JP2011032299A - 着色硬化性樹脂組成物 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、着色硬化性樹脂組成物に関する。
デジタルカメラやデジタルビデオなどに用いられるイメージセンサは、カラーフィルタを有する。
そして、カラーフィルタの製造方法には、フォトレジストに代表される感光性樹脂組成物に顔料や染料などの色素を含有させた着色感光性樹脂組成物を用いてフォトリソグラフィー法により製造する方法が開発されてきた。
前記の製造方法によれば、顔料や染料などの色素によって光の三原色(赤色、緑色、青色)にそれぞれ着色された画素の集合体であるカラーフィルタが形成される。
そして、カラーフィルタの製造方法には、フォトレジストに代表される感光性樹脂組成物に顔料や染料などの色素を含有させた着色感光性樹脂組成物を用いてフォトリソグラフィー法により製造する方法が開発されてきた。
前記の製造方法によれば、顔料や染料などの色素によって光の三原色(赤色、緑色、青色)にそれぞれ着色された画素の集合体であるカラーフィルタが形成される。
このような塗膜を形成するための着色硬化性樹脂組成物として、例えば、着色剤、バインダー樹脂、感光剤、硬化剤及び溶剤を含んでなる着色硬化性樹脂組成物が開示されている(特許文献1)。
しかしながら、前記の着色剤、バインダー樹脂、感光剤、硬化剤及び溶剤を含んでなる着色硬化性樹脂組成物を用いて形成した塗膜では、現像ムラが発生する場合があった。本発明の課題は、現像ムラを生じない塗膜を形成し得る着色硬化性樹脂組成物を提供することにある。
本発明者は、前記の課題を解決し得る着色硬化性樹脂組成物を見出すべく検討した結果、特定の着色剤(A)、バインダー樹脂(B)、感光剤(C)、硬化剤(D)、溶剤(E)及び特定の塩基性化合物(F)を含有する着色硬化性樹脂組成物によって、現像ムラを生じない塗膜を形成することができることを見出し、本発明に至った。
即ち、本発明は以下の[1]〜[7]を提供するものである。
[1]着色剤(A)、バインダー樹脂(B)、感光剤(C)、硬化剤(D)、溶剤(E)及び塩基性化合物(F)を含有し、着色剤(A)が、式(1)で表される化合物を含み、かつ、塩基性化合物(F)が、式(F−1)、式(F−1a)又は式(F−1b)で表される化合物を含む、着色硬化性樹脂組成物。
[式(1)中、R1〜R4は、それぞれ独立に、水素原子、−R6又は炭素数6〜10の芳香族炭化水素基を表す。該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、−R6、−OH、−OR6、−SO3 −、−SO3H、SO3M、−CO2H、−CO2R6、−SO3R6、−SO2NHR8又は−SO2NR8R9で置換されていてもよい。
R5は、−SO3 −、−SO3H、SO3M、−CO2H、−CO2R6、−SO3R6、−SO2NHR8又は−SO2NR8R9を表す。
mは、0〜5の整数を表す。mが2以上の整数である場合、複数のR5は、同一であっても異なっていてもよい。
Xは、ハロゲン原子を表す。
aは、0又は1の整数を表す。
R6は、炭素数1〜10の飽和炭化水素基を表す。該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子で置換されていてもよい。該飽和炭化水素基に含まれるメチレン基は、酸素原子、カルボニル基又は−NR7−で置換されていてもよい。
R7は、炭素数1〜10の飽和炭化水素基を表す。該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子で置換されていてもよい。該飽和炭化水素基に含まれるメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基で置換されていてもよい。
R8及びR9は、それぞれ独立に、炭素数1〜10の直鎖又は分岐のアルキル基、炭素数3〜30のシクロアルキル基又は−Qを表す。あるいはR8及びR9は、互いに結合して炭素数1〜10の複素環を形成していてもよい。
Qは、炭素数6〜10の芳香族炭化水素基又は炭素数5〜10の芳香族複素環基を表し、該芳香族炭化水素基及び芳香族複素環基に含まれる水素原子は、−OH、−R6、−OR6、−NO2、−CH=CH2、−CH=CHR6又はハロゲン原子で置換されていてもよい。
炭素数1〜10の直鎖又は分岐のアルキル基及び炭素数3〜30のシクロアルキル基に含まれる水素原子は、水酸基、ハロゲン原子、−Q、−CH=CH2又は−CH=CHR6で置換されていてもよい。炭素数1〜10の直鎖又は分岐のアルキル基及び炭素数3〜30のシクロアルキル基に含まれるメチレン基は、酸素原子、カルボニル基又は−NR6−で置換されていてもよい。炭素数1〜10の複素環に含まれる水素原子は、−R6、−OH又は−Qで置換されていてもよい。
Mは、ナトリウム原子又はカリウム原子を表す。]
[式(F−1)中、Ra〜Rcは、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1〜6の直鎖状アルキル基、炭素数3〜12の分岐状アルキル基、炭素数3〜6のシクロアルキル基又は炭素数6〜12のアリール基を表す。該直鎖状アルキル基、該分岐状アルキル基、該シクロアルキル基及び該アリール基に含まれる水素原子は、水酸基で置換されてもよい。
Ra〜Rcのうちいずれか2つは環を形成してもよい。
ただし、Ra〜Rcの少なくとも1つは、該直鎖状アルキル基、該分岐状アルキル基、該シクロアルキル基又は該アリール基を表す。]
[式(F−1a)中、Rd〜Rgは、それぞれ独立に、炭素数1〜6の直鎖状アルキル基、炭素数3〜12の分岐状アルキル基、炭素数3〜6のシクロアルキル基又は炭素数7〜12のアラルキル基を表す。該アラルキル基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子で置換されてもよい。]
[式(F−1b)中、Rh及びRjは、それぞれ独立に、炭素数3〜6のアルキレン基を表す。]
[2]塩基性化合物(F)の含有量が、着色硬化性樹脂組成物の固形分に対して、1〜5質量%である前記[1]に記載の着色硬化性樹脂組成物。
[3]溶剤(E)が、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテル及びジアセトンアルコールからなる群から選ばれる少なくとも2種の溶剤を含んでなる溶剤である前記[1]又は[2]に記載の着色硬化性樹脂組成物。
[4]感光剤(C)が、ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルである前記[1]〜[3]のいずれかに記載の着色硬化性樹脂組成物。
[5]硬化剤(D)が、式(2)で表される2価の基を2つ以上有する硬化剤である前記[1]〜[4]のいずれかに記載の着色硬化性樹脂組成物。
[式(2)中、Y1は、水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を表す。]
[6]前記[1]〜[5]のいずれかに記載の着色硬化性樹脂組成物を用いて形成される塗膜。
[7]前記[1]〜[5]のいずれかに記載の着色硬化性樹脂組成物を用いて形成されるカラーフィルタ。
[1]着色剤(A)、バインダー樹脂(B)、感光剤(C)、硬化剤(D)、溶剤(E)及び塩基性化合物(F)を含有し、着色剤(A)が、式(1)で表される化合物を含み、かつ、塩基性化合物(F)が、式(F−1)、式(F−1a)又は式(F−1b)で表される化合物を含む、着色硬化性樹脂組成物。
R5は、−SO3 −、−SO3H、SO3M、−CO2H、−CO2R6、−SO3R6、−SO2NHR8又は−SO2NR8R9を表す。
mは、0〜5の整数を表す。mが2以上の整数である場合、複数のR5は、同一であっても異なっていてもよい。
Xは、ハロゲン原子を表す。
aは、0又は1の整数を表す。
R6は、炭素数1〜10の飽和炭化水素基を表す。該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子で置換されていてもよい。該飽和炭化水素基に含まれるメチレン基は、酸素原子、カルボニル基又は−NR7−で置換されていてもよい。
R7は、炭素数1〜10の飽和炭化水素基を表す。該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子で置換されていてもよい。該飽和炭化水素基に含まれるメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基で置換されていてもよい。
R8及びR9は、それぞれ独立に、炭素数1〜10の直鎖又は分岐のアルキル基、炭素数3〜30のシクロアルキル基又は−Qを表す。あるいはR8及びR9は、互いに結合して炭素数1〜10の複素環を形成していてもよい。
Qは、炭素数6〜10の芳香族炭化水素基又は炭素数5〜10の芳香族複素環基を表し、該芳香族炭化水素基及び芳香族複素環基に含まれる水素原子は、−OH、−R6、−OR6、−NO2、−CH=CH2、−CH=CHR6又はハロゲン原子で置換されていてもよい。
炭素数1〜10の直鎖又は分岐のアルキル基及び炭素数3〜30のシクロアルキル基に含まれる水素原子は、水酸基、ハロゲン原子、−Q、−CH=CH2又は−CH=CHR6で置換されていてもよい。炭素数1〜10の直鎖又は分岐のアルキル基及び炭素数3〜30のシクロアルキル基に含まれるメチレン基は、酸素原子、カルボニル基又は−NR6−で置換されていてもよい。炭素数1〜10の複素環に含まれる水素原子は、−R6、−OH又は−Qで置換されていてもよい。
Mは、ナトリウム原子又はカリウム原子を表す。]
Ra〜Rcのうちいずれか2つは環を形成してもよい。
ただし、Ra〜Rcの少なくとも1つは、該直鎖状アルキル基、該分岐状アルキル基、該シクロアルキル基又は該アリール基を表す。]
[2]塩基性化合物(F)の含有量が、着色硬化性樹脂組成物の固形分に対して、1〜5質量%である前記[1]に記載の着色硬化性樹脂組成物。
[3]溶剤(E)が、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテル及びジアセトンアルコールからなる群から選ばれる少なくとも2種の溶剤を含んでなる溶剤である前記[1]又は[2]に記載の着色硬化性樹脂組成物。
[4]感光剤(C)が、ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルである前記[1]〜[3]のいずれかに記載の着色硬化性樹脂組成物。
[5]硬化剤(D)が、式(2)で表される2価の基を2つ以上有する硬化剤である前記[1]〜[4]のいずれかに記載の着色硬化性樹脂組成物。
[6]前記[1]〜[5]のいずれかに記載の着色硬化性樹脂組成物を用いて形成される塗膜。
[7]前記[1]〜[5]のいずれかに記載の着色硬化性樹脂組成物を用いて形成されるカラーフィルタ。
本発明の着色硬化性樹脂組成物によれば、現像ムラを生じない塗膜を形成することができる。
以下、本発明を詳細に説明する。
本発明の着色硬化性樹脂組成物は、着色剤(A)を含有する。
本発明の着色硬化性樹脂組成物は、着色剤(A)を含有する。
本発明の着色硬化性樹脂組成物に用いられる着色剤(A)は、下記式(1)で表される化合物を含有する着色剤である。
式(1)で表される化合物における置換基R1〜R4は、それぞれ独立に、水素原子、−R6又は炭素数6〜10の芳香族炭化水素基を表す。
ここで、上記R6は、炭素数1〜10の飽和炭化水素基を表す。また、該炭素数1〜10の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子で置換されていてもよく、メチレン基は、酸素原子、カルボニル基又は−NR7−(R7は、炭素数1〜10の飽和炭化水素基を表す。該炭素数1〜10の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子で置換されていてもよく、メチレン基は、酸素原子又はカルボニル基で置換されていてもよい。)で置換されていてもよい。
−R6としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ペンチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、シクロペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、ヘプチル基、シクロヘプチル基、オクチル基、2−エチルヘキシル基、シクロオクチル基、ノニル基、デカニル基、トリシクロデカニル基、メトキシプロピル基、エトキシプロピル基、ヘキシロキシプロピル基、2−エチルヘキシロキシプロピル基、メトキシヘキシル基、エトキシプロピル基などが挙げられる。
置換基R1〜R4における炭素数6〜10の芳香族炭化水素基としては、例えば、フェニル基、ナフチル基などが挙げられる。
また、置換基R1〜R4における炭素数6〜10の芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、−R6、−OH、−OR6、−SO3 −、−SO3H、SO3M、−CO2H、−CO2R6、−SO3R6、−SO2NHR8又は−SO2NR8R9で置換されていてもよい。
ここで、上記R6は、前記と同じ意味を表す。
上記R8及びR9は、それぞれ独立に、炭素数1〜10の直鎖又は分岐のアルキル基、炭素数3〜30のシクロアルキル基又は−Q(Qは、炭素数6〜10の芳香族炭化水素基又は炭素数5〜10の芳香族複素環基を表し、これらに含まれる水素原子は、−OH、−R6、−OR6、−NO2、−CH=CH2、−CH=CHR6又はハロゲン原子で置換されていてもよい。)を表す。
R8及びR9における、炭素数1〜10の直鎖又は分岐のアルキル基及び炭素数3〜30のシクロアルキル基に含まれる水素原子は、−OH、ハロゲン原子、−Q、−CH=CH2又は−CH=CHR6で置換されていてもよく、メチレン基は、酸素原子、カルボニル基又は−NR6−で置換されていてもよい。
R8及びR9は、互いに結合して炭素数1〜10の複素環を形成していてもよい。この場合、炭素数1〜10の複素環に含まれる水素原子は、−R6、−OH又は−Qで置換されていてもよい。
また、上記Mは、ナトリウム原子又はカリウム原子を表す。
上記R8及びR9は、それぞれ独立に、炭素数1〜10の直鎖又は分岐のアルキル基、炭素数3〜30のシクロアルキル基又は−Q(Qは、炭素数6〜10の芳香族炭化水素基又は炭素数5〜10の芳香族複素環基を表し、これらに含まれる水素原子は、−OH、−R6、−OR6、−NO2、−CH=CH2、−CH=CHR6又はハロゲン原子で置換されていてもよい。)を表す。
R8及びR9における、炭素数1〜10の直鎖又は分岐のアルキル基及び炭素数3〜30のシクロアルキル基に含まれる水素原子は、−OH、ハロゲン原子、−Q、−CH=CH2又は−CH=CHR6で置換されていてもよく、メチレン基は、酸素原子、カルボニル基又は−NR6−で置換されていてもよい。
R8及びR9は、互いに結合して炭素数1〜10の複素環を形成していてもよい。この場合、炭素数1〜10の複素環に含まれる水素原子は、−R6、−OH又は−Qで置換されていてもよい。
また、上記Mは、ナトリウム原子又はカリウム原子を表す。
置換基R1〜R4における炭素数6〜10の芳香族炭化水素基に含まれる水素原子と置換してもよいハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子及び臭素原子などが挙げられる。
−OR6としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、n−プロポキシ基、イソプロポキシ基、n−ブトキシ基、sec−ブトキシ基、tert−ブトキシ基、n−ペンチルオキシ基、n−ヘキシルオキシ基、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基、2−エチルヘキシルオキシ基、ノニルオキシ基、デシルオキシ基等などが挙げられる。
−CO2R6としては、例えば、メチルオキシカルボニル基、エチルオキシカルボニル基、プロピルオキシカルボニル基、イソプロピルオキシカルボニル基、ブチルオキシカルボニル基、イソブチルオキシカルボニル基、ペンチルオキシカルボニル基、イソペンチルオキシカルボニル基、ネオペンチルオキシカルボニル基、シクロペンチルオキシカルボニル基、ヘキシルオキシカルボニル基、シクロヘキシルオキシカルボニル基、ヘプチルオキシカルボニル基、シクロヘプチルオキシカルボニル基、オクチルオキシカルボニル基、2−エチルヘキシルオキシカルボニル基、シクロオクチルオキシカルボニル基、ノニルオキシカルボニル基、デカニルオキシカルボニル基、トリシクロデカニルオキシカルボニル基、メトキシプロピルオキシカルボニル基、エトキシプロピルオキシカルボニル基、ヘキシロキシプロピルオキシカルボニル基、2−エチルヘキシロキシプロピルオキシカルボニル基、メトキシヘキシルオキシカルボニル基などが挙げられる。
−SO3R6としては、例えば、メタンスルホニル基、エタンスルホニル基、ヘキサンスルホニル基、デカンスルホニル基などが挙げられる。
−SO2NHR8としては、スルファモイル基、メタンスルファモイル基、エタンスルファモイル基、プロパンスルファモイル基、イソプロパンスルファモイル基、ブタンスルファモイル基、イソブタンスルファモイル基、ペンタンスルファモイル基、イソペンタンスルファモイル基、ネオペンタンスルファモイル基、シクロペンタンスルファモイル基、ヘキサンスルファモイル基、シクロヘキサンスルファモイル基、ヘプタンスルファモイル基、シクロヘプタンスルファモイル基、オクタンスルファモイル基、2−エチルヘキサンスルファモイル基、1,5−ジメチルヘキサンスルファモイル基、シクロオクタンスルファモイル基、ノナンスルファモイル基、デカンスルファモイル基、トリシクロデカンスルファモイル基、メトキシプロパンスルファモイル基、エトキシプロパンスルファモイル基、プロポキシプロパンスルファモイル基、イソプロポキシプロパンスルファモイル基、ヘキシロキシプロパンスルファモイル基、2−エチルヘキシロキシプロパンスルファモイル基、メトキシヘキサンスルファモイル基、3−フェニル−1−メチルプロパンスルファモイル基などが挙げられる。
さらに、−SO2NHR8としては、下記式で表される基が挙げられる。
−SO2NHR8として例示される上記化合物において、式中、X1は、ハロゲン原子を表し、X2は、炭素数1〜3のアルキル基、炭素数1〜3のアルコキシ基、ハロゲン原子又はニトロ基を表す。また、X3は、炭素数1〜3のアルキル基又は炭素数1〜3のアルコキシ基を表す。さらに、X2及びX3におけるアルキル基及びアルコキシ基の水素原子は、ハロゲン原子で置換されていてもよい。
X1、X2およびX3におけるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子及び臭素原子などが挙げられる。
ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数1〜3のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、パーフルオロメチル基などが挙げられる。
ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数1〜3のアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基などが挙げられる。
ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数1〜3のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、パーフルオロメチル基などが挙げられる。
ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数1〜3のアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基などが挙げられる。
中でも、−SO2NHR8としては、R8が、素数6〜8の分岐状アルキル基、炭素数5〜7の脂環式アルキル基、アリル基、フェニル基、炭素数8〜10のアラルキル基、炭素数2〜8の水酸基含有アルキルおよびアリール基又は炭素数2〜8のアルコキシ基含有アルキルまたはアリール基であるものが好ましく、特に、2−エチルヘキシル基であるものが好ましい。
−SO2NR8R9としては、例えば、下記式で表される基が挙げられる。
−SO2NR8R9として例示される上記化合物において、式中、X2は、前記と同じ意味を表す。
中でも、−SO2NR8R9としては、R8及びR9が、炭素数6〜8の分岐状アルキル基、炭素数5〜7の脂環式アルキル基、アリル基、フェニル基、炭素数8〜10のアラルキル基、炭素数2〜8の水酸基含有アルキルおよびアリール基又は炭素数2〜8のアルコキシ基含有アルキルまたはアリール基であるものが好ましく、特に、2−エチルヘキシル基であるものが好ましい。
式(1)中の置換基R1〜R4における、炭素数6〜10の芳香族炭化水素基の置換基としては、エチル基、プロピル基、フェニル基、ジメチルフェニル基、−SO3R6又は−SO2NHR8が好ましい。
置換基を有する炭素数6〜10の芳香族炭化水素基としては、メチルフェニル基、ジメチルフェニル基、トリメチルフェニル基、エチルフェニル基、ヘキシルフェニル基、デカニルフェニル基、フルオロフェニル基、クロロフェニル基、ブロモフェニル基、ヒドロキシフェニル基、メトキシフェニル基、ジメトキシフェニル基、エトキシフェニル基、ヘキシロキシフェニル基、デカニロキシフェニル基、トリフルオロメチルフェニル基などが挙げられる。
式(1)中の置換基R1〜R4においては、R1及びR2の中の少なくとも1つ、又は、R3及びR4の中の少なくとも1つが、炭素数1〜4のアルキル基又は置換されていてもよい炭素数6〜10の芳香族炭化水素基であることが好ましい。
また、R1及びR2の中の少なくとも1つ、かつ、R3及びR4の中の少なくとも1つが、炭素数1〜4のアルキル基又は置換されていてもよい炭素数6〜10の芳香族炭化水素基であることが好ましく、特に、R1及びR2の中の少なくとも1つ、かつ、R3及びR4の中の少なくとも1つが、置換されていてもよい炭素数6〜10の芳香族炭化水素基であることがより好ましい。
また、R1及びR2の中の少なくとも1つ、かつ、R3及びR4の中の少なくとも1つが、炭素数1〜4のアルキル基又は置換されていてもよい炭素数6〜10の芳香族炭化水素基であることが好ましく、特に、R1及びR2の中の少なくとも1つ、かつ、R3及びR4の中の少なくとも1つが、置換されていてもよい炭素数6〜10の芳香族炭化水素基であることがより好ましい。
式(1)で表される化合物における置換基R5は、−SO3 −、−SO3H、SO3M、−CO2H、−CO2R6、−SO3R6、−SO2NHR8又は−SO2NR8R9を表す。
式(1)中、mは0〜5の整数を表し、mが2以上の整数である場合、複数のR5は、同一であっても異なっていてもよい。
式(1)中、mは0〜5の整数を表し、mが2以上の整数である場合、複数のR5は、同一であっても異なっていてもよい。
R5として、好ましくは、カルボキシル基、エチルオキシカルボニル基、スルホキシル基、2−エチルヘキシロキシプロパンスルファモイル基、1,5−ジメチルヘキサンスルファモイル基、3−フェニル−1−メチルプロパンスルファモイル基、イソプロポキシプロパンスルファモイル基が挙げられる。
式(1)中、Xは、ハロゲン原子を表し、aは、0又は1の整数を表す。
Xで示されるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子及び臭素原子などが挙げられる。
Xで示されるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子及び臭素原子などが挙げられる。
式(1)で表される化合物としては、下記式(1−1)又は(1−2)で表される化合物であることが好ましい。
R15は、水素原子、−SO3 −、−SO3H、−SO2NHR8又は−SO2NR8R9を表す。
R16は、−SO3 −、−SO3H、−SO2NHR8又は−SO2NR8R9を表す。
R6、R8、R9、m、X及びaは、前記と同じ意味を表す。]
R25は、−SO3 −、−SO3Na、−CO2H、−CO2R26、−SO3H又は−SO2NHR28を表す。
R26は、炭素数1〜10の飽和炭化水素基を表す。該炭素数1〜10の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、−OR27又はハロゲン原子で置換されていてもよい。
R27は、炭素数1〜10の飽和炭化水素基を表す。該炭素数1〜10の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子で置換されていてもよい。
R28は、水素原子、−R26、−CO2R26又は炭素数6〜10の芳香族炭化水素基を表し、該炭素数6〜10の芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、−R26又は−OR26で置換されていてもよい。
m、X及びaは、前記と同じ意味を表す。]
さらに、式(1)で表される化合物としては、下記式(1−3)で表される化合物であることが好ましい。
R33は、−SO3 −又は−SO2NHR28を表す。
R34は、水素原子、−SO3 −又は−SO2NHR28を表す。
R26、R28、X及びaは、前記と同じ意味を表す。]
さらに、式(1)で表される化合物としては、下記式(1−4)で表される化合物であることが、より好ましい。
R43は、−SO3 −又は−SO2NHR28を表す。
R26、R28、X及びaは、前記と同じ意味を表す。]
式(1)で表される化合物としては、例えば、下記式(1a)〜式(1f)で表される化合物が挙げられる。
式(1a)〜式(1f)で表される化合物としては、具体的には、スルホローダミンB、スルホローダミンBの−SO3 −又は−SO3Hをスルホンアミド化した化合物、C.I.ソルベントレッド49、ローダミンB、C.I.アシッドバイオレット102、C.I.アシッドバイオレット102の−SO3 −又は−SO3Hをスルホンアミド化した化合物、C.I.アシッドレッド289、C.I.アシッドレッド289の−SO3 −又は−SO3Hをスルホンアミド化した化合物などが挙げられる。本発明の着色剤(A)としては、中でも、式(1e)又は式(1f)で表される化合物が好ましく、具体的にはC.I.アシッドレッド289、C.I.アシッドレッド289の−SO3 −又は−SO3Hをスルホンアミド化した化合物が好ましい。とりわけ、式(A−I)で表される化合物が好ましい。
式(1)で表される化合物は、例えば、−SO3Hを有する色素または色素中間体を定法によりクロル化して、得られた−SO2Clを有する色素または色素中間体をR8−NH2で表されるアミンと反応させることにより製造することができる。また、特開平3−78702号公報3頁の右上欄〜左下欄に記載の方法により製造された色素を、上記同様、クロル化後、アミンと反応させることにより製造することができる。
着色剤(A)は、式(1)で表される化合物を含む着色剤(以下、「着色剤(A1)」という場合がある。)の他に、さらに他の着色剤を含有する着色剤であってよい。他の着色剤としては、染料及び顔料などが挙げられる。好ましくは染料である。
染料としては、酸性染料、塩基性染料、直接染料、硫化染料、建染染料、ナフトール染料、反応染料、分散染料などが挙げられ、従来のカラーフィルタ用途として公知の染料から選択することができる。
具体的には、例えば、C.I.ソルベント・イエロー4、14、15、24、82、94、98、162;C.I.ソルベント・レッド45;
C.I.ソルベント・オレンジ2、7、11、15、26、56;
C.I.ソルベント・ブルー35、37、59、67;
C.I.アシッド・イエロー17、29、40、76;
C.I.アシッド・レッド91、92、97、114、138、151;
C.I.アシッド・オレンジ51、63;
C.I.アシッド・ブルー80、83、90;
C.I.アシッド・グリーン9、16、25、27;
C.I.ベーシック・レッド1などが挙げられ、好ましくは、C.I.ソルベント・イエロー82、162、C.I.ソルベント・レッド45、C.I.ソルベント・オレンジ56、C.I.ソルベント・ブルー6、C.I.アシッド・ブルー90、C.I.アシッド・グリーン9、16、C.I.ベーシック・レッド1などが挙げられる。
具体的には、例えば、C.I.ソルベント・イエロー4、14、15、24、82、94、98、162;C.I.ソルベント・レッド45;
C.I.ソルベント・オレンジ2、7、11、15、26、56;
C.I.ソルベント・ブルー35、37、59、67;
C.I.アシッド・イエロー17、29、40、76;
C.I.アシッド・レッド91、92、97、114、138、151;
C.I.アシッド・オレンジ51、63;
C.I.アシッド・ブルー80、83、90;
C.I.アシッド・グリーン9、16、25、27;
C.I.ベーシック・レッド1などが挙げられ、好ましくは、C.I.ソルベント・イエロー82、162、C.I.ソルベント・レッド45、C.I.ソルベント・オレンジ56、C.I.ソルベント・ブルー6、C.I.アシッド・ブルー90、C.I.アシッド・グリーン9、16、C.I.ベーシック・レッド1などが挙げられる。
前記の顔料としては、有機顔料及び無機顔料が挙げられ、カラーインデックス(The Society of Dyers and Colourists出版)でピグメント(Pigment)に分類されている化合物が挙げられる。
具体的には、例えば、C.I.ピグメントイエロー1、3、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、55、60、65、73、74、81、83、86、93、94、95、97、98、100、101、104、106、108、109、110、113、114、116、117、119、120、125、126、127、128、129、137、138、139、147、148、150、151、152、153、154、156、166、173、175、194、214などの黄色顔料;
C.I.ピグメントオレンジ2、5、13、16、17:1、31、34、36、38、40、42、43、46、48、49、51、52、55、59、60、61、64、65、71、73などのオレンジ色の顔料;
C.I.ピグメントレッド1、2、3、4、5、6、7、9、10、14、17、22、23、31、38、41、48:1、48:2、48:3、48:4、49、49:1、49:2、52:1、52:2、53:1、57:1、60:1、63:1、66、67、81:1、81:3、81、83、88、90、97、112、119、105、122、123、144、146、149、166、168、169、170、171、172、175、176、177、178、179、180、184、185、187、188、190、192、200、202、206、207、208、209、210、215、216、224、226、242、254、255、264、265などの赤色顔料;
C.I.ピグメントブルー15、15:3、15:4、15:6、60などの青色顔料;
C.I.ピグメントバイオレット1、3、5:1、19、23、27、29、32、36、38、42などのバイオレット色顔料;
C.I.ピグメントグリーン1、2、4、7、36、58などの緑色顔料;
C.I.ピグメントブラウン23、25などのブラウン色顔料;
C.I.ピグメントブラック1、7などの黒色顔料などが挙げられる。中でも、C.I.ピグメントイエロー138、139、150、C.I.ピグメントレッド177、242、254、C.I.ピグメントレッドバイオレット23、C.I.ピグメントブルー15:6及びC.I.ピグメントグリーン36、58から選ばれる少なくとも一つの顔料を含有していることが好ましい。これらの顔料は、単独でも、2種以上を混合して用いてもよい。
具体的には、例えば、C.I.ピグメントイエロー1、3、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、55、60、65、73、74、81、83、86、93、94、95、97、98、100、101、104、106、108、109、110、113、114、116、117、119、120、125、126、127、128、129、137、138、139、147、148、150、151、152、153、154、156、166、173、175、194、214などの黄色顔料;
C.I.ピグメントオレンジ2、5、13、16、17:1、31、34、36、38、40、42、43、46、48、49、51、52、55、59、60、61、64、65、71、73などのオレンジ色の顔料;
C.I.ピグメントレッド1、2、3、4、5、6、7、9、10、14、17、22、23、31、38、41、48:1、48:2、48:3、48:4、49、49:1、49:2、52:1、52:2、53:1、57:1、60:1、63:1、66、67、81:1、81:3、81、83、88、90、97、112、119、105、122、123、144、146、149、166、168、169、170、171、172、175、176、177、178、179、180、184、185、187、188、190、192、200、202、206、207、208、209、210、215、216、224、226、242、254、255、264、265などの赤色顔料;
C.I.ピグメントブルー15、15:3、15:4、15:6、60などの青色顔料;
C.I.ピグメントバイオレット1、3、5:1、19、23、27、29、32、36、38、42などのバイオレット色顔料;
C.I.ピグメントグリーン1、2、4、7、36、58などの緑色顔料;
C.I.ピグメントブラウン23、25などのブラウン色顔料;
C.I.ピグメントブラック1、7などの黒色顔料などが挙げられる。中でも、C.I.ピグメントイエロー138、139、150、C.I.ピグメントレッド177、242、254、C.I.ピグメントレッドバイオレット23、C.I.ピグメントブルー15:6及びC.I.ピグメントグリーン36、58から選ばれる少なくとも一つの顔料を含有していることが好ましい。これらの顔料は、単独でも、2種以上を混合して用いてもよい。
前記の顔料のうち有機顔料は、必要に応じて、ロジン処理、酸性基又は塩基性基が導入された顔料誘導体や顔料分散剤などを用いた表面処理、高分子化合物などによる顔料表面へのグラフト処理、硫酸微粒化法などによる微粒化処理、又は不純物を除去するための有機溶剤や水などによる洗浄処理、イオン性不純物のイオン交換法などによる除去処理などが施されていてもよい。
前記の顔料分散剤としては、市販の界面活性剤を用いることができ、例えば、シリコーン系、フッ素系、エステル系、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性などの界面活性剤などが挙げられ、それぞれ単独で又は2種以上を組合せて用いられる。前記の界面活性剤としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類、ポリエチレングリコールジエステル類、ソルビタン脂肪酸エステル類、脂肪酸変性ポリエステル類、3級アミン変性ポリウレタン類、ポリエチレンイミン類等のほか、商品名でKP(信越化学工業(株)製)、ポリフロー(共栄化学(株)製)、エフトップ(トーケムプロダクツ社製)、メガファック(DIC(株)製)、フロラード(住友スリーエム(株)製)、アサヒガード、サーフロン(以上、旭硝子(株)製)、ソルスパース(ゼネカ(株)製)、EFKA(EFKA CHEMICALS社製)、PB821(味の素(株)製)、Disperbyk(ビックケミー社製)などが挙げられる。
着色剤(A1)及びその他の着色剤は、それぞれ1種または2種以上を組合わせて用いることができる。また、着色剤(A1)及びその他の着色剤は、任意の比率で混合して用いることができる。その場合、着色剤(A1)及びその他の着色剤の混合比率は、質量比で、以下の範囲にあることが好ましい。
着色剤(A1);20〜60質量%
その他の着色剤;40〜80質量%
着色剤(A1);20〜60質量%
その他の着色剤;40〜80質量%
着色剤(A1)およびその他の着色剤の混合比率が前記の範囲にあると、目的の分光を得ることができ、好ましい。
着色剤(A)の含有量は、着色硬化性樹脂組成物中の固形分に対して質量分率で、好ましくは1〜75質量%であり、より好ましくは10〜70質量%であり、さらに好ましくは20〜65質量%である。ここで、固形分とは、着色硬化性樹脂組成物から溶剤を除いた成分の合計量をいう。着色剤(A)の含有量が前記の範囲にあると、目的の分光を得ることができ、好ましい。
本発明の着色硬化性樹脂組成物は、バインダー樹脂(B)を含有する。
本発明の着色硬化性樹脂組成物に用いられるバインダー樹脂(B)としては、特に限定されるものではなく、通常、着色硬化性樹脂組成物に用いられるものを使用することができる。中でも、アルカリ性の現像液に溶解し得るアルカリ可溶性樹脂であることが好ましく、例えば、カルボキシ基を有する樹脂、及びヒドロキシ基(特にフェノール性水酸基)を有する樹脂などが挙げられる。これらは、単独で又は2種以上を組合わせて用いることができる。
そのようなアルカリ可溶性樹脂としては、例えば、p−クレゾールのノボラック樹脂、p−クレゾールとm−クレゾールとのノボラック樹脂、下記式(3)で表される構造を有するノボラック樹脂などのノボラック樹脂、ポリビニルフェノール、スチレンとビニルフェノールとの共重合体などが挙げられる。中でも、ノボラック樹脂が好ましい。これらは、単独で又は2種以上組合わせて用いることができる。
バインダー樹脂(B)としては、例えば、マルカリンカーM、マルカリンカーCST−15、マルカリンカーCST−70(丸善石油化学(株)製)、ヒタノール1501(日立化成(株)製)、タッキロール101(田岡化学工業(株)製)、タマノル7508(荒川化学工業(株)製)、PSM−4261、PSM−4324、PSM−4327、PSM−4326(いずれも群栄化学(株)製)、CRG−951(昭和高分子(株)製)などの市販品を用いてもよい。
バインダー樹脂(B)の分子量は、特に限定されるものではないが、例えば、ポリスチレン換算の重量平均分子量として、3,000〜100,000、さらに5,000〜50,000程度であることが好ましい。バインダー樹脂(B)の重量平均分子量が前記の範囲にあると、塗布性が良好となる傾向があり、また現像時に膜減りが生じにくく、さらに現像時に非画素部分の抜け性が良好である傾向にあり、好ましい。
バインダー樹脂(B)の含有量は、着色硬化性樹脂組成物中の固形分に対して質量分率で、好ましくは1〜50質量%、より好ましくは1〜20質量%である。バインダー樹脂(B)の含有量が前記の範囲にあると、露光部の像液への溶解性、パターンの形状が良好になる傾向があり、好ましい。
本発明の着色硬化性樹脂組成物は、感光剤(C)を含有する。
感光剤(C)としては、特に限定されるものではなく、通常、着色硬化性樹脂組成物に用いられるものを使用することができる。例えば、o−ベンゾキノンジアジドスルホン酸エステル、o−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステル、o−ベンゾキノンジアジドスルホン酸アミドまたはo−ナフトキノンジアジドスルホン酸アミドなどが挙げられ、感度が高い傾向にあることから、中でも、ナフトキノンジアジド基を有する化合物が好ましく、o−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルが特に好ましい。これらは、単独で又は2種以上を組合わせて用いることができる。
ナフトキノンジアジド基を有する化合物としては、例えば、o−ナフトキノンジアジドスルホン酸化合物と下記式(I)〜(V)からなる群から選択される少なくとも1種のフェノール化合物とのエステル化合物、及びこれらエステル化合物の2種以上の混合物などが挙げられる。
o−ナフトキノンジアジドスルホン酸化合物としては、o−ナフトキシノンジアジド−5−スルホン酸、o−ナフトキシノンジアジド−4−スルホン酸などが挙げられる。
感光剤(C)の含有量は、着色硬化性樹脂組成物中の固形分に対して質量分率で、好ましくは1〜40質量%、より好ましくは10〜40質量%である。感光剤(C)の含有量が前記の範囲にあると、未露光部と露光部の溶解速度差が大きくなることにより、現像残膜率が高く保持できる傾向があり、好ましい。
本発明の着色硬化性樹脂組成物は、硬化剤(D)を含有する。
硬化剤(D)としては、特に限定されるものではなく、通常、着色硬化性樹脂組成物に用いられるものを使用することができるが、中でも、加熱により硬化させる加熱硬化剤が適している。
特に、本発明の着色硬化性樹脂組成物が含有する硬化剤(D)としては、下記式(2)で表される2価の基を、2つ以上有する化合物であることが好ましい。
[式(2)中、Y1は、水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を表す。]
そのような化合物としては、具体的には、ヘキサメトキシメチルメラミン及び上記式(iii)、(iv)、(v)、(vi)で表される化合物などが挙げられる。
硬化剤(D)の含有量は、着色硬化性樹脂組成物中の固形分に対して質量分率で、好ましくは1〜30質量%、より好ましくは10〜30質量%である。硬化剤(D)の含有量が前記の範囲にあると、着色硬化性樹脂組成物から形成した塗膜やパターンの溶剤に対する耐性が良好になる傾向があり、好ましい。
本発明の着色硬化性樹脂組成物は、溶剤(E)を含有する。
本発明の着色硬化性樹脂組成物が含有する溶剤(E)としては、好ましくは、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテル及びジアセトンアルコールからなる群から選ばれる少なくとも2種の溶剤からなる溶剤が挙げられる。
即ち、乳酸エチルとプロピレングリコールモノメチルエーテルとの混合溶剤、乳酸エチルとジアセトンアルコールとの混合溶剤、プロピレングリコールモノメチルエーテルとジアセトンアルコールとの混合溶剤、及び乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルとジアセトンアルコールとの混合溶剤が挙げられる。中でも、乳酸エチルを含有する混合溶剤であることがより好ましい。
即ち、乳酸エチルとプロピレングリコールモノメチルエーテルとの混合溶剤、乳酸エチルとジアセトンアルコールとの混合溶剤、プロピレングリコールモノメチルエーテルとジアセトンアルコールとの混合溶剤、及び乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルとジアセトンアルコールとの混合溶剤が挙げられる。中でも、乳酸エチルを含有する混合溶剤であることがより好ましい。
乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテル及びジアセトンアルコールは、任意の比率で混合して用いることができる。
特に、乳酸エチルの含有量は、溶剤(E)の合計量に対して、好ましくは10〜90質量%であり、さらに15〜85質量%であることがより好ましい。
また、プロピレングリコールモノメチルエーテル及びジアセトンアルコールからなる群から選ばれる少なくとも1種の溶剤の含有量は、溶剤(E)の合計量に対して、好ましくは10〜90質量%であり、さらに15〜85質量%であることがより好ましい。
特に、乳酸エチルの含有量は、溶剤(E)の合計量に対して、好ましくは10〜90質量%であり、さらに15〜85質量%であることがより好ましい。
また、プロピレングリコールモノメチルエーテル及びジアセトンアルコールからなる群から選ばれる少なくとも1種の溶剤の含有量は、溶剤(E)の合計量に対して、好ましくは10〜90質量%であり、さらに15〜85質量%であることがより好ましい。
このような混合溶剤を用いることにより、着色硬化性樹脂組成物の各成分との相溶性を確保して、スピンコーター、スリット&スピンコーター、スリットコーター(ダイコーター、カーテンフローコーターとも呼ばれることがある。)、インクジェット、ロールコータ、ディップコーターなどの種々の塗布装置を利用して、種々の塗布法、特に、スピン塗布法によって凹凸基板上に塗布した場合においても、有効に筋の発生を防止することができる。
溶剤(E)は、前述した溶剤のみで構成されることが好ましいが、本発明の効果を損なわない程度であれば、その他の溶剤を含んでいてもよい。その他の溶剤としては、通常、着色硬化性樹脂組成物に用いられている各種溶剤を使用することができ、例えば、モノアルコール、多価アルコールなどのアルコール類が挙げられる。
このようなアルコールとして、具体的には、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ペンタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールエチルエーテル、プロピレングリコールプロピルエーテル、エチレングリコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、乳酸メチル、2-メチル乳酸メチル、3−メトキシブタノール、グリセリンなどが挙げられる。
このようなアルコールとして、具体的には、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ペンタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールエチルエーテル、プロピレングリコールプロピルエーテル、エチレングリコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、乳酸メチル、2-メチル乳酸メチル、3−メトキシブタノール、グリセリンなどが挙げられる。
さらに、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル及びエチレングリコールモノブチルエーテルのようなエチレングリコールモノアルキルエーテル類;
メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテートなどのエチレングリコールアルキルエーテルアセテート類;
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテート、メトキシペンチルアセテートなどのアルキレングリコールアルキルエーテルアセテート類;
プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテルなどのプロピレングリコールモノアルキルエーテル類;
プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールエチルメチルエーテル、プロピレングリコールジプロピルエーテルプロピレングリコールプロピルメチルエーテル、プロピレングリコールエチルプロピルエーテルなどのプロピレングリコールジアルキルエーテル類
プロピレングリコールメチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールエチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールプロピルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールブチルエーテルプロピオネートなどのプロピレングリコールアルキルエーテルプロピオネート類;
メトキシブチルアルコール、エトキシブチルアルコール、プロポキシブチルアルコール、ブトキシブチルアルコールなどのブチルジオールモノアルキルエーテル類;
メトキシブチルアセテート、エトキシブチルアセテート、プロポキシブチルアセテート、ブトキシブチルアセテートなどのブタンジオールモノアルキルエーテルアセテート類;
メトキシブチルプロピオネート、エトキシブチルプロピオネート、プロポキシブチルプロピオネート、ブトキシブチルプロピオネートなどのブタンジオールモノアルキルエーテルプロピオネート類;
ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエチルエーテルなどのジプロピレングリコールジアルキルエーテル類;
ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレンなどの芳香族炭化水素類;
メチルエチルケトン、アセトン、メチルアミルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン類;
酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸ブチル、2−ヒドロキシプロピオン酸エチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、ヒドロキシ酢酸メチル、ヒドロキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸プロピル、乳酸ブチル、3−ヒドロキシプロピオン酸メチル、3−ヒドロキシプロピオン酸エチル、3−ヒドロキシプロピオン酸プロピル、3−ヒドロキシプロピオン酸ブチル、2−ヒドロキシ−3−メチルブタン酸メチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸プロピル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、エトキシ酢酸プロピル、エトキシ酢酸ブチル、プロポキシ酢酸メチル、プロポキシ酢酸エチル、プロポキシ酢酸プロピル、プロポキシ酢酸ブチル、ブトキシ酢酸メチル、ブトキシ酢酸エチル、ブトキシ酢酸プロピル、ブトキシ酢酸ブチル、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−メトキシプロピオン酸ブチル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−エトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸ブチル、2−ブトキシプロピオン酸メチル、2−ブトキシプロピオン酸エチル、2−ブトキシプロピオン酸プロピル、2−ブトキシプロピオン酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸プロピル、3−メトキシプロピオン酸ブチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸プロピル、3−エトキシプロピオン酸ブチル、3−プロポキシプロピオン酸メチル、3−プロポキシプロピオン酸エチル、3−プロポキシプロピオン酸プロピル、3−プロポキシプロピオン酸ブチル、3−ブトキシプロピオン酸メチル、3−ブトキシプロピオン酸エチル、3−ブトキシプロピオン酸プロピル、3−ブトキシプロピオン酸ブチル、ピルビン酸エチルなどのエステル類;
テトラヒドロフラン、ピランなどの環状エーテル類;
γ−ブチロラクトンなどの環状エステル類;
さらに、メチルセルソルブ、エチルセルソルブ、ジエチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、N−メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド、N,N’−ジメチルホルムアミド、シクロヘキサン、酢酸プロピレングリコールモノエチルエーテルなどを含有していてもよい。
メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテートなどのエチレングリコールアルキルエーテルアセテート類;
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテート、メトキシペンチルアセテートなどのアルキレングリコールアルキルエーテルアセテート類;
プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテルなどのプロピレングリコールモノアルキルエーテル類;
プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールエチルメチルエーテル、プロピレングリコールジプロピルエーテルプロピレングリコールプロピルメチルエーテル、プロピレングリコールエチルプロピルエーテルなどのプロピレングリコールジアルキルエーテル類
プロピレングリコールメチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールエチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールプロピルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールブチルエーテルプロピオネートなどのプロピレングリコールアルキルエーテルプロピオネート類;
メトキシブチルアルコール、エトキシブチルアルコール、プロポキシブチルアルコール、ブトキシブチルアルコールなどのブチルジオールモノアルキルエーテル類;
メトキシブチルアセテート、エトキシブチルアセテート、プロポキシブチルアセテート、ブトキシブチルアセテートなどのブタンジオールモノアルキルエーテルアセテート類;
メトキシブチルプロピオネート、エトキシブチルプロピオネート、プロポキシブチルプロピオネート、ブトキシブチルプロピオネートなどのブタンジオールモノアルキルエーテルプロピオネート類;
ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエチルエーテルなどのジプロピレングリコールジアルキルエーテル類;
ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレンなどの芳香族炭化水素類;
メチルエチルケトン、アセトン、メチルアミルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン類;
酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸ブチル、2−ヒドロキシプロピオン酸エチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、ヒドロキシ酢酸メチル、ヒドロキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸プロピル、乳酸ブチル、3−ヒドロキシプロピオン酸メチル、3−ヒドロキシプロピオン酸エチル、3−ヒドロキシプロピオン酸プロピル、3−ヒドロキシプロピオン酸ブチル、2−ヒドロキシ−3−メチルブタン酸メチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸プロピル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、エトキシ酢酸プロピル、エトキシ酢酸ブチル、プロポキシ酢酸メチル、プロポキシ酢酸エチル、プロポキシ酢酸プロピル、プロポキシ酢酸ブチル、ブトキシ酢酸メチル、ブトキシ酢酸エチル、ブトキシ酢酸プロピル、ブトキシ酢酸ブチル、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−メトキシプロピオン酸ブチル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−エトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸ブチル、2−ブトキシプロピオン酸メチル、2−ブトキシプロピオン酸エチル、2−ブトキシプロピオン酸プロピル、2−ブトキシプロピオン酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸プロピル、3−メトキシプロピオン酸ブチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸プロピル、3−エトキシプロピオン酸ブチル、3−プロポキシプロピオン酸メチル、3−プロポキシプロピオン酸エチル、3−プロポキシプロピオン酸プロピル、3−プロポキシプロピオン酸ブチル、3−ブトキシプロピオン酸メチル、3−ブトキシプロピオン酸エチル、3−ブトキシプロピオン酸プロピル、3−ブトキシプロピオン酸ブチル、ピルビン酸エチルなどのエステル類;
テトラヒドロフラン、ピランなどの環状エーテル類;
γ−ブチロラクトンなどの環状エステル類;
さらに、メチルセルソルブ、エチルセルソルブ、ジエチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、N−メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド、N,N’−ジメチルホルムアミド、シクロヘキサン、酢酸プロピレングリコールモノエチルエーテルなどを含有していてもよい。
溶剤(E)の含有量は、着色硬化性樹脂組成物に対して質量分率で、好ましくは10〜90質量%、より好ましくは50〜90質量%である。溶剤(E)の含有量が前記の範囲にあると、塗布性が良好になる傾向があり、好ましい。
本発明の着色硬化性樹脂組成物は、塩基性化合物(F)を含有する。
本発明の着色硬化性樹脂組成物に用いられる塩基性化合物(F)は、式(F−1)、式(F−1a)又は式(F−1b)で表される化合物を含有する塩基性化合物である。これらの式で表される化合物を含有する塩基性化合物は、単独で又は2種以上組合わせて用いることができる。
Ra〜Rcのうちいずれか2つは環を形成してもよい。
ただし、Ra〜Rcの少なくとも1つは、該直鎖状アルキル基、該分岐状アルキル基、該シクロアルキル基又は該アリール基を表す。]
式(F−1)におけるRa〜Rcとしては、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、n−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基などの炭素数1〜6の直鎖状アルキル基;
イソプロピル基、イソブチル基、tert−ブチル基、2,2−ジメチルエチル基、1−メチルプロピル基、2,2−ジメチルプロピル基、1−エチルプロピル基、1−メチルブチル基、2−メチルブチル基、3−メチルブチル基、1−プロピルブチル基、1−メチルペンチル基、1,4−ジメチルヘキシル基、2−エチルヘキシル基、1−メチルヘプチル基、などの炭素数3〜12の分岐状アルキル基;
シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基などの炭素数3〜6のシクロアルキル基;
フェニル基、トリル基、キシリル基、ビフェニリル基、ナフチル基などの炭素数6〜12のアリール基が挙げられる。さらに、前記の直鎖状及び分岐状アルキル基、シクロアルキル基、及びアリール基に含まれる水素原子は、水酸基で置換されていてもよく、そのような置換基としては、例えば、ヒドロキシメチル基、1−ヒドロキシエチル基、2−ヒドロキシエチル基、1−ヒドロキシ−n−プロピル基、2−ヒドロキシ−n−プロピル基、3−ヒドロキシ−n−プロピル基、1−ヒドロキシ−n−ブチル基、2−ヒドロキシ−n−ブチル基、3−ヒドロキシ−n−ブチル基、4−ヒドロキシ−n−ブチル基、1−ヒドロキシ−1−メチルプロピル基、2−ヒドロキシ−1−メチルプロピル基、3−ヒドロキシ−1−メチルプロピル基、(1−ヒドロキシメチル)プロピル基、1−ヒドロキシ−2−メチルプロピル基、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピル基、3−ヒドロキシ−2−メチルプロピル基、1−ヒドロキシ−n−ペンチル基、2−ヒドロキシ−n−ペンチル基、3−ヒドロキシ−n−ペンチル基、4−ヒドロキシ−n−ペンチル基、5−ヒドロキシ−n−ペンチル基、1−ヒドロキシ−1−メチルブチル基、2−ヒドロキシ−1−メチルブチル基、3−ヒドロキシ−1−メチルブチル基、4−ヒドロキシ−1−メチルブチル基、(1−ヒドロキシメチル)ブチル基、1−ヒドロキシ−2−メチルブチル基、2−ヒドロキシ−2−メチルブチル基、3−ヒドロキシ−2−メチルブチル基、4−ヒドロキシ−2−メチルブチル基、(2−ヒドロキシメチル)ブチル基、1−ヒドロキシ−3−メチル−ブチル基、2−ヒドロキシ−3−メチル−ブチル基、3−ヒドロキシ−3−メチル−ブチル基、4−ヒドロキシ−3−メチル−ブチル基、3−ヒドロキシメチル−ブチル基、2−ヒドロキシ−1,1−ジメチル−プロピル基、3−ヒドロキシ−1,1−ジメチル−プロピル基、1−ヒドロキシ−2,2−ジメチル−プロピル基、3−ヒドロキシ−2,2−ジメチル−プロピル基、1−ヒドロキシ−n−ヘキシル基、2−ヒドロキシ−n−ヘキシル基、3−ヒドロキシ−n−ヘキシル基、4−ヒドロキシ−n−ヘキシル基、5−ヒドロキシ−n−ヘキシル基、6−ヒドロキシ−n−ヘキシル基、1−ヒドロキシ−1−メチル−ペンチル基、2−ヒドロキシ−1−メチル−ペンチル基、3−ヒドロキシ−1−メチル−ペンチル基、4−ヒドロキシ−1−メチル−ペンチル基、5−ヒドロキシ−1−メチル−ペンチル基、1−ヒドロキシメチル−ペンチル基、1−ヒドロキシ−2−メチル−ペンチル基、2−ヒドロキシ−2−メチル−ペンチル基、3−ヒドロキシ−2−メチル−ペンチル基、4−ヒドロキシ−2−メチル−ペンチル基、5−ヒドロキシ−2−メチル−ペンチル基、2−ヒドロキシメチル−ペンチル基、1−ヒドロキシ−3−メチル−ペンチル基、2−ヒドロキシ−3−メチル−ペンチル基、3−ヒドロキシ−3−メチル−ペンチル基、4−ヒドロキシ−3−メチル−ペンチル基、5−ヒドロキシ−3−メチル−ペンチル基、3−ヒドロキシメチル−ペンチル基、1−ヒドロキシ−4−メチル−ペンチル基、2−ヒドロキシ−4−メチル−ペンチル基、3−ヒドロキシ−4−メチル−ペンチル基、4−ヒドロキシ−4−メチル−ペンチル基、5−ヒドロキシ−4−メチル−ペンチル基、4−ヒドロキシメチル−ペンチル基、1,1−ヒドロキシメチルメチル−ブチル基、2−ヒドロキシ−1,1−ジメチル−ブチル基、3−ヒドロキシ−1,1−ジメチル−ブチル基、4−ヒドロキシ−1,1−ジメチル−ブチル基、1−ヒドロキシ−2,2−ジメチル−ブチル基、2,2−ヒドロキシメチルメチル−ブチル基、3−ヒドロキシ−2,2−ジメチル−ブチル基、4−ヒドロキシ−2,2−ジメチル−ブチル基、1−ヒドロキシ−3,3−ジメチル−ブチル基、2−ヒドロキシ−3,3−ジメチル−ブチル基、3,3−ヒドロキシメチルメチル−ブチル基、4−ヒドロキシ−3,3−ジメチル−ブチル基、ヒドロキシフェニル基、などが挙げられる。中でも、Ra〜Rcとしては、エチル基、n−ヘキシル基、ヒドロキシフェニル基、2−ヒドロキシ−1,1−ジメチルプロピル基が好ましい。
イソプロピル基、イソブチル基、tert−ブチル基、2,2−ジメチルエチル基、1−メチルプロピル基、2,2−ジメチルプロピル基、1−エチルプロピル基、1−メチルブチル基、2−メチルブチル基、3−メチルブチル基、1−プロピルブチル基、1−メチルペンチル基、1,4−ジメチルヘキシル基、2−エチルヘキシル基、1−メチルヘプチル基、などの炭素数3〜12の分岐状アルキル基;
シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基などの炭素数3〜6のシクロアルキル基;
フェニル基、トリル基、キシリル基、ビフェニリル基、ナフチル基などの炭素数6〜12のアリール基が挙げられる。さらに、前記の直鎖状及び分岐状アルキル基、シクロアルキル基、及びアリール基に含まれる水素原子は、水酸基で置換されていてもよく、そのような置換基としては、例えば、ヒドロキシメチル基、1−ヒドロキシエチル基、2−ヒドロキシエチル基、1−ヒドロキシ−n−プロピル基、2−ヒドロキシ−n−プロピル基、3−ヒドロキシ−n−プロピル基、1−ヒドロキシ−n−ブチル基、2−ヒドロキシ−n−ブチル基、3−ヒドロキシ−n−ブチル基、4−ヒドロキシ−n−ブチル基、1−ヒドロキシ−1−メチルプロピル基、2−ヒドロキシ−1−メチルプロピル基、3−ヒドロキシ−1−メチルプロピル基、(1−ヒドロキシメチル)プロピル基、1−ヒドロキシ−2−メチルプロピル基、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピル基、3−ヒドロキシ−2−メチルプロピル基、1−ヒドロキシ−n−ペンチル基、2−ヒドロキシ−n−ペンチル基、3−ヒドロキシ−n−ペンチル基、4−ヒドロキシ−n−ペンチル基、5−ヒドロキシ−n−ペンチル基、1−ヒドロキシ−1−メチルブチル基、2−ヒドロキシ−1−メチルブチル基、3−ヒドロキシ−1−メチルブチル基、4−ヒドロキシ−1−メチルブチル基、(1−ヒドロキシメチル)ブチル基、1−ヒドロキシ−2−メチルブチル基、2−ヒドロキシ−2−メチルブチル基、3−ヒドロキシ−2−メチルブチル基、4−ヒドロキシ−2−メチルブチル基、(2−ヒドロキシメチル)ブチル基、1−ヒドロキシ−3−メチル−ブチル基、2−ヒドロキシ−3−メチル−ブチル基、3−ヒドロキシ−3−メチル−ブチル基、4−ヒドロキシ−3−メチル−ブチル基、3−ヒドロキシメチル−ブチル基、2−ヒドロキシ−1,1−ジメチル−プロピル基、3−ヒドロキシ−1,1−ジメチル−プロピル基、1−ヒドロキシ−2,2−ジメチル−プロピル基、3−ヒドロキシ−2,2−ジメチル−プロピル基、1−ヒドロキシ−n−ヘキシル基、2−ヒドロキシ−n−ヘキシル基、3−ヒドロキシ−n−ヘキシル基、4−ヒドロキシ−n−ヘキシル基、5−ヒドロキシ−n−ヘキシル基、6−ヒドロキシ−n−ヘキシル基、1−ヒドロキシ−1−メチル−ペンチル基、2−ヒドロキシ−1−メチル−ペンチル基、3−ヒドロキシ−1−メチル−ペンチル基、4−ヒドロキシ−1−メチル−ペンチル基、5−ヒドロキシ−1−メチル−ペンチル基、1−ヒドロキシメチル−ペンチル基、1−ヒドロキシ−2−メチル−ペンチル基、2−ヒドロキシ−2−メチル−ペンチル基、3−ヒドロキシ−2−メチル−ペンチル基、4−ヒドロキシ−2−メチル−ペンチル基、5−ヒドロキシ−2−メチル−ペンチル基、2−ヒドロキシメチル−ペンチル基、1−ヒドロキシ−3−メチル−ペンチル基、2−ヒドロキシ−3−メチル−ペンチル基、3−ヒドロキシ−3−メチル−ペンチル基、4−ヒドロキシ−3−メチル−ペンチル基、5−ヒドロキシ−3−メチル−ペンチル基、3−ヒドロキシメチル−ペンチル基、1−ヒドロキシ−4−メチル−ペンチル基、2−ヒドロキシ−4−メチル−ペンチル基、3−ヒドロキシ−4−メチル−ペンチル基、4−ヒドロキシ−4−メチル−ペンチル基、5−ヒドロキシ−4−メチル−ペンチル基、4−ヒドロキシメチル−ペンチル基、1,1−ヒドロキシメチルメチル−ブチル基、2−ヒドロキシ−1,1−ジメチル−ブチル基、3−ヒドロキシ−1,1−ジメチル−ブチル基、4−ヒドロキシ−1,1−ジメチル−ブチル基、1−ヒドロキシ−2,2−ジメチル−ブチル基、2,2−ヒドロキシメチルメチル−ブチル基、3−ヒドロキシ−2,2−ジメチル−ブチル基、4−ヒドロキシ−2,2−ジメチル−ブチル基、1−ヒドロキシ−3,3−ジメチル−ブチル基、2−ヒドロキシ−3,3−ジメチル−ブチル基、3,3−ヒドロキシメチルメチル−ブチル基、4−ヒドロキシ−3,3−ジメチル−ブチル基、ヒドロキシフェニル基、などが挙げられる。中でも、Ra〜Rcとしては、エチル基、n−ヘキシル基、ヒドロキシフェニル基、2−ヒドロキシ−1,1−ジメチルプロピル基が好ましい。
式(F−1)におけるRa〜Rcの少なくとも1つの基は、上記の直鎖状アルキル基、分岐状アルキル基、シクロアルキル基又はアリール基である。さらに、Ra〜Rcの少なくとも1つの基は、上記直鎖状アルキル基、分岐状アルキル基、シクロアルキル基及びアリール基に含まれる水素原子が水酸基で置換された基であることが好ましい。
式(F−1a)におけるRd〜Rgは、それぞれ独立に、炭素数1〜6の直鎖状アルキル基、炭素数3〜12の分岐状アルキル基、炭素数3〜6のシクロアルキル基、又は炭素数7〜12のアラルキル基を表す。該アラルキル基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子に置換されていてもよい。
該直鎖状アルキル基、分岐状アルキル基及びシクロアルキル基としては、前記Ra〜Rcにおけるものと同様の置換基が例示される。また、炭素数7〜12のアラルキル基としては、例えば、ベンジル基、フェニルエチル基、フェニルプロピル基などが挙げられる。該アラルキル基に含まれる水素原子と置換されてもよいハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子及び臭素原子などが挙げられる。中でも、Rd〜Rgとしては、メチル基、ブチル基が好ましい。
該直鎖状アルキル基、分岐状アルキル基及びシクロアルキル基としては、前記Ra〜Rcにおけるものと同様の置換基が例示される。また、炭素数7〜12のアラルキル基としては、例えば、ベンジル基、フェニルエチル基、フェニルプロピル基などが挙げられる。該アラルキル基に含まれる水素原子と置換されてもよいハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子及び臭素原子などが挙げられる。中でも、Rd〜Rgとしては、メチル基、ブチル基が好ましい。
式(F−1b)におけるRh及びRjとしては、例えば、プロパン−1,3−ジイル基、プロパン−1,2−ジイル基、ブタン−1,4−ジイル基、ブタン−1,3−ジイル基、ペンタン−1,5−ジイル基、ヘキサン−1,6−ジイル基などの炭素数3〜6のアルキレン基が挙げられる。
式(F−1)、(F−1a)又は(F−1b)で表される化合物としては、沸点が低すぎると、着色硬化性樹脂組成物の調製時や塗膜及びパターン形成時に塩基性化合物が蒸発してしまう傾向にあるため、沸点が80℃以上であるものが好ましい。
そのような式(F−1)で表される化合物としては、例えば、ヘキシルアミン、2−エチルヘキシルアミン、エタノールアミン、2−アミノ−2−メチル−1−プロパノール、アニリン、2−、3−又は4−メチルアニリン、o−、m−又はp−アミノフェノール、ジメチルアニリン、2,6−ジイソプロピルアニリン、2,6−ジブチルアニリン、1−又は2−ナフチルアミン、ジブチルアミン、ジペンチルアミン、ジヘキシルアミン、ジエタノールアミン、N−メチルアニリン、ジフェニルアミン、トリメチルアミン、トリエチルアミン、トリプロピルアミン、トリブチルアミン、トリペンチルアミン、トリヘキシルアミン、メチルジブチルアミン、メチルジペンチルアミン、メチルジヘキシルアミン、メチルジシクロヘキシルアミン、エチルジブチルアミン、エチルジペンチルアミン、エチルジヘキシルアミン、ジシクロヘキシルメチルアミン、トリエタノールアミン、トリプロパノールアミン、N,N−ジメチルアニリン、N,N−ジエチルアニリン、トリフェニルアニリンなどが挙げられる。中でも、2−アミノ−2−メチル−1−プロパノール、p−アミノフェノール、トリエチルアミン、トリヘキシルアミンが好ましい。
式(F−1a)で表される化合物としては、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトライソプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、テトラ−n−ヘキシルアンモニウムヒドロキシド、テトラ−n−オクチルアンモニウムヒドロキシド、フェニルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、3−(トリフルオロメチル)フェニルトリメチルアンモニウムヒドロキシド及び水酸化コリンなどが挙げられる。中でも、テトラブチルアンモニウムヒドロキシドが好ましい。
また、式(F−1b)で表される化合物としては、1,8−ジアザビシクロ[5.4.0]ウンデセ−7−エン、1,5−ジアザビシクロ[4.3.0]ノナ−5−エンなどが挙げられ、好ましくは、1,8−ジアザビシクロ[5.4.0]ウンデセ−7−エンである。
塩基性化合物(F)の含有量は、着色硬化性樹脂組成物の固形分(着色硬化性樹脂組成物から溶剤を除いた成分の合計量)に対して質量分率で、1〜5質量%であることが好ましい。塩基性化合物(F)の含有量が1質量%以上であると現像ムラが抑制される傾向にあり好ましい。また、着色硬化性樹脂組成物から形成した塗膜やパターンの耐薬品性低下の観点から、5質量%以下であることが好ましく、さらに4.5質量%以下、特に4質量%以下であることがより好ましい。
本発明の着色硬化性樹脂組成物には、必要に応じて、充填剤、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、連鎖移動剤などの種々の添加剤を併用してもよい。
充填剤として、例えば、ガラス、シリカ、アルミナなどが挙げられる。
他の高分子化合物としては、例えば、エポキシ樹脂、マレイミド樹脂などの硬化性樹脂ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフルオロアルキルアクリレート、ポリエステル、ポリウレタンなどの熱可塑性樹脂が挙げられる。
他の高分子化合物としては、例えば、エポキシ樹脂、マレイミド樹脂などの硬化性樹脂ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフルオロアルキルアクリレート、ポリエステル、ポリウレタンなどの熱可塑性樹脂が挙げられる。
界面活性剤としては、市販の界面活性剤を用いることができる。界面活性剤は、シリコーン系、フッ素系、エステル系、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性などの界面活性剤のいずれでもよい。具体的には、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類、ポリエチレングリコールジエステル類、ソルビタン脂肪酸エステル類、脂肪酸変性ポリエステル類、3級アミン変性ポリウレタン類、ポリエチレンイミン類などが挙げられ、商品名でKP(信越化学工業(株)製)、ポリフロー(共栄化学(株)製)、エフトップ(トーケムプロダクツ社製)、メガファック(DIC(株)製)、フロラード(住友スリーエム(株)製)、アサヒガード、サーフロン(以上、旭硝子(株)製)、ソルスパース(ゼネカ(株)製)、EFKA(EFKA CHEMICALS社製)、PB821(味の素(株)製)などを用いることができる。
密着促進剤としては、例えば、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシランなどが挙げられる。
酸化防止剤としては、例えば、2−tert−ブチル−6−(3−tert−ブチル−2−ヒドロキシ−5−メチルベンジル)−4−メチルフェニルアクリレート、2−[1−(2−ヒドロキシ−3,5−ジ−tert−ペンチルフェニル)エチル]−4,6−ジ−tert−ペンチルフェニルアクリレート、6−[3−(3−tert−ブチル−4−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)プロポキシ]−2,4,8,10−テトラ−tert−ブチルジベンズ[d、f][1,3,2]ジオキサフォスフェピン、3,9−ビス[2−{3−(3−tert−ブチル−4−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)プロピオニルオキシ}−1,1−ジメチルエチル]−2,4,8,10−テトラオキサスピロ[5.5]ウンデカン、2,2’−メチレンビス(6−tert−ブチル−4−メチルフェノール)、4,4’−ブチリデンビス(6−tert−ブチル−3−メチルフェノール)、4,4’−チオビス(2−tert−ブチル−5−メチルフェノール)、2,2’−チオビス(6−tert−ブチル−4−メチルフェノール)、ジラウリル3,3’−チオジプロピオネート、ジミリスチル3,3’−チオジプロピオネート、ジステアリル3,3’−チオジプロピオネート、ペンタエリスリチルテトラキス(3−ラウリルチオプロピオネート)、1,3,5−トリス(3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシベンジル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン、3,3’,3’’,5,5’,5’’−ヘキサ−tert−ブチル−a,a’,a’’−(メシチレン−2,4,6−トリイル)トリ−p−クレゾール、ペンタエリスリトールテトラキス[3−(3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート]、2,6−ジ−tert−ブチル−4−メチルフェノールなどが挙げられる。
紫外線吸収剤としては、例えば、2−(2−ヒドロキシ−5−tert−ブチルフェニル)−2H−ベンゾトリアゾール、オクチル−3−[3−tert−ブチル−4−ヒドロキシ−5−(5−クロロ−2H−ベンゾトリアゾール−2−イル)フェニル]プロピオネート、2−[4−[(2−ヒドロキシ−3−ドデシルオキシプロピル)オキシ]−2−ヒドロキシフェニル]−4,6−ビス(2,4−ジメチルフェニル)−1,3,5−トリアジン、2−[4−[(2−ヒドロキシ−3−(2’−エチル)ヘキシル)オキシ]−2−ヒドロキシフェニル]−4,6−ビス(2,4−ジメチルフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(2−ヒドロキシ−4−ブチルオキシフェニル)−6−(2,4−ビス−ブチルオキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2−(2−ヒドロキシ−4−[1−オクチルオキシカルボニルエトキシ]フェニル)−4,6−ビス(4−フェニルフェニル)−1,3,5−トリアジン、2−(2H−ベンゾトリアゾール−2−イル)−4,6−ビス(1−メチル−1−フェニルエチル)フェノール、2−(2H−ベンゾトリアゾール−2−イル)−6−(1−メチル−1−フェニルエチル)−4−(1,1,3,3−テトラメチルブチル)フェノール、2−(3−tert−ブチル−2−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノンなどが挙げられる。
光安定剤としては、例えば、コハク酸と(4−ヒドロキシ−2,2,6,6−テトラメチルピペリジン−1−イル)エタノールからなる高分子、N,N',N'',N'''−テトラキス(4,6−ビス(ブチル−(N−メチル−2,2,6,6−テトラメチルピペリジン−4−イル)アミノ)トリアジン−2−イル)−4,7−ジアザデカン−1,10−ジアミン、デカンジオイックアシッドと、ビス(2,2,6,6−テトラメチル−1−(オクチルオキシ)−4−ピペリジニル)エステルと、1,1−ジメチルエチルヒドロパーオキシドとの反応物、ビス(1,2,2,6,6−ペンタメチル−4−ピペリジニル)−[[3,5−ビス(1,1−ジメチルエチル)−4−ヒドロキシフェニル]メチル]ブチルマロネート、2,4−ビス[N−ブチル−N−(1−シクロヘキシルオキシ−2,2,6,6−テトラメチルピペリジン−4−イル)アミノ]−6−(2−ヒドロキシエチルアミン)−1,3,5−トリアジン、ビス(1,2,2,6,6−ペンタメチル−4−ピペリジニル)セバケート、メチル(1,2,2,6,6−ペンタメチル−4−ピペリジニル)セバケートなどが挙げられる。
連鎖移動剤としては、例えば、ドデシルメルカプタン、2,4−ジフェニル−4−メチル−1−ペンテンなどが挙げられる。
本発明の着色硬化性樹脂組成物は、例えば、以下のようにして、基材、例えば、シリコンウェハ、ガラス、金属、プラスチック等の基板、カラーフィルタ、各種絶縁又は導電膜、駆動回路等を形成したこれらの基板上に塗布することによって、塗膜を形成することができる。塗膜は、乾燥及び硬化したものであることが好ましい。また、得られた塗膜を所望の形状にパターニングして、パターンとして用いることもできる。さらに、これら塗膜又はパターンを、表示装置等の構成部品の一部として形成して使用してもよい。
まず、本発明の着色硬化性樹脂組成物を、基材上に塗布する。
塗布は、前述したように、スピンコーター、スリット&スピンコーター、スリットコーター、インクジェット、ロールコータ、ディップコーターなどの種々の塗布装置を用いて行うことができる。中でも、溶解性、乾燥防止、異物の発生防止などの理由から、スピンコート法による塗布、つまり、スリット&スピンコーター又はスピンコーターなどを利用する塗布を行うことが好ましい。
塗布は、前述したように、スピンコーター、スリット&スピンコーター、スリットコーター、インクジェット、ロールコータ、ディップコーターなどの種々の塗布装置を用いて行うことができる。中でも、溶解性、乾燥防止、異物の発生防止などの理由から、スピンコート法による塗布、つまり、スリット&スピンコーター又はスピンコーターなどを利用する塗布を行うことが好ましい。
次いで、乾燥又はプリベークして、溶剤などの揮発成分を除去することが適している。これにより、平滑な未硬化塗膜を得ることができる。
乾燥又はプリベークの温度は、例えば、80〜130℃程度が挙げられる。また、塗膜の膜厚は、特に限定されず、用いる材料、用途等によって適宜調整することができ、例えば、0.4〜2μm程度が例示される。
乾燥又はプリベークの温度は、例えば、80〜130℃程度が挙げられる。また、塗膜の膜厚は、特に限定されず、用いる材料、用途等によって適宜調整することができ、例えば、0.4〜2μm程度が例示される。
さらに、得られた未硬化塗膜に、目的のパターンを形成するためのマスクを介して、光、例えば、水銀灯、発光ダイオードから発生する紫外線などを照射する。この際のマスクの形状は特に限定されず、種々の形状が挙げられる。また、線幅も、マスクサイズによって、適宜調整することができる。
露光には、例えば、マスクアライナーやステッパーなどの露光装置を使用する。これらを用いれば、露光部全体に均一に平行光線を照射でき、且つマスクと基板の正確な位置合せを行える。光源の種類は、ポジ型感光性組成物を可溶化できる限り特に限定されないが、通常、g線、h線又はi線などの紫外線が使用される。
露光には、例えば、マスクアライナーやステッパーなどの露光装置を使用する。これらを用いれば、露光部全体に均一に平行光線を照射でき、且つマスクと基板の正確な位置合せを行える。光源の種類は、ポジ型感光性組成物を可溶化できる限り特に限定されないが、通常、g線、h線又はi線などの紫外線が使用される。
この後、塗膜をアルカリ水溶液に接触させて所定部分、例えば、露光部を溶解させ、現像することにより、目的とするパターン形状を得ることができる。
現像方法は、液盛り法、ディッピング法、スプレー法などのいずれでもよい。さらに現像時に基材を任意の角度に傾けてもよい。
現像方法は、液盛り法、ディッピング法、スプレー法などのいずれでもよい。さらに現像時に基材を任意の角度に傾けてもよい。
現像に使用する現像液は、通常、アルカリ性化合物と界面活性剤とを含む水溶液である。アルカリ性化合物は、無機及び有機のアルカリ性化合物のいずれであってもよい。
無機アルカリ性化合物の具体例としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、燐酸水素二ナトリウム、燐酸二水素ナトリウム、燐酸水素二アンモニウム、燐酸二水素アンモニウム、燐酸二水素カリウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、ホウ酸ナトリウム、ホウ酸カリウム、アンモニアなどが挙げられる。
また、有機アルカリ性化合物としては、例えば、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、2−ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、モノメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、モノイソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、エタノールアミンなどが挙げられる。
これらの無機及び有機アルカリ性化合物のアルカリ現像液中の濃度は、好ましくは0.01〜10質量%であり、より好ましくは0.03〜5質量%である。
無機アルカリ性化合物の具体例としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、燐酸水素二ナトリウム、燐酸二水素ナトリウム、燐酸水素二アンモニウム、燐酸二水素アンモニウム、燐酸二水素カリウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、ホウ酸ナトリウム、ホウ酸カリウム、アンモニアなどが挙げられる。
また、有機アルカリ性化合物としては、例えば、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、2−ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、モノメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、モノイソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、エタノールアミンなどが挙げられる。
これらの無機及び有機アルカリ性化合物のアルカリ現像液中の濃度は、好ましくは0.01〜10質量%であり、より好ましくは0.03〜5質量%である。
アルカリ現像液中の界面活性剤は、ノニオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤又はカチオン系界面活性剤のいずれであってもよい。
ノニオン系界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアリールエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル、その他のポリオキシエチレン誘導体、オキシエチレン/オキシプロピレンブロックコポリマー、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビトール脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミンなどが挙げられる。
アニオン系界面活性剤としては、例えば、ラウリルアルコール硫酸エステルナトリウムやオレイルアルコール硫酸エステルナトリウムのような高級アルコール硫酸エステル塩類、ラウリル硫酸ナトリウムやラウリル硫酸アンモニウムのようなアルキル硫酸塩類、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムやドデシルナフタレンスルホン酸ナトリウムのようなアルキルアリールスルホン酸塩類などが挙げられる。
カチオン系界面活性剤としては、例えば、ステアリルアミン塩酸塩やラウリルトリメチルアンモニウムクロライドのようなアミン塩又は第四級アンモニウム塩などが挙げられる。
アルカリ現像液中の界面活性剤の濃度は、好ましくは0.01〜10質量%、より好ましくは0.05〜8質量%、特に好ましくは0.1〜5質量%である。
ノニオン系界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアリールエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル、その他のポリオキシエチレン誘導体、オキシエチレン/オキシプロピレンブロックコポリマー、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビトール脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミンなどが挙げられる。
アニオン系界面活性剤としては、例えば、ラウリルアルコール硫酸エステルナトリウムやオレイルアルコール硫酸エステルナトリウムのような高級アルコール硫酸エステル塩類、ラウリル硫酸ナトリウムやラウリル硫酸アンモニウムのようなアルキル硫酸塩類、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムやドデシルナフタレンスルホン酸ナトリウムのようなアルキルアリールスルホン酸塩類などが挙げられる。
カチオン系界面活性剤としては、例えば、ステアリルアミン塩酸塩やラウリルトリメチルアンモニウムクロライドのようなアミン塩又は第四級アンモニウム塩などが挙げられる。
アルカリ現像液中の界面活性剤の濃度は、好ましくは0.01〜10質量%、より好ましくは0.05〜8質量%、特に好ましくは0.1〜5質量%である。
現像後、水洗を行い、さらに必要に応じて、ポストベークを行ってもよい。ポストベークは、例えば、150〜250℃、好ましくは160〜220℃、より好ましくは170〜200℃で行われる。ポストベーク時間は、数分程度、例えば、1〜3分間が適している。
このようにして得られる塗膜又はパターンは、例えば、液晶表示装置に使用されるフォトスペーサ、パターニング可能なオーバーコート、カラーフィルタとして有用である。また、未硬化塗膜へのパターニング露光の際に、ホール形成用フォトマスクを使用することにより、ホールを形成することができ、層間絶縁膜として有用である。さらに、未硬化塗膜への露光の際に、フォトマスクを使用せず、全面露光及び加熱硬化又は加熱硬化のみを行うことにより、透明膜又は着色膜を形成することができる。この透明膜又は着色膜は、オーバーコートとして有用である。また、タッチパネル等の表示装置にも用いることができる。これにより、高品質の塗膜又はパターンを備えた表示装置を、高い歩留りで製造することが可能である。
本発明の着色硬化性樹脂組成物は、液晶表示装置やイメージセンサの画素となる塗膜又は着色パターンなどを形成するために好適に利用することができる。また、これらの塗膜又はパターンをその構成部品の一部として備えるカラーフィルタ、アレイ基板、さらに、これらカラーフィルタ及び/又はアレイ基板などを具備する表示装置、例えば、液晶表示装置、有機EL装置、固体撮像装置などに利用することができる。
本発明の着色硬化性樹脂組成物は、液晶表示装置やイメージセンサの画素となる塗膜又は着色パターンなどを形成するために好適に利用することができる。また、これらの塗膜又はパターンをその構成部品の一部として備えるカラーフィルタ、アレイ基板、さらに、これらカラーフィルタ及び/又はアレイ基板などを具備する表示装置、例えば、液晶表示装置、有機EL装置、固体撮像装置などに利用することができる。
以下、実施例によって本発明をより詳細に説明する。例中、含有量ないし使用量を表す%及び部は、特に断らない限り質量基準である。
[合成例1]
式(3−I)で示される化合物〔商品名;PIPE−CD;三井化学(株)製〕50.8部、メチルイソブチルケトン50.8部及びシュウ酸9.5部の混合物を、80℃で攪拌しながら、1時間かけてホルマリン(ホルムアルデヒドを質量分率で37%含有する)13.8部を滴下して加えた。滴下終了後、91℃に昇温して、同温度で10時間反応させた。反応後の反応混合物に、イオン交換水125部、メチルイソブチルケトン76部を加えて洗浄した。さらに、メチルイソブチルケトン51部、イオン交換水125部を加えて洗浄し、その後蒸留により脱水して、バインダー樹脂(B−b)のメチルイソブチルケトン溶液(固形分:37%)145.5部を得た。バインダー樹脂(B−b)の重量平均分子量(GPC、ポリスチレン換算)は、7.0×103であった。
式(3−I)で示される化合物〔商品名;PIPE−CD;三井化学(株)製〕50.8部、メチルイソブチルケトン50.8部及びシュウ酸9.5部の混合物を、80℃で攪拌しながら、1時間かけてホルマリン(ホルムアルデヒドを質量分率で37%含有する)13.8部を滴下して加えた。滴下終了後、91℃に昇温して、同温度で10時間反応させた。反応後の反応混合物に、イオン交換水125部、メチルイソブチルケトン76部を加えて洗浄した。さらに、メチルイソブチルケトン51部、イオン交換水125部を加えて洗浄し、その後蒸留により脱水して、バインダー樹脂(B−b)のメチルイソブチルケトン溶液(固形分:37%)145.5部を得た。バインダー樹脂(B−b)の重量平均分子量(GPC、ポリスチレン換算)は、7.0×103であった。
[合成例2]
式(3−I)で示される化合物〔商品名;PIPE−CD;三井化学(株)製〕50.8部、メチルイソブチルケトン50.8部及びシュウ酸9.5部の混合物を、80℃で攪拌しながら、1時間かけてホルマリン(ホルムアルデヒドを質量分率で37%含有する)13.8部を滴下して加えた。滴下終了後、91℃に昇温して、同温度で10時間反応させた。反応後の反応混合物に、イオン交換水125部、メチルイソブチルケトン76部を加えて洗浄した。さらに、メチルイソブチルケトン51部、イオン交換水125部を加えて洗浄し、その後蒸留により脱水して、樹脂のメチルイソブチルケトン溶液145.5部を得た。得られた樹脂の溶液にメチルイソブチルケトン133部、n−ヘプタン363部を加えて分別し、樹脂層(液体)としてバインダー樹脂(B−c)を取り出した。このバインダー樹脂(B−c)に乳酸エチル145.8部を加えて、バインダー樹脂(B−c)の乳酸エチル溶液(固形分:33%)を得た。バインダー樹脂(B−c)の重量平均分子量(GPC、ポリスチレン換算)は、1.3×104であった。
式(3−I)で示される化合物〔商品名;PIPE−CD;三井化学(株)製〕50.8部、メチルイソブチルケトン50.8部及びシュウ酸9.5部の混合物を、80℃で攪拌しながら、1時間かけてホルマリン(ホルムアルデヒドを質量分率で37%含有する)13.8部を滴下して加えた。滴下終了後、91℃に昇温して、同温度で10時間反応させた。反応後の反応混合物に、イオン交換水125部、メチルイソブチルケトン76部を加えて洗浄した。さらに、メチルイソブチルケトン51部、イオン交換水125部を加えて洗浄し、その後蒸留により脱水して、樹脂のメチルイソブチルケトン溶液145.5部を得た。得られた樹脂の溶液にメチルイソブチルケトン133部、n−ヘプタン363部を加えて分別し、樹脂層(液体)としてバインダー樹脂(B−c)を取り出した。このバインダー樹脂(B−c)に乳酸エチル145.8部を加えて、バインダー樹脂(B−c)の乳酸エチル溶液(固形分:33%)を得た。バインダー樹脂(B−c)の重量平均分子量(GPC、ポリスチレン換算)は、1.3×104であった。
[合成例3]
内容積3000mlの三ツ口フラスコにm−クレゾール17.6部、p−クレゾール17.6部、2,5−キシレノール15.9部、メチルイソブチルケトン47.6部、10%シュウ酸水9.7部、酢酸10.0部を仕込み100℃の油浴で加熱攪拌しながら37.0%ホルマリン水溶液27.0部を40分かけて滴下した。その後、さらに15時間反応させた。反応後、水洗脱水してバインダー樹脂(樹脂B−d)のメチルイソブチルケトン溶液(固形分:50%)103.6部を得た。得られたバインダー樹脂(樹脂B−d)の重量平均分子量(GPC、ポリスチレン換算)は、4.3×103であった。
内容積3000mlの三ツ口フラスコにm−クレゾール17.6部、p−クレゾール17.6部、2,5−キシレノール15.9部、メチルイソブチルケトン47.6部、10%シュウ酸水9.7部、酢酸10.0部を仕込み100℃の油浴で加熱攪拌しながら37.0%ホルマリン水溶液27.0部を40分かけて滴下した。その後、さらに15時間反応させた。反応後、水洗脱水してバインダー樹脂(樹脂B−d)のメチルイソブチルケトン溶液(固形分:50%)103.6部を得た。得られたバインダー樹脂(樹脂B−d)の重量平均分子量(GPC、ポリスチレン換算)は、4.3×103であった。
前記の樹脂Bb、Bc、Bdのポリスチレン換算重量平均分子量(Mw)の測定については、GPC法を用いて、以下の条件で行った。
装置 ;HLC-8120GPC(東ソー(株)製)
カラム ;TSK−GELG4000HXL+TSK−GELG2000HXL(直列接続)
カラム温度 ;40℃
溶剤 ;THF
流速 ;1.0mL/min
注入量 ;50μL
検出器 ;RI
測定試料濃度 ;0.6質量%(溶剤;THF)
校正用標準物質;TSK STANDARD POLYSTYRENE F−40、F−4、F−1、A−2500、A−500(東ソー(株)製)
装置 ;HLC-8120GPC(東ソー(株)製)
カラム ;TSK−GELG4000HXL+TSK−GELG2000HXL(直列接続)
カラム温度 ;40℃
溶剤 ;THF
流速 ;1.0mL/min
注入量 ;50μL
検出器 ;RI
測定試料濃度 ;0.6質量%(溶剤;THF)
校正用標準物質;TSK STANDARD POLYSTYRENE F−40、F−4、F−1、A−2500、A−500(東ソー(株)製)
[実施例1]
(A)着色剤:式(A−I)で表される着色剤(以下、「着色剤A−a」とする) 21部、
(A)着色剤:C.I.ソルベントオレンジ56 20部、
(A)着色剤:C.I.ソルベントイエロー162 18部、
(B)バインダー樹脂:樹脂B−a 2部(固形分換算2部)、
※ 樹脂B−a;マルカリンカーCST−15〔丸善石油化学(株)製〕(スチレンとヒドロキシスチレンの共重合体。全共重合体ユニットに対してヒドロキシスチレンの割合が15モル%、重量平均分子量9.0×103(カタログ値))
(C)感光剤:o−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸と下記式(C−I)で表される化合物とのエステル化物(以下、「感光剤C−a」とする) 24部、
(D)硬化剤:ヘキサメトキシメチロールメラミン 13部、
(E)溶剤:乳酸エチル 128部、
(E)溶剤:ジアセトンアルコール 150部、
(E)溶剤:1−メトキシ−2−プロパノール 150部
(F)塩基性化合物:p−アミノフェノール 3部(着色硬化性樹脂組成物の固形分量100部に対して3部)、
を混合して、着色硬化性樹脂組成物1を得た。なお、着色硬化性樹脂組成物に対して50ppmのシリコーン系界面活性剤〔SH8400:東レ・ダウコーニング製〕を添加した。
(A)着色剤:式(A−I)で表される着色剤(以下、「着色剤A−a」とする) 21部、
(A)着色剤:C.I.ソルベントオレンジ56 20部、
(A)着色剤:C.I.ソルベントイエロー162 18部、
(B)バインダー樹脂:樹脂B−a 2部(固形分換算2部)、
※ 樹脂B−a;マルカリンカーCST−15〔丸善石油化学(株)製〕(スチレンとヒドロキシスチレンの共重合体。全共重合体ユニットに対してヒドロキシスチレンの割合が15モル%、重量平均分子量9.0×103(カタログ値))
(C)感光剤:o−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸と下記式(C−I)で表される化合物とのエステル化物(以下、「感光剤C−a」とする) 24部、
(D)硬化剤:ヘキサメトキシメチロールメラミン 13部、
(E)溶剤:乳酸エチル 128部、
(E)溶剤:ジアセトンアルコール 150部、
(E)溶剤:1−メトキシ−2−プロパノール 150部
(F)塩基性化合物:p−アミノフェノール 3部(着色硬化性樹脂組成物の固形分量100部に対して3部)、
を混合して、着色硬化性樹脂組成物1を得た。なお、着色硬化性樹脂組成物に対して50ppmのシリコーン系界面活性剤〔SH8400:東レ・ダウコーニング製〕を添加した。
得られた着色硬化性樹脂組成物1について、下記の方法により、その評価を行った。結果を表3に示す。
<パターン形成>
シリコンウェハ上にポリグリシジルメタクリレート樹脂を主成分とした平坦化膜形成材をスピンコート法により塗布し、120℃で2分間加熱して揮発成分を除去し、0.96μmの膜厚の支持体を形成した。該支持体上に、プリベーク後の膜厚が1.00±0.05μmとなるように、着色硬化性組成物1をスピンコート法により塗布した。次いで100℃で1分間プリベークして、塗膜を形成した。その後、露光機〔NSR−1755i7A;(株)ニコン製〕を用いて、i線を照射した。
なお、フォトマスクとして、3μm角の市松状パターンを形成するためのフォトマスクを用いた。
照射後、現像液〔2.38%TMAH水溶液、23℃〕に1分間浸漬し、現像した。現像後、水洗、乾燥をして、赤色パターンを得た。得られたパターンの膜厚は、膜厚測定装置〔Axiospeed;Zeiss社製〕を用いて測定したところ、0.95μmであった。
シリコンウェハ上にポリグリシジルメタクリレート樹脂を主成分とした平坦化膜形成材をスピンコート法により塗布し、120℃で2分間加熱して揮発成分を除去し、0.96μmの膜厚の支持体を形成した。該支持体上に、プリベーク後の膜厚が1.00±0.05μmとなるように、着色硬化性組成物1をスピンコート法により塗布した。次いで100℃で1分間プリベークして、塗膜を形成した。その後、露光機〔NSR−1755i7A;(株)ニコン製〕を用いて、i線を照射した。
なお、フォトマスクとして、3μm角の市松状パターンを形成するためのフォトマスクを用いた。
照射後、現像液〔2.38%TMAH水溶液、23℃〕に1分間浸漬し、現像した。現像後、水洗、乾燥をして、赤色パターンを得た。得られたパターンの膜厚は、膜厚測定装置〔Axiospeed;Zeiss社製〕を用いて測定したところ、0.95μmであった。
<現像ムラ評価>
得られたパターンを、走査型電子顕微鏡〔S−4000;(株)日立製作所製〕でパターン上面から観察した。現像ムラが生じていないものを良好と、生じているものを不良と判断した。良好である場合を○として、結果を表3に示す。
得られたパターンを、走査型電子顕微鏡〔S−4000;(株)日立製作所製〕でパターン上面から観察した。現像ムラが生じていないものを良好と、生じているものを不良と判断した。良好である場合を○として、結果を表3に示す。
[実施例2〜10、比較例1]
表1及び表2に示す組成となるように、実施例1と同様にして、着色硬化性樹脂組成物を調製し、得られた着色硬化性樹脂組成物について、実施例1と同様にしてその評価を行った。結果を表3に示す。
表1及び表2に示す組成となるように、実施例1と同様にして、着色硬化性樹脂組成物を調製し、得られた着色硬化性樹脂組成物について、実施例1と同様にしてその評価を行った。結果を表3に示す。
本発明の着色硬化性樹脂組成物からなる塗膜は、塗膜の現像ムラが生じないことがわかった。一方、比較例の着色硬化性樹脂組成物からは、現像ムラを生じない塗膜を形成することができなかった。
本発明の着色硬化性樹脂組成物によれば、現像ムラを生じない塗膜を形成することができる。
Claims (7)
- 着色剤(A)、バインダー樹脂(B)、感光剤(C)、硬化剤(D)、溶剤(E)及び塩基性化合物(F)を含有し、着色剤(A)が、式(1)で表される化合物を含み、かつ、塩基性化合物(F)が、式(F−1)、式(F−1a)又は式(F−1b)で表される化合物を含む、着色硬化性樹脂組成物。
R5は、−SO3 −、−SO3H、SO3M、−CO2H、−CO2R6、−SO3R6、−SO2NHR8又は−SO2NR8R9を表す。
mは、0〜5の整数を表す。mが2以上の整数である場合、複数のR5は、同一であっても異なっていてもよい。
Xは、ハロゲン原子を表す。
aは、0又は1の整数を表す。
R6は、炭素数1〜10の飽和炭化水素基を表す。該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子で置換されていてもよい。該飽和炭化水素基に含まれるメチレン基は、酸素原子、カルボニル基又は−NR7−で置換されていてもよい。
R7は、炭素数1〜10の飽和炭化水素基を表す。該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子で置換されていてもよい。該飽和炭化水素基に含まれるメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基で置換されていてもよい。
R8及びR9は、それぞれ独立に、炭素数1〜10の直鎖又は分岐のアルキル基、炭素数3〜30のシクロアルキル基又は−Qを表す。あるいはR8及びR9は、互いに結合して炭素数1〜10の複素環を形成していてもよい。
Qは、炭素数6〜10の芳香族炭化水素基又は炭素数5〜10の芳香族複素環基を表し、該芳香族炭化水素基及び芳香族複素環基に含まれる水素原子は、−OH、−R6、−OR6、−NO2、−CH=CH2、−CH=CHR6又はハロゲン原子で置換されていてもよい。
炭素数1〜10の直鎖又は分岐のアルキル基及び炭素数3〜30のシクロアルキル基に含まれる水素原子は、水酸基、ハロゲン原子、−Q、−CH=CH2又は−CH=CHR6で置換されていてもよい。炭素数1〜10の直鎖又は分岐のアルキル基及び炭素数3〜30のシクロアルキル基に含まれるメチレン基は、酸素原子、カルボニル基又は−NR6−で置換されていてもよい。炭素数1〜10の複素環に含まれる水素原子は、−R6、−OH又は−Qで置換されていてもよい。
Mは、ナトリウム原子又はカリウム原子を表す。]
Ra〜Rcのうちいずれか2つは環を形成してもよい。
ただし、Ra〜Rcの少なくとも1つは、該直鎖状アルキル基、該分岐状アルキル基、該シクロアルキル基又は該アリール基を表す。]
- 塩基性化合物(F)の含有量が、着色硬化性樹脂組成物の固形分に対して、1〜5質量%である請求項1に記載の着色硬化性樹脂組成物。
- 溶剤(E)が、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテル及びジアセトンアルコールからなる群から選ばれる少なくとも2種の溶剤を含んでなる溶剤である請求項1又は2に記載の着色硬化性樹脂組成物。
- 感光剤(C)が、ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルである請求項1〜3のいずれかに記載の着色硬化性樹脂組成物。
- 請求項1〜5のいずれかに記載の着色硬化性樹脂組成物を用いて形成される塗膜。
- 請求項1〜5のいずれかに記載の着色硬化性樹脂組成物を用いて形成されるカラーフィルタ。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013007032A (ja) * | 2011-05-23 | 2013-01-10 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 着色硬化性樹脂組成物 |
JP2013166905A (ja) * | 2012-02-17 | 2013-08-29 | Mei Clean:Kk | 表面修復材 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07134207A (ja) * | 1993-11-11 | 1995-05-23 | Sumitomo Chem Co Ltd | カラーフィルター |
JP2000221675A (ja) * | 1999-02-01 | 2000-08-11 | Jsr Corp | カラーフィルタ用感放射線性組成物 |
JP2002014220A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-01-18 | Sumitomo Chem Co Ltd | 赤色フィルタ層を有する色フィルタアレイおよびその製造方法 |
JP2002278056A (ja) * | 2001-03-16 | 2002-09-27 | Sumitomo Chem Co Ltd | 着色感光性樹脂組成物 |
JP2006010911A (ja) * | 2004-06-24 | 2006-01-12 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 着色感光性組成物 |
-
2009
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07134207A (ja) * | 1993-11-11 | 1995-05-23 | Sumitomo Chem Co Ltd | カラーフィルター |
JP2000221675A (ja) * | 1999-02-01 | 2000-08-11 | Jsr Corp | カラーフィルタ用感放射線性組成物 |
JP2002014220A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-01-18 | Sumitomo Chem Co Ltd | 赤色フィルタ層を有する色フィルタアレイおよびその製造方法 |
JP2002278056A (ja) * | 2001-03-16 | 2002-09-27 | Sumitomo Chem Co Ltd | 着色感光性樹脂組成物 |
JP2006010911A (ja) * | 2004-06-24 | 2006-01-12 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 着色感光性組成物 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013007032A (ja) * | 2011-05-23 | 2013-01-10 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 着色硬化性樹脂組成物 |
JP2013166905A (ja) * | 2012-02-17 | 2013-08-29 | Mei Clean:Kk | 表面修復材 |
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