JPWO2018180803A1 - 膜形成装置及び膜形成方法 - Google Patents
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Abstract
Description
基板を保持するテーブルと、
前記テーブルに保持された前記基板に向けて熱硬化性インクを吐出するインクジェットヘッドと
前記テーブルに保持された前記基板を非接触で加熱する非接触加熱手段と
を有する膜形成装置が提供される。
基板の一部の領域を非接触で加熱する工程と、
前記基板の加熱された領域に、熱硬化性インクを付着させて硬化させることにより膜を形成する工程と
を有する膜形成方法が提供される。
図1Aは、本実施例による膜形成装置の概略側面図である。テーブル10が、その上面に基板30を保持する。テーブル10は、例えば真空チャック機構を有しており、基板30を吸着して固定する。インクジェットヘッド15が、テーブル10に保持された基板30に向けて熱硬化性のインクを吐出する。非接触加熱手段としてのレーザ光源16が、テーブル10に保持された基板30にレーザビームを照射することにより、基板30の一部の領域を非接触で加熱する。
制御装置20は、基板30の一部の領域がレーザ光源16で加熱された後、インクジェットヘッド15の下を通過するように移動機構13を動作させる。これにより、基板30の一部の領域がレーザ光源16によって非接触で加熱され、その後、加熱された領域にインクジェットヘッド15から吐出されたインクが付着する。インクが基板30に付着するときの基板30の表面温度がインクの硬化温度以上に維持されるように、レーザビームのパワー密度、ビーム断面の寸法、基板30の移動速度が設定されている。このため、インクジェットヘッド15から吐出されたインクは、基板30に付着した直後に硬化する。
上記実施例では、膜形成のために熱硬化性のインクが用いられる。一般的に、熱硬化性のインクは、紫外線硬化性のインクよりも各種素材に対する密着性や耐薬品性に優れており低粘度である。例えば、室温でインクジェットヘッド15から安定してインクを吐出させることが可能な程度の低粘度の熱硬化性のインクを入手することが可能である。このため、インクの粘度を低下させるためのインク加熱装置を準備する必要がない。
図3は、電解研磨した金、銀、銅の反射率の波長依存性を示すグラフである。横軸は波長を単位「nm」で表し、縦軸は反射率を表す。基板上の金属箔を効果的に加熱するためには、反射率の低い波長域のレーザビームを用いることが好ましい。図3から、例えば、基板表面に銅箔が設けられている場合には、570nm以下の波長域のレーザビームを用いることが好ましいことがわかる。基板表面に金箔が設けられている場合には、520nm以下の波長域のレーザビームを用いることが好ましいことがわかる。基板表面に銀箔が設けられている場合には、350nm以下の波長域のレーザビームを用いることが好ましいことがわかる。
11 ガイド
12 駆動部
13 移動機構
15 インクジェットヘッド
15A ノズル列
16、17 レーザ光源
18 レーザビーム
18A、19A ビーム断面
20 制御装置
30 基板
32 樹脂膜
50 シミュレーション対象の基板
51 エポキシ基板
52 銅箔
53 エポキシ層
55 基板上の特定の箇所
56 ビームスポット
58、58A、58B 基板が移動する方向
Claims (8)
- 基板を保持するテーブルと、
前記テーブルに保持された前記基板に向けて熱硬化性インクを吐出するインクジェットヘッドと
前記テーブルに保持された前記基板を非接触で加熱する非接触加熱手段と
を有する膜形成装置。 - さらに、
前記テーブルに保持された前記基板と、前記インクジェットヘッドとの一方を他方に対して移動させる移動機構と、
前記インクジェットヘッド及び前記移動機構を制御する制御装置と
を有し、
前記非接触加熱手段は、前記テーブルに保持された前記基板の一部の領域を加熱し、
前記制御装置は、前記非接触加熱手段で加熱された領域に、前記インクジェットヘッドから吐出された前記熱硬化性インクが付着するように前記移動機構及び前記インクジェットヘッドを制御する請求項1に記載の膜形成装置。 - 前記非接触加熱手段は、前記テーブルに保持された前記基板の一部の領域にレーザビームを入射させることにより、前記基板を加熱する請求項1に記載の膜形成装置。
- 前記インクジェットヘッドは、前記基板の移動方向に対して交差する方向に並んだ複数のノズルからなるノズル列を含み、
前記非接触加熱手段で加熱される領域は、前記ノズル列に平行で、前記ノズル列より長い長尺形状を有する請求項2または3に記載の膜形成装置。 - 前記インクジェットヘッドは、前記基板の移動方向に対して交差する方向に並んだ複数のノズルからなるノズル列を含み、
前記非接触加熱手段によってレーザビームが入射する領域は、前記ノズル列に平行な長尺形状を有し、長尺形状の両端における光強度が、他の領域における光る強度より高い光強度分布を持つ請求項3に記載の膜形成装置。 - 基板の一部の領域を非接触で加熱する工程と、
前記基板の加熱された領域に、熱硬化性インクを付着させて硬化させることにより膜を形成する工程と
を有する膜形成方法。 - 前記加熱する工程において、前記基板にレーザビームを入射させることにより前記基板の一部の領域を加熱する請求項6に記載の膜形成方法。
- 前記加熱する領域、及び前記熱硬化性インクを付着させる領域を、前記基板の表面内で移動させながら前記膜を形成する請求項6または7に記載の膜形成方法。
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