JP2011087384A - エレクトレット及びその製造方法並びにエレクトレットを備える静電誘導型変換素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】単一の基材10から形成され、間隔gの間隙を介して対向配置された基材10の表面に垂直な加工面には絶縁材料層12が形成されている。また、二つの基材10は絶縁材料層12が形成された面に略平行に移動可能に保持されている。ここで、上記間隙の一つの開口から軟X線照射装置16により軟X線を照射し、間隙中に存在する酸素、窒素等の空気中の成分をイオン化し、発生した正イオンと負イオンとを、上記基材10の間にバイアス電圧源18により印加したバイアス電圧により、基材10の表面に形成された絶縁材料層12に引き寄せ、絶縁材料層12の表面付近に注入してエレクトレットを形成する。
【選択図】図2
Description
Claims (4)
- 単一の基材に形成され、所定の間隔以内の間隙を介して対向する、前記基材の表面に垂直な対向面と、
前記対向面に形成された絶縁材料層と、
前記絶縁材料層の表面付近に注入された電荷と、
を備え、
前記間隙の深さをh、前記間隙の間隔をg、前記対向する面に直交する方向における前記基材の幅をWとすると、g≦200μm、h>2g、W≧h、であることを特徴とするエレクトレット。 - 単一の基材に形成された前記基材の表面に垂直な対向面の各々に、相互に所定の間隔以内の間隙を保って設けられ、自身が設けられた対向面に対向する他の対向面と所定の間隙を保ちながら交互に配置されてかみ合った板状突起部と、
前記板状突起部の表面に形成された絶縁材料層と、
前記絶縁材料層の表面付近に注入された電荷と、
を備え、
前記間隙の深さをh、前記間隙の間隔をg、前記基材の対向面に直交する方向における前記基材の幅をWとすると、g≦200μm、h>2g、W≧h、であることを特徴とするエレクトレット。 - 単一の基材に間隙を形成し、
前記間隙を介して対向する面に絶縁材料層を形成し、
前記対向する面の間に所定の電位差を印加しつつ前記間隙の一つの開口から軟X線を照射し、前記絶縁材料層の表面付近に電荷を注入する、工程を有し、
前記間隙部の深さをh、前記間隙部の間隔をg、前記軟X線の照射方向とは異なる方向における前記基材の幅をWとすると、g≦200μm、h>2g、W≧h、であることを特徴とするエレクトレットの製造方法。 - 請求項1または請求項2に記載のエレクトレットを備えることを特徴とする静電誘導型変換素子。
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015019919A1 (ja) * | 2013-08-08 | 2015-02-12 | アオイ電子株式会社 | アクチュエータ、シャッタ装置、流体制御装置、スイッチおよび2次元走査型センサ装置 |
JP2018088780A (ja) * | 2016-11-29 | 2018-06-07 | 国立大学法人 東京大学 | 振動発電素子 |
EP3358739A4 (en) * | 2015-10-02 | 2019-05-29 | The University Of Tokyo | VIBRATION POWER GENERATION ELEMENT |
WO2020101014A1 (ja) * | 2018-11-16 | 2020-05-22 | 国立大学法人 東京大学 | 振動発電素子 |
JP2021069280A (ja) * | 2021-02-04 | 2021-04-30 | 国立大学法人 東京大学 | 振動発電素子 |
EP3863033A1 (en) * | 2020-02-10 | 2021-08-11 | Saginomiya Seisakusho, Inc. | Vibration-driven energy harvester |
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Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11117172A (ja) * | 1997-10-09 | 1999-04-27 | Japan Vilene Co Ltd | エレクトレット体の製造方法及びその製造装置 |
JP2008106830A (ja) * | 2006-10-25 | 2008-05-08 | Sanyo Electric Co Ltd | 制振装置 |
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11117172A (ja) * | 1997-10-09 | 1999-04-27 | Japan Vilene Co Ltd | エレクトレット体の製造方法及びその製造装置 |
JP2008106830A (ja) * | 2006-10-25 | 2008-05-08 | Sanyo Electric Co Ltd | 制振装置 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
JPN6013048261; 本泉真人、萩原啓、田島利文、鈴木雄二: '振動発電器のための垂直エレクトレット膜への軟X線荷電に関する研究' 動力・エネルギー技術の最前線講演論文集 : シンポジウム 2010(15), 20100620, p217-218, 一般社団法人日本機械学会 * |
JPN6013048263; Edamoto, M ; Suzuki, Y. ; Kasagi, N. ; Kashiwagi, K. ; Morizawa, Y. ; Yokoyama, T. ; Seki, T. ; Oba,: 'Low-Resonant-Frequency Micro Electret Generator for Energy Harvesting Application' Proc. IEEE 22nd International Conference MEMS 2009 , 20090129, p1059 - 1062, IEEE * |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10340818B2 (en) | 2013-08-08 | 2019-07-02 | National University Corporation Shizuoka University | Actuator, shutter device, fluid control device, switch, and two-dimensional scanning sensor device |
JPWO2015019919A1 (ja) * | 2013-08-08 | 2017-03-02 | アオイ電子株式会社 | アクチュエータ、シャッタ装置、流体制御装置、スイッチおよび2次元走査型センサ装置 |
WO2015019919A1 (ja) * | 2013-08-08 | 2015-02-12 | アオイ電子株式会社 | アクチュエータ、シャッタ装置、流体制御装置、スイッチおよび2次元走査型センサ装置 |
US10840827B2 (en) | 2015-10-02 | 2020-11-17 | The University Of Tokyo | Vibration energy harvester |
EP3358739A4 (en) * | 2015-10-02 | 2019-05-29 | The University Of Tokyo | VIBRATION POWER GENERATION ELEMENT |
JP2018088780A (ja) * | 2016-11-29 | 2018-06-07 | 国立大学法人 東京大学 | 振動発電素子 |
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US11722074B2 (en) | 2018-11-16 | 2023-08-08 | The University Of Tokyo | Vibration-driven energy harvesting element |
EP3863033A1 (en) * | 2020-02-10 | 2021-08-11 | Saginomiya Seisakusho, Inc. | Vibration-driven energy harvester |
JP2021069280A (ja) * | 2021-02-04 | 2021-04-30 | 国立大学法人 東京大学 | 振動発電素子 |
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