JP2011095729A - 記録媒体及び決定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】S102で、目標パターンに対応する仮パターンの形状を規定するためのパターンパラメータを設定する。S104で、転写パターンを評価するための評価位置、及び、かかる評価位置での評価項目を設定する。S106で、仮照明形状を規定するための照明形状パラメータを設定する。S108乃至S116では、S102で設定したパターンパラメータとS106で設定した照明形状パラメータとからなるパラメータ空間を構成し、かかるパラメータ空間においてパターンパラメータ及び照明形状パラメータを最適化する。
【選択図】図1
Description
<第1の実施形態>
第1の実施形態では、基板に形成すべきパターン(目標パターン)として、DRAMの分離工程のメモリセルのパターンを例に説明する。図2Aは、第1の実施形態における目標パターン(の形状)を示す図である。図2Aを参照するに、目標パターンは、2つの長方形で構成され、その中心が重なっている。また、目標パターンは、x方向に130nm、y方向に500nmのピッチで配置されている。第1の実施形態における目標パターンに対しては、図2Aに示すように、2つの長方形のそれぞれの辺の長さ(x方向及びy方向の長さ)PA、PB、PC及びPDをパターンパラメータとして設定した。
<第2の実施形態>
第1の実施形態では、マスクのパターンとマスクを照明する際の照明形状の両方を決定(最適化)したが、パターンパラメータはデバイス特性を反映しているため、照明形状を固定してパターンパラメータだけを決定しても有意義な結果を得ることができる。
<第3の実施形態>
最新のDRAMの分離工程のメモリセルのパターンでは、メモリセルのサイズを小さくするために、座標軸に対して斜めのパターンが用いられている。かかる斜めパターンにおいても、所定の寸法精度を実現するためにはOPCを適用する必要があるが、斜めパターンにOPCを適用することは非常に困難である。
<第4の実施形態>
第1の実施形態乃至第3の実施形態においては、固定されたフォーカス(一般的には、ベストフォーカス)を考えていた。但し、実際には、フォーカスは安定していないため、デフォーカス特性を考慮することが重要である。
<第5の実施形態>
第1の実施形態乃至第4の実施形態では、目標パターンが1種類のパターンで構成されていたが、例えば、SRAMのメモリセルのような小さい回路ブロックであれば、目標パターンは複数の種類のパターンで構成されていてもよい。
<第6の実施形態>
また、仮パターンの像(転写パターン)における評価位置の評価項目として、メモリデバイスのメモリセルやスタンダードライブラリセルなどの回路ブロックの電気特性を用いることも可能である。転写パターンの形状は、電気特性を求めるための中間データであるため、例えば、トランジスタの長さや幅に相当する位置の寸法を転写パターンから求めることができる。また、配線抵抗や容量を求めるために必要な位置の寸法も転写パターンから求める。従って、マスクのパターンを図14に示すような電気回路に変換することが可能であり、かかる電気回路から電気特性を導出する。電気特性としては、例えば、タイミング、信号の正確性、パワー、ノイズなどがある。その結果、照明形状を規定する照明形状パラメータを加えて、電気特性がレイアウトパラメータと照明形状パラメータで表現できることになる。そして、レイアウトパラメータ及び照明形状パラメータを最適化することで、電気特性を最良にすることができる。
Claims (6)
- 光源からの光を用いてマスクを照明する照明光学系と、前記マスクのパターンを基板に投影する投影光学系とを備える露光装置に用いられるマスクのパターンとマスクを照明する際の有効光源分布とを決定する決定方法をコンピュータに実行させるプログラムを記録したコンピュータで読み取り可能な記録媒体であって、
前記プログラムは、前記コンピュータに、
前記基板に形成すべきパターンに対応する仮パターンの形状を規定するための第1のパラメータを設定する第1の設定ステップと、
前記投影光学系の像面に形成される仮パターンの像を評価するための前記仮パターンの像における評価位置、及び、前記評価位置での評価項目を設定する第2の設定ステップと、
仮有効光源分布を規定するための第2のパラメータを設定する第3の設定ステップと、
前記第1のパラメータの値及び前記第2のパラメータの値を仮決定する仮決定ステップと、
前記仮決定ステップで仮決定した前記第1のパラメータの値で規定される仮パターンを、前記仮決定ステップで仮決定した前記第2のパラメータの値で規定される仮有効光源分布で照明したときに前記投影光学系の像面に形成される仮パターンの像を取得する第1の取得ステップと、
前記第1の取得ステップで取得された仮パターンの像について、前記第2の設定ステップで設定された前記評価位置での評価項目の値を取得する第2の取得ステップと、
前記第2の取得ステップで取得された前記評価位置での評価項目の値が評価基準を満たすかどうかを判定する判定ステップと、
を実行させ、
前記判定ステップで前記評価位置での評価項目の値が前記評価基準を満たすと判定された場合には、前記仮決定ステップで仮決定した前記第1のパラメータの値で規定される仮パターン及び前記仮決定ステップで仮決定した前記第2のパラメータの値で規定される仮有効光源分布のそれぞれを、マスクのパターン及び有効光源分布として決定し、
前記判定ステップで前記評価位置での評価項目の値が前記評価基準を満たさないと判定された場合には、前記仮決定ステップに戻って前記第1のパラメータの値及び前記第2のパラメータの値を再度仮決定して、前記第1の取得ステップ、前記第2の取得ステップ及び前記判定ステップを繰り返すことを特徴とする記録媒体。 - 前記第1の設定ステップでは、前記仮パターンの形状を複数の多角形の組み合わせで構成される形状と一致させ、前記複数の多角形のそれぞれの辺の長さを前記第1のパラメータとして設定することを特徴とする請求項1に記載の記録媒体。
- 前記評価位置での評価項目は、前記仮パターンの像の寸法、デフォーカス特性、前記仮パターンの像の露光量に対する寸法変化、及び、前記仮パターンの像が規格内におさまる露光量及びフォーカスの範囲のうち少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項1に記載の記録媒体。
- 前記基板に形成すべきパターンは、スタンダードライブラリセルのパターン又はメモリのパターンであることを特徴とする請求項1に記載の記録媒体。
- 光源からの光を用いてマスクを照明する照明光学系と、前記マスクのパターンを基板に投影する投影光学系とを備える露光装置に用いられるマスクのパターンとマスクを照明する際の有効光源分布とを決定する決定方法であって、
前記基板に形成すべきパターンに対応する仮パターンの形状を規定するための第1のパラメータを設定する第1の設定ステップと、
前記投影光学系の像面に形成される仮パターンの像を評価するための前記仮パターンの像における評価位置、及び、前記評価位置での評価項目を設定する第2の設定ステップと、
仮有効光源分布を規定するための第2のパラメータを設定する第3の設定ステップと、
前記第1のパラメータの値及び前記第2のパラメータの値を仮決定する仮決定ステップと、
前記仮決定ステップで仮決定した前記第1のパラメータの値で規定される仮パターンを、前記仮決定ステップで仮決定した前記第2のパラメータの値で規定される仮有効光源分布で照明したときに前記投影光学系の像面に形成される仮パターンの像を取得する第1の取得ステップと、
前記第1の取得ステップで取得された仮パターンの像について、前記第2の設定ステップで設定された前記評価位置での評価項目の値を取得する第2の取得ステップと、
前記第2の取得ステップで取得された前記評価位置での評価項目の値が評価基準を満たすかどうかを判定する判定ステップと、
を有し、
前記判定ステップで前記評価位置での評価項目の値が前記評価基準を満たすと判定された場合には、前記仮決定ステップで仮決定した前記第1のパラメータの値で規定される仮パターン及び前記仮決定ステップで仮決定した前記第2のパラメータの値で規定される仮有効光源分布のそれぞれを、マスクのパターン及び有効光源分布として決定し、
前記判定ステップで前記評価位置での評価項目の値が前記評価基準を満たさないと判定された場合には、前記仮決定ステップに戻って前記第1のパラメータの値及び前記第2のパラメータの値を再度仮決定して、前記第1の取得ステップ、前記第2の取得ステップ及び前記判定ステップを繰り返すことを特徴とする決定方法。 - 光源からの光を用いてマスクを照明する照明光学系と、前記マスクのパターンを基板に投影する投影光学系とを備える露光装置に用いられるマスクのパターンとマスクを照明する際の有効光源分布とをコンピュータに決定させるプログラムを記録したコンピュータで読み取り可能な記録媒体であって、
前記プログラムは、前記コンピュータに、
前記基板に形成すべきパターンに対応する仮パターンの形状を規定する第1のパラメータの値、及び、仮有効光源分布を規定する第2のパラメータの値を仮決定する仮決定ステップと、
前記投影光学系の像面に形成される前記仮パターンの像における評価位置、及び、前記評価位置での評価項目を設定する設定ステップと、
該仮決定した前記第1のパラメータの値で規定される仮パターンを、該仮決定した前記第2のパラメータの値で規定される仮有効光源分布で照明したときに前記投影光学系の像面に形成される仮パターンの像を算出し、該算出された仮パターンの像について前記評価項目の値を算出する算出ステップと、
該算出された前記評価項目の値が評価基準を満たす場合における、前記仮パターン及び前記仮有効光源分布を、マスクのパターン及び有効光源分布として決定するステップと、
をコンピュータに実行させることを特徴とする記録媒体。
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