JP4385403B2 - Icハンドラー装置 - Google Patents
Icハンドラー装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4385403B2 JP4385403B2 JP2004321848A JP2004321848A JP4385403B2 JP 4385403 B2 JP4385403 B2 JP 4385403B2 JP 2004321848 A JP2004321848 A JP 2004321848A JP 2004321848 A JP2004321848 A JP 2004321848A JP 4385403 B2 JP4385403 B2 JP 4385403B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lower rail
- rail
- suction
- handler device
- pusher
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
上レール119は所定形状、例えば四角形状に形成されたIC115を所定の隙間をもってガイドするレールガイド126a、126bを備えている。このレールガイド126a、126bの間をIC115がガイドされることになる。IC115は基部側が四角形状の端子部115aで形成され、その上部がモールド部115bで形成され、このモールド部115bが吸着される。
又、吸着可動部121を構成する第1バネ116及びプッシャー117は、シリンダ113により押されてカム127を上下動に連動させるもので、吸着可動部121に設けた四角形状の空間室128に設けられ、プッシャー117は常時第1バネ116で上方向に付勢され、シリンダ113の鉛直下方向への動きにより第1バネ116の付勢力に抗して下方向に動き空間の底部面129に当接するまで動く。
下レール131は、T字の左先端を直交する方向に突出させて片持ち状態に形成し、その突出させた部位にIC115を載置する載置部133、載置部133の先端にIC115を係合ガイドする凸状のICガイド134を備えた構成になっている。この載置部133にIC115が図示しないIC供給部から自重で滑走して載置されるのである。
そして、図5(C)に示すように、図示しないストッパで停止したIC115は下レール131の載置部133に載置されており、この位置は吸着される位置でもあるから、上レール119と兼用されている吸着部118により吸着される。IC115が吸着部118に吸着されると下レール131の載置部133から離れた状態になる。
即ち、図示しないストッパで停止したIC115はバキューム吸着機能を具備した上レール119に吸着されたあと、図6に示すように、プッシャー117がシリンダ113により押し下げられ(矢印A方向)、カム127が下レール131に具備されたカムフォロア132を押す(矢印B方向)ことにより、下レール131は支点123を中心に外方向に逃げるように回動する(矢印C方向)ことで、上レール119の鉛直下方向への動きを妨げない位置に移動する。
そして、図7に示すように、プッシャー117がシリンダ113により更に押し下げられ(矢印D方向)、空間室128の底部面129に当接することで吸着可動部121を押し下げることで、上レール119が鉛直下方向に押し下げられる(矢印E方向)。
上レール119が押し下げられることで上レール119に吸着固定されたIC115をICソケット136に配置してIC115の端子部をICソケット136の接触子に電気的に接続させる。そして、テスター137に電気的に接続されたICソケット136に押し付けられているIC115の電気的特性を検査する。
又、図10に示すように、IC115のモールド部115bと端子部115aがずれている場合、IC115をモールド部115bで位置決めして吸着部118で吸着した場合は、IC115の端子部115aの位置決めが正確に行われず電気的特性不良の原因になるという問題もある。
前記上レールの下部に設置され、前記IC供給手段により前記吸着位置まで移動させられたICを吸着する吸着手段と、
該吸着手段により吸着されているICを、前記下レールを逃がす方向に移動させてから、鉛直下方向に移動させ、検査するためのICソケットに装着させて電気的特性を検査する検査手段と、
を備えたICハンドラー装置であって、
前記下レールは、一対の下レールガイド部が互いに向き合って形成され、それぞれの下レールガイド部はICを載置できる爪部を設けた構成になっていて、前記下レールは回動可能になっていて、前記爪部が、ICを受け入れるときは遊嵌状態に位置し、ICを位置決めするときはICを挟持した状態に位置し、ICの検査に入るときには外方向に開いた状態に位置するように回動することを特徴とするICハンドラー装置。
(2)前記ICを位置決めするときに前記爪部がICを挟持する位置はICの端子部であることを特徴とする(1)に記載のICハンドラー装置。
又、吸着可動部21を構成する第1バネ16及びプッシャー17は、シリンダ13により押されて一対のカム27A、27Bを上下動するもので、吸着可動部21に設けた四角形状の空間室28に設けられ、プッシャー17は常時は第1バネ16で上方向に付勢され、シリンダ13の鉛直下方向への動きにより第1バネ16の付勢力に抗して下方向に動き空間の底部面29に当接するまで動く。
下レール31A、31Bは、一対の下レールガイド部24A、24Bが互いに向き合って形成され、それぞれにIC15の端子部15aが載置できる爪部41A、41Bを設けた構成になっている。この両者の爪部41A、41BにIC15が図示しないIC供給部から自重で滑走して載置されるのである。更に、この爪部41A、41Bは、IC15を吸着部18に吸着する際に、カムフォロア32A、32Bがカム27A、27Bのガイド凹部42A、42Bに嵌まり込んだときに互いに狭まる方向に回動することで、IC15の端子部15aの位置決めを行って、位置姿勢を正確にガイドする本発明の機能を備えている(図2参照)
このカム27A、27Bは、下レール31A、31BがIC15を受け入れる隙間を持たせた遊嵌状態の位置(図1参照)と、下レール31A、31Bが具備されたカムフォロア32A、32Bによって挟まるIC15を挟持した状態の位置(図2参照)と、下レール31A、31Bが具備されたカムフォロア32A、32Bによって左右に広がる外方向に開いた状態の位置(図3参照)の3ポジションを持っている。
先ず、図1(A)に示すように、下レール31A、31Bはフレーム25上の支点23A、23Bにより回動可能な状態である。上レール19はシリンダ13に具備されたプッシャー17と第1バネ16によりフレーム25に押し付けられて停止している。プッシャー17は下レール31A、31Bを回動させるカム27A、27Bと連動するように接続されており、カム27A、27Bが下レール31A、31Bを具備する下レールガイド部24A、24Bのカムフォロア32A、32Bを押すことにより、下レール31A、31Bは支点23A、23Bを中心に回動できる。下レール31A、31Bは第2バネ35により下レール31A、31Bを具備する下レールガイド部24A、24Bのカムフォロア32A、32Bを介してカム27A、27Bに密着している。このときの一対の下レール31A、31Bの爪部41A、41Bが対峙している間隔は、図1(B)に示すように、IC15の端子部15aが遊嵌できる広さである。
この状態で、図示しないストッパで停止したIC15は、図1(B)に示すように、一対の下レール31A、31Bの対峙している爪部41A、41Bに載置した状態で配置されている。
そして、図2(C)に示すように、爪部41A、41Bで挟持されて位置決めされたIC15に対して吸着部18がバキュームによりIC15のモールド部15bを吸引することで吸着部18にIC15を吸着する。このIC15が吸着されると、IC15が爪部41A、41Bから若干浮いた状態になる。
この状態でテスター37によりICソケット36に配置しているIC15に対して電気的特性を検査する。
12 検査部
13 シリンダー
14 鉛直可動軸
15 IC
15a 端子部
15b モールド部
16 第1バネ
17 プッシャー
18 吸着部
19 上レール
21 吸着可動部
22a 支持軸
22b 支持軸
23A 支点
23B 支点
24A 下レールガイド部
24B 下レールガイド部
25 フレーム
27A カム
27B カム
28 空間室
29 底部面
31A 下レール
31B 下レール
31A カムフォロア
31B カムフォロア
35 第2バネ
36 ICソケット
37 テスター
41A 爪部
41B 爪部
42A ガイド凹部
42B ガイド凹部。
Claims (2)
- 上レールと下レールとの間を、所定形状に形成されているICの自重で吸着位置まで移動させるIC供給手段と、
前記上レールの下部に設置され、前記IC供給手段により前記吸着位置まで移動させられたICを吸着する吸着手段と、
該吸着手段により吸着されているICを、前記下レールを逃がす方向に移動させてから、鉛直下方向に移動させ、検査するためのICソケットに装着させて電気的特性を検査する検査手段と、
を備えたICハンドラー装置であって、
前記下レールは、一対の下レールガイド部が互いに向き合って形成され、それぞれの下レールガイド部はICを載置できる爪部を設けた構成になっていて、前記下レールは回動可能になっていて、前記爪部が、ICを受け入れるときは遊嵌状態に位置し、ICを位置決めするときはICを挟持した状態に位置し、ICの検査に入るときには外方向に開いた状態に位置するように回動することを特徴とするICハンドラー装置。 - 前記ICを位置決めするときに前記爪部がICを挟持する位置はICの端子部であることを特徴とする請求項1に記載のICハンドラー装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004321848A JP4385403B2 (ja) | 2004-11-05 | 2004-11-05 | Icハンドラー装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004321848A JP4385403B2 (ja) | 2004-11-05 | 2004-11-05 | Icハンドラー装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006133057A JP2006133057A (ja) | 2006-05-25 |
JP4385403B2 true JP4385403B2 (ja) | 2009-12-16 |
Family
ID=36726725
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004321848A Expired - Fee Related JP4385403B2 (ja) | 2004-11-05 | 2004-11-05 | Icハンドラー装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4385403B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017094109A1 (ja) * | 2015-12-01 | 2017-06-08 | 富士機械製造株式会社 | ワーク移載装置及びワーク移載システム |
CN108454967B (zh) * | 2018-04-11 | 2024-01-23 | 烟台梦现自动化设备有限公司 | 一种用于水果套网袋的套袋装置 |
JP7084837B2 (ja) * | 2018-10-02 | 2022-06-15 | 株式会社Taiyo | 電動グリッパ装置 |
JP7263809B2 (ja) * | 2019-02-07 | 2023-04-25 | 富士電機株式会社 | 保持機構及び搬送装置 |
CN110436184B (zh) * | 2019-08-14 | 2020-09-22 | 国网江苏省电力有限公司宿迁供电分公司 | 一种配电终端检测用机械手臂 |
-
2004
- 2004-11-05 JP JP2004321848A patent/JP4385403B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006133057A (ja) | 2006-05-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5099874B2 (ja) | プローブカードの固定機構、プローブカードの固定方法及びプローブ装置 | |
JP6961907B2 (ja) | プローバ | |
US11061071B2 (en) | Wafer inspection system, wafer inspection apparatus and prober | |
CN108663546B (zh) | 测试插座 | |
KR20100033938A (ko) | 프로브 장치 | |
KR20180043814A (ko) | 웨이퍼 검사 방법 및 웨이퍼 검사 장치 | |
TW201428312A (zh) | 探針卡安裝方法 | |
JP4385403B2 (ja) | Icハンドラー装置 | |
KR101647443B1 (ko) | 전기적 검사소켓 | |
JP6262547B2 (ja) | プローバ及びプローブカードの針先研磨装置 | |
JP4554578B2 (ja) | 基板搬送装置及びそれを備えた印刷はんだ検査装置 | |
JP2003004800A (ja) | デバイスキャリア及びオートハンドラ | |
JP2011141227A (ja) | 半導体試験装置 | |
TWI432733B (zh) | 具備探針之電性測試裝置 | |
KR100451964B1 (ko) | 캐리어위치 어긋남 검출기구 | |
KR101362546B1 (ko) | 인서트 조립체 및 이를 포함하는 전자 부품 수납 장치 | |
KR100577756B1 (ko) | 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈 | |
KR101811403B1 (ko) | 테스터기가 가변되는 칩 검사장치 | |
KR102404980B1 (ko) | 안정적인 제품안착구조를 포함하는 제품측정장치 | |
TWI638178B (zh) | 電測裝置、電測方法及針座電路結構 | |
JP7476926B2 (ja) | 検査治具 | |
KR100913602B1 (ko) | 핸들러용 캐리어 모듈 | |
JP5289224B2 (ja) | 検査装置 | |
JP5529035B2 (ja) | 着脱装置、コンタクトアーム、及び電子部品ハンドリング装置 | |
US20090258512A1 (en) | Ic socket |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070515 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090626 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090804 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090907 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090920 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4385403 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121009 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121009 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131009 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |