JP2011129630A - 密閉式ブースおよび基板処理システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】互いに連結された複数のフレーム部材と、複数のフレーム部材に支持された複数のパネル部材とを備える密閉式ブースにおいて、第1フレーム部材と、第1フレーム部材に連結される第2フレーム部材と、第1フレーム部材と第2フレーム部材との間の連結部分に配置され、当該連結部分を封止する弾性部材と、第1フレーム部材、第2フレーム部材、および弾性部材のそれぞれの表面が連続的に連なって形成されたパネル封止領域と、パネル部材との間に配置され、パネル封止領域とパネル部材との間を連続的に封止する封止部材とにより構成される連結封止構造を備えさせる。
【選択図】図2
Description
2 フレーム構造体
3 パネル部材
11〜13 フレーム部材
14 コーナー用ブロック部材
15 凹部
16 シール用ゴム部材
17 Oリング
31、32 フレーム部材
33 プレート部材
35 凹部
36 シール用ゴム部材
37 Oリング
A コーナー連結部分
B T字連結部分
h 突出高さ(潰し代)
w 突出高さ(潰し代)
R パネル封止領域
Claims (5)
- 互いに連結された複数のフレーム部材と、複数のフレーム部材に支持された複数のパネル部材とを備える密閉式ブースであって、
第1フレーム部材と、
第1フレーム部材に連結される第2フレーム部材と、
第1フレーム部材と第2フレーム部材との間の連結部分に配置され、当該連結部分を封止する弾性部材と、
第1フレーム部材、第2フレーム部材、および弾性部材のそれぞれの表面が連続的に連なって形成されたパネル封止領域と、パネル部材との間に配置され、パネル封止領域とパネル部材との間を連続的に封止する封止部材とを備える連結封止構造を有する、密閉式ブース。 - 第1フレーム部材と第2フレーム部材との連結部分に弾性部材が挿入される凹部が形成され、
弾性部材は、凹部の縁部よりも突出して形成され、
封止部材を介してパネル部材により、弾性部材が凹部の深さ方向に弾性圧縮変形されることにより、第1フレーム部材、第2フレーム部材、および弾性部材のそれぞれの表面が、実質的に同じ高さにて連続的に連なったパネル封止領域が形成される、請求項1に記載の密閉式ブース。 - 第1フレーム部材、第2フレーム部材および弾性部材は、少なくとも2枚のパネル部材の縁部を封止する隣接して延在するパネル封止領域を形成し、
第1フレーム部材と第2フレーム部材との間の連結部分において、少なくともそれぞれのパネル封止領域に配置される封止部材の間の部分が弾性部材により封止される、請求項1または2に記載の密閉式ブース。 - 第1フレーム部材は、第2フレーム部材と第3フレーム部材とを互いに直交させる方向に配置させた状態にて連結する連結用フレーム部材であり、
前記弾性部材として、連結用フレーム部材と第2フレーム部材との間の連結部分に配置され、当該連結部分を封止する第1弾性部材と、連結用フレーム部材と第3フレーム部材との間の連結部分に配置され、当該連結部分を封止する第2弾性部材とが備えられ、
連結用フレーム部材、第2フレーム部材、第3フレーム部材、第1弾性部材、および第2弾性部材のそれぞれの表面が連続的に連なって形成されたパネル封止領域と、1枚のパネル部材との間が、1本の封止部材により連続的に封止される、請求項1から3のいずれか1つに記載の密閉式ブース。 - 請求項1から4のいずれか1つに記載の密閉式ブースと、
前記密閉式ブース内の空間を不活性ガスにて満たす不活性ガス充填手段と、
不活性ガスにて満たされた密閉式ブース内に配置され、基板に対する処理を行う基板処理装置とを備える、基板処理システム。
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JP2004025318A (ja) * | 2002-06-21 | 2004-01-29 | Nissan Diesel Motor Co Ltd | グローブボックス装置 |
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