JP2011000893A - シリコン製ノズル基板、シリコン製ノズル基板を備えた液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドを搭載した液滴吐出装置、及びシリコン製ノズル基板の製造方法 - Google Patents
シリコン製ノズル基板、シリコン製ノズル基板を備えた液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドを搭載した液滴吐出装置、及びシリコン製ノズル基板の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【課題】ノズル孔の縁部が吐出液に浸食されることがなく吐出液に対する耐久性に優れ、撥水膜自体も当初から強固に密着されており、ノズル孔内壁への被覆やノズル面への撥水膜形成に際して、均一な被覆、正確な塗布領域の制御が可能なシリコン製ノズル基板等を提供する。
【解決手段】液滴を吐出するためのノズル孔11を有し、ノズル孔11の液滴吐出側の面1aからノズル孔11の内壁11cまで酸化物からなる耐吐出液保護膜13を連続して形成し、耐吐出液保護膜13の上に撥水膜14を形成した。また、ノズル孔11の内壁11cから接合面1bにかけて上記の酸化物と同一材料の酸化物からなる保護膜12を連続して設け、保護膜12の上に耐吐出液保護膜13を連続して設けた。
【選択図】図3
【解決手段】液滴を吐出するためのノズル孔11を有し、ノズル孔11の液滴吐出側の面1aからノズル孔11の内壁11cまで酸化物からなる耐吐出液保護膜13を連続して形成し、耐吐出液保護膜13の上に撥水膜14を形成した。また、ノズル孔11の内壁11cから接合面1bにかけて上記の酸化物と同一材料の酸化物からなる保護膜12を連続して設け、保護膜12の上に耐吐出液保護膜13を連続して設けた。
【選択図】図3
Description
本発明は、シリコン製ノズル基板、シリコン製ノズル基板を備えた液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドを搭載した液滴吐出装置、及びシリコン製ノズル基板の製造方法に関する。
液滴を吐出するための液滴吐出ヘッドとして、例えばインクジェット記録装置に搭載されるインクジェットヘッドが知られている。インクジェットヘッドは、一般に、インク滴を吐出するための複数のノズル孔が形成されたノズル基板と、このノズル基板に接合されノズル基板との間で上記ノズル孔に連通する吐出室、リザーバ等のインク流路が形成されたキャビティ基板とを備え、駆動部により吐出室に圧力を加えることによって、インク液を選択されたノズル孔から吐出するように構成されている。駆動手段としては、静電気力を利用する方式や、圧電素子による圧電方式、発熱素子を利用するバブルジェット(登録商標)方式等がある。
近年、インクジェットヘッドに対して、印刷速度の高速化及びカラー化を目的としてノズル列を複数有する構造が求められており、さらに加えて、ノズルは高密度化するとともに1列あたりのノズル数が増加して長尺化しており、インクジェットヘッド内のアクチュエータ数は益々増加している。このため、ノズル密度が高く、長尺かつ多数のノズル列を有する、小型で吐出特性に優れたインクジェットヘッドが要求され、従来から様々な工夫、提案がなされている。
従来のノズル基板は、ノズル孔からインクが吐出されるインク吐出面上に、中間膜と、中間膜上に形成された撥水膜を有するものがある。そして、ノズル孔の内面からインク吐出面のノズル孔の開口の周囲にまでインク耐久膜が形成されており、中間膜はインク吐出面のノズル孔の開口の周囲でインク耐久膜上に形成されている。
そして、ノズル基板は、ノズル孔の内壁にインク耐久膜をスパッタで形成して、ノズル面に中間膜をスパッタで形成し、続いてノズル面に撥水膜をスプレー塗布して形成する(例えば、特許文献1参照)。
そして、ノズル基板は、ノズル孔の内壁にインク耐久膜をスパッタで形成して、ノズル面に中間膜をスパッタで形成し、続いてノズル面に撥水膜をスプレー塗布して形成する(例えば、特許文献1参照)。
特許文献1記載の技術では、中間膜はインク吐出面のノズル孔の開口の周囲でインク耐久膜上に形成されており、インク耐久膜と中間膜との間には連続性がないために、ノズル孔の縁部でインクに浸食されるおそれがある。そして、浸食によって、撥水膜が剥がれてしまう場合もある。また、撥水膜自体の密着が十分でない場合もある。
さらに、ノズル孔内壁の成膜にスパッタ法を用いているが、スパッタには指向性があるため、ノズル孔内壁を均一に被覆するのは困難である。また、ノズル面の撥水膜形成にスプレー塗布を用いているため、撥水膜がノズル孔壁面の一部にも形成され、その領域を制御することは困難である。
さらに、ノズル孔内壁の成膜にスパッタ法を用いているが、スパッタには指向性があるため、ノズル孔内壁を均一に被覆するのは困難である。また、ノズル面の撥水膜形成にスプレー塗布を用いているため、撥水膜がノズル孔壁面の一部にも形成され、その領域を制御することは困難である。
本発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、長期にわたり液滴を吐出駆動させた場合にもノズル孔の縁部が吐出液に浸食されることがなく吐出液に対する耐性に優れ、このため浸食による撥水膜の剥れを防止することができ、また、撥水膜自体も当初から強固に密着されており、さらに、ノズル孔内壁への被覆やノズル面への撥水膜形成に際して、均一な被覆、正確な塗布領域の制御が可能なシリコン製ノズル基板、シリコン製ノズル基板を備えた液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドを搭載した液滴吐出装置、及びシリコン製ノズル基板の製造方法を提供することを目的とする。
本発明に係るシリコン製ノズル基板は、液滴を吐出するためのノズル孔を有し、ノズル孔の液滴吐出側の面からノズル孔の内壁まで酸化物からなる耐吐出液保護膜を連続して形成し、耐吐出液保護膜の上に撥水膜を形成したものである。
耐吐出液保護膜が液滴吐出側の面からノズル孔内壁まで連続して形成されているので、液滴吐出面及びノズル孔の内壁が吐出液によって浸食されず、吐出液に対する耐久性が向上する。また、耐吐出液保護膜は酸化物からなり、その表面のヒドロキシル基が撥水膜表面のメトキシ基等の加水分解基と強固に結合するため、耐吐出液保護膜と撥水膜との密着性が向上する。
また、本発明に係るシリコン製ノズル基板は、酸化物がタンタル酸化物またはニオブ酸化物である。
酸化物がタンタル酸化物であるときは、吐出液、特にアルカリ性の吐出液に対する耐性が高く、酸化物がニオブ酸化物であるときはタンタル酸化物と同等の耐薬品性を有し、しかもタンタル酸化物よりも安価なため、コストを低減することができる。
酸化物がタンタル酸化物であるときは、吐出液、特にアルカリ性の吐出液に対する耐性が高く、酸化物がニオブ酸化物であるときはタンタル酸化物と同等の耐薬品性を有し、しかもタンタル酸化物よりも安価なため、コストを低減することができる。
また、本発明に係るシリコン製ノズル基板は、撥水膜がフッ素含有有機ケイ素化合物からなる膜である。
撥水膜がフッ素含有有機ケイ素化合物からなるので、撥水膜は酸化物からなる耐吐出液保護膜と強固に結合し、かつ撥水性にも優れる。
撥水膜がフッ素含有有機ケイ素化合物からなるので、撥水膜は酸化物からなる耐吐出液保護膜と強固に結合し、かつ撥水性にも優れる。
本発明に係る液滴吐出ヘッドは、上記いずれかのシリコン製ノズル基板を備えたものである。
耐吐出液保護膜が液滴吐出側の面からノズル孔内壁まで連続して形成されているので、液滴吐出面及びノズル孔の内壁が吐出液によって浸食されず、吐出液に対する耐久性に優れ、また、耐吐出液保護膜が酸化物からなり撥水膜と強固に結合しているため、耐吐出液保護膜と撥水膜との密着性に優れて、液滴吐出が良好で安定した液滴吐出ヘッドを提供することができる。
耐吐出液保護膜が液滴吐出側の面からノズル孔内壁まで連続して形成されているので、液滴吐出面及びノズル孔の内壁が吐出液によって浸食されず、吐出液に対する耐久性に優れ、また、耐吐出液保護膜が酸化物からなり撥水膜と強固に結合しているため、耐吐出液保護膜と撥水膜との密着性に優れて、液滴吐出が良好で安定した液滴吐出ヘッドを提供することができる。
本発明に係る液滴吐出装置は、上記の液滴吐出ヘッドを搭載したものである。
吐出液に対する耐久性に優れ、液滴吐出が良好で安定した液滴吐出ヘッドを搭載した液滴吐出装置を提供することができる。
吐出液に対する耐久性に優れ、液滴吐出が良好で安定した液滴吐出ヘッドを搭載した液滴吐出装置を提供することができる。
本発明に係るシリコン製ノズル基板の製造方法は、基材に凹部を形成する工程と、基材の表面に保護膜を形成する工程と、基材の凹部を形成した側の面に支持基板を貼り合わせる工程と、基材の凹部を形成した側の面と反対側の面を薄板化して凹部を開口させる工程と、基材の薄板化した側の面から開口した凹部の内壁まで連続する耐吐出液保護膜を形成する工程と、耐吐出液保護膜の上に撥水膜を形成する工程と、基材の薄板化した側の面をサポート部材によって保護して支持基板を剥離し、薄板化した側の面と反対側の面から親水化処理する工程と、サポート部材を剥離する工程とを有する。
基材の凹部(ノズル孔となる凹部)を形成した側の面に支持基板を貼り合わせておき、凹部を形成した側の面とは反対側の面を薄板化し、凹部を開口してノズル孔を形成するようにしたので、ノズル孔の製造時に基材が割れたり欠けたりすることがなく、ハンドリングも容易で、歩留まりが向上する。
そして、薄板化した側の面(液滴吐出面)から開口した凹部(ノズル孔)の内壁まで連続する耐吐出液保護膜を形成するようにしたので、かかる基材を用いて製造したノズル基板では、液滴吐出面及びノズル孔の内壁が吐出液によって浸食されず、吐出液に対する耐久性を向上することができる。
また、耐吐出液保護膜の全面に撥水膜を形成し、液滴吐出面以外の面を親水化処理するようにしたので、被覆性と耐久性に優れた撥水膜を安価に形成することができる。
さらに、親水化処理は液滴吐出面を保護した状態で、液滴吐出面と反対の面から行うようにしたので、ノズル孔の吐出口縁部を境にして、ノズル孔の内壁を確実に親水化することができる。
そして、薄板化した側の面(液滴吐出面)から開口した凹部(ノズル孔)の内壁まで連続する耐吐出液保護膜を形成するようにしたので、かかる基材を用いて製造したノズル基板では、液滴吐出面及びノズル孔の内壁が吐出液によって浸食されず、吐出液に対する耐久性を向上することができる。
また、耐吐出液保護膜の全面に撥水膜を形成し、液滴吐出面以外の面を親水化処理するようにしたので、被覆性と耐久性に優れた撥水膜を安価に形成することができる。
さらに、親水化処理は液滴吐出面を保護した状態で、液滴吐出面と反対の面から行うようにしたので、ノズル孔の吐出口縁部を境にして、ノズル孔の内壁を確実に親水化することができる。
また、本発明に係るシリコン製ノズル基板の製造方法は、耐吐出液保護膜をCVD法により形成するものである。
耐吐出液保護膜をCVD法によって形成するようにしたので、被覆性の良好な保護膜を得ることができる。
耐吐出液保護膜をCVD法によって形成するようにしたので、被覆性の良好な保護膜を得ることができる。
また、本発明に係るシリコン製ノズル基板の製造方法は、耐吐出液保護膜を形成する際に、160℃以下で行うようにしたものである。
耐吐出液保護膜のCVD法による成膜を160℃以下の低温領域で実施するようにしたので、基材に樹脂等で支持基板を接着した状態で成膜することができ、ハンドリング性や処理効率が向上し、コストを削減することができる。
耐吐出液保護膜のCVD法による成膜を160℃以下の低温領域で実施するようにしたので、基材に樹脂等で支持基板を接着した状態で成膜することができ、ハンドリング性や処理効率が向上し、コストを削減することができる。
実施の形態1.
図1は本実施の形態1に係るインクジェットヘッド(液滴吐出ヘッドの一例)の一部を断面で示した分解斜視図、図2は図1を組立てた状態の要部を示す縦断面図、図3は図2のノズル孔の近傍を拡大して示した縦断面図である。
インクジェットヘッド10は、図1および図2に示すように、複数のノズル孔11が所定のピッチで設けられたノズル基板1と、各ノズル孔11に対して独立にインク供給路が設けられたキャビティ基板2と、キャビティ基板2の振動板22に対峙して個別電極31が配設された電極基板3とを貼り合わせることにより構成されている。
図1は本実施の形態1に係るインクジェットヘッド(液滴吐出ヘッドの一例)の一部を断面で示した分解斜視図、図2は図1を組立てた状態の要部を示す縦断面図、図3は図2のノズル孔の近傍を拡大して示した縦断面図である。
インクジェットヘッド10は、図1および図2に示すように、複数のノズル孔11が所定のピッチで設けられたノズル基板1と、各ノズル孔11に対して独立にインク供給路が設けられたキャビティ基板2と、キャビティ基板2の振動板22に対峙して個別電極31が配設された電極基板3とを貼り合わせることにより構成されている。
ノズル基板1は、シリコン単結晶基材(以下、単にシリコン基材ともいう)から作製されている。ノズル基板1にはインク滴を吐出するためのノズル孔11が開口されており、各ノズル孔11は、図3に示すように、例えば、径の異なる2段の円筒状に形成されたノズル孔部分、すなわち、液滴吐出面1a側に位置して先端が液滴吐出面1aに開口する径の小さい吐出部(以下、第1のノズル孔部という)11aと、キャビティ基板2と接合する接合面1b側に位置して後端が接合面1bに開口する径の大きい導入部(以下、第2のノズル孔部という)11bとから構成され、基板面に対して垂直にかつ同軸上に形成されている。
ノズル孔11の内壁11cから接合面1bにかけて、タンタル酸化物(五酸化タンタル(Ta2 O5 ))のような酸化物からなる保護膜(第1の保護膜)12が連続して形成されている。また、ノズル孔11の液滴吐出面1aからノズル孔11の内壁11cに設けた保護膜12の上にかけて、タンタル酸化物(五酸化タンタル(Ta2 O5 ))のような酸化物からなる耐吐出液保護膜(第2の保護膜)13が連続して形成されている。そして、保護膜12と耐吐出液保護膜13とは、ノズル孔11の内壁11cで、耐吐出液保護膜13が保護膜12の上(ノズル孔11の中心軸側)になるようにして積層してある。なお、保護膜12及び耐吐出液保護膜13は同一の材料(タンタル酸化物)によって構成されており、このため強固に密着する。
上記の説明では、保護膜12及び耐吐出液保護膜13としてタンタル酸化物を用いているが、ニオブ酸化物のような酸化物を用いてもよい。この場合も、これらの保護膜12、および耐吐出液保護膜13は同一の材料によって構成されるため、強固に密着する。
上記の説明では、保護膜12及び耐吐出液保護膜13としてタンタル酸化物を用いているが、ニオブ酸化物のような酸化物を用いてもよい。この場合も、これらの保護膜12、および耐吐出液保護膜13は同一の材料によって構成されるため、強固に密着する。
また、耐吐出液保護膜13の液滴吐出面1aには、フッ素含有有機化合物からなる撥水膜(撥インク膜)14が形成されており、耐吐出液保護膜13表面のヒドロキシル基が、撥水膜14のメトキシ基等の加水分解基と強固に結合している。
なお、ノズル孔11の吐出口縁部11dを境にして、ノズル孔11の内壁11cは親水化(親インク化)処理されている。
なお、ノズル孔11の吐出口縁部11dを境にして、ノズル孔11の内壁11cは親水化(親インク化)処理されている。
キャビティ基板2は、シリコン単結晶基材(この基材も以下、単にシリコン基材ともいう)から作製されている。そして、シリコン基材に異方性ウェットエッチングを施し、インク流路の吐出室24、リザーバ25をそれぞれ構成するための凹部240、250、及びオリフィス23を構成するための凹部230が形成される。
凹部240はノズル孔11に対応する位置に独立に複数形成される。したがって、ノズル基板1とキャビティ基板2を接合した際、各凹部240は吐出室24を構成し、それぞれがノズル孔11に連通し、またインク供給口であるオリフィス23ともそれぞれ連通している。そして、吐出室24(凹部240)の底壁が振動板22となっている。
凹部240はノズル孔11に対応する位置に独立に複数形成される。したがって、ノズル基板1とキャビティ基板2を接合した際、各凹部240は吐出室24を構成し、それぞれがノズル孔11に連通し、またインク供給口であるオリフィス23ともそれぞれ連通している。そして、吐出室24(凹部240)の底壁が振動板22となっている。
他方の凹部250は、液状のインクを貯留するためのものであり、各吐出室24に共通のリザーバ(共通インク室)25を構成する。そして、リザーバ25(凹部250)はそれぞれオリフィス23を介して全ての吐出室24に連通している。また、リザーバ25の底部には後述する電極基板3を貫通する孔が設けられており、この孔で形成されたインク供給孔34を通じて図示しないインクカートリッジからインクが供給されるようになっている。
また、キャビティ基板2の全面、もしくは少なくとも電極基板3との対向面には、シリコン酸化膜等からなる絶縁膜26が形成されており、この絶縁膜26は、インクジェットヘッドを駆動させたときに、絶縁破壊や短絡を防止する。
また、キャビティ基板2の全面、もしくは少なくとも電極基板3との対向面には、シリコン酸化膜等からなる絶縁膜26が形成されており、この絶縁膜26は、インクジェットヘッドを駆動させたときに、絶縁破壊や短絡を防止する。
電極基板3は、ガラス基材から作製されている。このガラス基材は、キャビティ基板2のシリコン基材と熱膨張係数の近い硼珪酸系の耐熱硬質ガラスを用いるのが好ましい。これは、電極基板3とキャビティ基板2とを陽極接合する際、両基板3,2の熱膨張係数が近いため、電極基板3とキャビティ基板2との間に生じる応力を低減することができ、その結果、剥離等の問題を生じることなく電極基板3とキャビティ基板2とを強固に接合することができるからである。
電極基板3のキャビティ基板2と対向する面には、キャビティ基板2の各振動板22に対向する位置にそれぞれ凹部32が設けられている。そして、各凹部32内には、一般に、ITO(Indium Tin Oxide:インジウム錫酸化物)からなる個別電極31が形成されており、振動板22と個別電極31との間に形成されるギャップ(空隙)Gは、インクジェットヘッドの吐出特性に大きく影響する。なお、個別電極31の材料にはクロム等の金属等を用いてもよいが、ITOは透明であるので放電したかどうかの確認が行いやすいため、一般にITOが用いられている。
個別電極31は、リード部31aと、フレキシブル配線基板(図示せず)に接続される端子部31bとを有する。端子部31bは、図2に示すように、配線のためにキャビティ基板2の末端部が開口された電極取り出し部29内に露出している。
上述したノズル基板1、キャビティ基板2、及び電極基板3は、一般に個別に作製され、これらを図2に示すように貼り合わせることにより、インクジェットヘッド10の本体部が作製される。すなわち、キャビティ基板2と電極基板3は例えば陽極接合により接合され、そのキャビティ基板2の上面(図2の上面)にはノズル基板1が接着剤等により接合される。さらに、振動板22と個別電極31との間に形成されるギャップGの開放端部は、エポキシ等の樹脂による封止材27で封止されている。これにより、湿気や塵埃等がギャップG内へ侵入するのを防止することができる。
そして、図2に示すように、ICドライバ等の駆動制御回路4が、各個別電極31の端子部31bと、キャビティ基板2上に設けられた共通電極28とに、フレキシブル配線基板(図示せず)を介して接続されている。
上記のように構成されたインクジェットヘッド10において、駆動制御回路4によりキャビティ基板2と個別電極31との間にパルス電圧が印加されると、振動板22と個別電極31との間に静電気力が発生し、その吸引作用により振動板22が個別電極31側に引き寄せられて撓み、吐出室24の容積が拡大する。これにより、リザーバ25の内部に溜まっていたインクがオリフィス23を通じて吐出室24に流れ込む。次に、個別電極31への電圧の印加を停止すると、静電吸引力が消滅して振動板22が復元し、吐出室24の容積が急激に収縮する。これにより、吐出室24内の圧力が急激に上昇し、この吐出室24に連通しているノズル孔11からインク液滴が吐出される。
次に、インクジェットヘッド10の製造方法について、図4〜図11を用いて説明する。図4は本発明の実施の形態1に係るノズル基板1を示す上面図、図5〜図9はノズル基板1の製造工程を示す断面図(図4をA−A線で切断した断面図)である。図10、図11はキャビティ基板2と電極基板3との接合工程を示す断面図であり、ここでは、主に、電極基板3にシリコン基材200を接合した後に、キャビティ基板2を製造する方法を示す。
まず、最初に、図5〜図9により、ノズル基板1の製造方法を説明する。なお、以下に記載の数値はその一例を示すもので、これに限定するものではない。
まず、最初に、図5〜図9により、ノズル基板1の製造方法を説明する。なお、以下に記載の数値はその一例を示すもので、これに限定するものではない。
(a) 図5(a)に示すように、シリコン基材100(ノズル基板1)を用意して熱酸化装置にセットする。
(b) シリコン基材100を、所定の酸化温度、酸化時間、酸素と水蒸気の混合雰囲気中の条件で熱酸化処理し、図5(b)に示すように、シリコン基材100の両面100b(1b)、100cに、エッチング保護膜となるシリコン酸化膜(SiO2 膜)101を均一に形成する。
(c) 図5(c)に示すように、キャビティ基板2と接合する側の接合面100bに形成したシリコン酸化膜101に、第2のノズル凹部110b(図6(f)参照)に対応する第2の凹部101bと、これと同心的に第1のノズル凹部110a(図6(f)参照)に対応する第1の凹部101aとを、パターニング形成する。この場合、まず、第2の凹部101bをBHF(Buffered HF )によりハーフエッチングして形成し、次に、第1の凹部101aをその残し厚さが零になるようにBHFによりエッチングして形成する。
(d) 図6(d)に示すように、Deep−RIE(Deep Reactive Ion Etching)によって、例えば深さが60μmになるように垂直に異方性ドライエッチングして、第1のノズル凹部110aを形成する。
(e) 図6(e)に示すように、シリコン酸化膜101をBHFによりエッチングして、第2の凹部101bの残し厚さが零になるようにする。
(f) 図6(f)に示すように、Deep−RIEによって、例えば深さが20μmになるように垂直に異方性ドライエッチングして、第2のノズル凹部110bを形成する。このとき、同時に第1のノズル凹部110aも同じ深さだけ垂直に異方性ドライエッチングされる。こうして、ノズル凹部110が形成される。
次に、シリコン基材100の表面に残るシリコン酸化膜101を除去する。
次に、シリコン基材100の表面に残るシリコン酸化膜101を除去する。
(g) 図6(g)に示すように、熱CVD(Chemical Vapor Deposition)によって、接合面100b、ノズル凹部110の内壁110c、及び薄板化(後述)する側の面100cに、タンタル酸化膜(Ta2 O5 膜)120を、例えば0.2μmの厚さに形成する。
なお、熱CVDではなく、プラズマCVDによって、タンタル酸化膜120を形成してもよい。この場合は、薄板化する側の面100cには、タンタル酸化膜120は形成されない。
なお、熱CVDではなく、プラズマCVDによって、タンタル酸化膜120を形成してもよい。この場合は、薄板化する側の面100cには、タンタル酸化膜120は形成されない。
(h) 図7(h)に示すように(図7(h)より図7(k)に至るまでは図6(g)のシリコン基材100の上下を逆転した図を示す)、ガラス等の透明材料の支持基板50に、紫外線または熱などの刺激で容易に接着力が低下する自己剥離層61を有する両面テープ60を貼り合わせる。具体的には、支持基板50に貼り合わせた両面テープ60の自己剥離層61の面と、シリコン基材100の接合面100bとを向かい合わせ、真空中で貼り合わせる。これにより接着界面に気泡が残らないきれいな接着が可能となる。この接着の際に接着界面に気泡が残ると、次の(i)工程の研削加工で薄板化されるシリコン基材100の板厚がばらつく原因となる。
(i) 図7(i)に示すシリコン基材100の薄板化する側の面100cを、バックグラインダーによって研削加工する。そして、第1のノズル凹部110aの先端が開口するまで、例えば厚さが60μmとなるまでシリコン基材100を薄板化し、研削面をCMP装置によって鏡面化して、液滴吐出面(薄板化した側の面)100a(1a)を形成する。こうして、第1のノズル凹部110aは第1のノズル孔部11aとなり、第2のノズル凹部110bは第2のノズル孔部11bとなって、ノズル凹部110からノズル孔11が形成される。研削されずに残ったタンタル酸化膜120は、保護膜(第1の保護膜)12となる。
(j) 図7(j)に示すように、低温プラズマCVD(160℃以下)によって、液滴吐出面100aから保護膜12が形成されたノズル孔11の内壁11cまで、耐吐出液保護膜(第2の保護膜)13となるタンタル酸化膜(Ta2 O5 膜)を、例えば0.2μmの厚さになるように連続して形成する。
なお、保護膜12と耐吐出液保護膜13とは同一の材料であるタンタル酸化物からなるため、良好に密着する。
なお、保護膜12と耐吐出液保護膜13とは同一の材料であるタンタル酸化物からなるため、良好に密着する。
(k) 図7(k)に示すように、耐吐出液保護膜13の全面(液滴吐出面100aからノズル孔11の内壁11cに到る全面)に、ディッピングにより、フッ素含有有機ケイ素化合物からなる撥水膜14を形成する。
(l) 図8(l)(図8(l)より図8(o)に至るまでは図7(k)のシリコン基材100の上下を逆転した図を示す)に示すように、液滴吐出面100aにダイシングテープ70をサポートテープ(サポート部材)として貼り付ける。
(m) 図8(m)に示すように、支持基板50側からUV光を照射する。
(n) 図8(n)に示すように、両面テープ60の自己剥離層61をシリコン基材100から剥離する。
(o) 図8(o)に示すように、アルゴン(Ar)によるスパッタ処理を行い、液滴吐出面100a以外を親水化処理する。
(p) 図9(p)(図9(p)より図9(q)に至るまでは図8(o)のシリコン基材100の上下を逆転した図を示す)に示すように、シリコン基材100のダイシングテープ70を貼り付けている面とは反対側の接合面100bを真空ポンプに連通した吸着冶具80に吸着固定し、ダイシングテープ70を剥離する。
(q) 図9(q)に示すように、吸着冶具80の吸着固定を解除すれば、シリコン基材100からノズル基板1が完成する。なお、図示を省略したが、ノズル基板1にはノズル孔11を形成するのと同時に、ノズル基材外輪となる部分に貫通溝を形成するようにしており、吸着冶具80を取り外す段階でノズル基板1が個片に分割されるようになっている。
実施の形態1に係るノズル基板1およびその製造方法によれば、耐吐出液保護膜(第2の保護膜)13が液滴吐出面1aからノズル孔11の内壁11cまで連続して形成されているので、液滴吐出面1a及びノズル孔11の内壁11cが吐出液によって浸食されず、吐出液に対する耐久性が向上する。そして、耐吐出液保護膜13の、液滴吐出面1aには撥水膜14が形成されており、ノズル孔11の吐出口縁部11dを境にして、ノズル孔11の内壁11c側は親水性であり、液滴吐出面1a側は撥水性なので、液滴吐出面1aへの吐出液残留がなく、飛行曲がりのない良好な吐出特性を得ることができる。
また、耐吐出液保護膜13は酸化物からなり、その表面のヒドロキシル基が撥水膜14表面のメトキシ基等の加水分解基と強固に結合するため、耐吐出液保護膜13と撥水膜14との密着性が向上する。
さらに、耐吐出液保護膜13がタンタル酸化物からなるときは、吐出液、特にアルカリ性の吐出液に対する耐性が高く、また、ニオブ酸化物からなるときはタンタル酸化物と同等の耐薬品性を有し、タンタル酸化物よりも安価なため、コストを削減することができる。
また、撥水膜14がフッ素含有有機ケイ素化合物からなるときは、酸化物からなる耐吐出液保護膜13と強固に結合し、かつ良好な撥水性を得ることができる。
さらに、保護膜12と耐吐出液保護膜13はCVDで形成するので、被覆性の良い保護膜を得ることができる。そして、耐吐出液保護膜13のCVDによる成膜は160℃以下の低温領域で実施するので、ノズル基材100に樹脂等で支持基板50を接着した状態で成膜することができ、ハンドリング性や処理効率が向上し、コストを削減することができる。
また、撥水膜14を耐吐出液保護膜13の全面にディップ形成し、液滴吐出面1a以外の面を親水化処理するようにしたので、被覆性と耐久性に優れた撥水膜14を安価に得ることができる。
さらに、親水化処理は、液滴吐出面100aを保護した状態で、接合面100b側からスパッタ処理するようにしたので、ノズル孔11の吐出口縁部11dを境にして、ノズル孔11の内壁11cを確実に親水化することができる。
また、撥水膜14を耐吐出液保護膜13の全面にディップ形成し、液滴吐出面1a以外の面を親水化処理するようにしたので、被覆性と耐久性に優れた撥水膜14を安価に得ることができる。
さらに、親水化処理は、液滴吐出面100aを保護した状態で、接合面100b側からスパッタ処理するようにしたので、ノズル孔11の吐出口縁部11dを境にして、ノズル孔11の内壁11cを確実に親水化することができる。
次に、キャビティ基板2および電極基板3の製造方法について説明する。
ここでは、電極基板3にシリコン基材200を接合した後、そのシリコン基材200からキャビティ基板2を製造する方法について、図10、図11を用いて説明する。
ここでは、電極基板3にシリコン基材200を接合した後、そのシリコン基材200からキャビティ基板2を製造する方法について、図10、図11を用いて説明する。
(a) 図10(a)に示すように、硼珪酸ガラス等からなるガラス基材300(ガラス基板3)に、例えば金・クロムのエッチングマスクを使用してフッ酸によってエッチングして、凹部32を形成する。この凹部32は個別電極31の形状より少し大きめの溝状であり、個別電極31ごとに複数形成される。
そして、凹部32の底部に、例えばスパッタによりITO(Indium Tin Oxide)からなる個別電極31を形成する。
その後、ドリル等によってインク供給孔34となる孔部34aを形成することにより、電極基板3が作製される。
そして、凹部32の底部に、例えばスパッタによりITO(Indium Tin Oxide)からなる個別電極31を形成する。
その後、ドリル等によってインク供給孔34となる孔部34aを形成することにより、電極基板3が作製される。
(b) 図10(b)に示すように、シリコン基材200(キャビティ基板2)の両面を鏡面研磨した後、シリコン基材200の片面に、プラズマCVDによってTEOS(TetraEthyl Ortho Silicate)からなるシリコン酸化膜(絶縁膜)26を形成する。なお、シリコン基材200を形成する前に、エッチングストップ技術を利用し、振動板22の厚みを高精度に形成するためのボロンドープ層を形成するようにしてもよい。エッチングストップとはエッチング面から発生する気泡が停止した状態と定義し、実際のウェットエッチングにおいては、気泡の発生の停止をもってエッチングがストップしたものと判断する。
(c) このシリコン基材200と、図10(a)のようにして作製された電極基板3とを、図10(c)に示すように、例えば360℃に加熱して、シリコン基材200に陽極を、電極基板3に陰極を接続し、800V程度の電圧を印加して陽極接合により接合する。
(d) シリコン基材200と電極基板3とを陽極接合した後に、水酸化カリウム水溶液等で接合状態のシリコン基材200をエッチングし、図10(d)に示すように、シリコン基材200を薄板化する。
(e) 次に、シリコン基材200の上面(電極基板3が接合されている面と反対側の面)の全面にプラズマCVDによって、シリコン酸化膜201(図11(e)参照)を形成する。そして、このシリコン酸化膜201に、吐出室24となる凹部240、オリフィス23となる凹部230、及びリザーバ25となる凹部250等を形成するためのレジストをパターニングし、これらの部分のシリコン酸化膜201をエッチング除去する。
その後、シリコン基材200を水酸化カリウム水溶液等でエッチングして、図11(e)に示すように、吐出室24となる凹部240、オリフィス23となる凹部230、及びリザーバ25となる凹部250を形成する。このとき、配線のための電極取り出し部となる部分29aもエッチングして薄板化しておく。なお、図11(e)のウェットエッチングの工程では、例えば初めに35重量%の水酸化カリウム水溶液を使用し、その後、3重量%の水酸化カリウム水溶液を使用することができる。これにより、振動板22の面荒れを抑制することができる。
その後、シリコン基材200を水酸化カリウム水溶液等でエッチングして、図11(e)に示すように、吐出室24となる凹部240、オリフィス23となる凹部230、及びリザーバ25となる凹部250を形成する。このとき、配線のための電極取り出し部となる部分29aもエッチングして薄板化しておく。なお、図11(e)のウェットエッチングの工程では、例えば初めに35重量%の水酸化カリウム水溶液を使用し、その後、3重量%の水酸化カリウム水溶液を使用することができる。これにより、振動板22の面荒れを抑制することができる。
(f) シリコン基材200のエッチングが終了した後に、図11(f)に示すように、フッ酸水溶液でエッチングして、シリコン基材200の上面に形成されているシリコン酸化膜201を除去する。
(g) シリコン基材200の吐出室24となる凹部240等が形成された面に、図11(g)に示すように、プラズマCVDによりシリコン酸化膜(絶縁膜)26を形成する。
(h) 図11(h)に示すように、RIE等によって電極取り出し部29を開放する。また、電極基板3のインク供給孔34となる孔部34aからレーザ加工を施して、シリコン基材200のリザーバ25となる凹部250の底部を貫通させ、インク供給孔34を形成する。また、振動板22と個別電極31との間のギャップGの開放端部にエポキシ樹脂等の封止材27を充填して封止を行う。また、図2に示した共通電極28を、スパッタにより、シリコン基材200の上面(ノズル基板1との接合側の面)の端部に形成する。
以上により、電極基板3に接合した状態のシリコン基材200からキャビティ基板2が作製される。
そして最後に、このキャビティ基板2に、前述のようにして作製されたノズル基板1を接着剤等により接合することにより、図2に示したインクジェットヘッド10の本体部が作製される。
そして最後に、このキャビティ基板2に、前述のようにして作製されたノズル基板1を接着剤等により接合することにより、図2に示したインクジェットヘッド10の本体部が作製される。
本実施の形態1に係るキャビティ基板2および電極基板3の製造方法によれば、キャビティ基板2を、予め作製された電極基板3に接合した状態のシリコン基材200から作製するので、電極基板3によりシリコン基材200を支持した状態となり、シリコン基材200を薄板化しても割れたり欠けたりすることがなく、ハンドリングが容易となる。したがって、キャビティ基板2を単独で製造する場合よりも歩留まりが向上する。
実施の形態2.
図12は、実施の形態1に係るインクジェットヘッド10を搭載したインクジェット記録装置を示す斜視図である。図12に示すインクジェット記録装置400は、インクジェットプリンタであり、実施の形態1のインクジェットヘッド10を搭載しているため、吐出液に対する耐久性が向上し、また、耐吐出液保護膜13と撥水膜14との密着性も良いので、液滴吐出が安定し、高品質の印字が可能である。
なお、実施の形態1に係るインクジェットヘッド10は、図12に示すインクジェットプリンタの他に、液滴を種々変更することで、液晶ディスプレイのカラーフィルタの製造、有機EL表示装置の発光部分の形成、遺伝子検査等に用いられる生体分子溶液のマイクロアレイの製造など様々な用途の液滴吐出装置として利用することができる。
図12は、実施の形態1に係るインクジェットヘッド10を搭載したインクジェット記録装置を示す斜視図である。図12に示すインクジェット記録装置400は、インクジェットプリンタであり、実施の形態1のインクジェットヘッド10を搭載しているため、吐出液に対する耐久性が向上し、また、耐吐出液保護膜13と撥水膜14との密着性も良いので、液滴吐出が安定し、高品質の印字が可能である。
なお、実施の形態1に係るインクジェットヘッド10は、図12に示すインクジェットプリンタの他に、液滴を種々変更することで、液晶ディスプレイのカラーフィルタの製造、有機EL表示装置の発光部分の形成、遺伝子検査等に用いられる生体分子溶液のマイクロアレイの製造など様々な用途の液滴吐出装置として利用することができる。
1 ノズル基板、1a 液滴吐出面、1b 接合面、2 キャビティ基板、3 電極基板、10 インクジェットヘッド、11 ノズル孔、11a 第1のノズル孔部、11b 第2のノズル孔部、11c ノズル孔の内壁、11d 吐出口縁部、12 保護膜(第1の保護膜)、13 耐吐出液保護膜(第2の保護膜)、14 撥水膜、22 振動板、23 オリフィス、24 吐出室、25 リザーバ、31 個別電極、32 凹部、34 インク供給孔、50 支持基板、70 ダイシングテープ(サポート部材)、100 シリコン基材、100a 薄板化した側の面(液滴吐出面)、100b 接合面、100c 薄板化する側の面、110 ノズル凹部(凹部)、110a 第1のノズル凹部、110b 第2のノズル凹部、400 インクジェット記録装置。
Claims (3)
- 基材に凹部を形成する工程と、
前記基材の表面に保護膜を形成する工程と、
前記基材の前記凹部を形成した側の面に支持基板を貼り合わせる工程と、
前記基材の前記凹部を形成した側の面と反対側の面を薄板化して前記凹部を開口させる工程と、
前記基材の前記薄板化した側の面から前記開口した凹部の内壁まで連続する耐吐出液保護膜を形成する工程と、
前記耐吐出液保護膜の上に撥水膜を形成する工程と、
前記基材の前記薄板化した側の面をサポート部材によって保護して前記支持基板を剥離し、前記薄板化した側の面と反対側の面から親水化処理する工程と、
前記サポート部材を剥離する工程とを、
有することを特徴とするシリコン製ノズル基板の製造方法。 - 前記耐吐出液保護膜をCVD法により形成することを特徴とする請求項1記載のシリコン製ノズル基板の製造方法。
- 前記耐吐出液保護膜を形成する際に、160℃以下で行うことを特徴とする請求項2記載のシリコン製ノズル基板の製造方法。
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2010
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