JP2011070102A - カラーフィルタ製造方法及びカラーフィルタ製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板上に形成された遮光性を有する隔壁で囲まれた開口部の内側に光硬化性モノマーと溶媒を含むインクをインクジェット法で打滴する工程と、前記開口部の内側に打滴された前記インクの溶媒を乾燥させる工程と、レーザまたはLED光源を含む照射系により、前記開口部の内側の前記乾燥したインクに対して斜め方向から光を照射して前記乾燥したインクを光硬化する工程と、前記開口部の内側に打滴された前記インクを熱硬化する工程と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタ製造方法を提供する。
【選択図】図8
Description
また、同様に前記目的を達成するために、請求項7に記載の発明は、基板上に形成された遮光性を有する隔壁で囲まれた開口部の内側に光硬化性モノマーと溶媒を含むインクをインクジェット法で打滴する手段と、前記開口部の内側に打滴された前記インクの溶媒を乾燥させる手段と、レーザまたはLED光源を含む照射系により、前記開口部の内側の前記乾燥したインクに対して斜め方向から光を照射して前記乾燥したインクを光硬化する手段と、前記開口部の内側に打滴された前記インクを熱硬化する手段と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタ製造装置を提供する。
Claims (12)
- 基板上に形成された遮光性を有する隔壁で囲まれた開口部の内側に光硬化性モノマーと溶媒を含むインクをインクジェット法で打滴する工程と、
前記開口部の内側に打滴された前記インクの溶媒を乾燥させる工程と、
レーザまたはLED光源を含む照射系により、前記開口部の内側の前記乾燥したインクに対して斜め方向から光を照射して前記乾燥したインクを光硬化する工程と、
前記開口部の内側に打滴された前記インクを熱硬化する工程と、
を備えたことを特徴とするカラーフィルタ製造方法。 - 前記照射系は、レーザ光を線状または矩形状の一定の面積を有する形状として照射することを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルタ製造方法。
- 前記照射系は、平行な斜め光を前記隔壁内のインクに対して入射することを特徴とする請求項1または2に記載のカラーフィルタ製造方法。
- 前記照射系は、焦点を設けた斜め光を前記隔壁内のインクに対して入射することを特徴とする請求項1または2に記載のカラーフィルタ製造方法。
- 前記照射系を1基もしくはそれ以上用意し、線状のレーザ光を2つ以上の方向から走査することを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルタ製造方法。
- 前記照射系により前記基板を、間欠的に照射し、または連続的に照射することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のカラーフィルタ製造方法。
- 基板上に形成された遮光性を有する隔壁で囲まれた開口部の内側に光硬化性モノマーと溶媒を含むインクをインクジェット法で打滴する手段と、
前記開口部の内側に打滴された前記インクの溶媒を乾燥させる手段と、
レーザまたはLED光源を含む照射系により、前記開口部の内側の前記乾燥したインクに対して斜め方向から光を照射して前記乾燥したインクを光硬化する手段と、
前記開口部の内側に打滴された前記インクを熱硬化する手段と、
を備えたことを特徴とするカラーフィルタ製造装置。 - 前記照射系は、レーザ光を線状または矩形状の一定の面積を有する形状として照射することを特徴とする請求項7に記載のカラーフィルタ製造装置。
- 前記照射系は、平行な斜め光を前記隔壁内のインクに対して入射することを特徴とする請求項7または8に記載のカラーフィルタ製造装置。
- 前記照射系は、焦点を設けた斜め光を前記隔壁内のインクに対して入射することを特徴とする請求項7または8に記載のカラーフィルタ製造装置。
- 前記照射系を1基もしくはそれ以上用意し、線状のレーザ光を2つ以上の方向から走査することを特徴とする請求項7に記載のカラーフィルタ製造装置。
- 前記照射系は、前記基板を、間欠的に照射し、または連続的に照射することを特徴とする請求項7〜11のいずれかに記載のカラーフィルタ製造装置。
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