JP2011020261A - ワイヤソー及びワイヤソーイング方法 - Google Patents
ワイヤソー及びワイヤソーイング方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011020261A JP2011020261A JP2010241672A JP2010241672A JP2011020261A JP 2011020261 A JP2011020261 A JP 2011020261A JP 2010241672 A JP2010241672 A JP 2010241672A JP 2010241672 A JP2010241672 A JP 2010241672A JP 2011020261 A JP2011020261 A JP 2011020261A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- wire
- mounting beam
- cutting
- wire saw
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明の方法において、切断部上において切断スリットに沿ってワークから取付ビーム(22)への移行点で傷または段が形成されることが完全に防止される。そのため、ワーク(21)は、切断作業時において、ワイヤソー内で取付ビーム(22)により、2つの貫通点(29;30)の一方がワーク(21)の表面上に位置すると同時に、2つの貫通点(29,30)の他方(30)が取付ビーム(22)の表面上に位置し、ワークの表面上に位置する前記貫通点が侵入側貫通点となるように保持される。
【選択図】 図2
Description
また、これらの方法は、時間と費用とを要する。
図1に、第1の形態に係るワイヤソーでの切断時において取付ビーム2を備えたワークの概略断面図が示されている。
本発明の第2の形態に係るワイヤソーでは、長手軸Lに対して垂直な断面部が対称形の取付ビームとして知られる取付ビーム22を用いて、本発明に係る方法を実施することができる。この第2の形態に係るワイヤソーは、前記第1の形態に係るワイヤソーとは、取付ビーム22がワイヤ面に対して垂直な平面に対して傾斜した状態でワイヤソーに保持されるという点において異なる。このために、送り装置32は、限界停止面26’により形成される平面Eがワイヤ面との間において角度αをなすように傾斜する取付ビーム22用限界停止面26’を備える。
Claims (5)
- ワークを切断するワイヤソーであって、
ワイヤと、
ワークとワイヤとを相対移動させて、ワークが送り方向に沿ってワイヤを通り抜けることにより、ワークの切断が行われる送り装置と、
切断時に、前記ワイヤをその長手軸に沿って移動させる駆動装置と、
前記ワイヤソーに前記ワークを取り付ける取付ビームであって、取り付けられた状態において、前記ワークを、前記取付ビームと前記ワークとの接触面の大部分が、前記ワークの長手軸(M)を含むと共に切断時に前記ワークが相対移動する前記ワイヤ部に対して垂直をなす平面の片側に位置するように、前記取付ビームによりワイヤソーに保持する取付ビームと、
を含むことを特徴とするワイヤソー。 - ワイヤソーによるワーク切断方法であって、ワークと取付ビームとが連続体を形成するように該ワークは該取付ビームに取り付けられ、前記方法は、
ワイヤと前記ワークを互いに移動させて、前記ワークを切断する工程であって、切断時に、前記連続体の表面の2つの対向する貫通点で前記ワイヤを貫通させる工程と、
前記2つの貫通点の一方が侵入側貫通点として、他方が出口側貫通点として形成されるように、前記ワイヤをその長手軸に沿って移動させる工程と、
を有し、
前記2つの貫通点の一方は、前記ワークの表面上に位置すると共に、前記2つの貫通点の他方は、前記取付ビームの表面上に位置し、前記ワーク上に位置する前記貫通点は、前記侵入側貫通点であり、
前記ワークは、前記取付ビームと前記ワークとの接触面の大部分が、前記ワークの長手方向中心軸(M)を含むと共に前記ワークが相対的に移動させられて切断を行う前記ワイヤ部の長手軸と垂直をなす平面の片側に位置するように、前記取付ビームにより前記ワイヤソーに保持されることを特徴とするワイヤソーによるワーク切断方法。 - 前記取付ビームの断面の重心が、前記平面の片側にあることを特徴とする請求項2に記載の方法。
- ワイヤソーにより形成された後、丸み付けが行なわれない状態において、いかなる傷も見られない多結晶または単結晶材料からなるウェハ。
- 少なくとも一部が円柱形状を呈するワークを切断するワイヤソーであって、
ワイヤと、
前記ワークと前記ワイヤとを相対移動させ、ワークが送り方向に沿ってワイヤを通り抜けると、ワークの切断が行われる送り装置と、
切断時に、前記ワイヤをその長手軸に沿って移動させる駆動装置と、
前記ワークの円柱形状に対応したワーク用支持面を備えた取付ビームと
を有し、
前記ワークは、前記ワイヤソーにおいて、前記取付ビームの限界停止面に取り付けられ、該限界停止面により形成される平面(E)が、前記ワークが相対的に移動する前記ワイヤ部の長手軸に対して角度αで傾斜していることを特徴とするワイヤソー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010241672A JP5070326B2 (ja) | 2010-10-28 | 2010-10-28 | ワイヤソー及びワイヤソーイング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010241672A JP5070326B2 (ja) | 2010-10-28 | 2010-10-28 | ワイヤソー及びワイヤソーイング方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007544743A Division JP4874262B2 (ja) | 2004-12-10 | 2004-12-10 | ワイヤーソーイング方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011020261A true JP2011020261A (ja) | 2011-02-03 |
JP5070326B2 JP5070326B2 (ja) | 2012-11-14 |
Family
ID=43630756
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010241672A Active JP5070326B2 (ja) | 2010-10-28 | 2010-10-28 | ワイヤソー及びワイヤソーイング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5070326B2 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0596461A (ja) * | 1991-10-03 | 1993-04-20 | Sumitomo Metal Ind Ltd | マルチワイヤソーによる切断方法 |
JPH07205141A (ja) * | 1994-01-10 | 1995-08-08 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ワイヤーソーのウェーハ切断方法及びその装置 |
JPH0985736A (ja) * | 1995-09-22 | 1997-03-31 | Toray Eng Co Ltd | ワイヤ式切断装置 |
JPH10264143A (ja) * | 1997-03-27 | 1998-10-06 | Mitsubishi Materials Shilicon Corp | ワイヤソーおよびインゴット切断方法 |
JPH11188602A (ja) * | 1997-12-22 | 1999-07-13 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 固定砥粒付エンドレスワイヤソー |
JPH11262917A (ja) * | 1998-03-18 | 1999-09-28 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 半導体単結晶インゴットのスライス方法 |
-
2010
- 2010-10-28 JP JP2010241672A patent/JP5070326B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0596461A (ja) * | 1991-10-03 | 1993-04-20 | Sumitomo Metal Ind Ltd | マルチワイヤソーによる切断方法 |
JPH07205141A (ja) * | 1994-01-10 | 1995-08-08 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ワイヤーソーのウェーハ切断方法及びその装置 |
JPH0985736A (ja) * | 1995-09-22 | 1997-03-31 | Toray Eng Co Ltd | ワイヤ式切断装置 |
JPH10264143A (ja) * | 1997-03-27 | 1998-10-06 | Mitsubishi Materials Shilicon Corp | ワイヤソーおよびインゴット切断方法 |
JPH11188602A (ja) * | 1997-12-22 | 1999-07-13 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 固定砥粒付エンドレスワイヤソー |
JPH11262917A (ja) * | 1998-03-18 | 1999-09-28 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 半導体単結晶インゴットのスライス方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5070326B2 (ja) | 2012-11-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4988645B2 (ja) | ワイヤー鋸用ワイヤー案内ロール | |
KR101670132B1 (ko) | 가공물로부터 복수 개의 웨이퍼를 동시에 절단하는 방법 | |
JP4525353B2 (ja) | Iii族窒化物基板の製造方法 | |
TWI429523B (zh) | 將半導體材料複合棒同時切割為多個晶圓之方法 | |
JP2007538387A (ja) | 超薄シリコンウェハを切り出す方法及び装置 | |
JP2008229752A (ja) | ワイヤソーによる切断方法 | |
JP2023015134A (ja) | ワイヤソーによって半導体ウェハを製造するための方法、ワイヤソー、および、単結晶シリコンの半導体ウェハ | |
JP2009184023A (ja) | ワイヤソーによるワーク切断方法及びワイヤソー切断装置 | |
US8061345B2 (en) | Method for wire sawing | |
KR101489312B1 (ko) | 원통형 공작물로부터 다수의 웨이퍼를 동시에 슬라이싱하는 방법 | |
JP5530946B2 (ja) | 半導体材料から成る結晶から多数のウェハを切断する方法 | |
JP5070326B2 (ja) | ワイヤソー及びワイヤソーイング方法 | |
JP2004074792A (ja) | シリコンからなる半導体ウェーハ、その製造方法、および半導体ウェーハを製造するためのワイヤーソーのためのワイヤー案内ロール | |
JP2003159642A (ja) | ワーク切断方法およびマルチワイヤソーシステム | |
WO2012147472A1 (ja) | 化合物半導体単結晶基板およびその製造方法 | |
JP6835213B2 (ja) | ワークの切断方法及び接合部材 | |
JP2006075969A (ja) | ワイヤソー装置 | |
KR101087001B1 (ko) | 와이어 쏘잉 장치 및 이를 위한 와이어 쏘잉용 바텀 빔 | |
JP2008188721A (ja) | 基板の製造方法及びワイヤソー装置 | |
JP2006205661A (ja) | 基板製造方法 | |
JP2010184335A (ja) | GaAs結晶半導体ウェハの製造方法 | |
KR20090066110A (ko) | 잉곳의 홀더 유닛 및 이를 구비하는 슬라이싱 장치 | |
JP2013094881A (ja) | ワイヤーソー装置およびそれを用いた切断方法ならびに半導体基板の製造方法 | |
JP2013018082A (ja) | ワイヤーソーとワイヤーソーを用いたシリコン製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101028 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120522 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120705 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120724 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120820 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150824 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5070326 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |