JP2011150779A - 円盤状ガラス基板及び円盤状ガラス基板の製造方法及び磁気記録媒体用ガラス基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】コアドリル10は、回転軸12と、支持板14と、円筒部16と、研削部18とを有する。また、研削部18の先端部19は、縦断面形状が同一の半径による円弧状に形成されている。そのため、ガラス素基板20の表面に最初に接触する刃先の接触幅がガラス素基板20の表面に対して小さくなっており、コアドリル10を降下するのに連れてガラス素基板20の表面に接触するコアドリル10の刃先の接触幅が徐々に幅広に変化する。ガラス素基板20が載置されるステージ40の上面には、コアドリル10の先端部19が挿入される環状溝42が形成されている。環状溝42は、コアドリル10の先端部19と接触しないように半径方向の溝幅X1がコアドリル10の先端部19のドリル幅Xよりも大きく形成されている(X1>X)。
【選択図】図4
Description
前記コアドリルは、前記ガラス素基板の表面を切削する先端部の形状が前記表面に対して半径方向に傾斜または湾曲するような輪郭形状を有し、当該輪郭形状の溝を前記ガラス素基板の表面に形成しながら前記先端部が前記ガラス素基板を貫通する位置まで挿入され、
前記ガラス素基板を吸着する前記ステージの表面には、前記コアドリルの先端部が挿入される環状溝が形成されることを特徴とする。
前記内周側の環状溝は、内側周縁部が内側に傾斜するテーパ面を形成され、
前記外周側の環状溝は、外側周縁部が外側に傾斜するテーパ面が形成されたことを特徴とする。
前記コアドリルを用いて円盤状ガラス基板を切り抜く工程における、前記円盤状ガラス基板の切断面にあるクラックの大きさが、前記円盤状ガラス基板の主平面方向では0.3mm以下、前記円盤状ガラス基板の板厚方向では0.15mm以下であることを特徴とする。
前記円盤状ガラス基板の内径の真円度が15μm以下、外径の真円度が15μm以下、内径と外径の同芯度が50μm以下であることを特徴とする。
前記コアドリルを用いて円盤状ガラス基板を切り抜く工程における、前記円盤状ガラス基板の切断面にあるクラックの大きさが、前記円盤状ガラス基板の主平面方向では0.3mm以下、前記円盤状ガラス基板の板厚方向では0.15mm以下であり、
且つ前記円盤状ガラス基板の内径の真円度が15μm以下、外径の真円度が15μm以下、内径と外径の同芯度が50μm以下であることを特徴とする。
(15)本発明は、中心部に円孔を有する円盤形状の磁気記録媒体用ガラス基板であって、
前記磁気記録媒体用ガラス基板の内径の真円度が15μm以下、前記磁気記録媒体用ガラス基板の外径の真円度が15μm以下、内径と外径の同芯度が50μm以下であることを特徴とする。
断面図である。図13に示されるように、コアドリル120は、回転軸122と、支持板124と、内周側円筒部126と、外周側円筒部127と、内周側加工用研削部128と、外周側加工用研削部130を有する。内周側加工用研削部128と、外周側加工用研削部130とは、夫々同心円状(同一の回転中心を有する)となるように形成されている。内周側加工用研削部128は、円盤状ガラス基板30の内周を加工する研削部であり、外周側加工用研削部130は、円盤状ガラス基板30の外周を加工する研削部である。
(工程2)ガラス基板の側面部と面取り部を端面研磨する。
(工程3)ガラス基板の主平面を研磨する。研磨工程は、1次研磨のみでもよく、1次研磨と2次研磨を行ってもよく、2次研磨の後に3次研磨を行ってもよい。
(工程4)ガラス基板の精密洗浄を行い、磁気ディスク用ガラス基板を得る。
(工程5)磁気記録媒体用ガラス基板の上に磁性層などの薄膜を形成し、磁気ディスクを製造する。
12、52、62、72、122 回転軸
14、54、64、74、124 支持板
16、56、66、76 円筒部
18、58、68、78 研削部
19、59、69、79、129、131 先端部
20 ガラス素基板
21 加工溝
22 残留部分
30 円盤状ガラス基板
32a、32b、32c 加工代
34 チッピング
40 ステージ
42、42A、42B 環状溝
44、44A、44B 傾斜面
69a 傾斜面
69b 外側円弧状部
69c 内側円弧状部
79a 幅狭部
79b 傾斜部
79c 傾斜部
80 切り屑
90 エアノズル
92 開口
94 ガイド部
96 エア噴射チューブ
98 上端壁部
100 ブラケット
126 内周側円筒部
127 外周側円筒部
128 内周側加工用研削部
130 外周側加工用研削部
Claims (15)
- 厚さが1.5mm以下の薄いガラス素基板をステージ上に載置し、円筒形状のコアドリルを用いてガラス素基板から円盤状ガラス基板を切り抜く工程を有する円盤状ガラス基板の製造方法において、
前記コアドリルは、前記ガラス素基板の表面を切削する先端部の形状が前記表面に対して半径方向に傾斜または湾曲するような輪郭形状を有し、当該輪郭形状の溝を前記ガラス素基板の表面に形成しながら前記先端部が前記ガラス素基板を貫通する位置まで挿入され、
前記ガラス素基板を吸着する前記ステージの表面には、前記コアドリルの先端部が挿入される環状溝が形成されることを特徴とする円盤状ガラス基板の製造方法。 - 前記ステージの前記環状溝は、半径方向の溝幅が前記コアドリルの半径方向のドリル幅より5%〜50%大きいことを特徴とする請求項1に記載の円盤状ガラス基板の製造方法。
- 前記コアドリルは、先端部の曲率半径が0.1mm〜0.5mmに形成されることを特徴とする請求項1または2に記載の円盤状ガラス基板の製造方法。
- 前記コアドリルの先端部は、表面にダイヤモンド砥粒をメタルボンドで固着され、且つ半径方向のドリル幅が0.5mm〜2.0mmであることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の円盤状ガラス基板の製造方法。
- 前記コアドリルを用いて前記ステージに載置された前記ガラス素基板から前記円盤状ガラス基板を切り抜く工程を行った際に発生するガラス屑を、前記ステージ上から除去する工程を有することを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の円盤状ガラス基板の製造方法。
- 前記ガラス屑を前記ステージ上から除去する工程は、前記ステージに形成された環状溝に対して流体を吹付けることによって行われることを特徴とする請求項5に記載の円盤状ガラス基板の製造方法。
- 前記円盤状ガラス基板は、磁気記録媒体用ディスクの基材として使用されることを特徴とする請求項1〜6の何れかに記載の円盤状ガラス基板の製造方法。
- 前記コアドリルを用いて前記ガラス素基板から前記円盤状ガラス基板を切り抜く工程は、前記ガラス基板の外径加工および内径加工のうち少なくとも何れか一方を行うことを特徴とする請求項1〜7の何れかに記載の円盤状ガラス基板の製造方法。
- 前記ステージの環状溝は、前記円盤状ガラス基板の内径と外径の径寸法と同一寸法の内側周縁部、外側周縁部を形成され、または前記円盤状ガラス基板の外径より内側の位置となる内側周縁部を形成され、または前記円盤状ガラス基板の内径より外側の位置となる外側周縁部を形成されることを特徴とする請求項1〜8の何れかに記載の円盤状ガラス基板の製造方法。
- 前記ステージに形成された環状溝は、前記円盤状ガラス基板の内周側および/または外周側に設けられ、
前記内周側の環状溝は、内側周縁部が内側に傾斜するテーパ面を形成され、
前記外周側の環状溝は、外側周縁部が外側に傾斜するテーパ面が形成されたことを特徴とする請求項1〜9の何れかに記載の円盤状ガラス基板の製造方法。 - 前記ガラス素基板から前記コアドリルを用いて円盤状ガラス基板を切り抜く工程は、前記円盤状ガラス基板の外径加工と内径加工とを同一のステージで行われることを特徴とする請求項1〜10の何れかに記載の円盤状ガラス基板の製造方法。
- 前記請求項1〜11の何れかに記載の円盤状ガラス基板の製造方法で加工された円盤状ガラス基板であって、
前記コアドリルを用いて円盤状ガラス基板を切り抜く工程における、前記円盤状ガラス基板の切断面にあるクラックの大きさが、前記円盤状ガラス基板の主平面方向では0.3mm以下、前記円盤状ガラス基板の板厚方向では0.15mm以下であることを特徴とする円盤状ガラス基板。 - 前記請求項1〜11の何れかに記載の円盤状ガラス基板の製造方法で加工された円盤状ガラス基板であって、
前記円盤状ガラス基板の内径の真円度が15μm以下、外径の真円度が15μm以下、内径と外径の同芯度が50μm以下であることを特徴とする円盤状ガラス基板。 - 前記請求項1〜11の何れかに記載の円盤状ガラス基板の製造方法で加工された円盤状ガラス基板であって、
前記コアドリルを用いて円盤状ガラス基板を切り抜く工程における、前記円盤状ガラス基板の切断面にあるクラックの大きさが、前記円盤状ガラス基板の主平面方向では0.3mm以下、前記円盤状ガラス基板の板厚方向では0.15mm以下であり、
且つ前記円盤状ガラス基板の内径の真円度が15μm以下、外径の真円度が15μm以下、内径と外径の同芯度が50μm以下であることを特徴とする円盤状ガラス基板。 - 中心部に円孔を有する円盤形状の磁気記録媒体用ガラス基板であって、
前記磁気記録媒体用ガラス基板の内径の真円度が15μm以下、前記磁気記録媒体用ガラス基板の外径の真円度が15μm以下、内径と外径の同芯度が50μm以下であることを特徴とする磁気記録媒体用ガラス基板。
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Cited By (7)
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---|---|---|---|---|
JP2014018899A (ja) * | 2012-07-17 | 2014-02-03 | Allied Material Corp | 超砥粒工具およびこれを用いたワークに穿孔する方法ならびに円柱体を切り出す方法 |
JP2014024121A (ja) * | 2012-07-24 | 2014-02-06 | Allied Material Corp | 超砥粒工具およびこれを用いたワークに穿孔する方法ならびに円柱体を切り出す方法 |
KR101725733B1 (ko) * | 2016-07-12 | 2017-04-11 | 엘지디스플레이 주식회사 | 기판 가공 장치 및 이를 이용한 표시장치 |
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JP2019011242A (ja) * | 2015-12-28 | 2019-01-24 | Hoya株式会社 | 円環状のガラス素板、円環状のガラス素板の製造方法、円環状のガラス基板の製造方法、及び磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 |
JP2019010687A (ja) * | 2017-06-29 | 2019-01-24 | 旭ダイヤモンド工業株式会社 | 超砥粒工具 |
JP2020066073A (ja) * | 2018-10-23 | 2020-04-30 | 株式会社ディスコ | コアドリル |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8453311B2 (en) * | 2008-04-29 | 2013-06-04 | Seagate Technology Llc | Sheet-stack cutting |
JP5335983B2 (ja) * | 2011-10-05 | 2013-11-06 | Hoya株式会社 | 磁気ディスク用ガラス基板および磁気記録媒体 |
JP2013159531A (ja) * | 2012-02-07 | 2013-08-19 | Panasonic Liquid Crystal Display Co Ltd | 液晶表示素子の製造方法 |
EP3183222B1 (en) | 2014-08-20 | 2019-12-25 | Corning Incorporated | Method for yielding high edge strength in cutting of flexible thin glass |
US10108222B2 (en) | 2015-12-04 | 2018-10-23 | Apple Inc. | Electronic device displays with holes to accommodate components |
SE541203C2 (sv) * | 2017-08-09 | 2019-04-30 | Jan Anders Forsell | Hålsåg |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07230621A (ja) * | 1993-07-07 | 1995-08-29 | A G Technol Kk | 磁気ディスク用ガラス基板およびその製造方法 |
JPH1091950A (ja) * | 1996-09-18 | 1998-04-10 | Kao Corp | 磁気記録媒体用基板の製造方法及び装置 |
JP2000117618A (ja) * | 1998-10-13 | 2000-04-25 | Nikon Corp | 研磨パッドとその製造方法 |
JP2008097690A (ja) * | 2006-10-11 | 2008-04-24 | Konica Minolta Opto Inc | 情報記録媒体用ガラスディスクの製造方法及び当該方法に使用する製造装置 |
JP2008119810A (ja) * | 2006-11-15 | 2008-05-29 | Furukawa Electric Co Ltd:The | ガラス基板の製造方法 |
JP2009087409A (ja) * | 2007-09-27 | 2009-04-23 | Hoya Corp | 磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法及び磁気記録媒体 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6328527A (ja) * | 1986-07-21 | 1988-02-06 | Asahi Glass Co Ltd | ド−ナツ型円形基板の形成加工方法 |
JPH10334461A (ja) * | 1997-05-30 | 1998-12-18 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 磁気記録媒体基板の製造方法 |
JPH1111966A (ja) * | 1997-06-20 | 1999-01-19 | Toshiba Corp | スクライブ装置及びスクライブ方法 |
JP4079152B2 (ja) * | 2005-01-25 | 2008-04-23 | 旭硝子株式会社 | ドーナツ状ガラス基板を作成する方法 |
-
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07230621A (ja) * | 1993-07-07 | 1995-08-29 | A G Technol Kk | 磁気ディスク用ガラス基板およびその製造方法 |
JPH1091950A (ja) * | 1996-09-18 | 1998-04-10 | Kao Corp | 磁気記録媒体用基板の製造方法及び装置 |
JP2000117618A (ja) * | 1998-10-13 | 2000-04-25 | Nikon Corp | 研磨パッドとその製造方法 |
JP2008097690A (ja) * | 2006-10-11 | 2008-04-24 | Konica Minolta Opto Inc | 情報記録媒体用ガラスディスクの製造方法及び当該方法に使用する製造装置 |
JP2008119810A (ja) * | 2006-11-15 | 2008-05-29 | Furukawa Electric Co Ltd:The | ガラス基板の製造方法 |
JP2009087409A (ja) * | 2007-09-27 | 2009-04-23 | Hoya Corp | 磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法及び磁気記録媒体 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014018899A (ja) * | 2012-07-17 | 2014-02-03 | Allied Material Corp | 超砥粒工具およびこれを用いたワークに穿孔する方法ならびに円柱体を切り出す方法 |
JP2014024121A (ja) * | 2012-07-24 | 2014-02-06 | Allied Material Corp | 超砥粒工具およびこれを用いたワークに穿孔する方法ならびに円柱体を切り出す方法 |
JP2019011242A (ja) * | 2015-12-28 | 2019-01-24 | Hoya株式会社 | 円環状のガラス素板、円環状のガラス素板の製造方法、円環状のガラス基板の製造方法、及び磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 |
CN110751961A (zh) * | 2015-12-28 | 2020-02-04 | Hoya株式会社 | 圆环状的玻璃坯板及制造方法、圆环状的玻璃基板的制造方法和磁盘用玻璃基板的制造方法 |
KR101801550B1 (ko) | 2016-04-22 | 2017-11-28 | 디아이티 주식회사 | 유리 적층체의 홀 가공방법 및 가공장치 |
KR101725733B1 (ko) * | 2016-07-12 | 2017-04-11 | 엘지디스플레이 주식회사 | 기판 가공 장치 및 이를 이용한 표시장치 |
US10276383B2 (en) | 2016-07-12 | 2019-04-30 | Lg Display Co., Ltd. | Apparatus for processing a substrate and display device by using the same |
US10748771B2 (en) | 2016-07-12 | 2020-08-18 | Lg Display Co., Ltd. | Apparatus for processing a substrate and display device by using the same |
JP2019010687A (ja) * | 2017-06-29 | 2019-01-24 | 旭ダイヤモンド工業株式会社 | 超砥粒工具 |
JP2020066073A (ja) * | 2018-10-23 | 2020-04-30 | 株式会社ディスコ | コアドリル |
JP7157624B2 (ja) | 2018-10-23 | 2022-10-20 | 株式会社ディスコ | コアドリル |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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