JP2011038979A - イオンセンサ、イオン分析装置、及びイオン分析方法 - Google Patents
イオンセンサ、イオン分析装置、及びイオン分析方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011038979A JP2011038979A JP2009188862A JP2009188862A JP2011038979A JP 2011038979 A JP2011038979 A JP 2011038979A JP 2009188862 A JP2009188862 A JP 2009188862A JP 2009188862 A JP2009188862 A JP 2009188862A JP 2011038979 A JP2011038979 A JP 2011038979A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- ion
- counter electrode
- circuit
- frequency
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims abstract description 57
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 94
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 12
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 12
- 238000009826 distribution Methods 0.000 abstract description 10
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 abstract 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 30
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 30
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 20
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 18
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 6
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 6
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 6
- 238000003380 quartz crystal microbalance Methods 0.000 description 5
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 4
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 2
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N5/00—Analysing materials by weighing, e.g. weighing small particles separated from a gas or liquid
- G01N5/02—Analysing materials by weighing, e.g. weighing small particles separated from a gas or liquid by absorbing or adsorbing components of a material and determining change of weight of the adsorbent, e.g. determining moisture content
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/02—Analysing fluids
- G01N29/022—Fluid sensors based on microsensors, e.g. quartz crystal-microbalance [QCM], surface acoustic wave [SAW] devices, tuning forks, cantilevers, flexural plate wave [FPW] devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/02—Analysing fluids
- G01N29/036—Analysing fluids by measuring frequency or resonance of acoustic waves
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
- G01N2291/025—Change of phase or condition
- G01N2291/0256—Adsorption, desorption, surface mass change, e.g. on biosensors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
- G01N2291/028—Material parameters
- G01N2291/02863—Electric or magnetic parameters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/04—Wave modes and trajectories
- G01N2291/042—Wave modes
- G01N2291/0426—Bulk waves, e.g. quartz crystal microbalance, torsional waves
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T436/00—Chemistry: analytical and immunological testing
- Y10T436/11—Automated chemical analysis
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Abstract
【解決手段】
センサ3の第1の周波数の時間変化を測定し、センサ3にバイアス電圧を印加することにより、センサ3を包囲するように配置された対向電極4に備えられた開口9を通過するイオンをセンサ3に吸着させるとともに、センサ3の第2の周波数の時間変化を測定し、第1の発振周波数の時間変化と第2の発振周波数の時間変化との差から、センサ3へのイオンの吸着を検出する。これにより、イオナイザから除電対象に至る空間でのイオン分布を簡便に測定することができる。
【選択図】 図1
Description
ΔF=−F0 2 ・Δm/(N・ρ・A)
で表すことができる。すなわち、吸着した物質の質量Δmによって発振周波数がΔFだけ変化するため、このΔFを測定することによって、物質の吸着量を測定することができる。
2 制御ユニット
3 センサ
4 対向電極
5 発振回路
6 水晶
7 電極
8 電極
9 開口
10 正バイアス発生回路
11 負バイアス発生回路
12 切替回路
13 周波数計測回路
14 記憶制御部
21 センサユニット
22 制御ユニット
23 第1のセンサ
24 第2のセンサ
25,25a〜25c 対向電極
26 第1の発振回路
27 第2の発振回路
28 開口
29,30 電極
31,32 電極
33 正バイアス発生回路
34 負バイアス発生回路
35 切替回路
36 周波数計測回路
37 記憶制御部
38 第1の対向電極
39 第2の対向電極
41 センサユニット群
42 制御ユニット
43 正バイアス発生回路
44 負バイアス発生回路
45 切替回路
46 周波数計測回路
47 記憶制御部
48 配線
49 イオナイザ
50 除電対象
Claims (6)
- センサと、
前記センサを包囲するように配置され、開口を備えた対向電極と
を有することを特徴とするイオンセンサユニット。 - 前記センサは、水晶と、前記水晶の表面に備えられた一対の電極とを有することを特徴とする請求項1記載のイオンセンサユニット。
- センサと、
前記センサを包囲するように配置され、開口を備えた対向電極と、
前記センサに接続されたバイアス発生回路とを有し、
前記センサは、水晶と、前記水晶の表面に備えられた一対の電極とを備え、
前記一対の電極のいずれか一方が前記バイアス発生回路に接続していることを特徴とするイオン分析装置。 - 前記バイアス発生回路は、正バイアス発生回路と、負バイアス発生回路とを含むことを特徴とする請求項3記載のイオン分析装置。
- センサの第1の周波数の時間変化を測定する工程と、
前記センサにバイアス電圧を印加することにより、前記センサを包囲するように配置された対向電極に備えられた開口を通過するイオンを前記センサに吸着させるとともに、前記センサの第2の周波数の時間変化を測定する工程と、
前記第1の発振周波数の時間変化と前記第2の発振周波数の時間変化との差から、前記センサへのイオンの吸着を検出する工程と
を有することを特徴とするイオン分析方法。 - 前記対向電極は、接地されていることを特徴とする請求項5記載のイオン分析方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009188862A JP5463788B2 (ja) | 2009-08-18 | 2009-08-18 | イオン分析装置、及びイオン分析方法 |
US12/856,142 US8034295B2 (en) | 2009-08-18 | 2010-08-13 | Ion analyzing apparatus and ion analyzing method |
US13/227,596 US8173069B2 (en) | 2009-08-18 | 2011-09-08 | Ion analyzing apparatus and ion analyzing method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009188862A JP5463788B2 (ja) | 2009-08-18 | 2009-08-18 | イオン分析装置、及びイオン分析方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011038979A true JP2011038979A (ja) | 2011-02-24 |
JP5463788B2 JP5463788B2 (ja) | 2014-04-09 |
Family
ID=43604434
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009188862A Expired - Fee Related JP5463788B2 (ja) | 2009-08-18 | 2009-08-18 | イオン分析装置、及びイオン分析方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8034295B2 (ja) |
JP (1) | JP5463788B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011203171A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Fujitsu Ltd | 物質検出方法及び物質検出装置 |
WO2015190119A1 (ja) * | 2014-06-13 | 2015-12-17 | シャープ株式会社 | イオン検出器、及びそれを備えた電気機器 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104364631B (zh) * | 2012-06-12 | 2016-10-05 | 富士通株式会社 | 环境测定装置以及环境测定方法 |
CN111708411A (zh) * | 2020-06-23 | 2020-09-25 | 邢肖肖 | 一种除静电计算机主机 |
Citations (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60550U (ja) * | 1983-06-17 | 1985-01-05 | 株式会社富士通ゼネラル | 湿度センサ− |
JPS60221776A (ja) * | 1984-04-18 | 1985-11-06 | Ricoh Co Ltd | 放電装置 |
JPS6131416B2 (ja) * | 1980-07-16 | 1986-07-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | |
JPH0536490A (ja) * | 1991-07-29 | 1993-02-12 | Shishido Seidenki Kk | 除電装置 |
JPH11142314A (ja) * | 1997-11-13 | 1999-05-28 | Shinyei Kaisha | ガスセンサ |
JP2005061950A (ja) * | 2003-08-11 | 2005-03-10 | Riken Keiki Co Ltd | マイナスイオンセンサー |
WO2006006587A1 (ja) * | 2004-07-12 | 2006-01-19 | Niigata University | ガス検知方法およびガスセンサ |
JP2006194868A (ja) * | 2004-12-15 | 2006-07-27 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 成分測定装置 |
WO2007010617A1 (ja) * | 2005-07-22 | 2007-01-25 | Fujitsu Limited | 吸着型センサ、ガス濃度測定装置及び測定方法 |
JP2007147495A (ja) * | 2005-11-29 | 2007-06-14 | Fujitsu Ltd | 雰囲気分析装置 |
JP2008064602A (ja) * | 2006-09-07 | 2008-03-21 | Canon Inc | 微小物体の表面評価装置及び微小物体の表面評価方法 |
JP2008145347A (ja) * | 2006-12-12 | 2008-06-26 | Shimadzu Corp | ファラデーカップ電流計及び粒子測定装置 |
JP2009098084A (ja) * | 2007-10-19 | 2009-05-07 | Fujitsu Ltd | 雰囲気分析装置及び雰囲気分析方法 |
JP2009103518A (ja) * | 2007-10-22 | 2009-05-14 | Toshiba Corp | 機能性膜の製造方法 |
JP2009150747A (ja) * | 2007-12-20 | 2009-07-09 | Fujitsu Ltd | 雰囲気分析用センサユニット、雰囲気分析装置、及び、雰囲気分析方法 |
JP2009536738A (ja) * | 2006-05-10 | 2009-10-15 | ドレクセル・ユニバーシティー | 空中浮遊分析物を空気中で直接検出するための自己励振・自己検出型圧電カンチレバーセンサー |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3794575A (en) * | 1972-10-30 | 1974-02-26 | Gen Electric | Oxygen sensor |
DE3418142A1 (de) * | 1984-05-16 | 1985-11-21 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Sauerstoffmessfuehler |
US7845063B2 (en) * | 2002-03-06 | 2010-12-07 | Piedek Technical Laboratory | Quartz crystal unit and method for manufacturing a quartz crystal unit and electronic apparatus |
JP2006329859A (ja) * | 2005-05-27 | 2006-12-07 | Hugle Electronics Inc | イオンコントロールセンサ |
EP3282250B1 (de) * | 2006-08-08 | 2020-04-08 | Roche Diabetes Care GmbH | Elektrochemischer sensor zur ermittlung einer analyt-konzentration |
EP2235526B1 (en) * | 2007-12-10 | 2018-02-14 | Ascensia Diabetes Care Holdings AG | Porous particle reagent compositions, devices, and methods for biosensors |
-
2009
- 2009-08-18 JP JP2009188862A patent/JP5463788B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-08-13 US US12/856,142 patent/US8034295B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-09-08 US US13/227,596 patent/US8173069B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6131416B2 (ja) * | 1980-07-16 | 1986-07-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | |
JPS60550U (ja) * | 1983-06-17 | 1985-01-05 | 株式会社富士通ゼネラル | 湿度センサ− |
JPS60221776A (ja) * | 1984-04-18 | 1985-11-06 | Ricoh Co Ltd | 放電装置 |
JPH0536490A (ja) * | 1991-07-29 | 1993-02-12 | Shishido Seidenki Kk | 除電装置 |
JPH11142314A (ja) * | 1997-11-13 | 1999-05-28 | Shinyei Kaisha | ガスセンサ |
JP2005061950A (ja) * | 2003-08-11 | 2005-03-10 | Riken Keiki Co Ltd | マイナスイオンセンサー |
WO2006006587A1 (ja) * | 2004-07-12 | 2006-01-19 | Niigata University | ガス検知方法およびガスセンサ |
JP2006194868A (ja) * | 2004-12-15 | 2006-07-27 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 成分測定装置 |
WO2007010617A1 (ja) * | 2005-07-22 | 2007-01-25 | Fujitsu Limited | 吸着型センサ、ガス濃度測定装置及び測定方法 |
JP2007147495A (ja) * | 2005-11-29 | 2007-06-14 | Fujitsu Ltd | 雰囲気分析装置 |
JP2009536738A (ja) * | 2006-05-10 | 2009-10-15 | ドレクセル・ユニバーシティー | 空中浮遊分析物を空気中で直接検出するための自己励振・自己検出型圧電カンチレバーセンサー |
JP2008064602A (ja) * | 2006-09-07 | 2008-03-21 | Canon Inc | 微小物体の表面評価装置及び微小物体の表面評価方法 |
JP2008145347A (ja) * | 2006-12-12 | 2008-06-26 | Shimadzu Corp | ファラデーカップ電流計及び粒子測定装置 |
JP2009098084A (ja) * | 2007-10-19 | 2009-05-07 | Fujitsu Ltd | 雰囲気分析装置及び雰囲気分析方法 |
JP2009103518A (ja) * | 2007-10-22 | 2009-05-14 | Toshiba Corp | 機能性膜の製造方法 |
JP2009150747A (ja) * | 2007-12-20 | 2009-07-09 | Fujitsu Ltd | 雰囲気分析用センサユニット、雰囲気分析装置、及び、雰囲気分析方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011203171A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Fujitsu Ltd | 物質検出方法及び物質検出装置 |
WO2015190119A1 (ja) * | 2014-06-13 | 2015-12-17 | シャープ株式会社 | イオン検出器、及びそれを備えた電気機器 |
JPWO2015190119A1 (ja) * | 2014-06-13 | 2017-04-20 | シャープ株式会社 | イオン検出器、及びそれを備えた電気機器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5463788B2 (ja) | 2014-04-09 |
US8034295B2 (en) | 2011-10-11 |
US8173069B2 (en) | 2012-05-08 |
US20110316550A1 (en) | 2011-12-29 |
US20110042239A1 (en) | 2011-02-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5463788B2 (ja) | イオン分析装置、及びイオン分析方法 | |
JP4657949B2 (ja) | エッチング処理装置および自己バイアス電圧測定方法ならびにエッチング処理装置の監視方法 | |
KR100883454B1 (ko) | 진공 처리 장치, 정전 척의 진단 방법 및 기억 매체 | |
JP5665151B2 (ja) | 静電気帯電計測方法及び装置 | |
Korzec et al. | Atmospheric pressure plasma jet powered by piezoelectric direct discharge | |
WO2013078047A1 (en) | System, method and apparatus for detecting dc bias in a plasma processing chamber | |
JP2014142341A (ja) | 静電力の検出 | |
KR20130008064A (ko) | 공기 이온 측정 장치 | |
JP2006329859A (ja) | イオンコントロールセンサ | |
WO2005073702A1 (ja) | ガス絶縁機器用分解ガスセンサ、絶縁ガス分解検出装置及び分解ガス検出方法 | |
JP2021185376A (ja) | 導電性高分子膜の作製方法 | |
JP5510629B2 (ja) | 電荷移動速度測定装置及び方法、表面抵抗測定装置及び方法、並びに、それらのためのプログラム | |
WO2014171927A1 (en) | Graded structure films | |
JP2005077348A (ja) | 除電性能評価装置及び除電性能評価方法 | |
JP6335376B1 (ja) | 四重極型質量分析計及びその感度低下の判定方法 | |
JP2007263875A (ja) | プラズマ発生電極検査装置 | |
Hutsel | Characterization of a piezoelectric transformer plasma source | |
Kranz et al. | In situ wafer-level polarization of electret films in MEMS acoustic sensor arrays | |
JP2015139755A (ja) | 空気清浄機 | |
JP2001124812A (ja) | イオナイザの調整・評価装置 | |
JP7010169B2 (ja) | 除電装置及び電子天秤 | |
JP2011149771A (ja) | 基板表面汚染の評価方法および表面抵抗率の測定装置 | |
JP2006012424A (ja) | プラズマ測定方法及びプラズマ測定装置 | |
JP2023004240A (ja) | におい測定装置、制御装置及びにおい測定方法 | |
JP3117459U7 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120405 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130319 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130321 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130516 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131008 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131203 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131224 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140106 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |