JP2011073956A - ガラス層定着方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】ガラス部材の破損を防止して、効率良くガラス部材同士を溶着することを可能にするガラス層定着方法を提供する。
【解決手段】溶着予定領域Rに沿ってレーザ光L1を照射してガラス層3を溶融させる際、第1の入熱量を有するレーザ光L1を溶着予定領域Rに沿って照射することでガラス層3を溶融させ、レーザ光L1の進行方向と略直交する方向におけるガラス層3の溶融率が所定値を越えたときに入熱量を切り替えて、第1の入熱量よりも少ない第2の入熱量を有するレーザ光L1を溶着予定領域Rに沿って照射して、ガラス部材4にガラス層3を定着させる。これにより、ガラス層3が入熱過多の状態となることが抑止され、焼付け時におけるガラス層3の結晶化が抑止される。
【選択図】図3

Description

本発明は、ガラス部材同士を溶着してガラス溶着体を製造するためにガラス部材にガラス層を定着させるガラス層定着方法に関する。
従来のガラス溶着方法として、レーザ光吸収性顔料を含むガラス層を、溶着予定領域に沿うように一方のガラス部材に焼き付けた後、そのガラス部材にガラス層を介して他方のガラス部材を重ね合わせ、溶着予定領域に沿ってレーザ光を照射することにより、一方のガラス部材と他方のガラス部材とを溶着する方法が知られている。
ところで、ガラス部材にガラス層を焼き付ける技術としては、ガラスフリット、レーザ光吸収性顔料、有機溶剤及びバインダを含むペースト層から有機溶剤及びバインダを除去することにより、ガラス部材にガラス層を固着させた後、ガラス層が固着したガラス部材を焼成炉内で加熱することにより、ガラス層を溶融させて、ガラス部材にガラス層を焼き付ける技術が一般的である(例えば、特許文献1参照)。
これに対し、焼成炉の使用による消費エネルギの増大及び焼付け時間の長時間化を抑制するという観点(すなわち、高効率化という観点)から、ガラス部材に固着したガラス層にレーザ光を照射することにより、ガラス層を溶融させて、ガラス部材にガラス層を焼き付ける技術が提案されている(例えば、特許文献2参照)。
特表2006−524419号公報 特開2002−366050号公報
しかしながら、ガラス部材に対するガラス層の焼付けをレーザ光の照射によって行うと、焼付け時や、その後のガラス部材同士の溶着時に、ガラス部材にクラックが生じるなど、ガラス部材が破損することがあった。
そこで、本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、ガラス部材の破損を防止して、効率良くガラス部材同士を溶着することを可能にするガラス層定着方法を提供することを目的とする。
本発明者は、上記目的を達成するために鋭意検討を重ねた結果、レーザ光の照射によるガラス層の焼付けがガラス部材の破損に繋がるのは、図12に示されるように、焼付け時にガラス層の温度が融点Tmを超えるとガラス層のレーザ光吸収率が急激に高くなることに起因していることを突き止めた。つまり、ガラス部材に固着したガラス層においては、バインダの除去による空隙やガラスフリットの粒子性によって、レーザ光吸収性顔料の吸収特性を上回る光散乱が起こり、レーザ光吸収率が低い状態となっている(例えば、可視光において白っぽく見える)。そこで、図13に示されるように、ガラス層の温度が融点Tmよりも高く且つ結晶化温度Tcよりも低い温度TpとなるようにレーザパワーPでレーザ光を照射すると、ガラスフリットの溶融によって空隙が埋まると共に粒子性が崩れるため、レーザ光吸収性顔料の吸収特性が顕著に現れ、ガラス層のレーザ光吸収率が急激に高くなる(例えば、可視光において黒っぽく見える)。これにより、ガラス層において想定以上のレーザ光の吸収が起こり、入熱過多によるヒートショックでガラス部材にクラックが生じるのである。また、レーザパワーPでのレーザ光の照射によって、実際には、図13に示されるように、ガラス層の温度が結晶化温度Tcよりも高い温度Taに達する。ガラス層において焼付け対象のガラス部材と反対側に位置する部分(すなわち、ガラス層において溶着対象のガラス部材側に位置する部分)が入熱過多によって結晶化すると、その部分の融点が高くなる。そのため、その後のガラス部材同士の溶着時に、ガラス層において溶着対象のガラス部材側に位置する部分を溶融させるべく、レーザパワーを高くしてレーザ光を照射することが必要となり、焼付け時と同様に入熱過多によるヒートショックでガラス部材にクラックが生じるのである。本発明者は、この知見に基づいて更に検討を重ね、本発明を完成させるに至った。なお、ガラス層の溶融によってガラス層のレーザ光吸収率が高まる場合における可視光下でのガラス層の色変化は、白っぽい状態から黒っぽい状態に変化するものに限定されず、例えば、近赤外レーザ光用のレーザ光吸収性顔料の中には、ガラス層が溶融すると緑色を呈するものも存在する。
すなわち、本発明に係るガラス層定着方法は、第1のガラス部材にガラス層を定着させるガラス層定着方法であって、ガラス粉、レーザ光吸収材、有機溶剤及びバインダを含むペースト層から有機溶剤及びバインダが除去されることにより形成されたガラス層を、溶着予定領域に沿うように第1のガラス部材に配置する工程と、第1の入熱量を有する第1のレーザ光を溶着予定領域に沿って照射することによりガラス層を溶融させ、第1のレーザ光の進行方向と交差する方向におけるガラス層の溶融率が所定値を越えたときに、第1の入熱量から第1の入熱量よりも少ない第2の入熱量に切り替えて、第2の入熱量を有する第1のレーザ光を溶着予定領域に沿って照射することによりガラス層を溶融させ、第1のガラス部材にガラス層を定着させる工程と、を含むことを特徴とする。
このガラス層定着方法では、溶着予定領域に沿って第1のレーザ光を照射してガラス層を溶融させる際、第1の入熱量を有する第1のレーザ光を溶着予定領域に沿って照射することによりガラス層を溶融させ、第1のレーザ光の進行方向と交差する方向におけるガラス層の溶融率が所定値を越えたときに入熱量を切り替えて、第1の入熱量よりも少ない第2の入熱量を有する第1のレーザ光を溶着予定領域に沿って照射することにより、ガラス層を溶融させ、第1のガラス部材にガラス層を定着させる。このガラス層の定着時には、ガラス層の溶融率が所定値を越えるとガラス層のレーザ光吸収率が急激に高くなるが、それ以降、第1の入熱量よりも少ない第2の入熱量を有する第1のレーザ光を照射するようにしているため、ガラス層が入熱過多の状態となることが抑止される。このような入熱量の切替えにより、第1のレーザ光の照射によって第1のガラス部材にガラス層を定着させても、ガラス層の定着時や、その後のガラス部材同士の溶着時に、ガラス部材にクラックが生じるなど、ガラス部材が破損するのを防止することが可能となる。従って、このガラス層定着方法によれば、ガラス部材の破損を防止して、効率良くガラス部材同士を溶着することが可能となる。なお、「入熱量」とは、第1のレーザ光がその照射領域で有するエネルギ密度である。また、「ガラス層の溶融率」とは、第1のレーザ光の進行方向と交差する方向において、「ガラス層の溶融部分の幅」が「ガラス層の全幅」に占める割合である。
本発明に係るガラス層定着方法においては、第1のレーザ光の照射パワーを低下させることにより、第1の入熱量から第2の入熱量に切り替えることが好ましい。この場合、照射パワーの低下により入熱量の切替えを行っているため、第1の入熱量から第2の入熱量へ確実に切り替えることが可能となる。
本発明に係るガラス層定着方法においては、ガラス層に対する第1のレーザ光の進行速度を上昇させることにより、第1の入熱量から第2の入熱量に切り替えることが好ましい。この場合、第1のレーザ光の進行速度の上昇により入熱量の切替えを行っているため、第1の入熱量から第2の入熱量へ確実に切り替えることが可能となる。しかも、進行速度を上昇させて切替えを行うことから、ガラス層の定着に要する時間を短縮化させることが可能となる。なお、「ガラス層に対する第1のレーザ光の進行速度」とは、第1のレーザ光の相対的な進行速度を意味し、第1のレーザ光が固定されてガラス層が移動する場合、ガラス層が固定されて第1のレーザ光が移動する場合、第1のレーザ光及びガラス層のそれぞれが移動する場合を含む。
本発明に係るガラス層定着方法においては、第1のレーザ光の照射開始から所定時間経過したときに、第1の入熱量から第2の入熱量に切り替えることが好ましい。この場合、予め求められた所定時間を制御するといった簡易な方法で第1の入熱量から第2の入熱量に容易に切り替えることが可能となる。しかも、同じ構成のガラス層の場合、第1のレーザ光の照射条件が同一であれば、所定時間を略同一とすることができるため、同じ構成のガラス層を連続して又は同時に複数溶融させることが容易に行え、製造効率を向上させることが可能となる。
本発明に係るガラス層定着方法においては、ガラス層から放射される熱輻射光の強度が所定値まで上昇したときに、第1の入熱量から第2の入熱量に切り替えることが好ましい。この場合、ガラス層の溶融率が上昇するにつれて漸増するといった関連性を有する熱輻射光の強度を検出することで、入熱量の切替えを正確に行うことが可能となる。
本発明に係るガラス層定着方法においては、ガラス層で反射された第1のレーザ光の反射光の強度が所定値まで低下したときに、第1の入熱量から第2の入熱量に切り替えることが好ましい。この場合、ガラス層の溶融率が上昇するにつれて漸減するといった関連性を有する反射光の強度を検出することで、入熱量の切替えを正確に行うことが可能となる。
本発明によれば、ガラス部材の破損を防止して、効率良くガラス部材同士を溶着することが可能となる。
本実施形態に係るガラス溶着方法によって製造されたガラス溶着体の斜視図である。 図1のガラス溶着体を製造するためのガラス溶着方法を説明するための斜視図である。 図1のガラス溶着体を製造するためのガラス溶着方法を説明するための断面図である。 図1のガラス溶着体を製造するためのガラス溶着方法を説明するための断面図である。 図1のガラス溶着体を製造するためのガラス溶着方法を説明するための平面図である。 レーザ照射における温度分布を示す図である。 レーザ光の照射条件の切替えタイミングを示す図である。 図1のガラス溶着体を製造するためのガラス溶着方法を説明するための斜視図である。 図1のガラス溶着体を製造するためのガラス溶着方法を説明するための斜視図である。 レーザ光の照射条件の別の切替えタイミングを示す図である。 レーザ光の照射条件の別の切替えタイミングを示す図である。 ガラス層の温度とレーザ光吸収率との関係を示すグラフである。 レーザパワーとガラス層の温度との関係を示すグラフである。
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
図1は、本実施形態に係るガラス溶着方法によって製造されたガラス溶着体の斜視図である。図1に示されるように、ガラス溶着体1は、溶着予定領域Rに沿って形成されたガラス層3を介して、ガラス部材(第1のガラス部材)4とガラス部材(第2のガラス部材)5とが溶着されたものである。ガラス部材4,5は、例えば、無アルカリガラスからなる厚さ0.7mmの矩形板状の部材であり、溶着予定領域Rは、ガラス部材4,5の外縁に沿って矩形環状に設定されている。ガラス層3は、例えば、低融点ガラス(バナジウムリン酸系ガラス、鉛ホウ酸ガラス等)からなり、溶着予定領域Rに沿って矩形環状に形成されている。
次に、上述したガラス溶着体1を製造するためのガラス溶着方法について説明する。
まず、図2に示されるように、ディスペンサやスクリーン印刷等によってフリットペーストを塗布することにより、溶着予定領域Rに沿ってガラス部材4の表面4aにペースト層6を形成する。フリットペーストは、例えば、非晶質の低融点ガラス(バナジウムリン酸系ガラス、鉛ホウ酸ガラス等)からなる粉末状のガラスフリット(ガラス粉)2、酸化鉄等の無機顔料であるレーザ光吸収性顔料(レーザ光吸収材)、酢酸アミル等である有機溶剤、及びガラスの軟化点温度以下で熱分解する樹脂成分(アクリル等)であるバインダを混練したものである。フリットペーストは、レーザ光吸収性顔料(レーザ光吸収材)が予め添加された低融点ガラスを粉末状にしたガラスフリット(ガラス粉)、有機溶剤、及びバインダを混練したものであってもよい。つまり、ペースト層6は、ガラスフリット2、レーザ光吸収性顔料、有機溶剤及びバインダを含んでいる。
続いて、ペースト層6を乾燥させて有機溶剤を除去し、更に、ペースト層6を加熱してバインダを除去することにより、溶着予定領域Rに沿ってガラス部材4の表面4aにガラス層3を固着させる。なお、ガラス部材4の表面4aに固着したガラス層3は、バインダの除去による空隙やガラスフリット2の粒子性によって、レーザ光吸収性顔料の吸収特性を上回る光散乱が起こり、レーザ光吸収率が低い状態となっている(例えば、可視光において白っぽく見える)。
続いて、図3に示されるように、アルミニウムからなる板状の載置台7の表面7a(ここでは、研磨面)に、ガラス層3を介してガラス部材4を載置する。これにより、ペースト層6から有機溶剤及びバインダが除去されることにより形成されたガラス層3が、溶着予定領域Rに沿うようにガラス部材4と載置台7との間に配置される。
続いて、図3〜図5に示されるように、ガラス層3の溶着予定領域Rにおける照射開始位置Aに集光スポットを合わせて、レーザ光(第1のレーザ光)L1の照射を開始し、溶着予定領域Rに沿って図示矢印の進行方向に向かって照射を進める。ところで、レーザ光L1は、図6に示されるように、幅方向(レーザ光L1の進行方向と略直交する方向)の中央部の温度が高く両端部に向かって温度が低くなる温度分布を有している。このため、図5に示されるように、ガラス層3の溶融率(レーザ光L1の進行方向と略直交する方向において、ガラス層3の溶融部分の幅がガラス層3の全幅に占める割合)が略ゼロである照射開始位置Aから溶融率が徐々に上昇して、溶融率が100%近い安定領域となる安定領域開始位置Bまでは所定の距離があり、照射開始位置Aから安定領域開始位置Bまでは、ガラス層3の溶融が幅方向の一部で行われる不安定領域となっている。
この不安定領域では、ガラス層3の溶融が幅方向全体にわたって為されていないため、レーザ光吸収率が完全には高くなっていない。そこで、図7に示されるように、レーザ光L1は、安定領域のガラス層3に照射した場合に結晶化してしまうような強い照射条件、例えば、レーザ光L1の照射パワーが10Wといった第1の入熱量で照射を開始する。なお、入熱量とは、次の数式(1)で表わすことができ、本実施形態においては、進行速度やスポット径は一定となっているため、照射パワーによって入熱量が変化するようになっている。
入熱量(J/mm)=パワー密度(J・S/mm)÷進行速度(S)・・・(1)
その後、安定領域開始位置Bへ至ってガラス層3が幅方向全体にわたって溶融する安定領域となると、ガラス層3の温度が幅方向にわたって融点Tm以上となり、ガラスフリットの溶融によって空隙が埋まると共に粒子性が崩れるため、レーザ光吸収性顔料の吸収特性が顕著に現れ、ガラス層3のレーザ光吸収率が幅方向全体にわたって急激に高くなり、溶融率が100%近くなる(例えば、可視光において黒っぽく見える)。これにより、ガラス層3において想定以上のレーザ光L1の吸収が起こり、ガラス層3への入熱が過多となる。
そこで、図7に示されるように、ガラス層3の溶融率が100%近くなる所定時間Xを経過した後(若しくはその直前)、すなわちガラス層3が幅方向全体において融点Tmを超えてレーザ光吸収率が急激に高くなった直後、レーザ光L1の照射パワーを照射パワー10Wから照射パワー8Wに低下させる切替えを行い、照射パワー10Wの第1の入熱量から照射パワー8Wの第2の入熱量へと入熱量の切替えを行う。本実施形態では、所定時間Xをガラス層3の構成毎に事前に求めており、予め求められた所定時間Xを制御するといった簡易な方法で第1の入熱量から第2の入熱量へと切り替えている。また、同じ構成のガラス層の場合、同じ入熱量に対しては略同一の溶融度合となるため、レーザ光L1の照射条件が同一であれば、所定時間Xを略同一とすることができる。
その後、第2の入熱量である照射パワー8Wでレーザ照射を行い、溶着予定領域Rに沿って照射開始位置Aに戻るまで、レーザ光L1によるガラス層3への照射を続け、焼付けを終了させる。なお、必要に応じて、不安定領域にレーザ光L1を再照射して安定領域とするように、レーザ照射をオーバラップさせてもよい。
このような入熱量を切り替える制御を行ってガラス層3の焼付けを行うことにより、ガラス部材4と載置台7との間に配置されたガラス層3は、結晶化が抑止された状態で溶融・再固化し、ガラス部材4の表面4aにガラス層3が焼き付けられる。しかも、本実施形態では、ガラス部材4側からレーザ光L1を照射する焼付けが行われていることから、ガラス層3のガラス部材4への定着が確実に行われることに加え、ガラス部材4,5同士を溶着する際の溶着面となるガラス層3の表面3aの結晶化が更に抑止されるようになっている。なお、ガラス部材4の表面4aに焼き付けられたガラス層3は、ガラスフリット2の溶融によって空隙が埋まると共に粒子性が崩れるため、レーザ光吸収性顔料の吸収特性が顕著に現れ、レーザ光吸収率が高い状態となる(例えば、可視光において黒っぽく見える)。
そして、溶着予定領域R全周にわたって結晶化を抑止されたガラス層3の焼付けが終了すると、ガラス層3が焼き付けられたガラス部材4を載置台7より取り外す。この際、ガラスフリット2と載置台7との線膨張係数の差がガラスフリット2とガラス部材4との線膨張係数の差よりも大きくなっていることから、ガラス層3は載置台7に固着しないようになっている。また、ガラス部材4の表面4aに焼き付けられたガラス層3は、載置台7の表面7aが研磨されていることから、ガラス部材4と反対側の表面3aの凹凸が平坦化された状態となっている。
ガラス層3の焼付けに続いて、図8に示されるように、ガラス層3が焼き付けられたガラス部材4に対し、ガラス層3を介してガラス部材5を重ね合わせる。このとき、ガラス層3の表面3aが平坦化されているため、ガラス部材5の表面5aがガラス層3の表面3aに隙間なく接触する。
続いて、図9に示されるように、ガラス層3に集光スポットを合わせて、レーザ光(第2のレーザ光)L2を溶着予定領域Rに沿って照射する。これにより、溶着予定領域R全周にわたってレーザ光吸収率が高く且つ結晶化が抑止された状態となっているガラス層3にレーザ光L2が吸収されて、ガラス層3及びその周辺部分(ガラス部材4,5の表面4a,5a部分)が溶融・再固化し、ガラス部材4とガラス部材5とが溶着される。このとき、ガラス部材5の表面5aがガラス層3の表面3aに隙間なく接触すると共にガラス部材4に焼き付けられたガラス層3の溶融が溶着予定領域R全周にわたって結晶化が抑止された安定領域として形成されているため、ガラス層3の融点が高くなることなく、ガラス部材4とガラス部材5とが溶着予定領域Rに沿って均一に溶着され、破損が防止される。
以上説明したように、ガラス溶着体1を製造するためのガラス溶着方法においては、溶着予定領域Rに沿ってレーザ光L1を照射してガラス層3を溶融させる際、第1の入熱量を有するレーザ光L1を溶着予定領域Rに沿って照射することによりガラス層3を溶融させ、レーザ光L1の進行方向と略直交する方向におけるガラス層3の溶融率が100%近くなった際に入熱量を切り替えて、第1の入熱量よりも少ない第2の入熱量を有するレーザ光L1を溶着予定領域Rに沿って照射することにより、ガラス層3を溶融させ、ガラス部材4にガラス層3を定着させる。このガラス層3の定着時には、ガラス層3の溶融率が100%近くになるとガラス層3のレーザ光吸収率が急激に高くなるが、それ以降、第1の入熱量よりも少ない第2の入熱量を有するレーザ光L1を照射するようにしているため、ガラス層3が入熱過多の状態となることが抑止される。このような入熱量の切替えにより、レーザ光L1の照射によってガラス部材4にガラス層3を定着させても、ガラス層3の定着時や、その後のガラス部材4,5同士の溶着時に、ガラス部材4,5にクラックが生じるなど、ガラス部材4,5が破損するのを防止することができる。従って、このガラス溶着方法によれば、ガラス部材4,5の破損を防止して、効率良くガラス部材4,5同士を溶着することが可能となる。
また、上述したガラス溶着方法においては、レーザ光L1の照射パワーを低下させることにより、第1の入熱量から第2の入熱量に切り替えている。このような照射パワーの低下により入熱量の切替えを行っているため、第1の入熱量から第2の入熱量へ確実に切り替えることが可能となる。
また、上述したガラス溶着方法においては、レーザ光L1の照射開始から所定時間Xを経過したときに溶融率が100%近くなり、第1の入熱量から第2の入熱量に切り替えている。このため、予め求められた、溶融率が100%近くなる所定時間Xを制御するといった簡易な方法で第1の入熱量から第2の入熱量に容易に切り替えることが可能となる。しかも、同じ構成のガラス層の場合、レーザ光L1の照射条件が同一であれば、所定時間Xを略同一とすることができるため、同じ構成のガラス層3を連続して又は同時に複数溶融させることが容易に行え、複数のガラス溶着体1を製造する際の製造効率を大幅に向上させることが可能となる。
ところで、有機ELパッケージ等においては、容器自体が小型であるため、より薄型化されたガラス部材4,5が使用されることから、ガラス部材4,5の材料としては、割れを生じ難くすべく低膨張ガラスが選択されることが多い。このとき、ガラス層3の線膨張係数をガラス部材4,5の線膨張係数と合わせるために(すなわち、ガラス層3の線膨張係数を低くするために)、セラミックス等からなるフィラーをガラス層3に多量に含有させる。ガラス層3にフィラーを多量に含有させると、レーザ光L1の照射の前後でガラス層3のレーザ光吸収率がより一層大きく変化することになる。従って、上述したガラス溶着方法は、ガラス部材4,5の材料として低膨張ガラスを選択する場合に、特に有効である。
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。
例えば、上記実施形態では、レーザ光L1の照射開始位置Aから所定時間Xを経過したときに溶融率が100%近くなり、第1の入熱量から第2の入熱量に切り替えるようにしているが、図10に示されるように、ガラス層3から放射される熱輻射光の強度が所定値Qまで上昇したときに、第1の入熱量から第2の入熱量へ切り替えるようにしてもよい。この場合、ガラス層3の溶融率が上昇するにつれて漸増するといった関連性を有する熱輻射光の強度を検出することで、入熱量の切替えを正確に行うことが可能となる。また、図11に示されるように、ガラス層3で反射されたレーザ光L1の反射光の強度が所定値Pまで低下したときに、第1の入熱量から第2の入熱量に切り替えるようにしてもよい。この場合、ガラス層3の溶融率が上昇するにつれて漸減するといった関連性を有する反射光の強度を検出することで、入熱量の切替えを正確に行うことが可能となる。
また、上記実施形態では、レーザ光L1の照射パワーを変更することによりガラス層3への入熱量を制御するようにしていたが、上述した数式(1)で示されるように、レーザ光L1の照射パワーを一定として、レーザ光L1の相対的な照射速度(つまり、レーザ光L1のガラス層3に対する進行速度)を上昇させることによりガラス層3への入熱量の切替えを行うようにしてもよい。この場合、レーザ光L1の進行速度の上昇により入熱量の切替えを行っているため、第1の入熱量から第2の入熱量へ確実に切り替えることが可能となる。しかも、進行速度を上昇させて切替えを行うことから、ガラス層3の定着に要する時間を短縮化させることが可能となる。なお、進行速度を上昇させることで入熱量の切替えを行う場合、速度の加速過程が含まれる場合が多いため、切替えを行うべきタイミング(所定時間Xの経過時、又は熱輻射光若しくは反射光の強度が所定値)になる前に進行速度の切替え制御を開始して、実際に切替えを行うべきタイミングには切替えが完了していることが、ガラス層3の結晶化抑止の観点からは好ましい。
また、上記実施形態では、固定されたガラス部材4,5に対してレーザ光L1,L2を進行させるようにしているが、レーザ光L1,L2が各ガラス部材4,5に対して相対的に進行すればよく、レーザ光L1,L2を固定してガラス部材4,5を移動させるようにしてもよいし、ガラス部材4,5とレーザ光L1,L2とをそれぞれ移動させるようにしてもよい。
また、上記実施形態では、溶融率が100%といった所定値の際に入熱量の切替えを行っているが、ガラス層3が適切に溶融していれば、例えば溶融率が90%といった所定値の際に入熱量の切替えを行って、ガラス層3の結晶化を確実に抑止させるようにしてもよい。
また、上記実施形態では、ガラス部材4を介してガラス層3にレーザ光L1を照射させていたが、ガラス層3に直接レーザ光L1を照射させるようにしてもよい。
1…ガラス溶着体、2…ガラスフリット(ガラス粉)、3…ガラス層、4…ガラス部材(第1のガラス部材)、5…ガラス部材(第2のガラス部材)、6…ペースト層、7…載置台、A…照射開始位置、B…安定領域開始位置、R…溶着予定領域、L1…レーザ光(第1のレーザ光)、L2…レーザ光(第2のレーザ光)。


Claims (6)

  1. 第1のガラス部材にガラス層を定着させるガラス層定着方法であって、
    ガラス粉、レーザ光吸収材、有機溶剤及びバインダを含むペースト層から前記有機溶剤及び前記バインダが除去されることにより形成された前記ガラス層を、溶着予定領域に沿うように前記第1のガラス部材に配置する工程と、
    第1の入熱量を有する第1のレーザ光を前記溶着予定領域に沿って照射することにより前記ガラス層を溶融させ、前記第1のレーザ光の進行方向と交差する方向における前記ガラス層の溶融率が所定値を越えたときに、前記第1の入熱量から前記第1の入熱量よりも少ない第2の入熱量に切り替えて、前記第2の入熱量を有する前記第1のレーザ光を前記溶着予定領域に沿って照射することにより前記ガラス層を溶融させ、前記第1のガラス部材に前記ガラス層を定着させる工程と、を含むことを特徴とするガラス層定着方法。
  2. 前記第1のレーザ光の照射パワーを低下させることにより、前記第1の入熱量から前記第2の入熱量に切り替えることを特徴とする請求項1記載のガラス層定着方法。
  3. 前記ガラス層に対する前記第1のレーザ光の進行速度を上昇させることにより、前記第1の入熱量から前記第2の入熱量に切り替えることを特徴とする請求項1記載のガラス層定着方法。
  4. 前記第1のレーザ光の照射開始から所定時間経過したときに、前記第1の入熱量から前記第2の入熱量に切り替えることを特徴とする請求項1記載のガラス層定着方法。
  5. 前記ガラス層から放射される熱輻射光の強度が所定値まで上昇したときに、前記第1の入熱量から前記第2の入熱量に切り替えることを特徴とする請求項1記載のガラス層定着方法。
  6. 前記ガラス層で反射された前記第1のレーザ光の反射光の強度が所定値まで低下したときに、前記第1の入熱量から前記第2の入熱量に切り替えることを特徴とする請求項1記載のガラス層定着方法。

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