JP2011094986A - 半導体集積回路、半導体集積回路設計方法、スキャンテストパタン生成方法及びそのプログラム - Google Patents

半導体集積回路、半導体集積回路設計方法、スキャンテストパタン生成方法及びそのプログラム Download PDF

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Abstract

【課題】スキャンテストにおけるコストを低減することができる半導体集積回路、半導体集積回路設計方法、スキャンテストパタン生成方法及びそのプログラムを提供すること
【解決手段】本発明にかかる半導体集積回路1は、テスト値がスキャンインされ、当該テスト値を組み合わせ回路203に出力する制御用スキャンテスト構成回路と、制御用スキャンテスト構成回路にスキャンインされるテスト値が並列的にスキャンインされるとともに、組み合わせ回路203が制御用スキャンテスト構成回路から出力されたテスト値に基づいて出力する出力値が入力され、当該出力値をスキャンアウトする観測用スキャンテスト構成回路とを備えたものである。
【選択図】図3

Description

本発明は、半導体集積回路、半導体集積回路設計方法、スキャンテストパタン生成方法、半導体集積回路設計プログラム及びスキャンテストパタン生成プログラムに関する。
近年、半導体集積回路のテストでは、故障検出率を向上させるため、スキャンテストが一般的に用いられている。しかし、高い故障検出率を得るためには、膨大なスキャンテストパタンが必要である。その一方で、近年、半導体集積回路の大規模化に伴って、必要とされるスキャンテストパタンの数やそのデータ量も増大してきているため、テスト時間が増加する傾向にある。
特許文献1には、スキャンテスト設計において、観測用テストポイントを挿入するノードと、制御用テストポイントを挿入するノードのうち、テスト効率が良くなる方のノードに観測用テストポイント又は制御用テストポイントを挿入することを決定する技術が開示されている。これにより、ノードに挿入するテストポイントの数を減少させて、テスト回路の面積を削減することができ、テスト回路の単位面積当たりの故障検出率を向上させることができる。
特開2006−084427号公報
通常、スキャンテストにおいては、特許文献1に開示されているような観測用テストポイント及び制御用テストポイントとしてスキャンフリップフロップを設けて、これらを接続することでスキャンチェーンを構成することが考えられる。しかし、近年、半導体集積回路が大規模化してきていることに鑑みると、これらのスキャンフリップフロップを1つのスキャンチェーンによって接続して構成した場合、スキャンチェーンが非常に長くなってしまう。そのため、スキャンテストパタンのデータ量が増大してしまうため、テスト時間やスキャンテストパタンを生成する時間が増大してしまうという問題がある。これにより、スキャンテストにおける時間が増大し、スキャンテストにおけるコストが増大してしまうという問題がある。
また、観測用テストポイントとして設けた観測用スキャンフリップフロップと、制御用テストポイントとして設けた制御用スキャンフリップフロップとで分けてスキャンチェーンを構成することもできる。しかし、この場合は、スキャンイン端子及びスキャンアウト端子等の外部端子数が増加してしまい、コストが増大してしまうという問題がある。
本発明の第1の態様にかかる半導体集積回路は、テスト値がスキャンインされ、当該テスト値を組み合わせ回路に出力する制御用スキャンテスト構成回路と、前記制御用スキャンテスト構成回路にスキャンインされるテスト値が並列的にスキャンインされるとともに、前記組み合わせ回路が前記制御用スキャンテスト構成回路から出力されたテスト値に基づいて出力する出力値が入力され、当該出力値をスキャンアウトする観測用スキャンテスト構成回路とを備えたものである。
本発明の第2の態様にかかる半導体集積回路設計方法は、テスト値がスキャンインされる制御用スキャンテスト構成回路のデータ出力と組み合わせ回路のデータ入力とを接続し、前記組み合わせ回路のデータ出力と観測用スキャンテスト構成回路のデータ入力とを接続し、前記テスト値が前記制御用スキャンテスト構成回路と並列的にスキャンインされるように、前記制御用スキャンテスト構成回路のスキャンイン入力と観測用スキャンテスト構成回路のスキャンイン入力とを接続するものである。
本発明の第3の態様にかかる半導体集積回路設計プログラムは、テスト値がスキャンインされる制御用スキャンテスト構成回路のデータ出力と組み合わせ回路のデータ入力とを接続する処理と、前記組み合わせ回路のデータ出力と観測用スキャンテスト構成回路のデータ入力とを接続する処理と、前記テスト値が前記制御用スキャンテスト構成回路と並列的にスキャンインされるように、前記制御用スキャンテスト構成回路のスキャンイン入力と観測用スキャンテスト構成回路のスキャンイン入力とを接続する処理をコンピュータに実行させるものである。
これらにより、スキャンチェーンの長さを短くすることができるため、スキャンテストパタンのデータ量が低減して、テスト時間を低減することができる。そのため、スキャンテストにおける工数を低減し、スキャンテストにおけるコストを低減することができる。
本発明の第4の態様にかかるスキャンテストパタン生成方法は、テスト値がスキャンインされ、当該テスト値を組み合わせ回路に出力する制御用スキャンテスト構成回路と、前記制御用スキャンテスト構成回路にスキャンインされるテスト値が並列的にスキャンインされるとともに、前記組み合わせ回路が前記制御用スキャンテスト構成回路から出力されたテスト値に基づいて出力する出力値が入力され、当該出力値をスキャンアウトする観測用スキャンテスト構成回路とを備えた半導体集積回路のスキャンテストパタンを生成する場合に、前記テスト値がスキャンインされ、当該テスト値を前記組み合わせ回路に出力するとともに、前記組み合わせ回路が当該テスト値に基づいて出力する出力値が入力され、当該出力値をスキャンアウトする観測用スキャンテスト構成回路を備えた半導体集積回路に基づいて、スキャンテストパタンを生成する。
本発明の第5の態様にかかるスキャンテストパタン生成プログラムは、テスト値がスキャンインされ、当該テスト値を組み合わせ回路に出力する制御用スキャンテスト構成回路と、前記制御用スキャンテスト構成回路にスキャンインされるテスト値が並列的にスキャンインされるとともに、前記組み合わせ回路が前記制御用スキャンテスト構成回路から出力されたテスト値に基づいて出力する出力値が入力され、当該出力値をスキャンアウトする観測用スキャンテスト構成回路とを備えた半導体集積回路のスキャンテストパタンを生成する場合に、前記テスト値がスキャンインされ、当該テスト値を前記組み合わせ回路に出力するとともに、前記組み合わせ回路が当該テスト値に基づいて出力する出力値が入力され、当該出力値をスキャンアウトする観測用スキャンテスト構成回路を備えた半導体集積回路に基づいて、スキャンテストパタンを生成する処理をコンピュータに実行させるものである。
これらにより、スキャンチェーンの長さを短くした半導体集積回路において、さらにATPGツールによってスキャンテストを自動生成することができるため、スキャンテストパタンを生成する時間を低減することができる。そのため、スキャンテストにおける工数を低減し、スキャンテストにおけるコストを低減することができる。
上述した各態様により、スキャンテストにおけるコストを低減することができる半導体集積回路、半導体集積回路設計方法、スキャンテストパタン生成方法、半導体集積回路設計プログラム及びスキャンテストパタン生成プログラムを提供することができる。
本発明の実施の形態1にかかる半導体集積回路設計装置の構成図である。 本発明の実施の形態1にかかる半導体集積回路設計装置の処理を示すフローチャートである。 本発明の実施の形態1にかかる半導体集積回路の構成図である。 本発明の実施の形態1にかかるスキャンテストパタン生成用の半導体集積回路の構成図である。 本発明の実施の形態2にかかる半導体集積回路設計装置の処理を示すフローチャートである。 本発明の実施の形態2にかかる半導体集積回路の構成図である。 本発明の実施の形態2にかかるスキャンテストパタン生成用の半導体集積回路の構成図である。 本発明の実施の形態3にかかる半導体集積回路設計装置の処理を示すフローチャートである。 本発明の実施の形態3にかかる半導体集積回路の構成図である。 本発明の実施の形態3にかかるスキャンテストパタン生成用の半導体集積回路の構成図である。
本発明の実施の形態1.
図1を参照して、本発明の実施の形態1にかかる半導体集積回路設計装置の構成について説明する。図1は、本発明の実施の形態1にかかる半導体集積回路設計装置の構成図である。
半導体集積回路設計装置1は、CPU(Central Processing Unit)11、メモリ12及びHDD(hard disk drive)13を有する。
CPU11は、HDD13に格納されるDFT(Design For Testability)ツール21やATPG(Automatic Test Pattern Generator)ツール22をメモリ12にロードして実行することで、半導体集積回路の情報及びこの半導体集積回路に適用するスキャンテストパタン情報を生成する。
メモリ12は、CPU11によって、DFTツール21やATPGツール22の実行に必要な情報が格納される。
HDD13は、DFTツール21、ATPGツール22、回路接続情報31、本回路接続情報32及び仮想回路接続情報33を格納する。なお、HDD13は、HDDや不揮発性メモリ等の記憶装置であればよい。
DFTツール21は、本回路接続情報32及び仮想回路接続情報33を生成する処理をCPU11に実行させるプログラムである。
ATPGツール22は、スキャンテストパタン情報を生成する処理をCPU11に実行させるプログラムである。ATPGツール22は、例えば、Synopsys社のTetraMAX ATPGである。
回路接続情報31は、半導体集積回路を示す情報である。回路接続情報31は、より具体的には、半導体集積回路における配線の接続情報を含んでいる。回路接続情報31は、例えば、論理合成により生成されたネットリストである。
本回路接続情報32は、回路接続情報31が示す半導体集積回路に含まれるスキャンフリップフロップ(以下、フリップフロップを「FF」とする)によってスキャンテストに必要なスキャンチェーンを構成した半導体集積回路を示す情報である。本回路接続情報32は、例えば、ネットリストである。
仮想回路接続情報33は、本回路接続情報32が示す半導体集積回路をATPGツール22によるスキャンテストパタン情報の生成に適するように変更した半導体集積回路を示す情報である。仮想回路接続情報33は、本回路接続情報32に適用するスキャンテストパタンを生成するための情報となる。仮想回路接続情報33は、例えば、ネットリストである。
スキャンテストパタン情報34は、本回路接続情報32が示す半導体集積回路におけるスキャンテストパタンを示す情報である。
続いて、図2〜4を参照して、本発明の実施の形態1にかかる半導体集積回路設計装置の処理について説明する。図2は、本発明の実施の形態1にかかる半導体集積回路設計装置の処理を示すフローチャートである。図3は、本発明の実施の形態1にかかる半導体集積回路の構成図である。図3は、本回路接続情報32が示す半導体集積回路となる。図4は、本発明の実施の形態1にかかるスキャンテストパタン生成用の半導体集積回路の構成図である。図4は、仮想回路接続情報33が示す半導体集積回路となる。
以降、ステップS700〜S707までは、スキャンチェーンを構成した半導体集積回路を設計する処理について説明する。なお、CPU11は、DFTツール21をメモリ12にロードして、DFTツール21に含まれる命令に従って、ステップS700〜S709の処理を実行する。
CPU11は、テストポイント挿入箇所を決定する(S700)。なお、テストポイント挿入箇所の決定は、一般的な方法であればどのように決定してもよい。例えば、故障検出率が向上するような箇所をテストポイント挿入箇所として決定する。
CPU11は、決定したテストポイント挿入箇所に観測専用スキャンFF111、112及び制御専用フリップフロップ121、122を追加する(S701)。このとき、CPU11は、制御専用スキャンFF121のデータ出力521と、組み合わせ回路203のデータ入力503とを配線によって接続する。また、CPU11は、制御専用スキャンFF122のデータ出力522と、組み合わせ回路203のデータ入力504とを配線によって接続する。また、CPU11は、観測専用スキャンFF111のデータ入力513と、組み合わせ回路203のデータ出力502とを接続する。また、CPU11は、観測専用スキャンFF112のデータ入力512と、組み合わせ回路203のデータ出力501とを配線によって接続する。なお、観測専用スキャンFF111、112は、観測用スキャンテスト構成回路として機能し、制御専用フリップフロップ121、122は、制御用スキャンテスト構成回路として機能する。
CPU11は、制御専用スキャンFF121、122のみを接続するスキャンチェーン120を作成する(S702)。具体的には、制御専用スキャンFF121のスキャンアウト出力と、制御専用スキャンFF122のスキャンイン入力とをスキャンチェーンによって接続する。
CPU11は、観測専用スキャンFF111、112のみを接続するスキャンチェーン110を作成する(S703)。具体的には、観測専用スキャンFF111のスキャンアウト出力と、観測専用スキャンFF112とのスキャンイン入力とをスキャンチェーンによって接続する。
CPU11は、制御専用スキャンFF121、122及び観測専用スキャンFF111、112以外の通常のスキャンFF101、102、103、104を接続するスキャンチェーンを作成する(S704)。具体的には、スキャンチェーンによって、スキャンFF101のスキャンアウト出力とスキャンFF102のスキャンイン入力とを接続し、スキャンFF102のスキャンアウト出力とスキャンFF103のスキャンイン入力とを接続し、スキャンFF103のスキャンアウト出力とスキャンFF104のスキャンイン入力とを接続する。
CPU11は、制御専用スキャンFF121、122を接続したスキャンチェーン120と、観測専用スキャンFF111、112を接続したスキャンチェーン110とを並列に接続する(S705)。具体的には、制御専用スキャンFF121のスキャンイン入力と、観測専用スキャンFF111のスキャンイン入力とをスキャンチェーンによって接続する。言い換えると、制御専用スキャンFF121、122が接続されるスキャンチェーン120において、最前段の制御専用スキャンFF121と、観測専用スキャンFF111、112が接続されるスキャンチェーン110において、最前段の観測専用スキャンFF111とを接続する。
CPU11は、通常のスキャンFF101、102、103、104が接続されたスキャンチェーンと、制御専用スキャンFF121、122が接続されたスキャンチェーン120とを直列に接続する(S706)。ここで、通常のスキャンFF101、102、103、104が接続されたスキャンチェーンは、観測専用スキャンFF111、112が接続されたスキャンチェーン110とも直列に接続されることになる。具体的には、通常のスキャンFF104のスキャンアウト出力と、制御専用スキャンFF121のスキャンイン入力及び観測専用スキャンFF111のスキャンイン入力とをスキャンチェーンによって接続する。言い換えると、通常のスキャンFF101、102、103、104が接続されたスキャンチェーンにおいて、最後段のスキャンFF104のスキャンアウト出力と、スキャンチェーン110において最前段の観測専用スキャンFF111のスキャンイン入力と、スキャンチェーン120において最前段の制御専用スキャンFF121のスキャンイン入力とを接続する。
CPU11は、スキャンチェーンをスキャンイン端子401と、スキャンアウト端子402とに接続する(S707)。具体的には、スキャンイン端子401と、通常のスキャンFF101のスキャンイン入力とを接続する。言い換えると、スキャンイン端子401と、全てのスキャンFF101、102、103、104、111、112、121、122が接続されるスキャンチェーンにおいて、最前段のスキャンFF101のスキャンイン入力とを接続する。また、具体的には、スキャンアウト端子402と、観測専用スキャンFF112のスキャンイン出力とを接続する。言い換えると、スキャンアウト端子402と、全てのスキャンFF101、102、103、104、111、112、121、122が接続されるスキャンチェーンにおいて、最後段の観測専用スキャンFF112のスキャンアウト出力とを接続する。
ここまでの処理によって、図3に示す半導体集積回路が生成される。なお、図示を省略しているが、全てのスキャンFF101、102、103、104、111、112、121、122は、プライマリ入力からのクロック信号が直接供給されている(図示せず)。そして、CPU11は、この半導体集積回路を示す本回路接続情報32をHDD13に格納する。
以降、ステップS708〜S710までは、本回路接続情報32が示す半導体集積回路のスキャンテストパタンを生成する処理について説明する。
CPU11は、組み合わせ回路203のデータ入力503、504に接続される配線を、制御専用スキャンFF121、122が接続されるスキャンチェーン120のうち、スキャンイン端子401側からn番目(nは、正整数)の制御専用スキャンFFのデータ出力から、観測専用スキャンFF111、112が接続されるスキャンチェーン110のうち、スキャンイン端子401側からn番目(nは、正整数)の観測専用スキャンFFのデータ出力に繋ぎかえる(S708)。
具体的には、CPU11は、組み合わせ回路203のデータ入力503から、1番目の制御専用スキャンFF121のデータ出力521に接続される配線を、1番目の観測専用スキャンFF111のデータ出力511に接続する。なお、組み合わせ回路203のデータ入力503と制御専用スキャンFF121のデータ出力521とを接続する配線を一度削除して、組み合わせ回路203のデータ入力503と観測専用スキャンFF111のデータ出力511とを接続する配線を追加するようにしてもよい。
また、具体的には、CPU11は、組み合わせ回路203のデータ入力504から、2番目の制御専用スキャンFF122のデータ出力522に接続される配線を、2番目の観測専用スキャンFF112のデータ出力512に接続させるように繋ぎかえる。なお、組み合わせ回路203のデータ入力504と制御専用スキャンFF121のデータ出力522とを接続する配線を一度削除して、組み合わせ回路203のデータ入力504と観測専用スキャンFF112のデータ出力512とを接続する配線を追加するようにしてもよい。
CPU11は、制御専用スキャンFF121、122を接続するスキャンチェーン120を削除する(S709)。具体的には、制御専用スキャンFF121のスキャンアウト出力と、制御専用スキャンFF122のスキャンイン入力とを接続するスキャンチェーン120を削除する。また、通常のスキャンFF104のスキャンアウト出力と、制御専用スキャンFF121のスキャンイン入力及び観測専用スキャンFF111のスキャンイン入力とを接続するスキャンチェーンのうち、制御専用スキャンFF121のスキャンイン入力に分岐している部分を削除する。なお、ステップS709において、制御専用スキャンFF121、122も削除してしまってもよい。
ここまでの処理によって、図4に示す半導体集積回路が生成される。そして、CPU11は、この半導体集積回路を示す仮想回路接続情報33をHDD13に格納する。
次に、CPU11は、ATPGツール22をメモリ12にロードして、ATPGツール22に含まれる命令に従って、ステップS710の処理を実行する。
CPU11は、HDD13から仮想回路接続情報33を取得して、取得した仮想回路接続情報33に基づいて、スキャンテストパタンを生成する(S710)。ここで、一般的なATPGツールは、スキャンチェーンが1系統、つまり、分岐することなくスキャンFFと接続されており、それらのスキャンFFにプライマリ入力からのクロック信号が直接供給されていなければ、スキャンテストパタンを自動生成することができない。図4に示す半導体集積回路では、スキャンイン端子401からスキャンアウト端子402まで、1系統のスキャンチェーンを構成しているため、ATPGツール22によって、スキャンテストパタンを自動生成することができる。
続いて、図3を参照して、本実施の形態1にかかる半導体集積回路の動作について説明する。
スキャンテストの実行前には、スキャンイン端子401からスキャンテストパタンに含まれるテスト値を順次スキャンインしていく。スキャンイン端子401にスキャンインしたテスト値は、通常のスキャンFF101、102、103、104の順で、それぞれのスキャンFF101、102、103、104にシフトインされていく。
そして、通常のスキャンFF104にテスト値がスキャンインされた状態で、シフトイン動作が行われた場合、通常のスキャンFF104は、次段の観測専用スキャンFF111及び制御専用スキャンFF121にテスト値をスキャンアウトする。観測専用スキャンFF111及び制御専用スキャンFF121は、通常のスキャンFF104からスキャンアウトされたテスト値が並列的にスキャンインされる。次に、シフトイン動作を行うと、観測専用スキャンFF111に格納されたテスト値がスキャンアウトされて、観測専用スキャンFF112にスキャンインされる。また、制御専用スキャンFF121に格納されたテスト値がスキャンアウトされて、制御専用スキャンFF122にスキャンインされる。
つまり、制御専用スキャンFF121、122が接続されるスキャンチェーン120のうち、スキャンイン端子401側からn番目(nは、正整数)の制御専用スキャンFFと、観測専用スキャンFF111、112が接続されるスキャンチェーン110のうち、スキャンイン端子401側からn番目(nは、正整数)の観測専用スキャンFFには、同じテスト値が格納される。
つまり、図3に示すように、制御専用スキャンFF121、122から組み合わせ回路203にテスト値を出力する半導体集積回路であっても、図4に示すように、観測専用スキャンFF111、112から組み合わせ回路203にテスト値を出力する半導体集積回路であっても、組み合わせ回路203に入力されるテスト値は同じ値となる。そのため、図3に示す半導体集積回路と図4に示す半導体集積回路は、構成が異なっていても動作は同じとなるため、図4に示す半導体集積回路の仮想回路接続情報33に基づいて生成したスキャンテストパタンを図3に示す半導体集積回路に適用することができる。
全ての通常のスキャンFF101、102、103、104及び制御専用スキャンFF121、122にテスト値が格納されると、スキャンテストを実行する。そして、スキャンテスト実行時に、制御専用スキャンFF121、122は、テスト値を組み合わせ回路203に出力する。組み合わせ回路203は、制御専用スキャンFF121、122から出力されたテスト値に基づいた出力値を観測専用スキャンFF111、112に出力する。観測専用スキャンFF111、112は、組み合わせ回路203から出力された出力値を格納する。具体的には、組み合わせ回路203のデータ出力501から出力された出力値が観測専用スキャンFF112のデータ入力514に入力され、組み合わせ回路203のデータ出力502から出力された出力値が観測専用スキャンFF111のデータ入力513に入力される。また、組み合わせ回路201から出力された出力値が通常のスキャンFF101、102に格納される。また、組み合わせ回路202から出力された出力値が通常のスキャンFF103、104に格納される。
このように、制御専用スキャンFF121、122と観測専用スキャンFF111、112に並列的にテスト値がスキャンインされても、観測専用スキャンFF111、112は、組み合わせ回路203にテスト値を出力しないため、制御専用スキャンFF121、122と同じテスト値が格納されても、スキャンテストを実施する際に影響を与えない。
スキャンテストの実行後に、シフトイン動作を行うことで、全ての通常のスキャンFF101、102、103、104及び観測専用スキャンFF111、112に格納された出力値がスキャンアウト端子402に順次スキャンアウトされる。具体的には、例えば、観測専用スキャンFF111は、格納された出力値を観測専用スキャンFF112にスキャンアウトし、観測専用スキャンFF112は、格納された出力値をスキャンアウト端子402にスキャンアウトする。スキャンアウト端子402からスキャンアウトされた出力値と期待値とを比較することによって、半導体集積回路の動作結果を確認することができる。
以上に説明したように、本実施の形態1によれば、制御専用スキャンFF121、122と、観測専用スキャンFF111、112とに並列的にテスト値がスキャンインされるように構成している。これにより、スキャンチェーンの長さを短くすることができるため、スキャンテストパタンのデータ量が低減して、テスト時間を低減することができる。また、このように構成することで、制御専用スキャンFF121、122及び観測専用スキャンFF111、112の前段にスキャンイン端子401を1つ接続し、観測専用スキャンFF111、112の後段にスキャンアウト端子402を1つ接続するのみで、制御専用スキャンFF121、122に対するテスト値にスキャンインと、観測専用スキャンFF111、112からの組み合わせ回路203の出力値のスキャンアウトを行うことができるため、外部端子数が増加することがない。そのため、スキャンテストにおける工数を低減し、スキャンテストにおけるコストを低減することができる。
また、本実施の形態1によれば、制御専用スキャンFF121、122と、観測専用スキャンFF111、112とに並列的にテスト値がスキャンインされるように構成した半導体集積回路のスキャンテストパタンを生成する場合に、観測専用スキャンFF111、112から組み合わせ回路203にテスト値を出力するようにした半導体集積回路に基づいてスキャンテストパタンを生成するようにしている。これにより、スキャンチェーンの長さを短くした半導体集積回路において、さらにATPGツールによってスキャンテストを自動生成することができるため、スキャンテストパタンを生成する時間を低減することができる。そのため、スキャンテストにおける時間を工数し、スキャンテストにおけるコストを低減することができる。
発明の実施の形態2.
本発明の実施の形態2にかかる半導体集積回路設計装置は、実施の形態1にかかる半導体集積回路設計装置1と同様であるため、説明を省略する。
続いて、図5〜7を参照して、本発明の実施の形態2にかかる半導体集積回路設計装置の処理について説明する。図5は、本発明の実施の形態2にかかる半導体集積回路設計装置の処理を示すフローチャートである。図6は、本発明の実施の形態2にかかる半導体集積回路の構成図である。図6は、本回路接続情報32が示す半導体集積回路となる。図7は、本発明の実施の形態2にかかるスキャンテストパタン生成用の半導体集積回路の構成図である。図7は、仮想回路接続情報33が示す半導体集積回路となる。なお、実施の形態1と同様の具体的な処理内容については説明を省略する。
以降、ステップS800〜S807までは、スキャンチェーンを構成した半導体集積回路を設計する処理について説明する。
CPU11は、テストポイント挿入箇所を決定する(S800)。ここで、本実施の形態2では、実施の形態1と比較して、さらに制御専用スキャンFF131、132が追加される箇所をテストポイント挿入箇所として決定する。
CPU11は、決定したテストポイント挿入箇所に観測専用スキャンFF111、112及び制御専用フリップフロップ121、122、131、132を追加する(S801)。このとき、CPU11は、制御専用スキャンFF131のデータ出力531と、組み合わせ回路203のデータ入力505とを配線によって接続する。また、CPU11は、制御専用スキャンFF132のデータ出力532と、組み合わせ回路203のデータ入力506とを配線によって接続する。
CPU11は、制御専用スキャンFF121、122のみを接続するスキャンチェーン120と、制御専用スキャンFF131、132のみを接続するスキャンチェーン130とを作成する(S802)。具体的には、制御専用スキャンFF131のスキャンアウト出力と、制御専用スキャンFF132のスキャンイン入力とをスキャンチェーンによって接続する。このように、本実施の形態2では、制御専用スキャンFF121、122、131、132の数が、観測専用スキャンFF111、112の数より多い場合に、観測専用スキャンFF111、112の数と同数の制御専用スキャンFF121、122及び131、132を接続する複数のスキャンチェーン120、130を作成する。
CPU11は、観測専用スキャンFF111、112のみを接続するスキャンチェーン110を作成する(S803)。
CPU11は、制御専用スキャンFF121、122、131、132及び観測専用スキャンFF111、112以外の通常のスキャンFF101、102、103、104を接続するスキャンチェーンを作成する(S804)。
CPU11は、制御専用スキャンFF121、122を接続したスキャンチェーン120と、制御専用スキャンFF131、132を接続したスキャンチェーン130と、観測専用スキャンFF111、112を接続したスキャンチェーン110とを並列に接続する(S805)。具体的には、制御専用スキャンFF121のスキャンイン入力と、制御専用スキャンFF131のスキャンイン入力と、観測専用スキャンFF111のスキャンイン入力とをスキャンチェーンによって接続する。
CPU11は、通常のスキャンFF101、102、103、104が接続されたスキャンチェーンと、制御専用スキャンFF131、132が接続されたスキャンチェーン130とを直列に接続する(S806)。ここで、通常のスキャンFF101、102、103、104が接続されたスキャンチェーンは、制御専用スキャンFF121、122が接続されたスキャンチェーン120及び観測専用スキャンFF111、112が接続されたスキャンチェーン110とも直列に接続されることになる。具体的には、通常のスキャンFF104のスキャンアウト出力と、制御専用スキャンFF131のスキャンイン入力とをスキャンチェーンによって接続する。
CPU11は、スキャンチェーンをスキャンイン端子401と、スキャンアウト端子402とに接続する(S807)。
ここまでの処理によって、図6に示す半導体集積回路が生成される。なお、図示を省略しているが、全てのスキャンFF101、102、103、104、111、112、121、122、131、132は、プライマリ入力からのクロック信号が直接供給されている。そして、CPU11は、この半導体集積回路を示す本回路接続情報32をHDD13に格納する。
以降、ステップS808〜S810までは、本回路接続情報32が示す半導体集積回路のスキャンテストパタンを生成する処理について説明する。
CPU11は、組み合わせ回路203のデータ入力503、504、505、506に接続される配線を、制御専用スキャンFF121、122、131、132が接続されるスキャンチェーン120、130のそれぞれのうち、スキャンイン端子401側からn番目(nは、正整数)の制御専用スキャンFFのデータ出力から、観測専用スキャンFF111、112が接続されるスキャンチェーン110のうち、スキャンイン端子401側からn番目(nは、正整数)の観測専用スキャンFFのデータ出力に繋ぎかえる(S808)。
具体的には、CPU11は、組み合わせ回路203のデータ入力505から、1番目の制御専用スキャンFF121のデータ出力531に接続される配線を、1番目の観測専用スキャンFF111のデータ出力511に接続する。また、具体的には、CPU11は、組み合わせ回路203のデータ入力506から、2番目の制御専用スキャンFF132のデータ出力532に接続される配線を、2番目の観測専用スキャンFF112のデータ出力512に接続させるように繋ぎかえる。
CPU11は、制御専用スキャンFF121、122を接続するスキャンチェーン120と、制御専用スキャンFF131、132を接続するスキャンチェーン130とを削除する(S809)。具体的には、制御専用スキャンFF131のスキャンアウト出力と、制御専用スキャンFF132のスキャンイン入力とを接続するスキャンチェーン130を削除する。また、通常のスキャンFF104のスキャンアウト出力と、制御専用スキャンFF121のスキャンイン入力、制御専用スキャンFF131のスキャンイン入力及び観測専用スキャンFF111のスキャンイン入力とを接続するスキャンチェーンのうち、制御専用スキャンFF121のスキャンイン入力に分岐している部分と、制御専用スキャンFF131のスキャンイン入力に分岐している部分とを削除する。なお、ステップS809において、制御専用スキャンFF131、132も削除してしまってもよい。
ここまでの処理によって、図6に示す半導体集積回路が生成される。そして、CPU11は、この半導体集積回路を示す仮想回路接続情報33をHDD13に格納する。
次に、CPU11は、HDD13から仮想回路接続情報33を取得して、取得した仮想回路接続情報33に基づいて、スキャンテストパタンを生成する(S810)。図6に示す半導体集積回路では、スキャンイン端子401からスキャンアウト端子402まで、1系統のスキャンチェーンを構成しているため、ATPGツール22によって、スキャンテストパタンを自動生成することができる。
続いて、図6を参照して、本実施の形態1にかかる半導体集積回路の動作について説明する。なお、実施の形態1と同様の動作については説明を省略する
スキャンテストの実行前には、スキャンイン端子401からスキャンテストパタンに含まれるテスト値を順次スキャンインしていく。
そして、通常のスキャンFF104にテスト値がスキャンインされた状態で、シフトイン動作が行われた場合、通常のスキャンFF104は、次段の観測専用スキャンFF111及び制御専用スキャンFF121、131にテスト値をスキャンアウトする。観測専用スキャンFF111及び制御専用スキャンFF121、131は、通常のスキャンFF104からスキャンアウトされたテスト値が並列的にスキャンインされる。次に、シフトイン動作を行うと、制御専用スキャンFF131に格納されたテスト値がスキャンアウトされて、制御専用スキャンFF132にスキャンインされる。
つまり、制御専用スキャンFF121、122、131、132が接続されるスキャンチェーン120、130のそれぞれのうち、スキャンイン端子401側からn番目(nは、正整数)の制御専用スキャンFFのそれぞれと、観測専用スキャンFF111、112が接続されるスキャンチェーン110のうち、スキャンイン端子401側からn番目(nは、正整数)の観測専用スキャンFFには、同じテスト値が格納される。つまり、本実施の形態2では、制御専用スキャンFF121、122と、制御専用スキャンFF131、132とが同じテスト値が格納されるテストポイントである場合に、制御専用スキャンFF121、122、131、132による複数のスキャンチェーン120、130を作成して並列に接続している。この判定は、ステップS800〜S805のいずれの処理で行ってもよい。
つまり、図6に示すように、制御専用スキャンFF121、122、131、132から組み合わせ回路203にテスト値を出力する半導体集積回路であっても、図7に示すように、観測専用スキャンFF111、112から組み合わせ回路203にテスト値を出力する半導体集積回路であっても、組み合わせ回路203に入力されるテスト値は同じ値となる。そのため、図6に示す半導体集積回路と図7に示す半導体集積回路は、構成が異なっていても動作は同じとなるため、図7に示す半導体集積回路の仮想回路接続情報33に基づいて生成したスキャンテストパタンを図6に示す半導体集積回路に適用することができる。
全ての通常のスキャンFF101、102、103、104及び制御専用スキャンFF121、122、131、132にテスト値が格納されると、スキャンテストを実行する。そして、スキャンテスト実行時に、制御専用スキャンFF131、132は、テスト値を組み合わせ回路203に出力する。組み合わせ回路203は、制御専用スキャンFF121、122、131、132から出力されたテスト値に基づいた出力値を観測専用スキャンFF111、112に出力する。スキャンテストの実行後の動作は、実施の形態1と同様であるため、説明を省略する。
以上に説明したように、本実施の形態2によれば、制御専用スキャンFF121、122、131、132の数が観測専用スキャンFF111、112の数より多い場合であっても、観測専用スキャンFF111、112の数と同数の制御専用スキャンFF121、122及び制御専用スキャンFF131、132と、観測専用スキャンFF111、112とに並列的にテスト値がスキャンインされるように構成しているため、実施の形態1よりもさらにスキャンチェーンの長さを短くすることができる。これにより、さらにスキャンテストパタンのデータ量が低減して、テスト時間を低減することができるため、よりスキャンテストにおける工数を低減し、スキャンテストにおけるコストを低減することができる。
発明の実施の形態3.
本発明の実施の形態3にかかる半導体集積回路設計装置は、実施の形態1にかかる半導体集積回路設計装置1と同様であるため、説明を省略する。
続いて、図8〜10を参照して、本発明の実施の形態3にかかる半導体集積回路設計装置の処理について説明する。図8は、本発明の実施の形態3にかかる半導体集積回路設計装置の処理を示すフローチャートである。図9は、本発明の実施の形態3にかかる半導体集積回路の構成図である。図9は、本回路接続情報32が示す半導体集積回路となる。図10は、本発明の実施の形態3にかかるスキャンテストパタン生成用の半導体集積回路の構成図である。図10は、仮想回路接続情報33が示す半導体集積回路となる。なお、実施の形態1と同様の具体的な処理内容については説明を省略する。
以降、ステップS900〜S907までは、スキャンチェーンを構成した半導体集積回路を設計する処理について説明する。
CPU11は、テストポイント挿入箇所を決定する(S900)。ここで、本実施の形態3では、実施の形態1と比較して、さらに制御専用スキャンFF123、124が追加される箇所をテストポイント挿入箇所として決定する。
CPU11は、決定したテストポイント挿入箇所に観測専用スキャンFF111、112及び制御専用フリップフロップ121、122、123、124を追加する(S901)。このとき、CPU11は、制御専用スキャンFF123のデータ出力523と、組み合わせ回路203のデータ入力507とを配線によって接続する。また、CPU11は、制御専用スキャンFF124のデータ出力524と、組み合わせ回路203のデータ入力508とを配線によって接続する。
CPU11は、制御専用フリップフロップ121、122、123、124のうち、観測専用スキャンFF111、112と同数となる制御専用スキャンFF121、122のみを接続するスキャンチェーン120を作成する(S902)。
CPU11は、観測専用スキャンFF111、112のみを接続するスキャンチェーン110を作成する(S903)。
CPU11は、制御専用スキャンFF121、122、123、124及び観測専用スキャンFF111、112以外の通常のスキャンFF101、102、103、104と、スキャンチェーン120に接続されていない制御専用スキャンFF123、124とを接続するスキャンチェーンを作成する(S904)。具体的には、通常のスキャンFF104のスキャンアウト出力と制御専用スキャンFF123のスキャンイン入力とを接続し、制御専用スキャンFF123のスキャンアウト出力と制御専用スキャンFF124のスキャンイン入力とを接続する。
CPU11は、制御専用スキャンFF121、122を接続したスキャンチェーン120と、観測専用スキャンFF111、112を接続したスキャンチェーン110とを並列に接続する(S905)。
CPU11は、通常のスキャンFF101、102、103、104及び制御専用スキャンFF123、124が接続されたスキャンチェーンと、制御専用スキャンFF121、122が接続されたスキャンチェーン120とを直列に接続する(S906)。具体的には、制御専用スキャンFF124のスキャンアウト出力と、制御専用スキャンFF121のスキャンイン入力及び観測専用スキャンFF111のスキャンイン入力とをスキャンチェーンによって接続する。
CPU11は、スキャンチェーンをスキャンイン端子401と、スキャンアウト端子402とに接続する(S907)。
ここまでの処理によって、図9に示す半導体集積回路が生成される。なお、図示を省略しているが、全てのスキャンFF101、102、103、104、111、112、121、122、123、124は、プライマリ入力からのクロック信号が直接供給されている。そして、CPU11は、この半導体集積回路を示す本回路接続情報32をHDD13に格納する。
以降、ステップS908〜S910までは、本回路接続情報32が示す半導体集積回路のスキャンテストパタンを生成する処理について説明する。
ステップS908の処理は、実施の形態1におけるステップS708の処理と同様である。
CPU11は、制御専用スキャンFF121、122を接続するスキャンチェーン120を削除する(S909)。具体的には、制御専用スキャンFF124のスキャンアウト出力と、制御専用スキャンFF121のスキャンイン入力及び観測専用スキャンFF111のスキャンイン入力とを接続するスキャンチェーンのうち、制御専用スキャンFF121のスキャンイン入力に分岐している部分を削除する。
ここまでの処理によって、図10に示す半導体集積回路が生成される。そして、CPU11は、この半導体集積回路を示す仮想回路接続情報33をHDD13に格納する。
次に、CPU11は、HDD13から仮想回路接続情報33を取得して、取得した仮想回路接続情報33に基づいて、スキャンテストパタンを生成する(S910)。図10に示す半導体集積回路では、スキャンイン端子401からスキャンアウト端子402まで、1系統のスキャンチェーンを構成しているため、ATPGツール22によって、スキャンテストパタンを自動生成することができる。
続いて、図3を参照して、本実施の形態1にかかる半導体集積回路の動作について説明する。
スキャンテストの実行前には、スキャンイン端子401からスキャンテストパタンに含まれるテスト値を順次スキャンインしていく。スキャンイン端子401にスキャンインしたテスト値は、通常のスキャンFF101、102、103、104、制御専用スキャンFF123、124の順で、それぞれのスキャンFF101、102、103、104、123、124にシフトインされていく。
そして、制御専用スキャンFF124にテスト値がスキャンインされた状態で、シフトイン動作が行われた場合、制御専用スキャンFF124は、次段の観測専用スキャンFF111及び制御専用スキャンFF121にテスト値をスキャンアウトする。
つまり、実施の形態1と同様で、図9に示すように、制御専用スキャンFF121、122から組み合わせ回路203にテスト値を出力する半導体集積回路であっても、図10に示すように、観測専用スキャンFF111、112から組み合わせ回路203にテスト値を出力する半導体集積回路であっても、組み合わせ回路203に入力されるテスト値は同じ値となる。そのため、図9に示す半導体集積回路と図10に示す半導体集積回路は、構成が異なっていても動作は同じとなるため、図10に示す半導体集積回路の仮想回路接続情報33に基づいて生成したスキャンテストパタンを図9に示す半導体集積回路に適用することができる。
ここで、本実施の形態3では、制御専用スキャンFF121、122と、制御専用スキャンFF123、124とが異なるテスト値が格納されるテストポイントであってもよい。例えば、制御専用スキャンFF121、122と、制御専用スキャンFF123、124とが異なるテスト値が格納されるべきテストポイントである場合、実施の形態2のように並列に接続すると、同じテスト値が格納されてしまいスキャンテストにおける制御性を損なうことになる。そこで、本実施の形態3のように、観測専用スキャンFF111、112と同数の制御専用スキャンFF121、122のみを並列に接続することで、制御専用スキャンFF121、122と制御専用スキャンFF123、124とで異なるテスト値を格納できるようにしている。
全ての通常のスキャンFF101、102、103、104及び制御専用スキャンFF121、122、123、124にテスト値が格納されると、スキャンテストを実行する。そして、スキャンテスト実行時に、制御専用スキャンFF121、122、123、124は、テスト値を組み合わせ回路203に出力する。組み合わせ回路203は、制御専用スキャンFF121、122、123、124から出力されたテスト値に基づいた出力値を観測専用スキャンFF111、112に出力する。スキャンテストの実行後の動作は、実施の形態1と同様であるため、説明を省略する。
以上に説明したように、本実施の形態3によれば、制御専用スキャンFF121、122、123、124の数が観測専用スキャンFF111、112の数より多く、制御専用スキャンFF121、122と制御専用スキャンFF123、124とが異なるテスト値が格納されるべきテストポイントである場合であっても、観測専用スキャンFF111、112の数と同数の制御専用スキャンFF121、122のみと、観測専用スキャンFF111、112とに並列的にテスト値がスキャンインされるように構成しているため、スキャンチェーンの長さを短くすることができる。これにより、スキャンテストパタンのデータ量が低減して、テスト時間を低減することができるため、スキャンテストにおける工数を低減し、スキャンテストにおけるコストを低減することができる。
なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。
例えば、設計される半導体集積回路の構成は、本実施の形態において例示したものに限られない。例えば、通常のスキャンFFを含んでおらず、観測専用スキャンFF及び制御専用スキャンFFでスキャンチェーンが構成されるようにしてもよい。また、例えば、観測専用スキャンFFの後段に、通常のスキャンFFが接続されるようにスキャンチェーンを構成してもよい。
また、本実施の形態では、CPU11がDFTツール21を実行することで、論理合成された回路接続情報31に基づいて、本回路接続情報32及び仮想回路接続情報33を生成しているが、RTL(Register Transfer Level)ソースに基づいて、論理合成から処理を行うようにしてもよい。
また、本実施の形態では、観測専用スキャンFFと並列に接続される制御専用スキャンFFの数が同数の場合について例示したが、これに限られない。例えば、観測専用スキャンFFと並列に接続される制御専用スキャンFFの数は、観測専用スキャンFFの数より多くならない数でもよい。
また、半導体集積回路を設計する処理の順序についても本実施の形態に例示したものに限られない。例えば、制御専用スキャンFFのみを接続するスキャンチェーンと、観測専用スキャンFFのみを接続するスキャンチェーンと、これらのスキャンFF以外のスキャンFFを接続するスキャンチェーンを作成する順序は、本実施の形態に例示した順序に限られない。また、例えば、制御専用スキャンFFのデータ出力と、組み合わせ回路のデータ入力とを接続する処理や、観測専用スキャンFFのデータ入力と、組み合わせ回路のデータ出力とを接続する処理についても、観測専用スキャンFF及び制御専用フリップフロップを追加したときに同時に行わなくてもよい。
以上に説明した本発明にかかる半導体集積回路設計装置は、上述の実施の形態の機能を実現するプログラムを記憶した記憶媒体をシステムもしくは装置に供給し、システムあるいは装置の有するコンピュータ又はCPU(Central Processing Unit)、MPU(Micro Processing Unit)がこのプログラムを実行することによって、構成することが可能である。
また、このプログラムは様々な種類の記憶媒体に格納することが可能であり、通信媒体を介して伝達されることが可能である。ここで、記憶媒体には、例えば、フレキシブルディスク、ハードディスク、磁気ディスク、光磁気ディスク、CD−ROM(Compact Disc Read Only Memory)、DVD(Digital Versatile Disc)、BD(Blu-ray(登録商標) Disc)、ROM(Read Only Memory)カートリッジ、バッテリバックアップ付きRAM(Random Access Memory)、メモリカートリッジ、フラッシュメモリカートリッジ、不揮発性RAMカートリッジを含む。また、通信媒体には、電話回線等の有線通信媒体、マイクロ波回線等の無線通信媒体を含む。また、上述のプログラムは、インターネットを介して伝達することも可能である。
また、コンピュータが上述の実施の形態の機能を実現するプログラムを実行することにより、上述の実施の形態の機能が実現されるだけではなく、このプログラムの指示に基づき、コンピュータ上で稼動しているOS(Operating System)もしくはアプリケーションソフトと共同して上述の実施の形態の機能が実現される場合も、発明の実施の形態に含まれる。
さらに、このプログラムの処理の全てもしくは一部がコンピュータに挿入された機能拡張ボードやコンピュータに接続された機能拡張ユニットにより行われて上述の実施の形態の機能が実現される場合も、発明の実施の形態に含まれる。
1 半導体集積回路設計装置
11 CPU
12 メモリ
13 HDD
21 DFTツール
22 ATPGツール
31 回路接続情報
32 本回路接続情報
33 仮想回路接続情報
34 スキャンテストパタン情報
101、102、103、104 通常のスキャンFF
110、120、130 スキャンチェーン
111、112 観測専用スキャンFF
121、122、123、124、131、132 制御専用スキャンFF
401 スキャンイン端子
402 スキャンアウト端子
501、502、511、512、521、522、523、524、531、532 データ出力
503、504、505、506、507、508、513、514 データ入力
201、202、203 組み合わせ回路

Claims (9)

  1. テスト値がスキャンインされ、当該テスト値を組み合わせ回路に出力する制御用スキャンテスト構成回路と、
    前記制御用スキャンテスト構成回路にスキャンインされるテスト値が並列的にスキャンインされるとともに、前記組み合わせ回路が前記制御用スキャンテスト構成回路から出力されたテスト値に基づいて出力する出力値が入力され、当該出力値をスキャンアウトする観測用スキャンテスト構成回路とを備えた半導体集積回路。
  2. 前記制御用スキャンテスト構成回路は、複数の制御用スキャンフリップフロップを含み、最前段の制御用スキャンフリップフロップ以外の制御用スキャンフリップフロップに、前段の制御用スキャンフリップフロップからスキャンアウトされたテスト値がスキャンインされ、
    前記観測用スキャンフリップフロップは、複数の観測用スキャンフリップフロップを含み、最前段の観測用スキャンフリップフロップ以外の観測用スキャンフリップフロップに、前段の観測用スキャンフリップフロップからスキャンアウトされたテスト値がスキャンインされる請求項1に記載の半導体集積回路。
  3. 前記制御用スキャンテスト構成回路と前記観測用スキャン構成回路は、同数のスキャンフリップフロップを有する請求項2に記載の半導体集積回路。
  4. 前記半導体集積回路は、前記制御用スキャンテスト構成回路は、第1及び第2の制御用スキャンテスト構成回路を含み、
    前記第1の制御用スキャンテスト構成回路は、前記第2の制御用スキャンテスト構成回路にスキャンインされるテスト値が並列的にスキャンインされる請求項1乃至3のいずれか1項に記載の半導体集積回路。
  5. 前記半導体集積回路は、前記半導体集積回路にテスト値をスキャンインするスキャンイン端子と、
    前記半導体集積回路から出力値をスキャンアウトするスキャンアウト端子とを有し、
    前記制御用スキャンテスト構成回路及び前記観測用スキャンテスト構成回路は、前記スキャンイン端子にスキャンインされたテスト値がスキャンインされ、
    前記スキャンアウト端子は、前記制御用スキャンテスト構成回路及び前記観測用スキャンテスト構成回路のうち、前記観測用スキャンテスト構成回路からスキャンアウトされた出力値をスキャンアウトする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の半導体集積回路。
  6. テスト値がスキャンインされる制御用スキャンテスト構成回路のデータ出力と組み合わせ回路のデータ入力とを接続し、
    前記組み合わせ回路のデータ出力と観測用スキャンテスト構成回路のデータ入力とを接続し、
    前記テスト値が前記制御用スキャンテスト構成回路と並列的にスキャンインされるように、前記制御用スキャンテスト構成回路のスキャンイン入力と観測用スキャンテスト構成回路のスキャンイン入力とを接続する半導体集積回路設計方法。
  7. テスト値がスキャンインされる制御用スキャンテスト構成回路のデータ出力と組み合わせ回路のデータ入力とを接続する処理と、
    前記組み合わせ回路のデータ出力と観測用スキャンテスト構成回路のデータ入力とを接続する処理と、
    前記テスト値が前記制御用スキャンテスト構成回路と並列的にスキャンインされるように、前記制御用スキャンテスト構成回路のスキャンイン入力と観測用スキャンテスト構成回路のスキャンイン入力とを接続する処理をコンピュータに実行させる半導体集積回路設計プログラム。
  8. テスト値がスキャンインされ、当該テスト値を組み合わせ回路に出力する制御用スキャンテスト構成回路と、前記制御用スキャンテスト構成回路にスキャンインされるテスト値が並列的にスキャンインされるとともに、前記組み合わせ回路が前記制御用スキャンテスト構成回路から出力されたテスト値に基づいて出力する出力値が入力され、当該出力値をスキャンアウトする観測用スキャンテスト構成回路とを備えた半導体集積回路のスキャンテストパタンを生成する場合に、前記テスト値がスキャンインされ、当該テスト値を前記組み合わせ回路に出力するとともに、前記組み合わせ回路が当該テスト値に基づいて出力する出力値が入力され、当該出力値をスキャンアウトする観測用スキャンテスト構成回路を備えた半導体集積回路に基づいて、スキャンテストパタンを生成するスキャンテストパタン生成方法。
  9. テスト値がスキャンインされ、当該テスト値を組み合わせ回路に出力する制御用スキャンテスト構成回路と、前記制御用スキャンテスト構成回路にスキャンインされるテスト値が並列的にスキャンインされるとともに、前記組み合わせ回路が前記制御用スキャンテスト構成回路から出力されたテスト値に基づいて出力する出力値が入力され、当該出力値をスキャンアウトする観測用スキャンテスト構成回路とを備えた半導体集積回路のスキャンテストパタンを生成する場合に、前記テスト値がスキャンインされ、当該テスト値を前記組み合わせ回路に出力するとともに、前記組み合わせ回路が当該テスト値に基づいて出力する出力値が入力され、当該出力値をスキャンアウトする観測用スキャンテスト構成回路を備えた半導体集積回路に基づいて、スキャンテストパタンを生成する処理をコンピュータに実行させるスキャンテストパタン生成プログラム。
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