JP2011099757A - 熱式流体流量センサおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板上に形成されたダイヤフラム16内に、空気流量を検出する発熱抵抗体3、発熱抵抗体用測温抵抗体4および測温抵抗体5と、湿度検出用発熱抵抗体9を配置し、この湿度検出用発熱抵抗体9上に空洞層14と、空洞層14上の保護膜とが形成され、保護膜に、空洞層14に達する複数の孔13を設ける。
【選択図】図1
Description
本実施の形態における熱式流体流量センサは、空気流量を計測する素子と同じ基板上に形成した熱式の湿度センサと、前記素子の内の発熱抵抗体に電流を供給し空気流量信号を検出する駆動回路と、空気流量信号から空気流量を演算する制御回路と、空気流量と絶対湿度の補正データを記憶しているメモリとを備え、前記制御回路は、前記湿度センサを用いて検出した絶対湿度と前記補正データとから、空気流量を補正するものである。なお、本実施の形態の熱式流体流量センサは、自動車等の内燃機関の吸気通路に設置して使用されるものとする。
上記式において、Thは湿度検出用発熱抵抗体9の温度、Phは湿度検出用発熱抵抗体9において消費される電力、Taは空気温度、k1は近似式の一次項、k2は近似式の二次項である。
本実施の形態では、湿度検出部が空気流量検出部とは異なるダイヤフラムに形成されている点で前記実施の形態1と異なる熱式流体流量センサについて説明する。
2 半導体基板
3 発熱抵抗体
4 発熱抵抗体用測温抵抗体
5 測温抵抗体
5a、5b 上流側測温抵抗体
5c、5d 下流側測温抵抗体
6 空気温度測温抵抗体
7、8 ヒータ温度制御用抵抗体
9 湿度検出用発熱抵抗体
10、10a、10b、10c、10d、10e、10f、10g、10h、10i、10j、10k 端子電極
11a、11b、11c、11d、11e、11f1、11f2、11g1、11g2、11g3、11g4、11h1、11h2、11i1、11i2、11j、11k 引き出し配線
12 接続孔
13、41 孔
14、40 空洞層
15 開口部
16 ダイヤフラム
17 空気の流れ
18 第1の絶縁膜
19 第2の絶縁膜
20 第3の絶縁膜
21 第4の絶縁膜
22 第5の絶縁膜
23 第1の金属膜
24 第6の絶縁膜
25 第7の絶縁膜
26 第8の絶縁膜
27 保護膜
28 熱式空気流量計
29 支持体
29a 下部の支持体
29b 上部の支持体
30 外部回路
31 空気通路
32 副通路
33 端子電極
34 金線
35 シリコン樹脂
36 電源
37 トランジスタ
38 制御回路
39 メモリ
42 レジストパターン
Claims (20)
- 基板上に形成され、湿度検出部と空気流量検出部を有し、空気流量を計測する熱式流体流量センサであって、
前記湿度検出部は、
第1発熱抵抗体と、
前記第1発熱抵抗体の上方の空洞層と、
前記空洞層上に形成された第1膜と、
を有し、
前記空気流量検出部は、
第2発熱抵抗体と、
前記基板の主面に平行な面内において前記第2発熱抵抗体を挟むように前記第2発熱抵抗体の側方に設けられた複数の測温抵抗体
を有し、
前記第1膜は、前記第1膜の上面から前記空洞層に達する複数の孔を有することを特徴とする熱式流体流量センサ。 - 前記湿度検出部の前記第1発熱抵抗体および前記空気流量検出部の前記第2発熱抵抗体および前記測温抵抗体は、モリブデン、アルファタンタル、チタン、タングステン、コバルト、ニッケル、鉄、ニオブ、ハフニウム、クロム、ジルコニウム、白金、ベータタンタルのうちのいずれかを主成分とする金属膜または窒化タンタル、窒化モリブデン、窒化タングステン、窒化チタンのうちのいずれかの金属窒化化合物またはタングステンシリサイド、モリブデンシリサイド、コバルトシリサイド、ニッケルシリサイドのうちのいずれかの金属シリサイド化合物またはポリシリコン、燐またはボロンドープシリコンであることを特徴とする請求項1に記載の熱式流体流量センサ。
- 前記第1発熱抵抗体および前記第2発熱抵抗体が同層の金属膜で形成されていることを特徴とする請求項1に記載の熱式流体流量センサ。
- 前記第1発熱抵抗体、前記第2発熱抵抗体および前記測温抵抗体の上下が絶縁膜で覆われていることを特徴とする請求項1に記載の熱式流体流量センサ。
- 前記第1発熱抵抗体、前記第2発熱抵抗体および前記測温抵抗体の上下の前記絶縁膜は酸化シリコン膜、窒化シリコン膜または窒化アルミニウム膜、あるいはこれらの積層膜で構成されていることを特徴とする請求項4に記載の熱式流体流量センサ。
- 前記孔は、前記第1発熱抵抗体と平面的に重ならないように形成されていることを特徴とする請求項1に記載の熱式流体流量センサ。
- 前記孔の孔径は2μm以下であることを特徴とする請求項1に記載の熱式流体流量センサ。
- 前記第1発熱抵抗体は前記基板上において、前記熱式流体流量センサが設置される空気通路の延在方向と同じ方向に延在することを特徴とする請求項1に記載の熱式流体流量センサ。
- 前記第1発熱抵抗体の配線幅は10μm以下であることを特徴とする請求項1に記載の熱式流体流量センサ。
- 平面形状において、前記第1発熱抵抗体の長手方向に垂直に交わる方向では、前記第1発熱抵抗体上に設けられた前記空洞層が、前記第1発熱抵抗体の配線幅より広い幅を有していることを特徴とする請求項1に記載の熱式流体流量センサ。
- 前記第1膜は熱伝達が前記第1発熱抵抗体より低い材料であることを特徴とする請求項1に記載の熱式流体流量センサ。
- 前記第1膜はポリイミド膜または窒化シリコン膜を含むことを特徴とする請求項1に記載の熱式流体流量センサ。
- 前記第1発熱抵抗体、前記第2発熱抵抗体および前記測温抵抗体は、下層の前記基板が除去されて形成された同一の第1ダイヤフラム内に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の熱式流体流量センサ。
- 前記第2発熱抵抗体および前記測温抵抗体は、下層の前記基板が除去されて形成された同一の第1ダイヤフラム内に設けられ、前記第1発熱抵抗体は、下層の前記基板を一部除去して形成された第2ダイヤフラム内に設けられており、平面形状において、前記第2ダイヤフラムは前記第1ダイヤフラムより小さいことを特徴とする請求項1に記載の熱式流体流量センサ。
- 前記第1発熱抵抗体と電気的に接続された配線および電極は、前記基板上において、前記第2発熱抵抗体に接続された配線および電極とは電気的に接続されていないことを特徴とする請求項1に記載の熱式流体流量センサ。
- 基板上に形成された空気流量を検出する第2発熱抵抗体および前記第2発熱抵抗体と隣り合う測温抵抗体を有し、同一の前記基板上に湿度検出用の第1発熱抵抗体を有する熱式流体流量センサの製造方法であって、
(a)前記基板上に第1絶縁膜を形成する工程と、
(b)前記(a)工程の後、前記第1絶縁膜上に金属膜を形成し、前記金属膜をパターニングして前記金属膜からなる前記第1発熱抵抗体、前記第2発熱抵抗体および前記測温抵抗体を形成する工程と、
(c)前記(b)工程の後、第2絶縁膜を積層する工程と、
(d)前記(c)工程の後、前記第2絶縁膜上に保護膜を形成する工程と、
(e)前記(d)工程の後、前記保護膜をパターニングして前記保護膜に第1の孔を開口し、前記第1の孔から前記第2絶縁膜の一部を除去して前記第1発熱抵抗体の上に第1空洞層を形成する工程と、
(f)前記(d)工程の後、前記保護膜をパターニングし、前記第2発熱抵抗体、前記測温抵抗体および端子電極部の上部を開口する工程と、
を有することを特徴とする熱式流体流量センサの製造方法。 - 前記(e)工程および前記(f)工程の後、前記第1発熱抵抗体、前記第2発熱抵抗体および前記測温抵抗体の形成領域の下層の前記基板を除去し、前記第1発熱抵抗体、前記第2発熱抵抗体および前記測温抵抗体を同一のダイヤフラム内に形成することを特徴とする請求項16に記載の熱式流体流量センサの製造方法。
- (g)前記(e)工程および前記(f)工程の後、前記第2発熱抵抗体および前記測温抵抗体の形成領域の下層の前記基板を除去し、前記第2発熱抵抗体および前記測温抵抗体を同一のダイヤフラム内に形成する工程と、
(h)前記(e)工程の後、前記第1の孔の下に、前記第1空洞層から前記基板の上面まで達する第2の孔を形成する工程と、
(i)前記(h)工程の後、前記第1発熱抵抗体および前記第2の孔の下部の前記基板の上面の一部を除去し、前記第2の孔と接続された第2空洞層を形成する工程と、
を有することを特徴とする請求項16に記載の熱式流体流量センサの製造方法。 - 前記(e)工程では、前記第1の孔を前記第1発熱抵抗体と平面的に重ならないように形成することを特徴とする請求項16に記載の熱式流体流量センサの製造方法。
- 前記(e)工程では、前記第1の孔の孔径を2μm以下に形成することを特徴とする請求項16に記載の熱式流体流量センサの製造方法。
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