JP2011110505A - 流路基板およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 第1のガラスセラミック焼結体からなる複数の第1の絶縁層1が積層されてなる絶縁基板の内部に、第1の絶縁層1の一部が厚み方向に除去されてなる貫通部の上下が他の前記第1の絶縁層で塞がれて形成された流路3を有する流路基板9であって、流路3を構成する第1の絶縁層1の流路3側の表面の全面に、第1のガラスセラミック焼結体が有する第1のガラス成分よりもガラス転移点が低い第2のガラス成分を有する第2のガラスセラミック焼結体からなる第2の絶縁層2が被着されていることを特徴とする流路基板9である。第2の絶縁層2が焼結する際に、未焼結の第1の絶縁層1によって収縮が抑制されるため形状および寸法のばらつきが抑制された寸法精度の高い流路を形成することができる。
【選択図】 図1
Description
一部の前記セラミックグリーンシートに厚み方向に貫通する貫通部を形成するとともに、該貫通部の内側面の全面に、前記第1のガラス成分よりもガラス転移点が低い第2のガラス成分を有する第2の未焼結ガラスセラミック材料からなる未焼結絶縁層を被着させる工程と、
一部の他の前記セラミックグリーンシートの主面に、少なくとも前記貫通部に対応する範囲で前記第2の未焼結ガラスセラミック材料からなる未焼結絶縁層を被着させる工程と、
複数の前記セラミックグリーンシートを、前記貫通部の上下に、該貫通部の上下の開口が他の前記セラミックグリーンシートの前記未焼結絶縁層を被着させた表面で覆われるように積層して積層体とし、該積層体を焼成する工程とを備えることを特徴とするものである。
また、セラミックグリーンシートの焼結時には、未焼結絶縁層の焼成が進んだり完了したりしているので、セラミックグリーンシートの貫通部側の面、つまり流路を構成する面部分における変形は、未焼結絶縁層が焼結した層によって抑制される。そのため、流路を形成する面の収縮や偏った収縮に起因する変形を効果的に抑制して、流路の形状および寸法のばらつきを抑制することができる。したがって、形状および寸法のばらつきが抑制されて流路が形成された、例えば流路の断面積が一定で、流路に流れる流体の流量を一定にすることができる流路基板の製造方法を提供することができる。
2・・・第2の絶縁層
3・・・流路
8・・・絶縁基板
9・・・流路基板
11・・・セラミックグリーンシート
12・・・未焼結絶縁層
Claims (2)
- 第1のガラスセラミック焼結体からなる複数の第1の絶縁層が積層されてなる絶縁基板の内部に、前記第1の絶縁層の一部が厚み方向に除去されてなる貫通部の上下が他の前記第1の絶縁層で塞がれて形成された流路を有する流路基板であって、前記流路を構成する前記第1の絶縁層の前記流路側の表面の全面に、前記第1のガラスセラミック焼結体が有する第1のガラス成分よりもガラス転移点が低い第2のガラス成分を有する第2のガラスセラミック焼結体からなる第2の絶縁層が被着されていることを特徴とする流路基板。
- 第1のガラス成分を有する第1の未焼結ガラスセラミック材料からなる複数のセラミックグリーンシートを作製する工程と、
一部の前記セラミックグリーンシートに厚み方向に貫通する貫通部を形成するとともに、該貫通部の内側面の全面に、前記第1のガラス成分よりもガラス転移点が低い第2のガラス成分を有する第2の未焼結ガラスセラミック材料からなる未焼結絶縁層を被着させる工程と、
一部の他の前記セラミックグリーンシートの主面に、少なくとも前記貫通部に対応する範囲で前記第2の未焼結ガラスセラミック材料からなる未焼結絶縁層を被着させる工程と、
複数の前記セラミックグリーンシートを、前記貫通部の上下に、該貫通部の上下の開口が他の前記セラミックグリーンシートの前記未焼結絶縁層を被着させた表面で覆われるように積層して積層体とし、該積層体を焼成する工程とを備えることを特徴とする流路基板の製造方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2009
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