JP2011029468A - 多数個取り配線基板 - Google Patents
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Abstract
【課題】 個片の配線基板におけるバリ等の不具合を生じることなく、分割溝に沿って容易に分割することが可能な多数個取り配線基板を提供する。
【解決手段】 母基板1に四角形状の配線基板領域2が縦横の並びに配列形成されているとともに、配線基板領域2の周囲にダミー領域3が設けられ、配線基板領域2とダミー領域3との境界4に分割溝5が形成された多数個取り配線基板9であって、配線基板領域2の角部分に、母基板1を厚み方向に貫通する貫通孔7が、配線基板領域2の角部分を切り取るとともに配線基板領域2の角部分に隣接した辺部分の外縁を帯状に切り取るように配線基板領域2からダミー領域3にかけて形成されており、貫通孔7の境界4と交わる端部分が境界4と直交する直線状である多数個取り配線基板9である。貫通孔7の端部分が分割溝5と直交するため、分割溝5と貫通孔7との間に不要な破断が生じにくく、バリ等の発生を抑制できる。
【選択図】 図1
【解決手段】 母基板1に四角形状の配線基板領域2が縦横の並びに配列形成されているとともに、配線基板領域2の周囲にダミー領域3が設けられ、配線基板領域2とダミー領域3との境界4に分割溝5が形成された多数個取り配線基板9であって、配線基板領域2の角部分に、母基板1を厚み方向に貫通する貫通孔7が、配線基板領域2の角部分を切り取るとともに配線基板領域2の角部分に隣接した辺部分の外縁を帯状に切り取るように配線基板領域2からダミー領域3にかけて形成されており、貫通孔7の境界4と交わる端部分が境界4と直交する直線状である多数個取り配線基板9である。貫通孔7の端部分が分割溝5と直交するため、分割溝5と貫通孔7との間に不要な破断が生じにくく、バリ等の発生を抑制できる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、複数の配線基板領域が母基板に縦横の並びに配列されているとともに配線基板領域の周囲にダミー領域が設けられ、配線基板領域とダミー領域との境界に沿って分割溝が形成された多数個取り配線基板に関するものである。
従来、半導体素子や弾性表面波素子等の電子部品を搭載するために用いられる配線基板は、酸化アルミニウム質焼結体やガラスセラミック焼結体等のセラミック焼結体からなる四角形板状の絶縁基板の上面に電子部品を搭載するための搭載部を有し、この搭載部またはその周辺から絶縁基板の側面や下面にかけてタングステン等の金属材料から成る複数の配線導体が形成された構造を有している。
このような配線基板は、一般に、1枚の広面積の母基板から複数個の配線基板を同時集約的に得るようにした、いわゆる多数個取り配線基板の形態で製作されている。
多数個取り配線基板は、例えば、平板状の母基板に配線基板となる複数の配線基板領域が縦横の並びに配列されているとともに、その配線基板領域の周囲にダミー領域が設けられた構造を有している。ダミー領域は、複数の配線基板領域の配線導体にめっき用の電流を供給するためのめっき用引き出し線を配置するためのスペースを確保することや、多数個取り配線基板の取り扱いを容易とすること等のために設けられている。
このような多数個取り配線基板は、通常、あらかじめ配線基板領域とダミー領域との境界に分割溝を形成しておいて、この分割溝に沿って曲げ応力を加えて母基板を破断させる方法で個片の配線基板に分割される。
なお、個片の配線基板における四角板状の絶縁基板は、角部分が欠けたり割れたりしやすいため、その角部分を切り取った形状とする(いわゆる面取りを施す)ことが行なわれている。そのため、一般に、多数個取り配線基板における配線基板領域の角部分には、角部分を切り取るような三角形状等の貫通孔が形成されている。また、例えば、特許文献1に記載されているように、その三角形の鋭角部分についてアールを付すとともにダミー領域(耳部)に位置させるようにして、角部分における欠けや割れの発生を抑えることが提案されている。
しかしながら、上記従来の技術においては、例えば特許文献1に記載されているような形状の貫通孔を形成したとしても、図5に示すように、母基板1を分割線に沿って分割するときに加わる応力により、分割溝から貫通孔の角部分(アールを付されている場合も含む)付近にかけて母基板に破断が生じる可能性がある。図5は、従来の多数個取り配線基板における問題点を模式的に説明するための拡大平面図である。
すなわち、分割溝と貫通孔の外周とが鋭角で交わる(接する)部分があり、この部分では母基板の機械的な強度が比較的低い。そのため、母基板を個片に分割するための応力を加えたときに、分割溝から外れて、いわゆるショートカットで分割溝から貫通孔にかけて母基板の破断が進む可能性がある。そのため、個片の配線基板において外側面にバリ等の不具合を生じる場合があるという問題点があった。
このような破断は、近年の配線基板(母基板)の薄型化に伴う機械的な強度の低下に応じて発生しやすくなってきている。
本発明はこのような従来の問題点に鑑みて完成されたものであり、その目的は、配線基板領域とその周囲のダミー領域との境界に形成された分割溝に沿って母基板を分割する多数個取り配線基板において、個片の配線基板におけるバリ等の不具合を生じることなく容易に分割することが可能な多数個取り配線基板を提供することにある。
本発明の多数個取り配線基板は、セラミック焼結体からなる母基板に四角形状の複数の配線基板領域が縦横の並びに配列形成されているとともに、該配線基板領域の周囲にダミー領域が設けられ、前記配線基板領域と前記ダミー領域との境界に分割溝が形成された多数個取り配線基板であって、前記配線基板領域の角部分に、前記母基板を厚み方向に貫通する貫通孔が、前記配線基板領域の角部分を切り取るとともに前記配線基板領域の前記角部に隣接した辺部分の外縁を帯状に切り取るように前記配線基板領域から前記ダミー領域にかけて形成されており、前記貫通孔の前記境界と交わる端部分が前記境界と直交する直線状であることを特徴とするものである。
本発明の多数個取り配線基板によれば、四角形状の配線基板領域の角部分に、母基板を厚み方向に貫通する貫通孔が、配線基板領域の角部分を切り取るように形成されていることから、個片の配線基板における絶縁基板の角部分が切り取られたものとすることができる。また、この貫通孔は、配線基板領域の角部に隣接した辺部分の外縁を帯状に切り取るように配線基板領域からダミー領域にかけて形成されており、貫通孔の境界と交わる端部分が境界と直交する直線状であることから、その外周について配線基板領域の境界(境界に形成された分割溝)に対して鋭角に交わるような部分がない。そのため、母基板を分割するときに、分割溝から外れて貫通孔に向かう、個片の配線基板におけるバリを生じるような破断が生じることは効果的に抑制される。
また、この貫通孔は、配線基板領域の角部分に隣接した辺部分の外縁を帯状に切り取るため、配線基板領域の角部分の切り取られた端が分割溝に直接接しない。そのため、分割溝に沿って母基板を分割するときの応力(母基板が割れるときの機械的な衝撃等)で配線基板領域の切り取られた角部分の端に欠けや割れ等を生じるようなことも効果的に抑制される。
また、この貫通孔は、配線基板領域の境界と交わる端部分が直線状であり、この直線状の部分が配線基板領域からダミー領域にかけて、ある程度の長さで延びているので、分割溝の位置が多少ずれたとしても、分割溝に対して端部分が直交したものとすることができる。
したがって、本発明によれば、個片の配線基板におけるバリ等の不具合を生じることなく容易に分割することが可能な多数個取り配線基板を提供することができる。
本発明の多数個取り配線基板について、添付の図面を参照しつつ説明する。
図1(a)は本発明の多数個取り配線基板の実施の形態の一例を示す平面図であり、図1(b)は図1(a)の要部を拡大して示す要部拡大平面図である。図1において、1は母基板、2は配線基板領域、3はダミー領域、4は配線基板領域2とダミー領域3との境界、5は分割溝である。配線基板領域2およびダミー領域3を有する母基板1に分割溝5が形成されて多数個取り配線基板9が基本的に構成されている。
母基板1は、例えば酸化アルミニウム質焼結体やガラスセラミック焼結体,窒化アルミニウム質焼結体,炭化珪素質焼結体,窒化珪素質焼結体,ムライト質焼結体等のセラミック焼結体からなる絶縁材料により形成されている。
母基板1は、例えば酸化アルミニウム質焼結体からなる場合であれば、まず、酸化アルミニウムや酸化ケイ素,酸化カルシウム等の原料粉末に有機溶剤およびバインダを添加して作製したスラリーを、ドクターブレード法やリップコータ法等の方法でシート状に成形してセラミックグリーンシートを作製し、次に、このセラミックグリーンシートを所定の寸法に切断した後に積層して積層体とし、この積層体を約1300〜1600℃の温度で焼成する方法で製作することができる。
母基板1に配列された複数の配線基板領域2は、分割溝5に沿って分割した後にそれぞれが図2に示すような個片の配線基板19となる領域である。なお、図2は図1に示す多数個取り配線基板9が個片に分割されてなる配線基板19を示す平面図である。図2において、11は絶縁基板であり、図1と同様の部位には同様の符号を付している。
配線基板領域2の表面(図1に示す例では上面)には電子部品の搭載部2aが設けられ、搭載部2aから配線基板領域2における母基板1の下面等の外表面にかけて配線導体6が形成されている。配線導体6は、搭載部2aに搭載される電子部品を配線基板領域2(個片の配線基板19)の外表面に電気的に導出するためのものである。
搭載部2aに搭載される電子部品(図示せず)としては、ICやLSI等の半導体集積回路素子、およびLED(発光ダイオード)やPD(フォトダイオード),CCD(電荷結合素子)等の光半導体素子を含む半導体素子、弾性表面波素子や水晶振動子等の圧電素子、容量素子、抵抗器、半導体基板の表面に微小な電子機械機構が形成されてなるマイクロマシン(いわゆるMEMS素子)等の種々の電子部品が挙げられる。
電子部品は、搭載部2aに、例えばエポキシ系樹脂,ポリイミド系樹脂,アクリル系樹脂,シリコーン系樹脂,ポリエーテルアミド系樹脂等の樹脂接着剤や、Au−Sn,Sn−Ag−Cu,Sn−Cu,Sn−Pb等のはんだや、ガラス等で接着される。
電子部品と配線導体6との電気的な接続は、例えば、配線導体6のうち搭載部2aの周辺に露出している部位に電子部品の電極(図示せず)を、ボンディングワイヤやはんだ等の導電性接続材(図示せず)を介して接続することにより行なうことができる。
配線導体6は、タングステンやモリブデン,マンガン,銅,銀,パラジウム,白金,金等の金属材料により形成されている。
配線導体6は、例えば、タングステンからなる場合であれば、タングステンの粉末を有機溶剤,バインダとともに混練して作製した金属ペーストを、母基板1となるセラミックグリーンシートにスクリーン印刷法等の印刷法で金属ペーストを印刷しておき、上記の積層体と同時焼成する方法で形成することができる。
また、ダミー領域3は、複数の配線基板領域2の配線導体6にめっき用の電流を供給するためのめっき用引き出し線(図示せず)を形成するためのスペースを確保することや、多数個取り配線基板9の取り扱いを容易とすること等のために設けられている。めっき用引き出し線は、例えば配線導体6と同様の材料を用い、同様の方法で形成することができる。
この配線基板領域2とダミー領域3との境界4に沿って、母基板1の上面および下面の少なくとも一方に分割溝5が形成されている。分割溝5は、例えば断面がV字状等の、先端(底部)で幅が細くなるような形状である。そして、母基板1に対して分割溝5に沿って曲げ応力等の力を加えれば、分割溝5の先端において母基板1に応力が集中して、この先端から母基板1の反対側の表面にかけて亀裂が生じて母基板1が破断し、配線基板領域2が分割されて個片の配線基板19になる。
分割溝5は、例えば、母基板1となるセラミックグリーンシートの積層体の上面および下面の少なくとも一方に、配線基板領域2とダミー領域3との境界4に沿ってカッター刃等で溝状の切り込みを入れる方法で形成することができる。カッター刃は、例えば縦断面がV字状であり、このカッター刃の縦断面の形状に応じた溝状の切り込みが母基板1となるセラミックグリーンシートの積層体に形成される。そして、この積層体を焼成すれば、分割溝5が形成された母基板1を作製することができる。
また、この多数個取り配線基板9において、四角形状の配線基板領域2の角部分に、母基板1を厚み方向に貫通する貫通孔7が、配線基板領域2の角部分を切り取るとともに、角部に隣接した辺部分の外縁を帯状に切り取るように配線基板領域2からダミー領域3にかけて形成されており、貫通孔7の境界4と交わる端部分が境界4と直交する直線状である。
本例の多数個取り配線基板9は、上記の構成を備えていることから、個片の配線基板19における絶縁基板11の角部分が切り取られたものとすることができるとともに、母基板1を分割するときに、分割溝5から貫通孔7に向かって個片の配線基板19におけるバリを生じるような破断が生じることが効果的に抑制される。
すなわち、貫通孔7が、配線基板領域2の角部分を切り取る形状であることから、この配線基板領域2が個片に分割されてなる配線基板19においても、絶縁基板11の角部分が切り取られた形状とすることができる。
また、この貫通孔7は、配線基板領域2の角部分に隣接した辺部分の外縁を帯状に切り取るように配線基板領域2からダミー領域3にかけて形成されており、貫通孔7の境界4と交わる端部分が境界4と直交する直線状であることから、配線基板領域2の境界4(境界4に沿って形成された分割溝5)に対して鋭角に交わるような部分がない。そのため、母基板1を分割させるときに、分割溝5から貫通孔7に向かって、個片の配線基板19におけるバリを生じるような破断が生じることは効果的に抑制される。
また、この貫通孔7は、配線基板領域2の角部分に隣接した辺部分の外縁を帯状に切り取るため、配線基板領域2の角部分の切り取られた端が分割溝5に直接接しない。そのため、分割溝5に沿って母基板1を分割するときの応力(母基板1が割れるときの機械的な衝撃等)で、配線基板領域2の切り取られた角部分の端に欠けや割れ等を生じるようなことも効果的に抑制される。
また、この貫通孔7は、配線基板領域2の境界4と交わる端部分が直線状であり、この直線状の部分が配線基板領域2からダミー領域3にかけてある程度の長さで延びているので、分割溝5の位置が多少ずれたとしても、分割溝5に対して端部分が直交したものとすることができる。
したがって、個片の配線基板19におけるバリ等の不具合を生じることなく容易に分割することが可能な多数個取り配線基板9を提供することができる。
つまり、この多数個取り配線基板9は、母基板1に応力が加わって分割(破断)される分割溝5の近くに、バリや欠け,割れ等の不具合を誘発するような部分がないため、個片の配線基板19におけるバリ等の不具合を生じることなく容易に分割することができる。
貫通孔7は、配線基板領域2の角部分を切り取るとともに、角部分に隣接した辺部分の外縁を帯状に切り取ることができ、境界4と交わる端部分が境界4と直交する直線状であれば、図1(b)に示した形状に限らず、他の形状であってもよい。
例えば、図3は、配線基板領域2の角部分を円弧状に切り取る貫通孔7の例である。この例では、配線基板領域2の外周について、円弧状に切り取られた角部分と帯状に外縁が切り取られた辺部分との間に角が生じないようすることが容易であり、配線基板領域2の切り取られた角部分の端に欠けや割れ等を生じることがより効果的に抑制される。
また、例えば図4に示すような貫通孔7について、角部分に隣接した辺部分における外縁を帯状に切り取る長さ(配線基板領域2の境界4に沿った方向における寸法)Lは、配線基板領域2の寸法や、母基板1の厚みおよび材料等の、母基板1の機械的な強度に影響を与える条件等に応じて適宜設定すればよい。例えば、母基板1の厚みが厚いほど、また材料の機械的な強度が高いほど、帯状に切り取る長さを大きくすればよい。なお、図4は、図1(b)における要部をさらに拡大して示す要部拡大平面図である。図4において図1と同様の部位には同様に符号を付している。
母基板1が酸化アルミニウム質焼結体からなり、厚みが約0.5〜1.5mm程度の範囲であれば、上記帯状に切り取る長さLは約1.0〜1.5mmに設定すればよい。また、この母基板1の厚みが0.5mm未満のときには、上記帯状に切り取る長さLは約0.8〜1.2mm程度に設定すればよい。
また、この角部分に隣接した辺部分における外縁を帯状に切り取る幅(切り取る長さLと直交する方向における寸法)Wは、配線基板領域2の寸法や配線導体6の位置等に応じて適宜設定すればよい。なお、分割溝5の位置が多少ずれたときに配線基板領域2の切り取られた角部分の端が直接に分割溝5と接するのを避けるようにするには、切り取る幅Wは約0.15mm以上に設定すればよい。
また、貫通孔7について、配線基板領域2の境界4と直交する端部分は、例えば図1(b)に示すように配線基板領域2からダミー領域3にかけて直線状に延びた形状である。この、貫通孔7の端部分における幅Aは、例えば切り取る幅Wの2倍程度に設定すればよい。
ここで、上記の多数個取り配線基板9について、従来技術の多数個取り配線基板(図示せず)とバリ等の発生の有無を比較した実施例を説明する。
実施例として作製した多数個取り配線基板は、酸化アルミニウム質焼結体からなる、厚みが約0.7mmの母基板1に、1辺の長さが約15mmの正方形状の配線基板領域2を5×5(個)の並びに配列し、各配線基板領域2の周囲に幅が約3.5mmのダミー領域3を設けたものとした。また、配線基板領域2とダミー領域3との境界4に沿って、母基板1の上面に分割溝5を形成し、配線基板領域2の角部分に貫通孔7を形成した。貫通孔7は、図1(b)に示す形状とし、配線基板領域2の角部分を三角形状(1辺の長さが約1.3mmの正三角形状)に切り取るとともに、角部分に隣接した辺部分の外縁を、切り取る幅Wが約0.2mmで切り取る長さLが約1.0mmの帯状に切り取るものとした。
また、比較例とした従来技術の多数個取り配線基板は、実施例と同様の材料および寸法の多数個取り配線基板において配線基板領域(図示せず)の角部分を1辺の長さが約1.0mmの三角形状に切り取る貫通孔(図示せず)を設けたものを用い、図5に示す貫通孔のように、その三角形状の貫通孔の角(三角形の頂点)は円弧状に成形しておいた。
これら実施例の多数個取り配線基板9および比較例の多数個取り配線基板について、それぞれ40枚準備して、分割溝5に沿って曲げ応力を加えて分割した後、個片の配線基板19および比較例の多数個取り配線基板が分割されてなる配線基板(図示せず)の外側面におけるバリ,欠けおよび割れの有無を、倍率20倍の双眼顕微鏡を用いて確認した。
その結果、実施例の多数個取り配線基板9を分割して作製した配線基板19においては、確認した1000個中にバリ等の発生は0個であった。これに対し、比較例の多数個取り配線基板を分割して作製した配線基板においては、確認した1000個中に12個の配線基板において角部分の近くにバリの発生が見られた。この結果、本発明の多数個取り配線基板9における、バリ等の不具合を生じることなく容易に分割できるようにする効果を確認することができた。
また、この実施例の多数個取り配線基板9において、貫通孔7は、配線基板領域2の角部分に隣接した辺部分の外縁を帯状に切り取るため、分割された個片の配線基板19の角部は、例えば図2に示した例のように、単純な直線状ではなく、帯状に切り取る幅Wに応じて段状になる。そのため、四角板状の絶縁基板11の切り取られた角部分の端11aが絶縁基体11の辺部分に対して内側に引っ込んだようになり、配線基板19を取り扱う際に、角部分が搬送用のケースや実装用の治具等に引っ掛かるような不具合の発生を抑制する上でも有効である。
1・・・母基板
2・・・配線基板領域
2a・・搭載部
3・・・ダミー領域
4・・・境界
5・・・分割溝
6・・・配線導体
7・・・貫通孔
9・・・多数個取り配線基板
11・・・絶縁基板
11a・・絶縁基板の切り取られた角部分の端
19・・・配線基板
2・・・配線基板領域
2a・・搭載部
3・・・ダミー領域
4・・・境界
5・・・分割溝
6・・・配線導体
7・・・貫通孔
9・・・多数個取り配線基板
11・・・絶縁基板
11a・・絶縁基板の切り取られた角部分の端
19・・・配線基板
Claims (1)
- セラミック焼結体からなる母基板に四角形状の複数の配線基板領域が縦横の並びに配列形成されているとともに、該配線基板領域の周囲にダミー領域が設けられ、前記配線基板領域と前記ダミー領域との境界に分割溝が形成された多数個取り配線基板であって、前記配線基板領域の角部分に、前記母基板を厚み方向に貫通する貫通孔が、前記配線基板領域の角部分を切り取るとともに前記配線基板領域の前記角部分に隣接した辺部分の外縁を帯状に切り取るように前記配線基板領域から前記ダミー領域にかけて形成されており、前記貫通孔の前記境界と交わる端部分が前記境界と直交する直線状であることを特徴とする多数個取り配線基板。
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