JP2011052843A - 熱処理用冶具 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】構成元素としてBa、Alを含有し、BaをBaO換算で55〜75質量%、AlをAl2O3換算で20〜40質量%の範囲で含有する緻密質焼結体からなる。熱処理用冶具として構成することにより、繰り返し電子部品焼成の用に供しても、セッター表面の変質や、反り変形を抑制可能であると同時にセッターを薄肉化して熱容量を小さくすることを可能とする。
【選択図】なし
Description
反応性の評価:反応剤としてチタン酸バリウムと炭酸バリウムの混合粉末を基材上に散布し、1400℃×5hで焼成を行ない、焼成後、反応剤が基材との反応により溶融し、基材へ浸透するかどうかを確認した。浸透量はSEM画像観察により、浸透層の厚みを測定した。
評価の基準:
○;反応剤の全量溶融が認められず、浸透層が100μm以下
△;反応剤の全量溶融は認められないが、浸透層が100μm以上
×;反応剤が溶融し、浸透層が100μm以上
実施例1〜5に示すように、Al2O3粉末1molに対し、当量以上のBaCO3粉末を用いた場合、Al2O3がすべてBaスピネルとなり、該Baスピネル結晶と反応剤(チタン酸バリウムと炭酸バリウムの混合粉末)との反応による結晶構造の変化が起きないため、反応が抑制されていると考えられる。これに対し、比較例1に示すように、Al2O3粉末1molに対し、BaCO3粉末が0.5molに留まる場合には、BaスピネルとならないAl2O3が残っているため、該Al2O3の結晶と反応剤(チタン酸バリウムと炭酸バリウムの混合粉末)との反応が生じていると考えられる。
実施例1および実施例6〜7に示すように、Baスピネルの平均粒径が2〜5μmの場合には、焼結体が十分に緻密化しており、該焼結体中に反応剤(チタン酸バリウムと炭酸バリウムの混合粉末)は浸透できないと考えられる。これに対し、比較例2に示すように、Baスピネルの平均粒径が8μm程度まで大きくなると、焼結体中に反応剤(チタン酸バリウムと炭酸バリウムの混合粉末)が浸透できるようになると考えられる。
実施例8に示すように、プレス成形に代えてCIP成形を採用することにより、更に緻密な焼結体が得られる。
実施例9〜10に示すように、焼結助剤を0.1〜1%添加することにより、更に緻密な焼結体が得られる。ただし、比較例3〜4に示すように、焼結助剤の添加量を5%程度にまで増加させると、新たにクリープの問題が生じてしまうため、好ましくない。
比較例5に示すように、焼結体中にAl2O3の結晶が存在する場合、該Al2O3の結晶と反応剤(チタン酸バリウムと炭酸バリウムの混合粉末)との反応が生じてしまう。
比較例6〜7に示すように、従来技術によると、薄厚のテストピースは得られない。
反り変形の評価:反応剤としてチタン酸バリウムと炭酸バリウムの混合粉末を水に分散させたスラリーを、テストピース(120×20)の被焼成物積載面に塗布し、1400℃×5hで繰り返し焼成を行ない、焼成後、テストピースの反り量を測定した。
評価の基準:
○;反り量0.5mm以下
△;反り量0.5mm以上、1mm以下
×;反り量1mm以上
剥離性の評価:反応性の評価と同様の条件で繰り返し焼成を行ない、焼成後、表面コート層の剥離の有無を確認した。ノンコート品については基材表層の剥離の有無を確認した。
評価の基準:
○;20回以上でも剥離が認められない
△;15回以上20回以下で剥離が認められた
×;15回以下で剥離が認められた
Claims (7)
- 構成元素としてBa、Alを含有し、BaをBaO換算で55〜75質量%、AlをAl2O3換算で20〜40質量%の範囲で含有する緻密質焼結体からなることを特徴とする熱処理用冶具。
- 鉱物組成として主にBaAl2O4で表記されるスピネル型結晶構造を有することを特徴とする請求項1記載の熱処理用冶具。
- TiをTiO2換算で0.05〜1質量%の範囲で含有することを特徴とする請求項1または2記載の熱処理用冶具。
- 気孔率15%以下、室温曲げ強度40MPa以上であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の熱処理用冶具。
- セラミックまたは金属からなる被焼成物の搬送および熱処理のために用いられることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の熱処理用冶具。
- 被焼成物が電子部品であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の熱処理用冶具。
- 該緻密質焼結体の肉厚が2mm以下であることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の熱処理用冶具。
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