成された極性マークは、前記検査対象部品上の前記極性マークの隣接した領域と相異した高さを有することを特徴とする請求項1記載の3次元形状検査方法。
- 前記検査対象部品は、上面に形成されたディンプル及び角に形成された面取りのうちいずれか一つを前記極性マークとして採用することを特徴とする請求項9記載の3次元形状検査方法。
- 前記検査対象部品に形成された極性マークの前記基準点に対する相対的な位置情報は、
前記検査対象部品に対する形状を記録したキャド情報から確認されるか、学習モードによって取得された学習情報から確認されることを特徴とする請求項1記載の3次元形状検査方法。 - 照明装置から発生する光を測定対象物に照射して生成された画像を撮影し、撮影された前記画像を用いて前記測定対象物の高さ情報に基づいた3次元形状を取得して前記測定対象物の良否を検査する形状検査方法において、
前記測定対象物としてプリント回路基板のベース基板上に形成された所定の検査対象部品を選定することと、
前記検査対象部品を2次元検査類型または3次元検査類型に決定することと、
前記検査対象部品の類型が2次元検査類型に決定された場合、第1検査過程を実行する段階と、
前記検査対象部品の類型が3次元検査類型に決定された場合、第2検査過程を実行する段階と、
を含み、
前記第1検査過程は、
前記検査対象部品の2次元画像を取得することと、
前記検査対象部品の極性マークの位置を分析して前記検査対象部品の良否を判断することと、
を含み、
前記第2検査過程は、
前記検査対象部品の基準点を検出することと、
前記検査対象部品に形成された極性マークの前記基準点に対する相対的な位置情報を確認することと、
前記基準点に対する相対的な位置情報と前記検査対象部品の3次元形状を測定する過程で取得された高さ情報を用いて前記極性マークの位置を検出することと、
前記極性マークの前記基準点に対する相対的な位置情報を通じて前記検査対象部品の良否を判断することと、
を含むことを特徴とする3次元形状検査方法。 - 前記検査対象部品は、前記検査対象部品の領域別に一部領域は前記2次元検査類型に決定され、一部領域は3次元検査類型に決定されることを特徴とする請求項12記載の3次元形状検査方法。
- 前記検査対象部品の類型は、前記検査対象部品に形成された極性マークが前記検査対象部品上の前記極性マークの隣接した領域と同一の高さを有する場合前記2次元検査類型に決定されることを特徴とする請求項12記載の3次元形状検査方法。
- 前記検査対象部品は、上面の所定領域に形成された記号、前記隣接した領域と相異なるように彩色された部分、及び前記隣接した領域と区分できるように表示された領域表示のうちいずれか一つを前記極性マークとして採用することを特徴とする請求項14記載の3次元形状検査方法。
- 前記検査対象部品の類型は、前記検査対象部品に形成された極性マークが前記検査対象部品上の前記極性マークの隣接した領域と相異した高さを有する場合前記3次元検査類型に決定されることを特徴とする請求項12記載の3次元形状検査方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020100008958A KR101078781B1 (ko) | 2010-02-01 | 2010-02-01 | 3차원 형상 검사방법 |
KR10-2010-0008958 | 2010-02-01 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011158477A true JP2011158477A (ja) | 2011-08-18 |
JP5411882B2 JP5411882B2 (ja) | 2014-02-12 |
Family
ID=44342369
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011019160A Active JP5411882B2 (ja) | 2010-02-01 | 2011-01-31 | 3次元形状検査方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9062966B2 (ja) |
JP (1) | JP5411882B2 (ja) |
KR (1) | KR101078781B1 (ja) |
CN (1) | CN102192715B (ja) |
TW (1) | TWI440822B (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101435971B1 (ko) | 2012-05-22 | 2014-09-02 | 주식회사 고영테크놀러지 | 부품 라이브러리 획득 시스템 및 부품 라이브러리 생성방법 |
WO2020183516A1 (ja) * | 2019-03-08 | 2020-09-17 | ヤマハ発動機株式会社 | 実装データ作成支援装置、実装データ作成支援方法、外観検査機、部品実装システム |
JP2020537358A (ja) * | 2017-10-19 | 2020-12-17 | 上海望友信息科技有限公司 | 部品極性検出方法、システム、コンピュータで読取可能な記憶媒体及びデバイス |
CN112689543A (zh) * | 2018-09-10 | 2021-04-20 | 麦角灵实验室公司 | 用于铸造铝或铝合金的铸模中的电磁搅拌装置,用于铸造铝或铝合金的铸模中的搅拌方法,用于铸造铝或铝合金的铸模和铸造机 |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5260703B2 (ja) * | 2011-06-10 | 2013-08-14 | パナソニック株式会社 | 3次元測定方法 |
WO2013062334A1 (ko) * | 2011-10-25 | 2013-05-02 | 주식회사 엘지화학 | 이차전지용 음극 및 이를 구비하는 이차전지 |
KR101440940B1 (ko) | 2011-10-25 | 2014-09-17 | 주식회사 엘지화학 | 이차전지용 음극 및 이를 구비하는 이차전지 |
KR101390368B1 (ko) * | 2012-02-17 | 2014-04-30 | 주식회사 미르기술 | 광량조절부재를 포함하는 비전검사장치 |
DE102012204572A1 (de) * | 2012-03-22 | 2013-09-26 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung und Anordnung mit einer derartigen Positionsmesseinrichtung |
JP6029394B2 (ja) * | 2012-09-11 | 2016-11-24 | 株式会社キーエンス | 形状測定装置 |
KR101461093B1 (ko) * | 2013-02-22 | 2014-11-14 | (주)미래컴퍼니 | 내시경 검사 지그 및 이를 이용한 내시경 검사 방법 |
KR101590831B1 (ko) * | 2013-04-02 | 2016-02-03 | 주식회사 고영테크놀러지 | 기판의 이물질 검사방법 |
WO2014196008A1 (ja) * | 2013-06-03 | 2014-12-11 | ヤマハ発動機株式会社 | 検査装置および検査方法 |
KR101457040B1 (ko) * | 2013-09-03 | 2014-10-31 | 주식회사 고영테크놀러지 | 3차원 기판검사장치의 그래픽 유저 인터페이스 |
TWI526671B (zh) * | 2015-01-20 | 2016-03-21 | 德律科技股份有限公司 | 板彎量測裝置和其板彎量測方法 |
WO2016137130A1 (ko) * | 2015-02-27 | 2016-09-01 | 주식회사 고영테크놀러지 | 기판 검사 방법 및 시스템 |
KR101784276B1 (ko) | 2015-02-27 | 2017-10-12 | 주식회사 고영테크놀러지 | 기판 검사 방법 및 시스템 |
CN105277569B (zh) * | 2015-11-26 | 2018-11-27 | 凌云光技术集团有限责任公司 | 基于三维特征的线路板检测方法 |
KR101810991B1 (ko) | 2016-02-04 | 2018-01-25 | 주식회사 고영테크놀러지 | 검사대, 검사 시스템 및 검사 방법 |
JP6815169B2 (ja) * | 2016-11-07 | 2021-01-20 | Juki株式会社 | 極性判別装置、実装装置、極性判別方法 |
DE102016122494B4 (de) * | 2016-11-22 | 2018-07-05 | Asm Assembly Systems Gmbh & Co. Kg | Verfahren zum Überprüfen eines Bestückinhalts von elektronischen Bauelementen mittels eines Vergleichs eines 3D-Höhenprofils mit einem Referenz-Höhenprofil, Bestückautomat sowie Computerprogramm zum Überprüfen eines Bestückinhalts |
KR101991277B1 (ko) * | 2017-12-18 | 2019-06-20 | 한국기술교육대학교 산학협력단 | 마커를 이용한 자동차 부품 품질 보증 방법 및 장치 |
EP3761772A4 (en) | 2018-02-26 | 2021-04-28 | Koh Young Technology Inc | COMPONENT MOUNT STATUS INSPECTION PROCESS, PRINTED CIRCUIT BOARD INSPECTION APPARATUS AND COMPUTER READABLE RECORDING MEDIA |
JP7000380B2 (ja) * | 2019-05-29 | 2022-01-19 | Ckd株式会社 | 三次元計測装置及び三次元計測方法 |
KR102180648B1 (ko) * | 2019-08-05 | 2020-11-19 | 주식회사 휴비츠 | 3차원 단층촬영 검사 장치 및 방법 |
JP7308689B2 (ja) * | 2019-08-06 | 2023-07-14 | 株式会社キーエンス | 三次元形状測定装置 |
KR102236258B1 (ko) * | 2019-09-05 | 2021-04-07 | 주식회사 파미 | 와이어본딩 검사방법 |
KR102433319B1 (ko) * | 2021-12-23 | 2022-08-18 | (주)지에스옵티텍 | Led 광원용 확산 렌즈 비전 검사 방법 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02202678A (ja) * | 1989-02-01 | 1990-08-10 | Omron Tateisi Electron Co | 部品検査装置 |
JPH02251714A (ja) * | 1989-03-27 | 1990-10-09 | Hitachi Ltd | 実装極性部品の極性検査方法および実装基板外観検査方法 |
JPH08210820A (ja) * | 1995-02-01 | 1996-08-20 | Hitachi Denshi Ltd | 部品実装基板の外観検査装置における被検査部の認識方法及び装置 |
JPH10150298A (ja) * | 1996-11-20 | 1998-06-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品の補正角度修正方法とそれを用いた電子部品 実装装置 |
JPH11295036A (ja) * | 1998-04-10 | 1999-10-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品の方向判定方法とその装置 |
JP2002277406A (ja) * | 2001-03-14 | 2002-09-25 | Saki Corp:Kk | 外観検査方法および装置 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4978224A (en) * | 1987-07-14 | 1990-12-18 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method of and apparatus for inspecting mounting of chip components |
DE3850840T2 (de) * | 1987-10-14 | 1995-02-09 | Hitachi Ltd | Vorrichtung und Verfahren zur Fehlerinspektion in befestigten Bauteilen, unter Verwendung eines Lichtschlitzes. |
US5039868A (en) * | 1988-11-24 | 1991-08-13 | Omron Corporation | Method of and apparatus for inspecting printed circuit boards and the like |
US5175601A (en) * | 1991-10-15 | 1992-12-29 | Electro-Optical Information Systems | High-speed 3-D surface measurement surface inspection and reverse-CAD system |
JP3428122B2 (ja) * | 1994-03-10 | 2003-07-22 | 富士電機株式会社 | 三次元形状計測装置 |
JP3264634B2 (ja) | 1997-02-18 | 2002-03-11 | 松下電器産業株式会社 | 表面検査装置及び方法 |
JP2001255281A (ja) * | 2000-01-17 | 2001-09-21 | Agilent Technol Inc | 検査装置 |
KR100389017B1 (ko) * | 2000-11-22 | 2003-06-25 | (주) 인텍플러스 | 모아레무늬 발생기를 적용한 위상천이 영사식 모아레방법및 장치 |
US7019826B2 (en) * | 2003-03-20 | 2006-03-28 | Agilent Technologies, Inc. | Optical inspection system, apparatus and method for reconstructing three-dimensional images for printed circuit board and electronics manufacturing inspection |
DE10320925B4 (de) | 2003-05-09 | 2007-07-05 | Atg Test Systems Gmbh & Co.Kg | Verfahren zum Testen von unbestückten Leiterplatten |
JP4769025B2 (ja) * | 2005-06-15 | 2011-09-07 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査型電子顕微鏡用撮像レシピ作成装置及びその方法並びに半導体パターンの形状評価装置 |
JP2007114071A (ja) * | 2005-10-20 | 2007-05-10 | Omron Corp | 三次元形状計測装置、プログラム、コンピュータ読み取り可能な記録媒体、及び三次元形状計測方法 |
KR100612932B1 (ko) * | 2005-12-14 | 2006-08-14 | 주식회사 고영테크놀러지 | 3차원 형상 측정장치 및 방법 |
KR100672818B1 (ko) * | 2006-01-26 | 2007-01-22 | 주식회사 고영테크놀러지 | 3차원형상 측정방법 |
US8482732B2 (en) * | 2007-10-01 | 2013-07-09 | Maskless Lithography, Inc. | Alignment system for various materials and material flows |
JP2010237210A (ja) * | 2009-03-30 | 2010-10-21 | Koh Young Technology Inc | 検査方法 |
JP2011238876A (ja) * | 2010-05-13 | 2011-11-24 | Elpida Memory Inc | 半導体ウェハーの露光方法及び露光装置 |
-
2010
- 2010-02-01 KR KR1020100008958A patent/KR101078781B1/ko active IP Right Grant
-
2011
- 2011-01-31 JP JP2011019160A patent/JP5411882B2/ja active Active
- 2011-01-31 US US13/017,784 patent/US9062966B2/en active Active
- 2011-02-01 TW TW100103937A patent/TWI440822B/zh active
- 2011-02-01 CN CN2011100356243A patent/CN102192715B/zh active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02202678A (ja) * | 1989-02-01 | 1990-08-10 | Omron Tateisi Electron Co | 部品検査装置 |
JPH02251714A (ja) * | 1989-03-27 | 1990-10-09 | Hitachi Ltd | 実装極性部品の極性検査方法および実装基板外観検査方法 |
JPH08210820A (ja) * | 1995-02-01 | 1996-08-20 | Hitachi Denshi Ltd | 部品実装基板の外観検査装置における被検査部の認識方法及び装置 |
JPH10150298A (ja) * | 1996-11-20 | 1998-06-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品の補正角度修正方法とそれを用いた電子部品 実装装置 |
JPH11295036A (ja) * | 1998-04-10 | 1999-10-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品の方向判定方法とその装置 |
JP2002277406A (ja) * | 2001-03-14 | 2002-09-25 | Saki Corp:Kk | 外観検査方法および装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101435971B1 (ko) | 2012-05-22 | 2014-09-02 | 주식회사 고영테크놀러지 | 부품 라이브러리 획득 시스템 및 부품 라이브러리 생성방법 |
JP2020537358A (ja) * | 2017-10-19 | 2020-12-17 | 上海望友信息科技有限公司 | 部品極性検出方法、システム、コンピュータで読取可能な記憶媒体及びデバイス |
JP7097587B2 (ja) | 2017-10-19 | 2022-07-08 | 上海望友信息科技有限公司 | 部品記号の極性記号検出方法、システム、コンピュータで読取可能な記憶媒体及びデバイス |
CN112689543A (zh) * | 2018-09-10 | 2021-04-20 | 麦角灵实验室公司 | 用于铸造铝或铝合金的铸模中的电磁搅拌装置,用于铸造铝或铝合金的铸模中的搅拌方法,用于铸造铝或铝合金的铸模和铸造机 |
WO2020183516A1 (ja) * | 2019-03-08 | 2020-09-17 | ヤマハ発動機株式会社 | 実装データ作成支援装置、実装データ作成支援方法、外観検査機、部品実装システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102192715B (zh) | 2013-10-30 |
TW201200842A (en) | 2012-01-01 |
TWI440822B (zh) | 2014-06-11 |
KR101078781B1 (ko) | 2011-11-01 |
US20110191050A1 (en) | 2011-08-04 |
JP5411882B2 (ja) | 2014-02-12 |
CN102192715A (zh) | 2011-09-21 |
KR20110089519A (ko) | 2011-08-09 |
US9062966B2 (en) | 2015-06-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5411882B2 (ja) | 3次元形状検査方法 | |
JP6425755B2 (ja) | 基板の異物質検査方法 | |
TWI416064B (zh) | 量測三維形狀之方法 | |
JP2010237210A (ja) | 検査方法 | |
JP5562407B2 (ja) | 基板検査装置及び検査方法 | |
KR101241175B1 (ko) | 실장기판 검사장치 및 검사방법 | |
JP5411913B2 (ja) | 端子のチップ位置設定方法 | |
JP5948496B2 (ja) | 3次元形状測定装置の高さ測定方法 | |
KR101794964B1 (ko) | 검사 시스템 및 검사 방법 | |
KR101144749B1 (ko) | 소자의 불량 검사방법 | |
US10330609B2 (en) | Method and apparatus of inspecting a substrate with a component mounted thereon | |
JP3741287B1 (ja) | 実装基板の検査方法及び検査装置 | |
KR101056995B1 (ko) | 3차원 형상 검사방법 | |
JP2012225716A (ja) | 基板の外観検査装置および外観検査方法 | |
KR101442666B1 (ko) | 복수 행의 조명부재를 포함하는 비전검사장치 | |
KR101216453B1 (ko) | 측정대상물 검사방법 | |
KR101311255B1 (ko) | 측정대상물 검사방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120711 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121211 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20130311 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20130314 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20130411 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20130416 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130507 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20130905 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20130906 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131022 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131108 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5411882 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |