JP2011027611A - 半導体圧力センサ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ブリッジ回路内に、第1ないし第4の感応抵抗素子にそれぞれ直列接続した補正抵抗を設け、この補正抵抗の抵抗温度係数を第1及び第3の感応抵抗素子側と第2及び第4の感応抵抗素子側で異ならせた。
【選択図】図1
Description
10 半導体基板
11 第1シリコン基板
12 第2シリコン基板
13 シリコン酸化膜
15 パッシベーション膜
20 キャビティ
21 ダイヤフラム
21a ダイヤフラムエッジ
41 第1の感応抵抗素子
42 第2の感応抵抗素子
43 第3の感応抵抗素子
44 第4の感応抵抗素子
50 配線導体
55 ボンディングパッド
C ピエゾ接続パターン(配線抵抗)
P ピエゾ直線パターン(ピエゾ抵抗)
R1 第1の補正抵抗
R2 第2の補正抵抗
R3 第3の補正抵抗
R4 第4の補正抵抗
ΔV 出力電圧(中点電位)
V1 中点端子
V2 中点端子
Vdd 電源供給端子
GND グランド端子
Claims (6)
- 外圧に応じて変形する平面矩形のダイヤフラムを形成した半導体基板に、前記変形領域を画成するダイヤフラムエッジの各辺上に位置させて第1ないし第4の感応抵抗素子を順に設け、この第1ないし第4の感応抵抗素子によるブリッジ回路を備えた半導体圧力センサにおいて、
前記ブリッジ回路内に、前記第1ないし第4の感応抵抗素子にそれぞれ直列接続した補正抵抗を設け、この補正抵抗の抵抗温度係数を、互いに対向する一方の対をなす前記第1及び第3の感応抵抗素子側と、互いに対向する他方の対をなす前記第2及び第4の感応抵抗素子側で異ならせたことを特徴とする半導体圧力センサ。 - 請求項1記載の半導体圧力センサにおいて、前記第1ないし第4の感応抵抗素子は、所定間隔をあけて配置した直線状をなす複数のピエゾ直線パターンと該各ピエゾ直線パターンを接続する複数のピエゾ接続パターンとを異なる温度抵抗係数でそれぞれ有しており、
前記第1及び第3の感応抵抗素子側の補正抵抗と前記第2及び第4の感応抵抗素子側の補正抵抗は、一方の抵抗温度係数が前記ピエゾ直線パターンの抵抗温度係数と同一で、他方の抵抗温度係数が前記ピエゾ接続パターンの抵抗温度係数と同一である半導体圧力センサ。 - 外圧に応じて変形する平面矩形のダイヤフラムを形成した半導体基板に、前記変形領域を画成するダイヤフラムエッジの各辺上に位置させて第1ないし第4の感応抵抗素子を順に設け、この第1ないし第4の感応抵抗素子によるブリッジ回路を備えた半導体圧力センサにおいて、
前記ブリッジ回路のオフセット補正に必要な抵抗差分を算出し、算出した抵抗差分となる組み合わせの一対の補正抵抗を求めるステップと、
求めた一対の補正抵抗の組み合わせのうち、一方の補正抵抗を前記第1及び第3の感応抵抗素子側にそれぞれ直列接続し、他方の補正抵抗を前記第2及び第4の感応抵抗素子側にそれぞれ直列接続したときに、前記ブリッジ回路のオフセット温度特性のばらつきが最小となる組み合わせを選定するステップと、
選定したオフセット温度特性のばらつきが最小となる組み合わせで、一方の補正抵抗を前記第1及び第3の感応抵抗素子にそれぞれ直列接続させて形成し、他方の補正抵抗を前記第2及び第4の感応抵抗素子にそれぞれ直列接続させて形成するステップと、
を有することを特徴とする半導体圧力センサの製造方法。 - 請求項3記載の半導体圧力センサの製造方法において、前記第1ないし第4の感応抵抗素子は、所定間隔をあけて配置した複数のピエゾ直線パターンを該ピエゾ直線パターンとは抵抗温度係数を異ならせたピエゾ接続パターンにより接続して形成し、
前記一対の補正抵抗は、一方の補正抵抗を前記ピエゾ直線パターンの抵抗温度係数と同一の抵抗温度係数となるように形成し、他方の補正抵抗を前記ピエゾ接続パターンの抵抗温度係数と同一の抵抗温度係数となるように形成する半導体圧力センサの製造方法。 - 請求項4記載の半導体圧力センサの製造方法において、前記一対の補正抵抗は、不純物濃度の違いにより抵抗温度係数を異ならせる半導体圧力センサの製造方法。
- 請求項4記載の半導体圧力センサの製造方法において、前記一対の補正抵抗は、前記感応抵抗素子と同時に形成する半導体圧力センサの製造方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2017514129A (ja) * | 2014-04-17 | 2017-06-01 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツングRobert Bosch Gmbh | ガスのパラメータを検出するための装置、当該装置の動作方法、及び、ガスのパラメータを特定するための測定システム |
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