JP2009105453A - 露光パラメータ及びレチクルパターンを決定する決定方法、露光方法及びデバイス製造方法。 - Google Patents
露光パラメータ及びレチクルパターンを決定する決定方法、露光方法及びデバイス製造方法。 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 光源からの光と光学系を用いてレチクルのパターンを被露光体に露光する際の露光パラメータ及び前記レチクルパターンを決定する決定方法であって、前記被露光体に露光すべき回路パターンの機能セルパターンを表す第1のパターンと、前記第1のパターンとは異なり、前記回路パターンのうち周辺回路パターンを表す第2のパターンと、に関する情報を取得するステップと、該取得した前記第1のパターン及び前記第2のパターンの情報を用いて、前記光源及び前記光学系のうち少なくとも一方の露光パラメータ及び前記レチクルのパターンを決定する決定ステップとを備えることを特徴とする決定方法を提供する。
【選択図】 図8
Description
上述したように、最適化には、パターンの情報、パターンにおいて最適化対象部分の情報、最適化の目標値の情報が必要である。
20、20A〜20C 危険パターン
Claims (5)
- 光源からの光と光学系を用いてレチクルのパターンを被露光体に露光する際の露光パラメータ及び前記レチクルパターンを決定する決定方法であって、
前記被露光体に露光すべき回路パターンの機能セルパターンを表す第1のパターンと、前記第1のパターンとは異なり、前記回路パターンのうち周辺回路パターンを表す第2のパターンと、に関する情報を取得するステップと、
該取得した前記第1のパターン及び前記第2のパターンの情報を用いて、前記光源及び前記光学系のうち少なくとも一方の露光パラメータ及び前記レチクルのパターンを決定する決定ステップと
を備えることを特徴とする決定方法。 - 前記決定ステップを第1の露光装置の露光パラメータ及び前記レチクルのパターンについて行い、
前記第1の露光装置とは異なる第2の露光装置において、前記回路パターンを前記被露光体に形成するために、該決定されたレチクルのパターンを部分的に変更するステップと、
前記レチクルのパターンの変更情報を取得するステップと、
該取得した変更情報に基づいて、前記第2の露光装置の露光パラメータを決定するステップと
を有することを特徴とする請求項1記載の決定方法。 - 前記決定ステップを第1の露光装置の露光パラメータ及び前記レチクルのパターンについて行い、
該決定された露光パラメータ及びレチクルのパターンを用いて、前記第1の露光装置における露光結果をシミュレーションするステップと、
該決定された露光パラメータを前記第1の露光装置とは異なる第2の露光装置に設定し、該決定されたレチクルのパターン及び前記第2の露光装置を用いて、前記第2の露光装置における露光結果を取得するステップと、
前記第1の露光装置におけるシミュレーション結果と、前記第2の露光装置における露光結果とを比較し、前記第1及び第2の露光装置によって異なる、前記レチクルのパターンに対する解像性能の情報を取得するステップと
を有することを特徴とする請求項1記載の決定方法。 - 光源からの光と光学系を用いてレチクルパターンを被露光体に露光する露光方法であって、
請求項1に記載の決定方法により露光パラメータ及びレチクルパターンを決定するステップと、
該決定された前記露光パラメータを露光装置に設定して、前記レチクルのパターンを前記被露光体に露光する露光ステップと
を有することを特徴とする露光方法。 - 請求項4に記載の露光方法により被露光体を露光するステップと、
該露光された被露光体を用いてデバイスを形成するステップと
を有することを特徴とするデバイス製造方法。
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