JP2011027995A - 検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】手押し検査の際に、検査対象板の端子とプローブとのズレを防止する。
【解決手段】検査対象板を検査する検査装置である。前記検査対象板に接触して検査信号を印可するプローブユニットを備えた。このプローブユニットは、装置のフレーム側に固定されるプローブベースと、基端が当該プローブベースに支持され、先端に備えたプローブを前記検査対象板の各端子に臨ませて正確に位置決めして支持するプローブブロックと、前記検査対象板を支持してこの検査対象板のズレを防止する位置ズレ防止機構とを備えて構成した。
【選択図】図１

Description

本発明は、液晶パネル等の検査対象板の点灯検査中に行う手押し検査の際に生じる不具合を解消した検査装置に関するものである。

検査装置においては、例えば液晶パネルの点灯検査中に、この液晶パネルをオペレータが手で押して点灯状態を検査する工程がある。この検査工程においては、プローブユニットに取り付けられたプローブブロックの先端のプローブを、液晶パネルの各端子に接触させてこの液晶パネルを点灯させた状態で、液晶パネルをオペレータが手で押して点灯状態を検査する。しかしこの場合、液晶パネルは、オペレータによって手で押されることで僅かに撓む。これにより、プローブと端子とが互いにずれてしまうことがある。そして、プローブと端子とが互いにずれてしまえば、点灯試験ができなくなってしまうため、液晶パネルを確実に固定する必要がある。

検査装置において液晶パネルを固定する例としては、特許文献１に記載の液晶パネル用検査ステージがある。この液晶パネル用検査ステージは、四角形の液晶パネルの４つの辺のうちの隣り合う２つの辺を受けて支持するためにワークテーブルのパネル受け面から突出する第１および第２のストッパ手段と、これらのストッパ手段に対向して設けられて前記液晶パネルの各辺を両ストッパ手段に当接させるべく液晶パネルを押圧する押圧手段とを備えている。これにより、パネル受け面上において液晶パネルの４つの辺を、各ストッパ手段と各押圧手段により押圧して支持し、液晶パネルを安定した状態で正確に検査することができる。

また、特許文献２に記載の液晶表示パネルの検査装置では、検査ステージの傾きを抑える手段が設けられている。即ち、プローブが液晶表示パネルの端子に接触して押圧されたときに、このプローブによって偏荷重が検査ステージに作用しても、そのときの検査ステージの傾きを抑えて、液晶表示パネルとプローブとの位置ずれを可能な限り小さくするための押圧手段が設けられている。この押圧手段は、プローブに起因する荷重と同じ荷重を反対の箇所に作用させる手段である。即ち、押圧手段は、液晶表示パネルの表示領域を挟んで、プローブの作用箇所の反対に位置する箇所に、プローブに起因する荷重と同じ荷重を作用させる。これにより、プローブの荷重に起因する検査ステージの傾きが押圧手段による偏荷重により押えられ、液晶表示パネルとプローブとの位置ずれが小さくなる。

特開平１１−１４９５６号公報 特開平１０−３３３１１１号公報

ところが、従来の検査装置では、パネルの点灯検査中の前記手押し検査によるパネルの位置ズレを解消することができなかった。

特許文献１の固定手段による固定では、液晶パネルの対向する各辺から互いに押圧して支持する構成であるため、パネル面に垂直な方向に対しては、ストッパ手段や押圧手段以外の部分では固定されていない。このため、オペレータによる手押し検査が行われると、パネルがそのパネル面に垂直な方向に位置ズレを起こしてパネルの端子とプローブとの接触に影響を与え、点灯不良の原因になる。

また、特許文献２の検査装置では、検査ステージの傾きを抑える手段が設けられているが、この手段によって、オペレータによる手押し検査の際に、オペレータの手押しに起因する荷重と同じ荷重を反対の箇所に作用させることも考えられるが、現実的ではない。オペレータが任意の位置を手で押す場合は、端子とプローブがずれないようにバランスのとれた位置を特定することが難しい上に、その位置に移動して押す装置も複雑で大がかりになり現実的ではない。

本発明は、上述の問題点を解決するためになされたものであり、オペレータによる手押し検査の際に、パネルの端子とプローブとのズレを防止する検査装置を提供することを目的とする。

前記課題を解決するために本発明に係る検査装置は、検査対象板を検査する検査装置において、前記検査対象板に接触して検査信号を印可するプローブユニットを備え、当該プローブユニットが、装置のフレーム側に固定されるプローブベースと、基端が当該プローブベースに支持され、先端に備えたプローブを前記検査対象板の各端子に臨ませて正確に位置決めして支持するプローブブロックと、前記検査対象板を支持してこの検査対象板のズレを防止する位置ズレ防止機構とを備えて構成されたことを特徴とする。

前記位置ズレ防止機構で検査対象板を支持してこの検査対象板のズレを防止するため、オペレータによる手押し検査の際に、パネルの端子とプローブとのズレを確実に防止して、点灯検査を行うことができる。

本発明の実施形態に係る位置ズレ防止機構を示す側面断面図であって、図７のＡ−Ａ線矢視断面図である。 本発明の実施形態に係る検査装置を示す正面図である。 本発明の実施形態に係るプローブユニット及びワークテーブルの部分を示す断面図である。 本発明の実施形態に係るプローブユニット及びワークテーブルの部分を示す断面図である。 本発明の実施形態に係るプローブユニット及びワークテーブルの部分を示す平面図である。 本発明の実施形態に係る位置ズレ防止機構を示す側面断面図であって、図７のＢ−Ｂ線矢視断面図である。 本発明の実施形態に係る位置ズレ防止機構を示す平面図である。 本発明の第１変形例を示す側面断面図である。 本発明の第２変形例を示す側面断面図である。 本発明の第２変形例を示す要部拡大断面図である。

以下、本発明の実施形態に係る検査装置について、添付図面を参照しながら説明する。ここでは、検査装置と搬送装置を備えた検査装置において、検査対象板として液晶パネルを検査する場合を例に説明する。

検査装置１は、液晶パネル２を検査するための装置である。検査装置１は図２に示すように主に、検査状況等が表示されるモニタ４と、液晶パネル２の受け渡しをするローダ部５と、液晶パネル２を検査する検査部６とから構成されている。

モニタ４は、検査装置１の全体的な動作状況や検査の進行状況等を表示するための装置である。モニタ４は、検査部６の近傍の、作業者が見やすい位置に設置されている。

ローダ部５は、液晶パネル２を、検査部６及び外部装置との間で受け渡しするための装置である。ローダ部５はセットステージ(図示せず)を備えて構成されている。このセットステージは、外部から搬入された液晶パネル２を受け取り、検査部６へ送ると共に、検査が終了した検査部６からの液晶パネル２を受け取り、外部へ搬出する装置である。セットステージは、液晶パネル２を支持してＸＹＺθ方向に移動する機構を備えて液晶パネル２の位置調整を行うようになっている。セットステージは、液晶パネル２の位置を調整して、この液晶パネル２を検査部６へ搬送したり、外部装置との間で受け渡ししたりする。

検査部６は、ローダ部５から受け渡された液晶パネル２を直接検査するための装置である。検査部６は、図３〜５に示すように、ＸＹＺθステージ８と、ワークテーブル９と、プローブユニット１０とを備えている。

ＸＹＺθステージ８は、液晶パネル２を位置合わせして液晶パネル２の各端子(図示せず)と後述する各プローブ１８とを互いに整合させ接触させるための装置である。ＸＹＺθステージ８は、ワークテーブル９を、ＸＹＺ方向へ移動させる機能と、θ方向に回転させる機能とを備えている。ＸＹＺθステージ８内には、液晶パネル２を下側から照らすバックライト１１が設けられている。

ワークテーブル９は、液晶パネル２を直接支持するためのテーブルである。ワークテーブル９は、ワークテーブルベース１２を介してＸＹＺθステージ８に取り付けられている。これにより、ワークテーブル９に載置された液晶パネル２は、ＸＹＺθステージ８によってＸＹＺ軸方向へ移動され、θ方向へ回転されるようになっている。

プローブユニット１０は、液晶パネル２に接触して検査信号を印可するための装置である。プローブユニット１０は主に、プローブベース１４と、プローブブロック１５と、位置ズレ防止機構１６とから構成されている。

プローブベース１４は、検査装置１のフレーム(図示せず)側に固定される部材である。プローブベース１４は、検査装置１のフレーム側に固定されて、プローブブロック１５等を堅固に支持する。

プローブブロック１５は、その先端（下端）に備えたプローブ１８を、ワークテーブル９に載置された液晶パネル２の各端子に臨ませて正確に位置決めして支持するための部材である。プローブブロック１５は、液晶パネル２の端子配列に応じた数だけ取り付けられる。図２においては多数のプローブブロック１５が取り付けられているが、図３においては２つだけ取り付けられている。本発明は、プローブブロック１５の取り付け数が少ない場合に特に効果的である。

プローブブロック１５は主に、支持部２０と、プローブ組立体２１とを備えて構成されている。前記支持部２０は、その基端側が前記プローブベース１４に支持された状態で、その先端側でプローブ組立体２１を支持する。前記プローブ組立体２１は、支持部２０で支持された状態で、その先端側でプローブ１８を支持する。プローブ組立体２１は、各プローブ１８を、正確に支持して液晶パネル２の各端子に電気的にそれぞれ接触させて、検査信号を液晶パネル２の回路(図示せず)に印加させる。このプローブブロック１５としては、種々の構成のものを用いることができる。また、支持部２０には、プローブ組立体２１を上下にスライドできるようにスライド機構が設けられ、プローブ組立体２１の下端部のプローブ１８を任意に上下できるようになっている。これにより、複数のプローブブロック１５等との間で、プローブ１８の位置を調整できるようになっている。

プローブ１８は、液晶パネル２の回路の端子に直接接触する部材である。プローブ１８は、複数本並列に並べてプローブ組立体２１に一体的に支持されている。

位置ズレ防止機構１６は、液晶パネル２を支持してこの液晶パネル２のズレを防止するための装置である。位置ズレ防止機構１６は、プローブブロック１５を挟んでその両側位置に設けられている。位置ズレ防止機構１６は、任意の位置であって、液晶パネル２がずれない位置に１又は複数設けられている。位置ズレ防止機構１６の取り付け位置は、液晶パネル２の大きさ等の諸条件によって異なるため、個別に設置位置を特定する。

この位置ズレ防止機構１６は、図１，６，７に示すように、サスペンションベース２３と、固定機構２４と、サスペンションプレート２５と、スライド機構２６と、スライドブロック２７と、付勢機構２８と、弾性支持機構２９とを備えて構成されている。

サスペンションベース２３は、位置ズレ防止機構１６全体を支持するための部材である。サスペンションベース２３は、ほぼ直方体状に形成され、その下側に固定機構２４が固定され、上側にサスペンションプレート２５が固定される。

固定機構２４は、サスペンションベース２３をプローブベース１４の任意の位置に直接取り付けて固定するための機構である。固定機構２４は、下側板部３１と、上側板部３２と、固定ネジ３３とから構成されている。

下側板部３１は、プローブベース１４に下側から当接するための板材である。下側板部３１は、スペーサ部３５によってサスペンションベース２３との間に一定の隙間を空けた状態でサスペンションベース２３側に一体的に形成されている。これにより、下側板部３１は、スペーサ部３５によってサスペンションベース２３との間に一定の隙間を空けた状態でサスペンションベース２３側に一体的に形成されている。

上側板部３２は、プローブベース１４に上側から当接するための板材である。上側板部３２は、サスペンションベース２３側に支持されて、プローブベース１４の上側面に押圧されるようになっている。

固定ネジ３３は、上側板部３２をプローブベース１４に押し付けてサスペンションベース２３をプローブベース１４に固定するための部材である。サスペンションベース２３にはネジ穴３６が設けられている。固定ネジ３３は、このネジ穴３６にねじ込まれている。この固定ネジ３３は、その先端が上側板部３２に回転可能に連結されている。これにより、固定ネジ３３がネジ穴３６にねじ込まれることで、この固定ネジ３３によって上側板部３２が押し下げられて、下側板部３１との間にプローブベース１４を挟んで固定するようになっている。下側板部３１と上側板部３２の当接面は平面状に形成されている。これにより、互いに平面のプローブベース１４の上下両側面と、下側板部３１及び上側板部３２の平面状の当接面とが、任意の位置で当接して互いに圧接される。これにより、サスペンションベース２３を、プローブベース１４の任意の位置で固定できるようになっている。

サスペンションプレート２５は、スライドブロック２７を吊り下げた状態で支持するための部材である。サスペンションプレート２５は、平板状に形成され、その基端側がサスペンションベース２３の上側面に固定されている。これにより、サスペンションプレート２５の先端側は、サスペンションベース２３から張り出した状態になっている。スライドブロック２７は、このサスペンションプレート２５の張り出し部分に支持されている。

スライド機構２６は、サスペンションベース２３に対してスライドブロック２７をスライド可能に支持するための機構である。スライド機構２６は、サスペンションベース２３に縦方向へ向けて固定されたリニアガイドレール３８と、このリニアガイドレール３８にスライド可能に支持されたスライダ３９によって構成されている。スライダ３９は、スライドブロック２７に固定されている。これにより、スライドブロック２７が上下方向にスライド可能に支持されている。

スライドブロック２７は、その先端部（下端部）に弾性支持機構２９を支持して、この弾性支持機構２９を液晶パネル２に設定圧力で当接させるための部材である。スライドブロック２７は、スライド機構２６によって上下にスライド可能に支持されている。

付勢機構２８は、スライドブロック２７を設定圧力で下方へ付勢するための機構である。この付勢機構２８は、調整ネジ４１と、支持用スプリング４２とから構成されている。

調整ネジ４１は、スライドブロック２７の高さ（位置）を調整する高さ調整手段である。この調整ネジ４１は、サスペンションプレート２５のネジ穴４３に挿入されている。ネジ穴４３にはネジ山が設けられていない。これにより、調整ネジ４１は、ネジ穴４３に回転自在に挿入されている。調整ネジ４１の先端部（下端部）は、スライドブロック２７にねじ込まれている。これにより、調整ネジ４１がスライドブロック２７を設定位置で支持している。さらに、調整ネジ４１を回転させることで、スライドブロック２７の位置を調整できるようになっている。

支持用スプリング４２は、調整ネジ４１の両側に２つ設けられている。支持用スプリング４２は、スライドブロック２７に２つ設けられたスプリング穴４５にそれぞれ挿入されている。支持用スプリング４２は、スプリング穴４５に挿入された状態で、その上端部がサスペンションプレート２５側に当接されて、スライドブロック２７を設定圧力で下方へ付勢するようになっている。サスペンションプレート２５側には、スプリング穴４５に対応する位置にスプリング穴４６が設けられている。このスプリング穴４６にはスプリング受け４７が挿入されており、支持用スプリング４２はこのスプリング受け４７に当接してスライドブロック２７を下方へ付勢している。スプリング受け４７は、スプリング押さえ板４８で固定されている。

これにより、調整ネジ４１でスライドブロック２７の位置が調整され、２つの支持用スプリング４２でスライドブロック２７が下方へ設定圧力で押圧されるようになっている。さらに、調整ネジ４１でスライドブロック２７の位置を上下させて支持用スプリング４２の寸法を変えることで、付勢力を自由に設定できるようになっている。具体的には、調整ネジ４１をねじ込んでスライドブロック２７を上昇させて支持用スプリング４２を縮めると、付勢力は強くなり、調整ネジ４１を緩めてスライドブロック２７を下降させて支持用スプリング４２を伸ばすと、付勢力は弱くなる。これにより、弾性支持機構２９の液晶パネル２への押圧力を自由に設定できるようになっている。このとき、弾性支持機構２９の下端部と、プローブ１８の下端部とが位置調整される。具体的には、プローブブロック１５でプローブ１８の上下方向の位置が調整されて、弾性支持機構２９の下端部と、プローブ１８の下端部とが位置調整されるようになっている。このとき、弾性支持機構２９の下端部が、プローブ１８の下端部よりも下側に位置するように設定されている。これにより、ワークテーブル９に支持された液晶パネル２がＸＹＺθステージ８上昇されると、最初に弾性支持機構２９が液晶パネル２に当接して変形して液晶パネル２をずれないように支持する。次いで、プローブ１８が液晶パネル２の各端子に接触して検査が行われるようになっている。

弾性支持機構２９は、液晶パネル２を支持するための部材である。弾性支持機構２９は、支持板部５０と、弾性部材５１とから構成されている。支持板部５０は、弾性部材５１を支持するための板材である。支持板部５０は、スライドブロック２７の下端部にネジ５２で一体的に取り付けられている。撓まない支持板部５０の先端部に、弾性的に変形する弾性部材５１が取り付けられている。

弾性部材５１は、液晶パネル２を固定して支持するための部材である。弾性部材５１は、長方体状に形成され、支持板部５０の先端部に取り付けられている。弾性部材５１は、弾性を有すると共に摩擦係数の高い部材で構成されている。具体的には、シリコンゴム等の弾性体で構成されている。これにより、弾性部材５１は、液晶パネル２の縁部の表面に当接して変形することで、広い面積で液晶パネル２に接触して、この液晶パネル２のずれを抑えて支持するようになっている。

以上のように構成された検査装置１の動作は次のようになっている。なお、検査装置１の全体的な動作は、通常の検査装置と同様であるため、ここでは、本願発明の特徴部分を中心に説明する。

まず、位置ズレ防止機構１６は、プローブベース１４の任意位置に取り付けられる。具体的には、固定ネジ３３が緩められて固定機構２４の上側板部３２が上昇され、プローブベース１４への固定が解除される。次いで、位置ズレ防止機構１６が任意の位置に移動されて、固定ネジ３３がねじ込まれる。これにより、上側板部３２が下方へ移動されて、プローブベース１４をこの上側板部３２と下側板部３１とで上下両側から挟んで固定する。

検査過程においては、ワークテーブル９に液晶パネル２が載置され、ＸＹＺθステージ８でワークテーブル９が上昇されて、液晶パネル２にプローブユニット１０が当接される。

このとき、プローブユニット１０のプローブ１８と液晶パネル２の各端子とが整合するように位置調整されて互いに接触されるが、このとき、プローブ１８の端子への接触とほぼ同時に、弾性支持機構２９の弾性部材５１が液晶パネル２の縁部に当接される。これにより、弾性部材５１が変形しながら液晶パネル２の縁部に広い面積で接触して、弾性部材５１が液晶パネル２を支持する。このとき、支持用スプリング４２は、調整ネジ４１でその押圧力が調整されており、弾性部材５１が設定圧力で押されて大きな摩擦力で液晶パネル２の縁部を支持している。これと同時に、弾性部材５１が、スライドブロック２７を介して支持用スプリング４２によって下方へ設定圧力で押圧されているため、弾性部材５１は、液晶パネル２を大きな摩擦力で確実に支持して、液晶パネル２のずれを防止する。

この状態で、オペレータが液晶パネル２を手で押す。これにより、液晶パネル２は、その表面に垂直方向にずれるが、プローブ１８の接触した端子の部分は位置ズレ防止機構１６で確実に支持されて、ずれないようになっているため、プローブ１８が液晶パネル２の各端子からずれるのを防止する。

これにより、オペレータが液晶パネル２を手で押すことによる、点灯不具合を確実に防止することができる。この結果、点灯検査に対する信頼性を向上させることができる。

また、位置ズレ防止機構１６は、任意の数を任意の位置に容易に取り付けることができるため、液晶パネル２を確実に支持することができる。

さらに、位置ズレ防止機構１６は、プローブベース１４に容易に取り付けることができるため、既存の検査装置に対しても、そのまま用いることができる。

なお、前記実施形態では、位置ズレ防止機構１６の固定機構２４の上側板部３２を下方へ押圧する手段として固定ネジ３３を用いたが、ネジの変わりにレバーを用いても良い。即ち、レバーを倒すという１つの動作だけで上側板部３２を下方へ押圧して簡単に固定でき、レバーを起こすという１つの動作だけで簡単に固定解除できる簡易固定機構を用いても良い。この簡易固定機構４９は具体的には、図８に示すように、レバー５５と、カム５６と、押え棒５７と、スプリング５８とから構成される。

レバー５５は、カム５６を回動させるための棒材である。レバー５５は、カム５６に一体的に取り付けられている。カム５６は、押え棒５７を押し下げるための部材である。カム５６は、レバー５５と共に、支持板５９に回転可能に支持されている。支持板５９はカム５６を挟んで２つサスペンションベース２３に一体的に取り付けられている。レバー５５とカム５６とは設定角度で互いに連結されており、レバー５５が回動されてサスペンションベース２３に当接した状態で、固定されるようになっている。即ち、カム５６は、スプリング５８が押え棒５７を押し上げる力によって図８中の右方向に自由に回転される状態（実線の状態）から、押え棒５７の押し上げられる力によって図８中の左方向に回転される状態になったとき、レバー５５がサスペンションベース２３に当接してカム５６が左方向に回転できず、固定されるようになっている。

さらに、カム５６の大きさ及びレバー５５とカム５６の角度は、レバー５５がサスペンションベース２３に当接したときに、上側板部３２がプローブベース１４に強い力で押圧されるように設定されている。これにより、レバー５５が回動されてサスペンションベース２３に当接したときに、カム５６が押え棒５７を押して上側板部３２をプローブベース１４に強い力で押圧してサスペンションベース２３をプローブベース１４に固定すると共に、カム５６が図８中の左方向に回転される状態になって、レバー５５がサスペンションベース２３に当接した状態で、固定されるようになっている。

押え棒５７は、サスペンションベース２３のネジ穴３６に昇降自在に通されて、上側板部３２を支持するための部材である。押え棒５７は、ネジ穴３６に通された状態で昇降することで、上側板部３２を上下に移動させるようになっている。押え棒５７の上端にはフランジ部５７Ａが形成されている。このフランジ部５７Ａは、スプリング５８で上方へ付勢された状態でカム５６に当接して、このカム５６で押し下げられるようになっている。スプリング５８は、ネジ穴３６に挿入された状態で、フランジ部５７Ａをその下側面から上方へ付勢するための部材である。このスプリング５８は、フランジ部５７Ａを上方へ付勢することで、押え棒５７に下端部に連結された上側板部３２を上方へ持ち上げるようになっている。

この構成により、レバー５５を立てることで（図８の実線の状態）、フランジ部５７Ａがスプリング５８で上方へ押し上げられて、押え棒５７の下端の上側板部３２が上方へ押し上げられる。これにより、位置ズレ防止機構１６の固定が解除される。

次いで、位置ズレ防止機構１６をプローブベース１４に対してずらして任意の位置に移動させ、レバー５５を倒してサスペンションベース２３に当接させるだけで、カム５６がフランジ部５７Ａを押し下げて、押え棒５７の下端の上側板部３２をプローブベース１４の上側面に押し付ける。

これと同時に、上側板部３２がプローブベース１４の上側面に押し付けられるときの反発力や、スプリング５８の付勢力で、カム５６が図８中の左回転方向に付勢されて、ロックされる。

これにより、位置ズレ防止機構１６をプローブベース１４に容易に取り付けることができ、容易に固定することができるようになる。

さらに、位置ズレ防止機構１６は、プローブベース１４に容易に取り付けることができるため、現場においてオペレータが必要な個数の位置ズレ防止機構１６を容易に設置することができる。また、検査対象が変更されたとき、即ち、寸法の異なる液晶パネル２に変更されたときなど、液晶パネル２を支持する力を調整し直す必要が生じた場合でも、位置ズレ防止機構１６の取り外しや追加が容易にできるため、現場においてオペレータが容易に対応することができるようになる。

なお、簡易固定機構４９においてスプリング５８は、設けない場合もある。このスプリング５８は、位置ズレ防止機構１６をプローブベース１４に対して付け替えるときに、押え棒５７及び上側板部３２を持ち上げるためのものであり、支障がなければ、スプリング５８を設けない態様もあり得る。この場合、押え棒５７のフランジ部５７Ａが挿入される凹部の深さを、押え棒５７の上下動が小さくなるように設定し、上側板部３２の外側端部（図８中の右側端部）の下側角部にテーパを付けて、上側板部３２と下側板部３１との間にプローブベース１４が容易に嵌り込めるようにする。

また、前記実施形態では、スライドブロック２７の高さ調整手段として調整ネジ４１を用いたが、レバーで調整するようにしても良い。即ち、レバーを倒したり起こしたりするだけでスライドブロック２７の高さを容易に調整できる簡易高さ調整手段５４を設けても良い。この簡易高さ調整手段５４は具体的には、図９，１０に示すように、レバー６１と、カム６２と、円筒体６３と、スプリング６４とから構成する。ここで、レバー６１とカム６２は、前記レバー５５及びカム５６と同様の機能を有する。円筒体６３は、調整ネジ４１を上下に移動させるための部材である。円筒体６３は、ネジ穴４３に上下動可能に装着されて、調整ネジ４１を支持している。スプリング６４は、円筒体６３を上方へ付勢するための部材である。スプリング６４は、ネジ穴４３の底部と円筒体６３との間に装着されて、円筒体６３を上方へ付勢している。

この構成により、レバー６１を上方へ回動させると、カム６２が図９中の実線の状態になって、円筒体６３がスプリング６４で押し上げられ、スライドブロック２７が上方へ移動される。また、レバー６１を下方へ回動させてサスペンションプレート２５に当接させると、カム６２が図９中の点線の状態になって、円筒体６３を押し下げられ、スライドブロック２７が下方へ移動される。

このとき、カム６２の寸法、形状は、スライドブロック２７の移動量に合わせて設定される。

これにより、容易にスライドブロック２７の高さを調整することができるようになる。

さらに、スライドブロック２７の高さを容易に調整できるため、高く上げて作用状態とし、下げて液晶パネル２を支持する作用状態とすることもできる。この２つの状態を容易に切り替えることができるため、複数の位置ズレ防止機構１６をプローブベース１４の任意の位置にそれぞれ取り付けておいて、任意の位置の位置ズレ防止機構１６を選択的に使用して液晶パネル２を支持するようにしても良い。これにより、液晶パネル２を支持する力を容易に調整することができる。また、液晶パネル２の寸法が変わっても、容易に対応することができる。作用状態と作用状態の位置は複数設定しても良い。即ち、レバー６１の角度を複数段階に調整してスライドブロック２７の高さを複数設定し、スライドブロック２７を複数段階に位置調整するようにしてもよい。

なお、ここでは、簡易高さ調整手段５４を、レバー６１と、カム６２と、円筒体６３と、スプリング６４とから構成したが、リンク機構で構成しても良い。即ち、レバー６１をリンク機構でスライドブロック２７に連結しても良い。この場合、レバー６１を起こせば、リンク機構で直接連結されたスライドブロック２７が、レバー６１の回動に連動して上がって待機状態になり、レバー６１を倒せば、スライドブロック２７が下がって作用状態になる。レバー６１を倒した状態での角度は正確に制御され、弾性部材５１が液晶パネル２の縁部に確実に当接されるように設定される。通常、レバー６１がサスペンションプレート２５の上側面に当接した状態で、レバー６１が固定されて弾性部材５１が液晶パネル２の縁部に当接するように設定される。また、レバー６１を倒した設定角度で確実に固定できるように、既存のレバー固定手段を組み込んでもよい。この場合も、レバー６１の角度を複数段階に調整してスライドブロック２７の高さを複数設定し、スライドブロック２７の待機状態及び作用状態の位置を複数段階に調整するようにしてもよい。

また、前記各変形例では、前記レバー５５とレバー６１とを個別に設けた例を説明したが、両方とも同時に設けても良いことは言うまでもない。

本発明は、プローブブロック１５のプローブ１８を液晶パネル２の各端子に接触させて検査するときの、液晶パネル２のずれを防止するための位置ズレ防止機構１６を備えた点に特徴があるため、プローブブロック１５やプローブ１８等の構造や形状等は問わない。種々のプローブブロック１５、プローブ１８を備えた種々の検査装置１に対して、位置ズレ防止機構１６を適用することができる。

１：検査装置、２：液晶パネル、４：モニタ、５：ローダ部、６：検査部、８：ＸＹＺθステージ、９：ワークテーブル、１０：プローブユニット、１１：バックライト、１２：ワークテーブルベース、１４：プローブベース、１５：プローブブロック、１６：位置ズレ防止機構、１８：プローブ、２０：支持部、２１：プローブ組立体、２３：サスペンションベース、２４：固定機構、２５：サスペンションプレート、２６：スライド機構、２７：スライドブロック、２８：付勢機構、２９：弾性支持機構、３１：下側板部、３２：上側板部、３３：固定ネジ、３５：スペーサ部、３６：ネジ穴、３８：リニアガイドレール、３９：スライダ、４１：調整ネジ、４２：支持用スプリング、４３：ネジ穴、４５：スプリング穴、４６：スプリング穴、４７：スプリング受け、４８：スプリング押さえ板、４９：簡易固定機構、５０：支持板部、５１：弾性部材、５４：簡易高さ調整手段、５５：レバー、５６：カム、５７：押え棒、５７Ａ：フランジ部、５８：スプリング、５９：支持板、６１：レバー、６２：カム、６３：円筒体、６４：スプリング。

Claims (11)

1. 検査対象板を検査する検査装置において、
   前記検査対象板に接触して検査信号を印可するプローブユニットを備え、
   当該プローブユニットが、装置のフレーム側に固定されるプローブベースと、基端が当該プローブベースに支持され、先端に備えたプローブを前記検査対象板の各端子に臨ませて正確に位置決めして支持するプローブブロックと、前記検査対象板を支持してこの検査対象板のズレを防止する位置ズレ防止機構とを備えて構成されたことを特徴とする検査装置。
2. 請求項１に記載の検査装置において、
   前記位置ズレ防止機構が、前記検査対象板に当接して当該検査対象板を弾性的に支持する弾性支持機構と、当該弾性支持機構を前記検査対象板に設定圧力で付勢する付勢機構とを備えたことを特徴とする検査装置。
3. 請求項２に記載の検査装置において、
   前記位置ズレ防止機構がさらに、全体を支持するサスペンションベースと、当該サスペンションベースを前記プローブベースの任意の位置に直接取り付けて固定する固定機構と、スライド機構によって前記サスペンションベースにスライド可能に支持されると共に先端部に前記弾性支持機構を支持してこの弾性支持機構を前記検査対象板に設定圧力で当接させるスライドブロックとを備えたことを特徴とする検査装置。
4. 請求項２に記載の検査装置において、
   前記付勢機構が、前記スライドブロックの位置を調整する調整ネジと、前記スライドブロックを設定圧力で付勢する支持用スプリングとを備えて構成されたことを特徴とする検査装置。
5. 請求項３に記載の検査装置において、
   前記固定機構が、前記プローブベースに下側から当接する下側板部と、前記プローブベースに上側から当接する上側板部と、前記上側板部を前記プローブベースに押し付けて前記サスペンションベースを前記プローブベースに固定する固定ネジとを備えて構成されたことを特徴とする検査装置。
6. 請求項３に記載の検査装置において、
   前記固定機構が、前記サスペンションベースを前記プローブベースに簡単に固定、固定解除できる簡易固定機構によって構成されたことを特徴とする検査装置。
7. 請求項６に記載の検査装置において、
   前記簡易固定機構が、前記プローブベースに下側から当接する下側板部と、前記プローブベースに上側から当接する上側板部と、前記上側板部を前記プローブベースに押し付けて前記サスペンションベースを前記プローブベースに固定するカムと、当該カムを回動させるレバーとを備えて構成されたことを特徴とする検査装置。
8. 請求項３に記載の検査装置において、
   前記スライドブロックに接続されて、当該スライドブロックの高さを調整する簡易高さ調整手段をさらに設けたことを特徴とする検査装置。
9. 請求項３に記載の検査装置において、
   前記付勢機構が、前記スライドブロックの位置を調整するカムと、当該カムを回動させるレバーと、前記スライドブロックを設定圧力で付勢する支持用スプリングとを備えて構成されたことを特徴とする検査装置。
10. 請求項１に記載の検査装置において、
    前記位置ズレ防止機構が、全体を支持するサスペンションベースと、当該サスペンションベースを前記プローブベースの任意の位置に直接取り付けて固定する固定機構と、スライド機構によって前記サスペンションベースにスライド可能に支持されると共に先端部に前記弾性支持機構を支持してこの弾性支持機構を前記検査対象板に設定圧力で当接させるスライドブロックと、当該スライドブロックの先端部に支持されて前記検査対象板に当接して当該検査対象板を弾性的に支持する弾性支持機構と、リンク機構で前記スライドブロックに連結されて少なくとも待機状態と作用状態の２箇所の位置に高さを調整する簡易高さ調整手段とを備えて構成されたことを特徴とする検査装置。
11. 請求項１０に記載の検査装置において、
    前記簡易高さ調整手段が、回動させて前記スライドブロックの高さを調整するレバーと、当該レバーを前記スライドブロックに連結するリンク機構とを備えて構成されたことを特徴とする検査装置。

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