JP2011020903A - 結晶製造方法および結晶製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】坩堝1を処理容器8内に入れる前、あるいは、入れた後に、処理容器8内に固体原料処理液9を流入させ、坩堝1内には、種基板2と、この種基板2上に生成された結晶基板3と、これらの種基板2および結晶基板3を覆った固体原料4とが収納された状態とし、坩堝1の底面7もしくは側面に少なくとも1つ以上の孔6を設けている。
【選択図】図2
Description
図1に、本発明の実施の形態における結晶製造装置の一部を示す。図1に示すように、アルミナ等の耐熱材料で作成されたカップ状の坩堝1と、同様に耐熱材料で作成された種基板位置決め冶具5と、表面に窒化物結晶を成長させる種基板2で構成されている。坩堝1の坩堝内底面7に種基板位置決め冶具5を設置し、種基板位置決め冶具5によって種基板2を坩堝内底面7の所定の位置に保持している。
本発明の実施の形態2の結晶製造装置を、図5に示す。図5において、実施の形態1の構成と異なる所は、坩堝1の坩堝内底面7を加工して、種基板位置決め部12を坩堝1と一体で形成された点である。このように、種基板位置決め部12を坩堝1と一体形成して、種基板位置決め冶具を無くしても、実施の形態1と同様の効果が得られ、結晶基板3や種基板2を短時間で取り出す事ができる。さらには、坩堝と一体形成されているので、部品点数を減少でき、生産性を高くする事ができる。
2 種基板
3 結晶基板
4 固体原料
5 種基板位置決め冶具
6 坩堝孔
7 坩堝内底面
8 処理容器
9 固体原料処理液
10 反応気体
11 坩堝固定台
12 種基板位置決め部
13 原料ガス供給装置
14 結晶成長容器
15 接続管
16 圧力調整器
17 ストップバルブ
18 リーク弁
19 切り離し部
20 断熱材
21 ヒータ
22 熱伝対
23 育成炉
Claims (8)
- 坩堝内で育成された結晶基板を固体原料から取り出す結晶の製造方法であって、
坩堝を処理容器内に入れる前、あるいは、入れた後に、前記処理容器内に固体原料処理液を流入させ、前記坩堝内には、種基板と、この種基板上に生成された結晶基板と、これらの種基板および結晶基板を覆った固体原料とが収納された状態とし、前記坩堝の底面もしくは側面に少なくとも1つ以上の孔を設けた結晶製造方法。 - 前記処理容器の内底面に対して前記坩堝を支持する坩堝固定台を備え、この坩堝固定台は、
所定間隔離して配置した複数の支持部を有する請求項1に記載の結晶製造方法。 - 前記坩堝固定台の支持部は、坩堝固定台を部分的に切断して形成した請求項2に記載の結晶製造方法。
- 前記坩堝固定台の支持部は、坩堝固定台を複数に分割して形成した請求項2に記載の結晶製造方法。
- 前記種基板は、種基板位置決め冶具によって位置決めされている請求項1に記載の結晶製造方法。
- 前記種基板は、前記坩堝内底面形成された種基板位置決め部によって位置決めされている請求項1に記載の結晶製造方法。
- 種基板を窒化ガリウム基板とした請求項1〜6のいずれか一つに記載の結晶製造方法。
- 請求項1〜7の結晶基板の製造方法に用いる結晶基板の製造装置であって、前記処理容器台と、前記処理容器内に前記固体原料処理液を流入させるための流入手段と、前記坩堝内の前記固体原料を前記固体原料処理液で溶解させた後に、前記処理容器内から前記結晶基板と前記種基板を取り出す取り出し手段と、を備えた結晶製造装置。
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