JP2011061881A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011061881A5 JP2011061881A5 JP2009205313A JP2009205313A JP2011061881A5 JP 2011061881 A5 JP2011061881 A5 JP 2011061881A5 JP 2009205313 A JP2009205313 A JP 2009205313A JP 2009205313 A JP2009205313 A JP 2009205313A JP 2011061881 A5 JP2011061881 A5 JP 2011061881A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- driving
- movable frame
- piezoelectric actuator
- axis
- piezoelectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 4
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009205313A JP5509742B2 (ja) | 2009-09-04 | 2009-09-04 | 圧電アクチュエータ及びこれを用いた光走査装置 |
| PCT/JP2010/064794 WO2011027742A1 (ja) | 2009-09-04 | 2010-08-31 | 圧電アクチュエータ及び圧電アクチュエータを備える光走査装置 |
| CN201080032814.3A CN102474204B (zh) | 2009-09-04 | 2010-08-31 | 压电致动器以及具有压电致动器的光扫描装置 |
| KR1020127001948A KR101478205B1 (ko) | 2009-09-04 | 2010-08-31 | 압전 액츄에이터 및 압전 액츄에이터를 구비한 광주사장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009205313A JP5509742B2 (ja) | 2009-09-04 | 2009-09-04 | 圧電アクチュエータ及びこれを用いた光走査装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2011061881A JP2011061881A (ja) | 2011-03-24 |
| JP2011061881A5 true JP2011061881A5 (enExample) | 2012-09-20 |
| JP5509742B2 JP5509742B2 (ja) | 2014-06-04 |
Family
ID=43649277
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2009205313A Active JP5509742B2 (ja) | 2009-09-04 | 2009-09-04 | 圧電アクチュエータ及びこれを用いた光走査装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5509742B2 (enExample) |
| KR (1) | KR101478205B1 (enExample) |
| CN (1) | CN102474204B (enExample) |
| WO (1) | WO2011027742A1 (enExample) |
Families Citing this family (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5293668B2 (ja) * | 2010-03-30 | 2013-09-18 | パナソニック株式会社 | 光学反射素子 |
| JP5323155B2 (ja) * | 2011-09-08 | 2013-10-23 | 富士フイルム株式会社 | ミラー駆動装置及びその駆動方法並びに製造方法 |
| JP5790384B2 (ja) | 2011-09-30 | 2015-10-07 | ミツミ電機株式会社 | アクチュエータ及び光走査装置 |
| WO2013185812A1 (en) * | 2012-06-13 | 2013-12-19 | Lemoptix Sa | A mems device |
| JP6052100B2 (ja) * | 2012-09-27 | 2016-12-27 | ミツミ電機株式会社 | 圧電アクチュエータ及び光走査装置 |
| JP2014126725A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-07-07 | Funai Electric Co Ltd | 走査ミラー装置 |
| KR101449952B1 (ko) * | 2013-10-18 | 2014-10-14 | 희성전자 주식회사 | 광 제공 모듈 및 이를 구비하는 디스플레이 장치 |
| JP6289957B2 (ja) * | 2014-03-25 | 2018-03-07 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器 |
| JP6287546B2 (ja) * | 2014-04-25 | 2018-03-07 | ミツミ電機株式会社 | アクチュエータ及びエアポンプ、理美容機器及びレーザー走査機器 |
| JP6310786B2 (ja) * | 2014-06-24 | 2018-04-11 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器 |
| JP6648443B2 (ja) * | 2014-10-15 | 2020-02-14 | 株式会社リコー | 光偏向器、2次元画像表示装置、光走査装置及び画像形成装置 |
| US9766450B2 (en) * | 2014-10-15 | 2017-09-19 | Ricoh Company, Ltd. | Light deflector, two-dimensional image display apparatus, optical scanner, and image forming apparatus |
| US10852529B2 (en) * | 2016-02-17 | 2020-12-01 | Mitsubishi Electric Corporation | Mirror driving apparatus and method for manufacturing thereof |
| US11150464B2 (en) * | 2017-06-13 | 2021-10-19 | Mitsubishi Electric Corporation | Optical scanning device and method of adjusting optical scanning device |
| EP3608728B1 (fr) * | 2018-08-08 | 2022-02-16 | Nivarox-FAR S.A. | Spiral thermocompensé coloré et son procédé de fabrication |
| WO2020032274A1 (ja) | 2018-08-10 | 2020-02-13 | 浜松ホトニクス株式会社 | アクチュエータ装置、及びアクチュエータ装置の製造方法 |
| JP7154309B2 (ja) | 2018-10-25 | 2022-10-17 | 富士フイルム株式会社 | マイクロミラーデバイスおよびマイクロミラーデバイスの駆動方法 |
| JP7247778B2 (ja) * | 2019-06-20 | 2023-03-29 | 株式会社リコー | 光偏向装置、レーザレーダ装置、及び画像形成装置 |
| EP3825748A1 (en) * | 2019-11-21 | 2021-05-26 | Ricoh Company, Ltd. | Light reflection device and mobile object |
| JP7600030B2 (ja) * | 2021-05-14 | 2024-12-16 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器 |
| JP7667043B2 (ja) | 2021-09-10 | 2025-04-22 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器 |
| US20230384581A1 (en) * | 2022-05-26 | 2023-11-30 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Piezoelectrically-actuated resonant scanning mirror |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09159938A (ja) * | 1995-12-11 | 1997-06-20 | Fuji Electric Co Ltd | マイクロミラー装置 |
| JP4092283B2 (ja) * | 2003-11-17 | 2008-05-28 | スタンレー電気株式会社 | 2次元光スキャナ及び光学装置 |
| JP2005266074A (ja) * | 2004-03-17 | 2005-09-29 | Anritsu Corp | 光スキャナ |
| JP2005268074A (ja) * | 2004-03-19 | 2005-09-29 | Takeuchi Kogyo Kk | フレキシブルフラットケーブル母材およびフレキシブルフラットケーブル |
| CN100381863C (zh) * | 2005-12-07 | 2008-04-16 | 云南省煤炭供销总公司 | 闪耀光栅数字微镜显示系统 |
| JP4984117B2 (ja) * | 2006-07-13 | 2012-07-25 | スタンレー電気株式会社 | 2次元光スキャナ、それを用いた光学装置および2次元光スキャナの製造方法 |
| JP5239382B2 (ja) * | 2008-02-19 | 2013-07-17 | パナソニック株式会社 | 光学反射素子 |
| CN101478269B (zh) * | 2009-02-12 | 2011-04-06 | 上海交通大学 | 带有延伸臂的u型柔性梁复合材料电热微驱动器 |
-
2009
- 2009-09-04 JP JP2009205313A patent/JP5509742B2/ja active Active
-
2010
- 2010-08-31 WO PCT/JP2010/064794 patent/WO2011027742A1/ja not_active Ceased
- 2010-08-31 KR KR1020127001948A patent/KR101478205B1/ko active Active
- 2010-08-31 CN CN201080032814.3A patent/CN102474204B/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2011061881A5 (enExample) | ||
| JP2010288435A5 (enExample) | ||
| JP5775340B2 (ja) | 光偏向器 | |
| JP2014126725A (ja) | 走査ミラー装置 | |
| JP2010288435A (ja) | アクチュエータ及びこれを用いた光走査装置 | |
| JP6015564B2 (ja) | 光走査装置 | |
| CN1701255A (zh) | 可变形反射镜及具有该可变形反射镜的控制装置 | |
| JP7263878B2 (ja) | 光スキャナー、三次元計測装置およびロボットシステム | |
| JP2012044832A5 (enExample) | ||
| JP2008224408A (ja) | ビーム照射装置 | |
| CN103823302A (zh) | 一维快速控制反射镜 | |
| JPWO2011152215A1 (ja) | 光走査素子およびそれを用いた画像表示装置 | |
| JP6310786B2 (ja) | 光偏向器 | |
| JP2012519078A5 (ja) | レーザ加工システム | |
| JP2015148654A (ja) | 光走査装置、画像表示装置及び移動体 | |
| JP2015152612A5 (enExample) | ||
| JP2008178173A5 (enExample) | ||
| JP5652154B2 (ja) | 光走査素子、および該光走査素子を備えた画像表示装置 | |
| JP5321216B2 (ja) | 走査光学系およびそれを備えたプロジェクタ | |
| WO2008078456A1 (ja) | 光走査用アクチュエータ | |
| JP2007121341A5 (enExample) | ||
| JP5092406B2 (ja) | アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置 | |
| JP5787084B2 (ja) | 光走査装置 | |
| JP2008051936A (ja) | 光モジュール装置 | |
| JP5238630B2 (ja) | チルトミラー |