JP2011023535A - 窒化ガリウム系半導体レーザダイオード - Google Patents
窒化ガリウム系半導体レーザダイオード Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011023535A JP2011023535A JP2009167093A JP2009167093A JP2011023535A JP 2011023535 A JP2011023535 A JP 2011023535A JP 2009167093 A JP2009167093 A JP 2009167093A JP 2009167093 A JP2009167093 A JP 2009167093A JP 2011023535 A JP2011023535 A JP 2011023535A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- gallium nitride
- laser diode
- nitride based
- semiconductor laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/34—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers
- H01S5/343—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers in AIIIBV compounds, e.g. AlGaAs-laser, InP-based laser
- H01S5/34333—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers in AIIIBV compounds, e.g. AlGaAs-laser, InP-based laser with a well layer based on Ga(In)N or Ga(In)P, e.g. blue laser
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y20/00—Nanooptics, e.g. quantum optics or photonic crystals
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/20—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers
- H01S5/2004—Confining in the direction perpendicular to the layer structure
- H01S5/2018—Optical confinement, e.g. absorbing-, reflecting- or waveguide-layers
- H01S5/2031—Optical confinement, e.g. absorbing-, reflecting- or waveguide-layers characterized by special waveguide layers, e.g. asymmetric waveguide layers or defined bandgap discontinuities
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/32—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures
- H01S5/3211—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures characterised by special cladding layers, e.g. details on band-discontinuities
- H01S5/3213—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures characterised by special cladding layers, e.g. details on band-discontinuities asymmetric clading layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S2302/00—Amplification / lasing wavelength
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/20—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers
- H01S5/2004—Confining in the direction perpendicular to the layer structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/20—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers
- H01S5/2004—Confining in the direction perpendicular to the layer structure
- H01S5/2009—Confining in the direction perpendicular to the layer structure by using electron barrier layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/32—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures
- H01S5/3202—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures grown on specifically orientated substrates, or using orientation dependent growth
- H01S5/320275—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures grown on specifically orientated substrates, or using orientation dependent growth semi-polar orientation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Biophysics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geometry (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
Abstract
【解決手段】活性層29は波長500nm以上の光を発生するように設けられるので、コア半導体領域29に閉じ込めるべき光の波長は長波長であり、2層構造の第1の光ガイド層27と2層構造の第2の光ガイド層31とを用いる。AlGaN及びInAlGaNの少なくともいずれか一方からなるクラッド層21の材料はIII族窒化物半導体と異なると共に第1のエピタキシャル半導体領域15の厚さD15がコア半導体領域19の厚さD19よりも厚いけれども、第1〜第3の界面J1、J2、J3におけるミスフィット転位密度は1×106cm−1以下である。これらの界面J1、J2、J3において、c面がすべり面として働いて当該半導体層に格子緩和を生じさせていない。
【選択図】図1
Description
(V1T−V0T)/V0T
で表され、格子不整度F10は格子整合条件を満たす。格子整合条件は例えば
-0.001≦F10≦0.001
である。この窒化ガリウム系半導体レーザダイオード11によれば、第1クラッド層21のための半導体材料に固有の格子定数と支持基体13の格子定数との間の差に起因する格子緩和を避けることができる。
(V2T−V0T)/V0Tで表される。この格子不整度F20は格子整合条件を満たす。格子整合条件は例えば
-0.001≦F20≦0.001
である。この窒化ガリウム系半導体レーザダイオード11によれば、InX1Ga1−X1N層27aの半導体材料に固有の格子定数と支持基体13の格子定数との間の差に起因する格子緩和を避けることができる。
(V3T−V0T)/V0Tで表される。横方向に関する格子不整度F30は格子整合条件を満たす。格子整合条件は例えば
-0.001≦F30≦0.001
である。この窒化ガリウム系半導体レーザダイオード11によれば、第2クラッド層23のための半導体材料に固有の格子定数と支持基体13の格子定数との間の差に起因する格子緩和を避けることができる。
横方向に関する格子不整度F40は
(V4T−V0T)/V0Tで表される。この格子不整度F40は格子整合条件を満たす。格子整合条件は例えば
-0.001≦F40≦0.001
である。この窒化ガリウム系半導体レーザダイオード11によれば、InX1Ga1−X1N層27aの半導体材料に固有の格子定数と支持基体13の格子定数との間の差に起因する格子緩和を避けることができる。
半極性主面を有するGaN基板上にレーザダイオード構造(LD1)のエピタキシャル基板を作製した。図3は、本実施例に係るレーザダイオードの構造を概略的に示す図面である。エピタキシャル成長のための原料として、トリメチルガリウム(TMG)、トリメチルインジウム(TMI)、トリメチルアルミニウム(TMA)、アンモニア(NH3)、シラン(SiH4)、ビスシクロペンタジエニルマグネシウム(Cp2Mg)を用いた。
Claims (20)
- 窒化ガリウム系半導体レーザダイオードであって、
III族窒化物半導体からなり、該III族窒化物半導体のc軸の方向に延在する基準軸に直交する第1の基準平面に対して角度ALPHAで傾斜した半極性主面を有する支持基体と、
第1のクラッド層を含み、前記支持基体の前記半極性主面上に設けられた第1のエピタキシャル半導体領域と、
第2のクラッド層を含み、前記支持基体の前記半極性主面上に設けられた第2のエピタキシャル半導体領域と、
前記支持基体の前記半極性主面上に設けられたコア半導体領域と
を備え、
前記コア半導体領域は、第1の光ガイド層、活性層及び第2の光ガイド層を含み、
前記活性層はInX0Ga1−X0N層を含む、
前記活性層は発振波長500nm以上の光を発生するように設けられており、
前記第1のクラッド層は、該III族窒化物半導体と異なる窒化ガリウム系半導体からなり、該窒化ガリウム系半導体はAlGaN及びInAlGaNの少なくともいずれか一方からなり、
前記第1のエピタキシャル半導体領域、前記コア半導体領域及び前記第2のエピタキシャル半導体領域は、前記支持基体の前記半極性主面の法線軸の方向に順に配列されており、
前記c軸は<0001>軸及び<000−1>軸のいずれかの方向に向き、
前記角度ALPHAは10度以上80度未満の範囲にあり、
前記第1のエピタキシャル半導体領域の厚さは前記コア半導体領域の厚さよりも厚く、
前記支持基体と前記第1のエピタキシャル半導体領域との界面におけるミスフィット転位密度は1×106cm−1以下であり、
前記第1のエピタキシャル半導体領域と前記コア半導体領域との界面におけるミスフィット転位密度は1×106cm−1以下であり、
前記コア半導体領域と前記第2のエピタキシャル半導体領域との界面におけるミスフィット転位密度は1×106cm−1以下であり、
前記第1のクラッド層の導電型は前記第2のクラッド層の導電型と逆導電型であり、
前記第1の光ガイド層は前記活性層と前記第1のエピタキシャル半導体領域との間にあり、
前記第1の光ガイド層は第1InX1Ga1−X1N層及び第1GaN層を含み、
前記第2の光ガイド層は前記活性層と前記第2のエピタキシャル半導体領域との間にあり、
前記第2の光ガイド層は第2InX2Ga1−X2N層及び第2GaN層を含む、ことを特徴とする窒化ガリウム系半導体レーザダイオード。 - 前記第1の光ガイド層及び前記第2の光ガイド層の厚みの総和は400nm以下である、ことを特徴とする請求項1に記載された窒化ガリウム系半導体レーザダイオード。
- 前記活性層は発振波長530nm以下の光を発生するように設けられている、ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載された窒化ガリウム系半導体レーザダイオード。
- 前記活性層の前記InX0Ga1−X0N層のインジウム組成X0は、前記第1の光ガイド層の前記第1InX1Ga1−X1N層のインジウム組成X1より大きく、 インジウム組成差X1−X0は0.26以上である、ことを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載された窒化ガリウム系半導体レーザダイオード。
- 前記第1光ガイド層において前記第1InX1Ga1−X1N層のインジウム組成X1は0.01以上0.05以下であり、
前記第1光ガイド層において前記第1InX1Ga1−X1N層と前記第1GaN層との界面におけるミスフィット転位密度は1×106cm−1以下である、ことを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載された窒化ガリウム系半導体レーザダイオード。 - 前記III族窒化物半導体おけるc軸方向と該c軸方向の格子定数d0の大きさとは格子ベクトルLVC0によって表され、
前記第1のエピタキシャル半導体領域における前記第1クラッド層のための半導体材料のc軸方向と該c軸方向の格子定数d1の大きさとは格子ベクトルLVC1によって表され、
前記格子ベクトルLVC0は前記法線軸の方向の縦成分V0Lと前記縦成分に直交する横成分V0Tとからなり、
前記格子ベクトルLVC1は前記法線軸の方向の縦成分V1Lと前記縦成分に直交する横成分V1Tとからなり、
横方向に関する格子不整度(V1T−V0T)/V0Tは格子整合条件を満たす、ことを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載された窒化ガリウム系半導体レーザダイオード。 - 前記第1の光ガイド層の前記第1のInX1Ga1−X1N層のための半導体材料のc軸方向と該c軸方向の格子定数d2の大きさとは格子ベクトルLVC2によって表され、
前記格子ベクトルLVC2は前記法線軸の方向の縦成分V2Lと前記縦成分に直交する横成分V2Tとからなり、
横方向に関する格子不整度(V2T−V0T)/V0Tの値は格子整合条件を満たす範囲にある、ことを特徴とする請求項6に記載された窒化ガリウム系半導体レーザダイオード。 - 前記第2のエピタキシャル半導体領域における前記第2クラッド層のための半導体材料のc軸方向と該c軸方向の格子定数d3の大きさとは格子ベクトルLVC3によって表され、
前記格子ベクトルLVC3は前記法線軸の方向の縦成分V3Lと前記縦成分に直交する横成分V3Tとからなり、
横方向に関する格子不整度(V3T−V0T)/V0Tは格子整合条件を満たす、ことを特徴とする請求項7に記載された窒化ガリウム系半導体レーザダイオード。 - 前記第1のクラッド層はAlGaN層からなり、
前記AlGaN層のアルミニウム組成は0.04以下であり、
前記AlGaN層の厚さは500nm以下である、ことを特徴とする請求項1〜請求項8のいずれか一項に記載された窒化ガリウム系半導体レーザダイオード。 - 前記第1のクラッド層はInAlGaN層からなり、
前記InAlGaN層のバンドギャップは、前記光ガイド層の第1GaN層のバンドギャップより大きい、ことを特徴とする請求項1〜請求項8のいずれか一項に記載された窒化ガリウム系半導体レーザダイオード。 - 前記角度ALPHAは63度以上80度未満である、ことを特徴とする請求項1〜請求項10のいずれか一項に記載された窒化ガリウム系半導体レーザダイオード。
- 前記角度ALPHAは70度以上80度未満である、ことを特徴とする請求項1〜請求項11のいずれか一項に記載された窒化ガリウム系半導体レーザダイオード。
- 前記角度ALPHAは72度以上78度未満である、ことを特徴とする請求項1〜請求項12のいずれか一項に記載された窒化ガリウム系半導体レーザダイオード。
- 前記支持基体の前記III族窒化物半導体はGaNである、ことを特徴とする請求項1〜請求項13のいずれか一項に記載された窒化ガリウム系半導体レーザダイオード。
- 前記コア半導体領域は電子ブロック層を含む、ことを特徴とする請求項1〜請求項14のいずれか一項に記載された窒化ガリウム系半導体レーザダイオード。
- 前記基準軸の傾斜方向はa軸方向である、ことを特徴とする請求項1〜請求項15のいずれか一項に記載された窒化ガリウム系半導体レーザダイオード。
- 前記基準軸の傾斜方向はm軸方向である、ことを特徴とする請求項1〜請求項15のいずれか一項に記載された窒化ガリウム系半導体レーザダイオード。
- 当該窒化ガリウム系半導体レーザダイオードのための共振器を構成する一対の端面を更に備え、
当該窒化ガリウム系半導体レーザダイオードのためのレーザストライプは前記基準軸と前記法線軸との両方に直交する方向に延在する、ことを特徴とする請求項1〜請求項17のいずれか一項に記載された窒化ガリウム系半導体レーザダイオード。 - 当該窒化ガリウム系半導体レーザダイオードのための共振器を構成する一対の端面を更に備え、
当該窒化ガリウム系半導体レーザダイオードのためのレーザストライプは、前記基準軸と前記法線軸とによって規定される第2の基準平面に沿って延在する、ことを特徴とする請求項1〜請求項17のいずれか一項に記載された窒化ガリウム系半導体レーザダイオード。 - 前記第2のエピタキシャル半導体領域上において前記レーザストライプに沿って延在する電極を更に備え、
前記一対の端面の各々は、前記支持基体の裏面のエッジから前記第2のエピタキシャル半導体領域の表面のエッジまで延在する、ことを特徴とする請求項18又は請求項19に記載された窒化ガリウム系半導体レーザダイオード。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009167093A JP4978667B2 (ja) | 2009-07-15 | 2009-07-15 | 窒化ガリウム系半導体レーザダイオード |
KR1020100067904A KR101163900B1 (ko) | 2009-07-15 | 2010-07-14 | 질화갈륨계 반도체 레이저 다이오드 |
CN2010102313799A CN101958509B (zh) | 2009-07-15 | 2010-07-15 | 氮化镓类半导体激光二极管 |
TW099123334A TW201115869A (en) | 2009-07-15 | 2010-07-15 | Gallium nitride-based semiconductor laser diode |
US12/837,143 US8284811B2 (en) | 2009-07-15 | 2010-07-15 | Gallium nitride-based semiconductor laser diode |
EP10169584A EP2287981B1 (en) | 2009-07-15 | 2010-07-15 | Gallium nitride-based semiconductor laser diode |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009167093A JP4978667B2 (ja) | 2009-07-15 | 2009-07-15 | 窒化ガリウム系半導体レーザダイオード |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012094024A Division JP2012138633A (ja) | 2012-04-17 | 2012-04-17 | 窒化ガリウム系半導体レーザダイオード |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011023535A true JP2011023535A (ja) | 2011-02-03 |
JP4978667B2 JP4978667B2 (ja) | 2012-07-18 |
Family
ID=43263953
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009167093A Active JP4978667B2 (ja) | 2009-07-15 | 2009-07-15 | 窒化ガリウム系半導体レーザダイオード |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8284811B2 (ja) |
EP (1) | EP2287981B1 (ja) |
JP (1) | JP4978667B2 (ja) |
KR (1) | KR101163900B1 (ja) |
CN (1) | CN101958509B (ja) |
TW (1) | TW201115869A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012182203A (ja) * | 2011-02-28 | 2012-09-20 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Iii族窒化物半導体素子、及びiii族窒化物半導体素子を作製する方法 |
JP2013088822A (ja) * | 2011-10-21 | 2013-05-13 | Sharp Corp | 紫外線レーザ光源、紫外線光を生成する周波数倍化導波路の製造方法 |
JPWO2020017207A1 (ja) * | 2018-07-20 | 2021-08-02 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 半導体発光素子 |
US12009637B2 (en) | 2018-07-20 | 2024-06-11 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Semiconductor light emitting device |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5206699B2 (ja) * | 2010-01-18 | 2013-06-12 | 住友電気工業株式会社 | Iii族窒化物半導体レーザ素子、及びiii族窒化物半導体レーザ素子を作製する方法 |
US7933303B2 (en) | 2009-06-17 | 2011-04-26 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Group-III nitride semiconductor laser device, and method for fabricating group-III nitride semiconductor laser device |
US8189639B2 (en) * | 2010-05-28 | 2012-05-29 | Corning Incorporated | GaN-based laser diodes with misfit dislocations displaced from the active region |
JP5781292B2 (ja) * | 2010-11-16 | 2015-09-16 | ローム株式会社 | 窒化物半導体素子および窒化物半導体パッケージ |
US8358673B2 (en) | 2011-02-17 | 2013-01-22 | Corning Incorporated | Strain balanced laser diode |
JP5139555B2 (ja) * | 2011-04-22 | 2013-02-06 | 住友電気工業株式会社 | 窒化物半導体レーザ、及びエピタキシャル基板 |
JP2013030505A (ja) * | 2011-07-26 | 2013-02-07 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Iii族窒化物半導体レーザ素子 |
JP5351290B2 (ja) * | 2012-01-05 | 2013-11-27 | 住友電気工業株式会社 | 窒化物半導体レーザ、及びエピタキシャル基板 |
KR102099841B1 (ko) | 2013-06-28 | 2020-04-13 | 인텔 코포레이션 | 선택적 에피택셜 성장된 iii-v족 재료 기반 디바이스 |
KR20160137977A (ko) | 2014-03-28 | 2016-12-02 | 인텔 코포레이션 | 선택적 에피택셜 성장된 iii-v족 재료 기반 디바이스 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001230497A (ja) * | 1999-12-06 | 2001-08-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 窒化物半導体装置 |
JP2005072368A (ja) * | 2003-08-26 | 2005-03-17 | Sony Corp | 半導体発光素子、半導体レーザ素子、及び画像表示装置 |
WO2007133603A2 (en) * | 2006-05-09 | 2007-11-22 | The Regents Of The University Of California | In-situ defect reduction techniques for nonpolar and semipolar (ai, ga, in)n |
JP2008533723A (ja) * | 2005-03-10 | 2008-08-21 | ザ リージェンツ オブ ザ ユニバーシティ オブ カリフォルニア | 平坦な半極性窒化ガリウムの成長技術 |
JP2009054616A (ja) * | 2007-08-23 | 2009-03-12 | Sharp Corp | 窒化物半導体発光素子の製造方法と窒化物半導体発光層 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1998019375A1 (fr) * | 1996-10-30 | 1998-05-07 | Hitachi, Ltd. | Machine de traitement optique de l'information et dispositif a semi-conducteur emetteur de lumiere afferent |
US6653663B2 (en) * | 1999-12-06 | 2003-11-25 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Nitride semiconductor device |
JP2002016000A (ja) | 2000-06-27 | 2002-01-18 | Sanyo Electric Co Ltd | 窒化物系半導体素子および窒化物系半導体基板 |
US6586762B2 (en) * | 2000-07-07 | 2003-07-01 | Nichia Corporation | Nitride semiconductor device with improved lifetime and high output power |
JP4291960B2 (ja) | 2001-03-09 | 2009-07-08 | 日亜化学工業株式会社 | 窒化物半導体素子 |
US6897484B2 (en) * | 2002-09-20 | 2005-05-24 | Sharp Kabushiki Kaisha | Nitride semiconductor light emitting element and manufacturing method thereof |
CN100452583C (zh) * | 2003-09-25 | 2009-01-14 | 松下电器产业株式会社 | 氮化物半导体元件和其制造方法 |
US20070290230A1 (en) * | 2003-09-25 | 2007-12-20 | Yasutoshi Kawaguchi | Nitride Semiconductor Device And Production Method Thereof |
EP1583190B1 (en) * | 2004-04-02 | 2008-12-24 | Nichia Corporation | Nitride semiconductor laser device |
JP5076746B2 (ja) * | 2006-09-04 | 2012-11-21 | 日亜化学工業株式会社 | 窒化物半導体レーザ素子及びその製造方法 |
WO2008060531A2 (en) * | 2006-11-15 | 2008-05-22 | The Regents Of The University Of California | Light emitting diode and laser diode using n-face gan, inn, and ain and their alloys |
US7843980B2 (en) | 2007-05-16 | 2010-11-30 | Rohm Co., Ltd. | Semiconductor laser diode |
TWI450414B (zh) * | 2007-10-10 | 2014-08-21 | Rohm Co Ltd | Nitride semiconductor device |
-
2009
- 2009-07-15 JP JP2009167093A patent/JP4978667B2/ja active Active
-
2010
- 2010-07-14 KR KR1020100067904A patent/KR101163900B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2010-07-15 TW TW099123334A patent/TW201115869A/zh unknown
- 2010-07-15 US US12/837,143 patent/US8284811B2/en active Active
- 2010-07-15 EP EP10169584A patent/EP2287981B1/en not_active Not-in-force
- 2010-07-15 CN CN2010102313799A patent/CN101958509B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001230497A (ja) * | 1999-12-06 | 2001-08-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 窒化物半導体装置 |
JP2005072368A (ja) * | 2003-08-26 | 2005-03-17 | Sony Corp | 半導体発光素子、半導体レーザ素子、及び画像表示装置 |
JP2008533723A (ja) * | 2005-03-10 | 2008-08-21 | ザ リージェンツ オブ ザ ユニバーシティ オブ カリフォルニア | 平坦な半極性窒化ガリウムの成長技術 |
WO2007133603A2 (en) * | 2006-05-09 | 2007-11-22 | The Regents Of The University Of California | In-situ defect reduction techniques for nonpolar and semipolar (ai, ga, in)n |
JP2009054616A (ja) * | 2007-08-23 | 2009-03-12 | Sharp Corp | 窒化物半導体発光素子の製造方法と窒化物半導体発光層 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012182203A (ja) * | 2011-02-28 | 2012-09-20 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Iii族窒化物半導体素子、及びiii族窒化物半導体素子を作製する方法 |
JP2013088822A (ja) * | 2011-10-21 | 2013-05-13 | Sharp Corp | 紫外線レーザ光源、紫外線光を生成する周波数倍化導波路の製造方法 |
US8743922B2 (en) | 2011-10-21 | 2014-06-03 | Sharp Kabushiki Kaisha | Ultraviolet laser |
US9158178B2 (en) | 2011-10-21 | 2015-10-13 | Sharp Kabushiki Kaisha | Ultraviolet laser |
JPWO2020017207A1 (ja) * | 2018-07-20 | 2021-08-02 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 半導体発光素子 |
US12009637B2 (en) | 2018-07-20 | 2024-06-11 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Semiconductor light emitting device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101958509B (zh) | 2013-11-27 |
US8284811B2 (en) | 2012-10-09 |
EP2287981A1 (en) | 2011-02-23 |
CN101958509A (zh) | 2011-01-26 |
TW201115869A (en) | 2011-05-01 |
KR20110007060A (ko) | 2011-01-21 |
JP4978667B2 (ja) | 2012-07-18 |
KR101163900B1 (ko) | 2012-07-09 |
EP2287981B1 (en) | 2013-01-23 |
US20110013657A1 (en) | 2011-01-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4978667B2 (ja) | 窒化ガリウム系半導体レーザダイオード | |
JP5003527B2 (ja) | Iii族窒化物発光素子、及びiii族窒化物系半導体発光素子を作製する方法 | |
JP5316276B2 (ja) | 窒化物半導体発光素子、エピタキシャル基板、及び窒化物半導体発光素子を作製する方法 | |
JP2010177651A (ja) | 半導体レーザ素子 | |
WO2013002389A1 (ja) | Iii族窒化物半導体素子、及び、iii族窒化物半導体素子の製造方法 | |
JP2008311640A (ja) | 半導体レーザダイオード | |
JP5333133B2 (ja) | Iii族窒化物半導体レーザダイオード | |
US8513684B2 (en) | Nitride semiconductor light emitting device | |
US8483251B2 (en) | Group III nitride semiconductor laser diode, and method for producing group III nitride semiconductor laser diode | |
US8748868B2 (en) | Nitride semiconductor light emitting device and epitaxial substrate | |
JP5076746B2 (ja) | 窒化物半導体レーザ素子及びその製造方法 | |
US20120327967A1 (en) | Group iii nitride semiconductor laser device, epitaxial substrate, method of fabricating group iii nitride semiconductor laser device | |
JP2011003661A (ja) | 半導体レーザ素子 | |
JP5522147B2 (ja) | 窒化物半導体発光素子、及び、窒化物半導体発光素子の作製方法 | |
JP2008226865A (ja) | 半導体レーザダイオード | |
JP2011138891A (ja) | 窒化物半導体素子 | |
JP2009239084A (ja) | 半導体レーザ素子 | |
JP2012138633A (ja) | 窒化ガリウム系半導体レーザダイオード | |
JP2006339311A (ja) | 半導体レーザ | |
JP2011023473A (ja) | Iii族窒化物半導体レーザダイオード | |
JP2012109624A (ja) | Iii族窒化物発光素子、及びiii族窒化物系半導体発光素子を作製する方法 | |
JP2014078763A (ja) | 窒化物半導体発光素子、及び、窒化物半導体発光素子の作製方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110418 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110426 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110627 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111213 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120213 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120321 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120403 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150427 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4978667 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |