JP2011032441A - 半導体製造工程粘着テープ用フィルム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ポリエチレン系樹脂を含有し、かつ引張弾性率が50〜350MPa、引張破壊伸びが200%以上及び下記式で表される耐切込度が2.5未満であることを特徴とする半導体製造工程粘着テープ用フィルム。(式1)耐切込度=(フィルムの引張破壊強さ)/(フィルムの30%延伸時における引張応力)
【選択図】図1
Description
例えば、特許文献1には、ポリプロピレン系樹脂製フィルムに電子線照射をした基材フィルムが開示されている。しかし、この方法では、電子線照射工程を必要とするため、工程数が多くなり、コスト面でも不利になる。
(1) ポリエチレン系樹脂を含有し、かつ引張弾性率が50〜350MPa、引張破壊伸びが200%以上及び下記式で表される耐切込度が2.5未満であることを特徴とする半導体製造工程粘着テープ用フィルム。
(式1)
耐切込度=(フィルムの引張破壊強さ)/(フィルムの30%延伸時における引張応力)
(2)メルトフローレートが20(g/10分)以上である樹脂を含有する上記(1)に記載の半導体製造工程粘着テープ用フィルム、
(3)上記(1)または(2)に記載のフィルムの少なくとも片面側に粘着層が設けられてなる半導体製造工程粘着テープ。
本発明のフィルム(以下、「基材フィルム」と記載する場合がある)は、引張弾性率が50〜350MPa、引張破壊伸びが200%以上及び下記式で表される耐切込度が2.5未満である。
(式1)
耐切込度=(フィルムの引張破壊強さ)/(フィルムの30%延伸時における引張応力)
引張弾性率が50MPaより小さいと基材フィルムが柔らかすぎるため加工性が悪く、350MPaを超えるとダイシング加工時のエキスパンド性が悪くなる。基材フィルムは引張弾性率が50〜250MPaであるのが好ましい。
また基材フィルムの引張破壊伸びが200%より小さいとエキスパンド加工時に破断してしまう恐れがある。耐切込度が2.5以上だとダイシングカット時にヒゲの発生が多くなってしまう。
なお、上記引張弾性率、引張破壊伸び及び引張破壊強さの値は、JIS K 7127に準じ、実施例に記載の方法により得られた値である。
基材フィルムは、フィルムの流れ方向(MD)、幅方向(TD)ともに上記各物性を満たすのが好ましい。
上記の条件を満たすフィルムを用いることにより、ダイシングの際にヒゲの発生がなく、エキスパンド性が良好でエキスパンド時に破断することのない粘着テープが得られる。
更に基材フィルムは、メルトフローレート(JIS K 7210、試験温度190℃、試験荷重21.18N)が20(g/10分)以上である樹脂を0〜90重量%含んでもよく、特に5〜60重量%含有することが好ましい。該樹脂としてはポリエチレン系樹脂が好ましい。このような樹脂としては、日本ポリエチレン(株)製 ノバテックLD LJ902(LDPE,MFR45(g/10分))、三井・デュポンケミカル(株)製 エバフレックス EV410(EVA,MFR400(g/10分))が挙げられる。
本発明の基材フィルムの好適な例としては、メルトフローレートが20(g/10分)未満であるポリエチレン系樹脂を40〜95重量%及びメルトフローレートが20(g/10分)以上であるポリエチレン系樹脂を5〜60重量%含有するフィルムが挙げられる。
なお、基材フィルムを用いた粘着テープにおいて粘着剤として紫外線硬化型のアクリル系粘着剤を用いる場合は、基材フィルムは紫外線透過タイプとすることが好ましく、通常、紫外線吸収剤の添加は避けることが好ましい。
基材フィルムは、Tダイ押出し成形法、インフレーション成形法及びカレンダー成形法等の一般的なポリオレフィン系樹脂フィルムの成形方法により製造することができ、多層の場合は前記の方法で製造した個々の層(フィルム)をラミネーターを用いて貼り合わせる方法やフィルム成形と同時に圧着ラミネートする方法により製造できるが、多層Tダイ押出し法によって成形と同時に積層フィルムを製造するのが工程数も減らすことができて特に好ましい。
基材フィルムの厚みは通常30〜500μm、好ましくは50〜300μmである。
また、基材フィルムが多層である場合、各層の厚さは特に限定されないが、例えば基材フィルムが(A)層/(B)層/(C)層の少なくとも3層を有する場合には、各層の厚さの比は特に限定されるものではないが、(A)層の厚さ:(B)層の厚さ:(C)層の厚さ=1:1:1〜1:10:1であるのが好ましい。また各層の組成は同じであっても異なっていてもよい。
粘着層は、粘着剤を50〜100重量%含有するのが好ましい。
粘着剤としてはアクリル系粘着剤が好ましい。アクリル系粘着剤としては、従来公知の粘着剤用のアクリル系樹脂を広く用いることができる。例えば、(メタ)アクリル酸アルキルの重合体、共重合性単量体との共重合体またはこれらの混合物が用いられる。更にアクリル系粘着剤の接着性や凝集力を制御する目的でアクリル酸、メタクリル酸、アクリロニトリルまたは酢酸ビニル等の単量体を共重合させてもよい。これらの単量体を重合して得られるアクリル系(共)重合体の重量平均分子量は、5×104〜2×106であるのが好ましく、更に4×105〜8×105であるのが好ましい。
更に粘着層に架橋剤を配合することにより接着力と凝集力とを任意の値に設定することができる。このような架橋剤としては、多価イソシアネート化合物、多価エポキシ化合物、多価アジリジン化合物及びキレート化合物等がある。多価イソシアネート化合物としては、具体的にはトルイレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート及びこれらのアダクトタイプのもの等が用いられる。多価エポキシ化合物としては、具体的にはエチレングリコールジグリシジルエーテル及びテレフタル酸ジグリシジルエステルアクリレート等が用いられる。多価アジリジン化合物としては、具体的にはトリス−2,4,6−(1−アジリジニル)−1,3,5−トリアジン、トリス〔1−(2−メチル)−アジリジニル〕ホスフィンオキシド、ヘキサ〔1−(2−メチル)−アジリジニル〕トリホスファトリアジン等が用いられる。またキレート化合物としては、具体的にはエチルアセトアセテートアルミニウムジイソプロピレート及びアルミニウムトリス(エチルアセトアセテート)等が用いられる。
粘着層の形成は、基材フィルム上に、粘着剤を樹脂等の成分が可溶な溶剤に溶解した後、グラビアコート法、リバースロールコート法、コンマコート法、バーコート法、ナイフコート法及びキスコート法等従来公知のコーティング方式により基材フィルム上に塗布し、溶剤を揮発、乾燥させる方法を用いればよい。
なお、基材フィルムの少なくとも片面側は、プラズマ処理やコロナ処理、オゾン処理及び火炎処理等の方法により表面処理されていてもよい。また、基材フィルムと粘着層の間には、必要によりプライマー層を設けてもよい。
また、本発明の目的を損ねない限り、粘着テープの粘着層が設けられた側と反対面及び/または基材フィルムと粘着層の間に更に樹脂層を設けても良い。
以下、本発明を実施例に基づき更に詳細に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
(1) フィルムの引張弾性率、引張破壊強さ、引張破壊伸び
試験方法はJIS K 7127に準拠して以下の通り行い、フィルムの引張弾性率、引張破壊強さ、引張破壊伸びを求めた。
基材フィルムから長さ120mm、幅10mmの短冊状シートを切り出しサンプルとした。該サンプルを用い、チャック間距離50mm、引張速度300mm/minでMD方向及びTD方向に引張試験を行い、各方向に於けるサンプルの伸びの変化量(mm)を測定した(温度23℃、相対湿度50%)。その結果得られたS−S曲線(図1参照)の初期の立ち上がりの部分に接線を引き、その接線において100% 伸びに対応する引張応力を引張弾性率とした。結果を下記表−1に示す。
また、(1)において得られたS−S曲線において、フィルムを30%延伸した際の引張応力を求め、この値と(1)で求めた引張破壊強さの値とから耐切込度を求めた。
(式1)
耐切込度=(フィルムの引張破壊強さ)/(フィルムの30%延伸時における引張応力)
粘着テープの粘着層上に5インチのシリコンウェハを貼着してウエハのダイシングを行なった。この際のダイシング条件は下記のとおりである。
(ダイシング条件)
ダイサー: DISCO製 2H/6T
ブレード回転数: 40,000 r.p.m.
ダイシングスピード: 100mm/秒
ダイシング深さ: テープ表面から30μm
ブレード厚: 50μm
ダイシングサイズ: 5mm 5mm
カットモード: ダウンカット
ダイシング後、ウエハ(チップ)上の異物を拡大鏡(100倍率)で観察し、異物(ダイシング屑)の個数をカウントした。この結果を表−1に示した。
(1)基材フィルムの作成
表−1の構成になるように、2種3層Tダイ共押出成形機を用いて成形温度190℃にて6種類の基材フィルムを作成した。なお、基材フィルムの厚みは100μmで、層比は、(A)層:(B)層:(C)層=1:8:1とした。
(2)粘着層の形成
アクリル酸ブチル95重量部、アクリル酸5重量部をトルエン中で共重合させて得られたアクリル系樹脂溶液に、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート60重量部、光重合開始剤(商品名「イルガキュア184」,チバ・スペスシャルティ・ケミカルズ社製)3重量部、多価イソシアネート化合物(商品名「コロネートL」,日本ポリウレタン(株)製)5重量部を加えて、アクリル系紫外線硬化型粘着剤溶液を調製した。
得られた粘着剤をセパレータ上にコンマコート法にて、塗膜厚みが20μmになるように塗工し、80℃の熱風乾燥機にて10分間乾燥させたのち、各基材フィルムとラミネートし、粘着層を形成した。
Claims (3)
- ポリエチレン系樹脂を含有し、かつ引張弾性率が50〜350MPa、引張破壊伸びが200%以上及び下記式で表される耐切込度が2.5未満であることを特徴とする半導体製造工程粘着テープ用フィルム。
(式1)
耐切込度=(フィルムの引張破壊強さ)/(フィルムの30%延伸時における引張応力) - メルトフローレートが20(g/10分)以上である樹脂を含有する請求項1に記載の半導体製造工程粘着テープ用フィルム。
- 請求項1または2に記載のフィルムの少なくとも片面側に粘着層が設けられてなる半導体製造工程粘着テープ。
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