JP2010205862A - 半導体製造工程用粘着テープ用基材フィルム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】無機フィラー1〜15重量%を含有するポリエチレン系樹脂組成物からなる半導体製造工程用粘着テープ用基材フィルム及び該基材フィルムの少なくとも片面側に粘着剤層を設けてなる半導体製造工程用粘着テープとする。
【選択図】なし
Description
前述したようにダイシング工程においては、高速回転するブレードによって半導体ウエハとともにダイシングテープが一部切断されるが、ダイシングテープに使用される基材フィルムがダイサーのブレードとの摩擦熱により溶融化し、それが半導体ウェハ上にヒゲ状切削屑として、生成、付着するという問題があり、このヒゲ状切削屑の低減要求が高まっている。
従来からあるダイシングテープとして、例えば、特許文献1には基材がオレフィン系熱可塑性エラストマーからなる粘着テープが開示されている。しかしながら、このようなオレフィン系熱可塑性エラストマーからなる粘着テープはヒゲ状切削屑の低減が十分でなかった。
(1)無機フィラー1〜15重量%を含有するポリエチレン系樹脂組成物からなる半導体製造工程用粘着テープ用基材フィルム、
(2)無機フィラー1〜15重量%を含有するポリエチレン系樹脂組成物からなる樹脂層(A)及び該樹脂層(A)の少なくとも片面側に、無機フィラー0〜15重量%を含有するポリエチレン系樹脂組成物からなる樹脂層(B)を有する半導体製造工程用粘着テープ用基材フィルム、
(3)無機フィラーの主成分がシリカである上記(1)または(2)に記載の半導体製造工程用粘着テープ用基材フィルム、
(4)ポリエチレン系樹脂の主成分が低密度ポリエチレンである上記(1)〜(3)のいずれか一項に記載の半導体製造工程用粘着テープ用基材フィルム、
(5)上記(1)〜(4)のいずれか一項に記載の基材フィルムの少なくとも片面側に粘着剤層を設けてなる粘着テープに存する。
本願の第一の発明は、無機フィラー1〜15重量%を含有するポリエチレン系樹脂組成物からなる半導体製造工程用粘着テープ用基材フィルムである。該基材フィルムにおいて無機フィラーが1重量%より少ないとカット性に劣り、15重量%より多いとフィルムが破断しやすくなってしまう。またポリエチレン系樹脂の含有量は50〜99重量%であるのが好ましい。なお、基材フィルムは単層フィルムでも、同組成からなる複層フィルムでもよい。
また、本願の別の発明は、無機フィラー1〜15重量%を含有するポリエチレン系樹脂組成物からなる樹脂層(A)及び該樹脂層(A)の少なくとも片面側に、無機フィラー0〜15重量%を含有するポリエチレン系樹脂組成物からなる樹脂層(B)を有する半導体製造工程用粘着テープ用基材フィルムである。
樹脂層(B)は無機フィラーを含有していてもよい。無機フィラーが15重量%を超えるとフィルムが破断しやすくなってしまう。無機フィラーは0〜10重量%が好ましい。
樹脂層(B)において、ポリエチレン系樹脂の含有量は50〜100重量%であるのが好ましい。
更に前記基材フィルムは、樹脂層(A)のもう一方の側に無機フィラー0〜15重量%を含有するポリエチレン系樹脂組成物からなる樹脂層(B’)を有していてもよい。
樹脂層(B’)は無機フィラーを含有していてもよい。無機フィラーが15重量%を超えるとフィルムが破断しやすくなってしまう。無機フィラーは0〜10重量%が好ましい。樹脂層(B’)において、ポリエチレン系樹脂の含有量は50〜100重量%であるのが好ましい。
樹脂層(B)と樹脂層(B’)とは同一の組成でも異なる組成でもよい。
ポリエチレン系樹脂としては、エチレンの単独重合体及び/または、エチレンを主成分とする、エチレンとこれと共重合可能な他の単量体との共重合体(低密度ポリエチレン(LDPE)、線状低密度ポリエチレン(LLDPE)、高密度ポリエチレン(HDPE)、メタロセン系触媒を用いて重合して得られたエチレン−α−オレフィン共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−(メタ)アクリル酸共重合体、エチレン−メチル(メタ)アクリル酸エステル、エチレン−エチル(メタ)アクリル酸共重合体、エチレン・ビニルアルコール共重合体)等が挙げられ、これらから選ばれる1種または2種以上を用いることができる。
ポリエチレン系樹脂としては、低密度ポリエチレンを主成分とするもの、特に50〜100重量%含有するものが好ましく、更に80〜100重量%含有するものが好ましい。また低密度ポリエチレンとしては密度が0.910〜0.925g/cm3のものが好ましい。
本発明の基材フィルムは、Tダイ押出し成形法、インフレーション成形法及びカレンダー成形法等の一般的なポリオレフィン系樹脂フィルムの成形方法により成形することができる。基材フィルムが複層フィルムの場合は、製造した個々の層(フィルム)をラミネーターを用いて貼り合わせる方法やフィルム成形と同時に圧着ラミネートする方法を用いることが出来るが、多層Tダイ押出し法によって成形と同時に積層フィルムを作成するのが工程数も減らすことができて特に好ましい。
該基材フィルムの厚みは通常30〜500μm、好ましくは50〜300μmである。
基材フィルムが多層の場合、各層の厚さは特に限定されないが、樹脂層(A)の厚さは基材フィルム全体の厚さの50〜95%であることが好ましく、樹脂層(B)の厚さは5〜50%であることが好ましい。更に、樹脂層(B’)を有する場合、樹脂層(B)と樹脂層(B’)の合計の厚さが5〜50%であることが好ましい。基材フィルムが少なくとも樹脂層(A)、樹脂層(B)及び樹脂層(B’)を有する場合はこの順に有するのが好ましい。
粘着剤としてはアクリル系粘着剤が好ましい。アクリル系粘着剤としては、従来公知の粘着剤用のアクリル系樹脂を広く用いることができる。例えば、(メタ)アクリル酸アルキルの重合体、共重合性単量体との共重合体またはこれらの混合物が用いられる。更にアクリル系粘着剤の接着性や凝集力を制御する目的でアクリル酸、メタクリル酸、アクリロニトリルまたは酢酸ビニル等の単量体を共重合させてもよい。これらの単量体を重合して得られるアクリル系(共)重合体の重量平均分子量は、5×104〜2×106であるのが好ましく、更に4×105〜8×105であるのが好ましい。
更に粘着剤層に架橋剤を配合することにより接着力と凝集力とを任意の値に設定することができる。このような架橋剤としては、多価イソシアネート化合物、多価エポキシ化合物、多価アジリジン化合物及びキレート化合物等がある。多価イソシアネート化合物としては、具体的にはトルイレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート及びこれらのアダクトタイプのもの等が用いられる。多価エポキシ化合物としては、具体的にはエチレングリコールジグリシジルエーテル及びテレフタル酸ジグリシジルエステルアクリレート等が用いられる。多価アジリジン化合物としては、具体的にはトリス−2,4,6−(1−アジリジニル)−1,3,5−トリアジン、トリス〔1−(2−メチル)−アジリジニル〕ホスフィンオキシド、ヘキサ〔1−(2−メチル)−アジリジニル〕トリホスファトリアジン等が用いられる。またキレート化合物としては、具体的にはエチルアセトアセテートアルミニウムジイソプロピレート及びアルミニウムトリス(エチルアセトアセテート)等が用いられる。
粘着剤層の厚みは、通常1〜50μmである。1μmより薄いと、半導体等の被着体の保持力が不十分となる恐れがあり、また、50μmを超えても、粘着性はほとんど変わらないため、単なるコストアップになる恐れがあるため好ましくない。
粘着剤層の形成は、粘着剤を樹脂等の成分が可溶な溶剤に溶解した後、グラビアコート法、リバースロールコート法、コンマコート法、バーコート法、ナイフコート法及びキスコート法等従来公知のコーティング方式により基材フィルム上に塗布し、溶剤を揮発、乾燥させる方法を用いればよい。
なお、基材フィルムの少なくとも片面側は、特に粘着剤層形成側は、プラズマ処理やコロナ処理、オゾン処理及び火炎処理等の方法により表面処理されていてもよい。また、基材フィルムと粘着剤層の間には、必要によりプライマー層を設けてもよい。
以下、本発明を実施例に基づき更に詳細に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
本発明の積層フィルム及び粘着テープの性能の評価を以下のようにして行った。
(1)ヒゲ状切削屑発生の評価
得られた粘着テープの粘着剤層上に5インチのシリコンウェハを貼着してウェハのダイシング及びウエハ(チップ)のピックアップを行なった。この際のダイシング条件は下記のとおりである。
(ダイシング条件)
ダイサー: DISCO製 2H/6T
ブレード回転数: 40,000 r.p.m.
ダイシングスピード: 100mm/秒
ダイシング深さ: テープ表面から30μm
ブレード厚: 50μm
ダイシングサイズ: 5mm 5mm
カットモード: ダウンカット
ダイシング後、チップ上の異物を拡大鏡(100倍率)で観察し、異物(ダイシング屑)の個数をカウントした。この結果を表−1に示す。
(1)基材フィルムの作成
表−1の構成になるように、3層Tダイ共押出成形機を用いて6種類の基材フィルムを成形温度190℃にて製膜し作成した。なお、基材フィルムの厚みは100μmで、層比は、1:8:1とした。
(2)粘着テープの作成
アクリル酸ブチル95重量部、アクリル酸5重量部をトルエン中で共重合させて得られたアクリル系樹脂溶液に、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート60重量部、光重合開始剤(商品名「イルガキュア184」,チバ・スペスシャルティ・ケミカルズ社製)3重量部、多価イソシアネート化合物(商品名「コロネートL」,日本ポリウレタン(株)製)5重量部を加えて、アクリル系紫外線硬化型粘着剤溶液を調製した。
得られた粘着剤溶液をセパレータ上にコンマコート法にて、塗膜厚みが20μmになるように塗工し、80℃の熱風乾燥機にて10分間乾燥させたのち、各基材フィルム片側表面にラミネートし粘着剤層を形成し、粘着テープを得た。
Claims (5)
- 無機フィラー1〜15重量%を含有するポリエチレン系樹脂組成物からなる半導体製造工程用粘着テープ用基材フィルム。
- 無機フィラー1〜15重量%を含有するポリエチレン系樹脂組成物からなる樹脂層(A)及び該樹脂層(A)の少なくとも片面側に、無機フィラー0〜15重量%を含有するポリエチレン系樹脂組成物からなる樹脂層(B)を有する半導体製造工程用粘着テープ用基材フィルム。
- 無機フィラーの主成分がシリカである請求項1または2に記載の半導体製造工程用粘着テープ用基材フィルム。
- ポリエチレン系樹脂の主成分が低密度ポリエチレンである請求項1〜3のいずれか一項に記載の半導体製造工程用粘着テープ用基材フィルム。
- 請求項1〜4のいずれか一項に記載の基材フィルムの少なくとも片面側に粘着剤層を設けてなる半導体製造工程用粘着テープ。
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JPH04233249A (ja) * | 1990-12-28 | 1992-08-21 | Lintec Corp | ウェハ貼着用粘着シート |
JP2008028026A (ja) * | 2006-07-19 | 2008-02-07 | Nitto Denko Corp | ダイシング用粘着テープ又はシート、被加工物のダイシング方法、及び被加工物の切断片のピックアップ方法 |
JP2008049346A (ja) * | 2006-08-22 | 2008-03-06 | Nitto Denko Corp | レーザ加工用粘着シート |
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