JP2010528831A - 圧電変換器装置 - Google Patents

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Abstract

本発明は、変換器装置10に関し、変換器装置10は、音響膜14と、音響膜に搭載された圧電素子12と、対向して配置された2つの弾性減衰素子16a,16bであって、2つの弾性減衰素子16a,16bの間で、音響膜の周辺部22が挟んで支持される、2つの弾性減衰素子16a,16bと、2つの表面30a,30bであって、2つの表面30a,30bの間で、2つの弾性減衰素子が締付けられ、それにより、2つの弾性減衰素子が共に押され付けられる、2つの表面30a,30bを有するクランプ28とを備え、それにより、音響膜の周辺部が、2つの弾性減衰素子間に固定される。本発明はまた、こうした変換装置を組立てる方法に関する。

Description

本発明は、圧電変換器装置に関する。本発明はまた、こうした圧電変換器装置を組立てる方法に関する。
圧電気(piezoelectricity)は、機械的変形にさらされると、一部の材料、たとえば、一部の結晶にわたって生成される電圧である。逆に、材料にわたって印加される電圧は、材料内に機械的変形を引起こす。この圧電原理を、多くの用途、たとえば、圧電式圧力センサ、マイクロフォン、ラウドスピーカ、アクチュエータ、及び他の変換器で使用することがよく知られている。
圧電変換器装置の実例、すなわち、圧電スピーカは、GB1310853に開示される。GB1310853の圧電スピーカは、薄い円形振動板(diaphragm)上に搭載された円形圧電素子を含む。薄い円形振動板は、ハウジングの一部分である支持部材上でその円周(circumference)で支持され、締付け(tightening)部材によってしっかり締付けられる。一実施形態では、弾性材料の環状部材がそれぞれ、薄い振動板と支持部材と締付け部材との間に配設されて、円形振動板を減衰させる。しかし、この解決策では、支持部材に締付け部材を固着する(fasten)手段が必要とされ、スピーカの構造及び組立が複雑になる。
これらの問題を少なくとも部分的に解決すること、及び、改良された圧電装置であって、特に組立てるのが容易であり、さらに、良好な減衰特性を有する可能性がある、改良された圧電装置を提供することが本発明の目的である。
以下の要約及び説明から明らかになることになるこれらのまた他の目的は、添付の特許請求の範囲に従って、圧電変換器装置及びこうした圧電変換器装置を組立てる方法によって達成される。
本発明の一態様によれば、変換器装置が提供され、変換器装置は、音響膜と、前記音響膜に搭載された圧電素子と、対向して配置された2つの弾性減衰素子であって、2つの弾性減衰素子間で、音響膜の周辺部が挟んで支持される、2つの弾性減衰素子と、2つの表面であって、2つの表面間で、2つの弾性減衰素子が締付けられ、それにより、2つの弾性減衰素子が共に押され付けられる、2つの表面を有するクランプとを備え、それにより、音響膜の周辺部が、2つの弾性減衰素子の間に固定される。
そのため、本発明では、単一部材(すなわち、クランプ)が、2つの弾性減衰素子を共に構築するか又は保持するのに十分であり、変換器素子の構造及び組立を簡略化する。さらに、音響膜の周辺部を2つの弾性減衰素子間に固定することによって、音響膜の良好な減衰が達成される可能性がある。さらに、過酷な条件下でも装置機能性を維持するために、クランプは、2つの弾性減衰素子が、(たとえば環境条件によって)収縮するか又は拡張することを可能にするように弾性があってよい。弾性特性は、クランプを適切な大きさにする(dimension)、かつ/又は、クランプを適切に形作る、かつ/又は、クランプの適した材料を選択することによって達成される可能性がある。
好ましくは、2つの弾性減衰素子は、音響膜の上記周辺部に、たとえば、カップ又はリングのように係合するために適切に形作られるが、2つの弾性減衰素子は、音響膜/圧電素子の中心に向かってさらに延在しうるため、2つの弾性減衰素子の一方は、圧電素子の一部分にも係合する。
一実施形態では、クランプは実質的にU形状であり、2つの表面は、結合部によって接続された2つの腕である。U形状クランプの場合、上記弾性特性が容易に得られ、2つの弾性減衰部品(part)は、U形状クランプ内に容易に搭載され、収容される可能性がある。或いは、クランプは、細長いOの形状を有してもよく、2つの表面は、2つの結合部によって接続される。
一実施形態では、音響膜と導波路との間で音響通信を可能にする貫通開口を備える。導波路は、変換器へまた変換器から音響信号を誘導する(guide)ように働いてもよく、装置又は外部導波路の一部であってよい。
一実施形態では、変換器装置はさらに、変換器装置の残りを外部ベースに取付けるための少なくとも1つのさらなる弾性減衰素子を備える。さらなる弾性減衰素子(複数可)は、好ましくない振動を吸収し、好ましくない振動が、変換器装置の残りへまた変換器装置の残りから伝達されることを防止してもよい。さらなる弾性減衰素子は、クランプ内の穴に、たとえば、上述した貫通開口(この場合、さらなる弾性減衰素子は、好ましくは、音響通信(communication)を維持するためにリング形状である)に、又は、専用穴に嵌合されてもよい。或いは、さらなる弾性減衰素子は、クランプの外側に取付けられ(たとえば、接着され)てもよい。前者の変形は、接着剤などが必要でない点で有利である。
一実施形態では、クランプは、金属で作られ、金属は、弾性特性を達成し、同時に、種々の動作環境に耐えるように選択され、そのような大きさにされてもよい。或いは、クランプは、より制限された温度範囲内で使用するために、プラスチックで作られうる。
一実施形態では、音響膜の周辺部は、音響膜の振動ノードを含む。振動ノードは、膜が振動するときの振幅が最小である非固定膜に沿う点である。これはさらに、音響膜の減衰を高める可能性がある。
一実施形態では、対向する2つの弾性減衰素子はそれぞれ、凹所を備え、2つの凹所は共に、膜の非支持部を収容するためのキャビティを形成する。そのため、対向する2つの弾性減衰素子は、好ましくない振動の伝達(transfer)を防止するか又は低減するため、音響膜及び圧電素子をほぼ閉囲してもよく、一方、音響膜に面するそれぞれの非凹所部(non−recessed portion)は、音響膜の周辺部を固定するようになっていてもよい。この実施形態では、上記導波路を使用するとき、クランプ内の貫通開口に隣接する弾性減衰素子は、音響膜と導波路との間に音響通信を維持するために、開口を有するべきである。代替の実施形態では、対向する2つの弾性減衰素子は、環状又はリング形状を有してもよい。
一実施形態では、装置はさらに、音響膜及び/又は圧電素子に接触する少なくとも1つの導電性ワイヤを備え、導電性ワイヤの少なくとも1つのワイヤは、装置において弾性減衰素子の間に挟まれる。こうして、ワイヤ(複数可)を音響膜又は圧電素子に接続するためのはんだ付けなどが必要でなく、ワイヤ(複数可)のどんな振動も減衰される可能性がある。
本発明の別の態様によれば、音響膜に搭載された圧電素子を備える変換器装置を組立てる方法が提供され、方法は、2つの弾性減衰素子間に音響膜を設置するステップであって、それにより、音響膜の周辺部が、2つの弾性減衰素子間で挟んで支持される、設置するステップと、クランプの2つの表面間に2つの弾性減衰素子を設置するステップであって、それにより、2つの弾性減衰素子は共に締付けられる、設置するステップとを含み、それにより、音響膜の周辺部が、2つの弾性減衰素子間に固定される。この態様は、本発明の先に説明した態様と同じ利点を示し、同じ特徴を示してもよい。
本発明のこれらのまた他の態様は、ここで、本発明の現在のところ好ましい実施形態を示す添付図面を参照してより詳細に述べられるであろう。
本発明のある実施形態による圧電変換器装置の側断面図である。 図1の圧電変換器装置の少なくとも部分的に分解した斜視図である。 本発明の別の実施形態による圧電変換器装置の部分側断面図である。
図1及び2は、本発明のある実施形態による変換器装置10を示す。変換器装置10は、一般に、電気信号を音響信号に、またその逆に変換するようになっている、すなわち、変換器装置10は電気音響変換器である。
変換器装置10は、音響膜14の一方の面上で中心に搭載された圧電素子12を備える。圧電素子12及び音響膜14は、好ましくは、図2に示すように円形であるが、他の形状、たとえば、矩形を有してもよい。圧電素子12は、たとえば、圧電結晶で作られてもよく、一方、音響膜14は、薄い金属、たとえば真鍮又はステンレス鋼などで作られてもよい。材料選択は、とりわけ、望まれる音響特性及び予想される(expected)動作環境に依存する。圧電素子12は、たとえば接着剤によって音響膜14に搭載されてもよい。さらに、圧電素子12の直径は、14mm程度であり、一方、音響膜14の直径は、20mm程度であってよい。
変換器装置10はさらに、2つの弾性減衰素子16a、16bを備える。弾性減衰素子16a、16bは、対向して配置され、圧電素子12及び音響膜14のそれぞれの面上に1つの弾性減衰素子がある。音響膜14に面して、弾性減衰素子16a、16bは、環状突出部20a、20bを形成する対向する円形ベース凹所(circular based recess)18a、18bをそれぞれ有するため、弾性減衰素子16aは、音響膜14の周辺部22の一方の面に接触しかつ支持し、他の弾性減衰素子16bは、音響膜14の周辺部22の他方の面に接触しかつ支持し、一方、音響膜14の中央非支持部24(並びに、圧電素子12)は、2つの円形ベース凹所18a、18bによって形成されるキャビティ26内に収容される。そのため、音響膜14の周辺部22は、弾性減衰素子16a、16b間に挟まれ、キャビティ26は、圧電素子12及び音響膜14によって分割される。好ましくは、支持周辺部22は、音響膜14の振動ノードを備える。そのため、20mmの音響膜14の場合、支持周辺部22は、20mmの外径及び約14mmの内径を有してもよい。その結果、円形ベース凹所18a、18bの内径は、この特定の場合、14mmである。弾性減衰素子16a、16bは、ゴムなどのような適切な材料で作られるべきである。音響膜14が円でない形状(たとえば、矩形の形状)を有する場合、弾性減衰素子16a、16bは、音響膜14に一致する(match)ように相応して形作られるべきである。
上記寸法は例示であり、たとえば、所望の共振周波数に応じて変動してもよいことが留意されるべきである。同様に、弾性減衰素子16a、16bの外径は、音響膜14の直径と異なってもよい。同様に、圧電素子12の直径は、支持周辺部22/円形ベース凹所18a、18bの内径と異なってもよい。
変換器装置10はさらに、U形状クランプ28を備える。U形状クランプ28は、部分32によって連結される実質的に平行な2つの平坦腕30a、30bを有し、腕30a、30bは、その間で2つの弾性減衰素子16a、16b(その結果、圧電素子12及び音響膜14)が締付けられる表面を形成する。U形状クランプ28は、2つの弾性減衰素子16a、16bが腕30a、30b間に設置されると、2つの弾性減衰素子16a、16bを互いに当たる方向に押付ける力が生成されるように形成され、それにより、音響膜14の周辺部22は、2つの弾性減衰素子16a、16b間でしっかりと固定される。このため、U形状クランプ28は、2つの腕30a、30b間のギャップが、最初に、2つの弾性減衰素子16a、16bと圧電素子12と音響膜14とを含む積層体の総合高さよりある程度狭くなるような大きさに作られ、それにより、2つの弾性減衰素子16a、16bは、腕30a、30bの間に嵌合すると圧迫される。付加的に又は相補的に、U形状クランプ28は、定常状態又は非付勢状態(non−biased state)からある程度弾性があってもよいため、より大きな積層体(2つの弾性減衰素子16a、16bと圧電素子12と音響膜14)が、U形状クランプ28内に押込まれると、U形状クランプ28が非付勢状態に戻ろうとするときに、積層体を共に押付ける力が生成される。このため、U形状クランプ28は、好ましくは、金属で作られるが、用途によっては、プラスチックで作られうる。任意選択で、2つの弾性減衰素子16a、16bの少なくとも一方は、弾性減衰素子16a、16bを互いに対して横方向に支持するための外側フランジなど(図示せず)を備えてもよい。同様に、腕30a、30bの幅は、好ましくは、弾性減衰素子16a、16bの幅に一致する。より広い腕30a、30bは、弾性減衰素子16a、16bを締付けたままにすることになるが、過度のサイズの変換器装置10をもたらす可能性がある。より狭い腕は、同様に、弾性減衰素子16a、16bを締付けたままにする可能性があるが、十分な回転支持を提供することができない可能性がある。
さらに、U形状クランプ28は、図1及び2の底部腕30a内に貫通開口34を備える。貫通開口34は、圧電素子12及び音響膜14の中心に実質的に整列する。貫通開口34は、環状形状又はリング形状を有するさらなる弾性減衰素子36を受取るようになっている。さらなる弾性減衰素子36は、貫通開口34の内側に対して嵌合し、クランプ28の外側に、図1の下方向に延在する。さらなる弾性減衰素子36は、下側(bottom)外部ベース38に対して変換器装置を弾性支持する(resiliently support)ように働き、また、変換器装置10の下側(bottom)搭載点として機能する。さらなる弾性減衰素子36は、たとえば、素子16a、16bと同じタイプの材料で作られてもよい。さらなる弾性減衰素子36及び下側(lower)素子16aは、さらに、単一材料片として形成されてもよい。好ましくは、下側(bottom)外部ベース38は、さらなる弾性減衰素子36を受取るための凹所40を備え、それにより、この点に変換器装置10を取付けるために、接着剤などが必要でない。
さらに、凹所18aによって形成されるキャビティ26の部分に通じる底部弾性減衰素子16a内に設けられる対応する第2の貫通開口42と共に、さらなる弾性減衰素子36に関する貫通開口34は、音響信号がそこを通って伝わり(travel)うるチャネル44を作る。音響膜14に向かう端部に対向するチャネル44の端部に、導波路46が設けられる。導波路46は、変換器装置10又は外部導波路の一部であってよい。チャネル44を通して、導波路46は、音響膜14と音響通信する、すなわち、音響信号が、導波路46と音響膜14との間で伝わりうる。示す貫通開口34、さらなる弾性減衰素子36、第2貫通開口42、チャネル44、及び導波路46の断面は、円であるが、正方形又は矩形などの他の形状を有しうる。
変換器装置10はさらに、U形状クランプ38の上部(top)腕30b内の穴50内の設けられる(上側(upper))弾性減衰素子48を備える。ここで、弾性減衰素子48及び穴50の数は、4つであるが、異なる数が使用されてもよい。上側弾性減衰素子48は、(上側)外部ベース52に対して変換器装置を弾性支持する(resiliently support)ように働き、また、変換器装置10の上部搭載点として機能する。同様に、図2の場合と同様に、上部腕30bのそれぞれの角に本質的に1つを配置する(すなわち、正方形又は矩形パターン)と、上側弾性減衰素子48は、クランプが、x方向とy方向の両方において傾斜しないように又は回転しないように支持するように働く。穴50は、上側弾性減衰素子48を横方向に固定するように働き、変換器装置の残りに対する上側弾性減衰素子48の接着などが必要でない。上側弾性減衰素子48は、たとえば、素子16a、16bと同じタイプの材料で作られてもよく、また、(一致した穴50によって)矩形又は円形ブロックとして形成されてもよい。上側弾性減衰素子48及び上側素子16bは、さらに、単一材料片として形成されてもよい。好ましくは、上側ベース52は、上側弾性減衰素子48を受取るための凹所54を備え、それにより、これらの点に変換器装置10を取付けるために、接着剤などが必要でない。
本変換器装置10を組立てる方法では、圧電素子12が、最初に音響膜14に取付けられる。圧電素子12及び音響膜14組立体は、その後、2つの弾性減衰素子16a、16b間に設置されるため、音響膜14の周辺部22は、弾性減衰素子16a、16bの間に挟まれる。圧電素子12と音響膜14と弾性減衰素子16a、16bとを備える積層体は、その後、U形状クランプ28の2つの平坦腕30a、30b間で締付けられる、すなわち、しっかり保持されるようにU形状クランプ28内に挿入され、それにより、音響膜14の周辺部22は、対向する2つの弾性減衰素子16a、16b間でしっかり固定される。その後、変換器装置10は、外部ベース38及び52に固定されてもよい。
任意選択で、変換器装置10は、下側(bottom)に向かって開放しているが、その他の方向に閉鎖しているハウジング(図示せず)によって囲まれてもよい。ハウジングは、万一変換器装置が液体内に沈められる場合、潜水鐘(diving bell)として機能し、液体が変換器に入り、変換器が故障することを回避する。
変換器装置10の例示的な動作中に、電気信号が圧電素子12に供給される(電気接続及びコントローラは図1〜2に示されない)。電気信号に応答して、圧電素子12は、振動し始め、その振動が、圧電素子12がそこの上に搭載される音響膜14に伝えられ(pass)、音響膜14が、供給される電気信号に相当する音響信号を送信するようにさせる。音響信号は、チャネル44によって変換器装置10から出て、導波路46によってさらに遠くへ誘導されてもよい。逆に、導波路46からの音響信号が、音響膜14によって受信されると、音響膜14は、振動し始め、その振動が、音響膜14に搭載された圧電素子12に伝えられ、圧電素子12は、その振動に応答して、受信された音響信号に相当する電気信号を生成する。
音響膜14の周辺部22を固定する弾性減衰素子16a、16bを設けることによって、動作中の音響膜14の振動が、減衰するため、短く明瞭な信号(入力信号と出力信号の両方で)が提供される可能性がある。すなわち、主信号又はパルスに続く任意のリンギング又は反響(reverberation)が減衰するか又は消去される(cancel)。さらに、クランプ28が、音響膜14を固定するための力を供給するため、弾性減衰素子38、52の圧力は、比較的小さく保たれ、それにより、変換器装置10と外部ベース38、52との間の好ましくない振動の伝達が、十分に減衰される可能性がある。同様に、弾性減衰素子16a、16bは、さらに、こうした伝達を低減する可能性がある。さらに、万一弾性減衰素子16a、16bが、環境条件によって、たとえば、温度の変化及び/又は周囲媒体の変化によってある程度収縮するか又は拡張する場合、こうした変化は、音響膜14を弾性減衰素子16a、16bの間にしっかり固定したまま維持する弾性U形状クランプ28によって「吸収される(absorbed)」ことになるため、変換器装置10の機能及び動作は低下しない。
図3は、本発明の別の実施形態による圧電変換器装置の部分側断面図である。図3の装置10は、図1〜2の装置と同じであるが、ここでは、2つの弾性減衰素子16a、16bは共に、音響膜−圧電素子14、12の中心に向かってさらに延在するため、弾性減衰素子16bもまた、たとえば、図3に示すように、圧電素子12の一部分に係合する。換言すれば、膜14の一部分は、圧電素子12を中間部材として、2つの弾性減衰素子16a、16bの間に挟まれる。
図3では、電気接続も示される。すなわち、図3の装置10は、2つの導電性ワイヤ56a及び56bを備える。特に、ワイヤ56aは、膜14に載り(bear against)、素子16a及びクランプ(図3では示さず)と組合せて弾性減衰素子16bによって膜14に押付けられるため、ワイヤ56aは、所定場所に保持され、膜14とワイヤ56aとの間に電気接続が確立される。同様に、ワイヤ56bは、弾性減衰素子16bが、図3に示すように圧電素子12に係合する位置で、圧電素子12と弾性減衰素子16bとの間に挟まれる。ワイヤ56a、56bは、短絡を回避するために、互いに電気接触すべきではない。このため、ワイヤ56aは、図3に示すように、減衰素子16bと膜14との間に設置されてもよく、一方、他のワイヤ56bは、弾性減衰素子16bを貫通して配置されてもよい。ワイヤ56bは、たとえば、素子16bになるよう成形されてもよい。或いは、素子16bは、いくつかの片によって形成されてもよく、その片のうちの2つの片間にワイヤ56bが設置される。たとえばゴムで作られた素子16bは、電気絶縁体として働く。ワイヤ56a、56bは、好ましくは薄く、たとえば、平坦なフォイル様ワイヤであってよい。ワイヤ56a、56bの目立つ端部は、好ましくは、コントローラなど(図示せず)に接続される。同様に、圧電素子12の上部は、電気伝導を促進するために、銀コーティングなどを備えてもよい。
そのため、ワイヤ56a、56bを、音響膜14及び圧電素子にそれぞれ接続するためにはんだ付けなどは必要でない。はんだ付けを使用しないことは、はんだ付けが、一部の環境において、たとえば、はんだ付けがエタノールにさらされる場合、悪い影響を受ける可能性があるため有利である。同様に、弾性減衰素子16a、16bは、有利なことには、ワイヤ56a、56bの振動を防止するか又は少なくとも緩和し、その振動は、たとえば、音響膜−圧電素子14、12の作動によって引起される可能性があり、また、その振動は、普通なら測定に悪い影響を及ぼす可能性がある。
本変換器装置10の好ましい用途は、たとえば、車かトラックかボートなどの乗物内の、又は、基本的に固定機器(stationary appliance)内のタンク内の液体レベルを測定する装置においてである。液体は、たとえば、水かガソリンかディーゼルなどであってよい。こうした測定装置の実例は、文書WO2005038415号に開示され、その内容は、参照により本明細書に組込まれる。こうした測定装置では、変換器装置に接続される導波路(たとえば、導波路46)は、液体内に延在するようになっている。同様に、導波路は、好ましくは、変換器装置から既知の距離のところに配置された突出する参照素子(protruding reference element)を備える。動作すると、本変換器装置によって送信される音響信号は、導波路によって液体表面に向かって誘導される。音響信号の波長は、好ましくは、間隔が約2〜10cmであり、約3、4〜17kHzの周波数に相当する。信号の一部は、参照素子によって反射され、信号の残りは、液体表面によって反射される。2つの反射音響信号は、その後、導波路を通って変換器装置に戻るように誘導され、それぞれの音響信号の受信によって電気信号が生成される。参照素子によって反射される信号の通過時間(transit time)は、現在の音響信号速度(音速)を計算するのに使用され、液体レベルによって反射される信号の通過時間は、現在の信号速度と共に使用されて、タンク内の液体レベルが計算される。信号間の時間(特に、2つの受信音響信号間の時間)は、非常に短い可能性があり、それにより、本変換器装置10の短く明瞭な信号が有用になる。さらに、大きな(extensive)振動が、動作中の車又はボートなどの乗物の中で通常起こるが、本変換器装置の支持構造(減衰素子及びクランプ)は、先に説明したように、こうした振動が、圧電素子及び音響膜に達するのを少なくとも部分的に防止する可能性がある。こうした振動は、普通なら誤った検出を引起しうる。さらに、タンク内の液体は、弾性減衰部品16a、16bを膨張(swell)させうるが、こうした膨張は、先に説明したように、弾性U形状クランプ28によって吸収される(take up)可能性がある。
本発明は、上述した好ましい実施形態に決して限定されないことを当業者は認識する。逆に、多くの変更及び変形が、たとえば、先の要約及び説明に示すように、添付の特許請求の範囲の範囲内で可能である。

Claims (10)

  1. 音響膜(14)と、
    前記音響膜に搭載された圧電素子(12)と、
    対向して配置された2つの弾性減衰素子(16a,16b)であって、前記2つの弾性減衰素子(16a,16b)間で、前記音響膜の周辺部(22)が挟んで支持される、2つの弾性減衰素子(16a,16b)と、
    2つの表面(30a,30b)であって、前記2つの表面(30a,30b)間で、前記2つの弾性減衰素子が締付けられ、それにより、前記2つの弾性減衰素子が共に押され付けられる、2つの表面(30a,30b)を有するクランプ(28)とを備え、それにより、前記音響膜の前記周辺部が、前記2つの弾性減衰素子間に固定される変換器装置(10)。
  2. 前記クランプは実質的にU形状である請求項1に記載の変換器装置。
  3. 前記クランプは、前記音響膜と導波路(46)との間で音響通信を可能にする貫通開口(34)を備える請求項1又は2に記載の変換器装置。
  4. 前記変換器装置の残りを外部ベース(38,52)に取付けるための少なくとも1つのさらなる弾性減衰素子(36,48)をさらに備える請求項1から3までのいずれか一項に記載の変換器装置。
  5. 少なくとも1つのさらなる弾性減衰素子は、前記クランプ内の少なくとも1つの穴(34,50)に嵌合する請求項4に記載の変換器装置。
  6. 前記クランプは金属で作られる請求項1から5までのいずれか一項に記載の変換器装置。
  7. 前記音響膜の前記周辺部は前記音響膜の振動ノードを含む請求項1から6までのいずれか一項に記載の変換器装置。
  8. 前記対向する2つの弾性減衰素子はそれぞれ、凹所(18a,18b)を備え、前記2つの凹所は共に、前記音響膜の非支持部(24)を収容するためのキャビティ(26)を形成する請求項1から7までのいずれか一項に記載の変換器装置。
  9. 前記音響膜及び/又は前記圧電素子に接触する少なくとも1つの導電性ワイヤ(56a,56b)をさらに備え、前記導電性ワイヤ(56a,56b)の少なくとも1つのワイヤは、装置において前記弾性減衰素子間に挟まれる請求項1から8までのいずれか一項に記載の変換器装置。
  10. 音響膜(14)に搭載された圧電素子(12)を備える変換器装置(10)を組立てる方法であって、
    2つの弾性減衰素子(16a,16b)間に前記音響膜を設置するステップであって、それにより、前記音響膜の周辺部(20)が、2つの弾性減衰素子(16a,16b)間で挟んで支持される、設置するステップと、
    クランプ(28)の2つの表面(30a,30b)間に前記2つの弾性減衰素子を設置するステップであって、それにより、前記2つの弾性減衰素子は共に締付けられる、設置するステップとを含み、それにより、前記音響膜の前記周辺部が、前記2つの弾性減衰素子間に固定される方法。
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