JP5070326B2 - ワイヤソー及びワイヤソーイング方法 - Google Patents
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Description
また、これらの方法は、時間と費用とを要する。
図1に、第1の形態に係るワイヤソーでの切断時において取付ビーム2を備えたワークの概略断面図が示されている。
本発明の第2の形態に係るワイヤソーでは、長手軸Lに対して垂直な断面部が対称形の取付ビームとして知られる取付ビーム22を用いて、本発明に係る方法を実施することができる。この第2の形態に係るワイヤソーは、前記第1の形態に係るワイヤソーとは、取付ビーム22がワイヤ面に対して垂直な平面に対して傾斜した状態でワイヤソーに保持されるという点において異なる。このために、送り装置32は、限界停止面26’により形成される平面Eがワイヤ面との間において角度αをなすように傾斜する取付ビーム22用限界停止面26’を備える。
Claims (5)
- ワーク(21)を切断するワイヤソーであって、
ワイヤ(23)と、
ワーク(21)とワイヤ(23)とを相対移動させて、ワーク(21)が送り方向(24)に沿ってワイヤ(23)を通り抜けることにより、ワーク(21)の切断が行われる送り装置(32)と、
切断時に、前記ワイヤ(23)をその長手軸に沿って移動させる駆動装置と、
前記ワイヤソーに前記ワーク(21)を取り付ける取付ビーム(22)であって、取り付けられた状態において、前記ワーク(21)を、前記取付ビーム(22)と前記ワーク(21)との接触面の大部分が、前記ワークの長手軸(M)を含むと共に切断時に前記ワークが相対移動する前記ワイヤ部に対して垂直をなす平面(31)のうちワイヤ(23)を移動させる側の片側に位置するように、前記取付ビーム(22)によりワイヤソーに保持する取付ビームと、
を含むことを特徴とするワイヤソー。 - ワイヤソーによるワーク切断方法であって、ワーク(21)と取付ビーム(22)とが連続体を形成するように該ワーク(21)は該取付ビーム(22)に取り付けられ、前記方法は、
ワイヤ(23)と前記ワーク(21)を互いに移動させて、前記ワーク(21)を切断する工程であって、切断時に、前記連続体(21,22)の表面の2つの対向する貫通点で前記ワイヤ(23)を貫通させる工程と、
前記2つの貫通点の一方が侵入側貫通点として、他方が出口側貫通点として形成されるように、前記ワイヤ(23)をその長手軸に沿って移動させる工程と、
を有し、
前記2つの貫通点の一方は、前記ワーク(21)の表面上に位置すると共に、前記2つの貫通点の他方は、前記取付ビーム(22)の表面上に位置し、前記ワーク上に位置する前記貫通点は、前記侵入側貫通点であり、
前記ワーク(21)は、前記取付ビーム(22)と前記ワーク(21)との接触面の大部分が、前記ワークの長手方向中心軸(M)を含むと共に前記ワークが相対的に移動させられて切断を行う前記ワイヤ部の長手軸と垂直をなす平面(31)のうちワイヤ(23)を移動させる側の片側に位置するように、前記取付ビーム(22)により前記ワイヤソーに保持されることを特徴とするワイヤソーによるワーク切断方法。 - 前記取付ビーム(22)の断面の重心が、前記平面(31)の片側にあることを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 請求項2又は請求項3に記載の方法によって製造され、ワイヤソーにより形成された後、丸み付けが行なわれない状態において、いかなる傷も見られない多結晶または単結晶材料からなるウェハ。
- 請求項1に記載のワイヤソーであって、
前記ワーク(21)は、前記ワイヤソーにおいて、前記取付ビーム(22)の限界停止面(26)に取り付けられ、該限界停止面により形成される平面(E)が、前記ワークが相対的に移動する前記ワイヤ部の長手軸に対して角度αで傾斜していることを特徴とするワイヤソー。
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