JP2010539675A - 光学的クロストークの改善を伴うカラー画像センサ - Google Patents
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Abstract
隣接するフィルタ間、とりわけ異なる色のフィルタ間の光学的クロストークを制限するため、本発明は第1の画素に対応する決められたフィルタに対して斜めに届く光が、隣接するフィルタに向かって、又は隣接する画素に対応する光電性領域に向かって通る傾向を示さず、壁によって第1のフィルタへ、又は第1の画素に対応する光電性領域へ戻されるように、光を反射する傾向のある材料の壁(20)を、異なる色(FR、FB、FV)の隣接するフィルタ間に配置することを提案する。壁はアルミニウムのような高い反射率を有する材料で作られることが望ましく、それは層がp型の場合には、該層内に形成される望ましくはp+拡散の、薄膜化した半導体層(16)の中へ深く沈み込む。
【選択図】 図5
Description
−一様なアルミニウム層がセンサの裏面上、すなわち光電性領域を含むシリコンの層16の接近可能な面上に堆積され、
−窒化チタン層がアルミニウム層の上に堆積され、
−壁位置の上方のフォトレジストの残留を可能にすることにより、製作されるべき壁に対応するパターンに従ってエッチングされる、フォトレジストの層が堆積され、
−レジストを著しくエッチングすることなく窒化チタンを除去するエッチング液を用いて、レジストにより保護されていない所の窒化チタンがエッチングされ、次に同様に、レジストをエッチングすることなくアルミニウムを除去するエッチング液を用いて、アルミニウムが除去され、
−レジストが除去され、
−第1の色の着色レジストの層が堆積され、アルミニウムの壁に囲まれた位置の内側のみに、それが残ることを可能にするフォトリソグラフィー法によりエッチングされ、そして関連する色のフィルタ用に保存され、
−第2の色の着色レジストの層が堆積され、アルミニウムの壁に囲まれた位置の内側のみに、それが残ることを可能にするフォトリソグラフィー法によりエッチングされ、そして第2の色のフィルタ用に保存され、
−第3の色の着色レジストの層が堆積され、アルミニウムの壁に囲まれた位置の内側のみに、それが残ることを可能にするフォトリソグラフィーによりエッチングされ、そして第3の色のフィルタ用に保存される。
Claims (7)
- その面により光電性領域と回路とのネットワークが、これらの領域によって光を発生した電荷を収集するために形成された当該面と反対側の面を介して照らされる、薄膜化した半導体層(16)を有する画像センサであって、前記反対側の面が、各光電性領域の周りに、光を反射する材料の壁(20)を含み、この壁が、前記薄膜化した半導体層の中へと深く延びることを特徴とする画像センサ。
- 壁(20)がアルミニウムで作られることを特徴とする、請求項1に記載の画像センサ。
- 壁(20)の上部が反射防止材料の表面層(22)、とりわけ窒化チタンの表面層により形成されることを特徴とする、請求項1に記載の画像センサ。
- 壁(20)が、前記光電性領域を含む半導体層(16)内に形成されたp+型の半導体領域(24)の中へ沈み込み、この層がp型であることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の画像センサ。
- 壁の沈み込んだ部分が絶縁層(26)により囲まれることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載の画像センサ。
- 壁が、隣接する画素のフォトダイオード間に存在する全ての空間を実際的に占め、カラー・フィルタがフォトダイオードのみを覆うことを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載の画像センサ。
- 各々がそれぞれの光電性領域と関連し、反射壁によって互いに横方向に分離されているカラー・フィルタを備えることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか一項に記載のカラー画像センサ。
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