JP2010515581A - 器具支持構造物 - Google Patents

Abstract

減衰特性を備えた器具支持構造（１１）が、曲げ及び張力状態にある負荷に耐性を有する剛性スチールフレーム、フレームを包む被覆材（１６）、及び器具マウントリング（２１）を備える。被覆材は固化された複合鋳造材料であって、微粒子無機又は金属材料、例えば御影石及び合成結合剤、たとえばエポキシ樹脂を基礎としており、リング（２１）にマウントされる前記構造物及び器具の間で伝達される動きの減衰を可能にする追従を有するものにより形成される。構造物は、フレームの周りの元の位置に組み立てられるモールド中のフレーム及びリングを包むこと並びにモールドを流動状態にある被覆材材料で充填することにより製造されることができる。

Description

本発明は器具支持構造物に関し、特に精密機械、ツール、及び装置を支持するのに好適な構造物、並びにそのような支持構造物を製造する方法に関する。

器具のための支持構造物は多くの形態をとり、通常は個々の器具の要求及び特性、例えば重量、寸法、ロバスト性、振動に対する感度、並びに他の要因に適用される。特別な要求が、振動に敏感であるが、安全にかつ頑強に支持されなければならない機械、ツール及び装置によって支持構造物に課せられる。金属からなる支持構造物の使用が通常なされ、それは必要な強度を示すが、振動の伝達及び共振問題の影響を受けやすい。減衰要素の組み込みは、追加コスト及び複雑性につながり、また非減衰共振及び剛性の妥協の広範な影響を受けやすくなる。

精密器具は自然の御影石（ｇｒａｎｉｔｅ）のテーブル又はベッドにしばしば搭載され、御影石は高い剛性を提供するが、重量に関して明白な不利益を有し、器具及び関連するサブシステムのいずれをも収容若しくは搭載するための形状形成に困難性を有する。御影石複合物は好適な形状に成形することができるが、張力強度が不足しており、よって、重い器具を支持することを意図した構造物にその材料が使用される場合に設計の問題が表面化する。補強されたコンクリートは、建設業界では通常ではあるが、通常精密機械のような器具を支持するためには採用されず、これもまた重い材料である。

したがって本発明の目的は、器具支持構造物、特に振動及び他の機械的に誘発される攪乱に敏感な器具に好適な構造物において、頑強さ及び減衰の間のバランスを最適化する、又は少なくとも改善することである。

本発明のさらなる目的は、そのような目的を満たす支持構造物の合理的な創出を行う方法の提供である。

本発明の派生的な目的は、異なる器具の特定の要求を満たす固定及び搭載点を、設計における相対的に小さな変化で、且つ、標準製造工程から離れることなしに組み込むことができる創出方法により、そのような支持構造物における可撓性の強化を達成することである。

本願発明の第１側面によれば、減衰特性を有する器具支持構造物が提供され、この器具支持構造物は、曲げ及び張力の負荷に耐える金属材料からなる頑強なフレームと、少なくともフレームの主要な部分を封止する被覆材と、器具マウントとを備え、被覆材は固化した複合体鋳造材料により形成され、複合体鋳造材料は微粒子の無機物又は金属材料及び合成結合剤に基づいており、複合体鋳造材料は構造物とマウントに搭載された器具との間に伝達される動きの減衰を可能にする追従性を有する。

そのような種類の支持構造物は、例えば、振動に敏感な装置、特に圧縮及び張力における強さにより要求される頑強さを提供するように設計され組み立てられたフレームを組み込むが、構造物により支持される器具又は構造物により担持されるサブシステムから発せられた動き、例えば振動を減衰するように選ばれた材料からなる被覆材を備える。一方では頑強さ及び他方では減衰性という課題は、このようにそれぞれの課題に対して最適化された２つの異なる構成部品及び構成材料に割り当てられる。微粒子状の無機物又は金属材料、例えば、御影石、及び合成結合剤、例えばエポキシ樹脂に基づく固化された複合体鋳造材料からの被覆材の形成はさらに、フレームを、必要な範囲にまで、又は適切であれば本質的には完全に包み込むだけではなく、当該器具の形状、構成物又はサブシステムを収容するために被覆材を成形することを可能にする。これらの能力を備えた支持構造物は、特に、電子ビームリソグラフィーツールのような装置に適しており、このような装置に対しては機械的振動に関してノイズがない支持構造物の必要性がある。構造物は、ビームによる書き込みの間静止したシステムを提供することを助け、それによって書き込みエラーを減少させる。減衰能力は特に構成体移動後の共鳴解消時間を減少させるという利点があり、よって、上述のリソグラフィツールの事情において、ツールによる仕事処理量を増やす。成形可能な御影石複合体はそれ自体が、十分な減衰及び圧縮強さを提供するが、張力強度が不足し、直接の張力及び曲げ状態に負荷された場合に、失敗する傾向を有している。発明の第１側面に従った構造を有する支持構造物は、この圧縮強度及び減衰能力の利点を有するが、静止及び動的負荷にさらされた場合に折れる危険がない。構造物は、好ましくは、器具の構成要素又は付属品の取り付けのために被覆材に外部から接近可能な取り付け点を備える。そのような取り付け点としては、ピン、ネジスタッド、ドリル穴、ソケット、ネジ穴又は搭載目的に適した任意の他の品目又は形成物を挙げることができる。そのような取り付け点の数、種類及び位置は、フレームの組立及び／又は被覆材の形成の間に比較的容易に変えることができ、それにより異なる種類の器具又は一連の器具中の異なる変形物に適用することを可能にする。取り付け点は、フレームに形成されて被覆材に埋め込むことができ、又は例えば、個々の点により支持されるべき負荷に応じて、被覆材に単に埋め込むことができる。

好ましい実施形において、フレーム及び被覆材は、箱状の本体部分を含み、そのような箱形状は、余分な重量なしに剛性を兼ね備えた単純な形態を現す。したがって、箱状の本体部分は、構造物の基本的な部分を現し、有利に、器具構成要素又は補助要素の受容のための空洞を画定することができる。このように、器具又は器具の主要な部分は、マウントに搭載することができ、サブシステムのような追加の要素はほとんど又は完全に空洞中に、すなわち、器具の下に収容することができる。また、フレーム及び被覆材は、支持手段、例えば、床のような支持表面上に構造物を支持するための支持ポスト又は支柱による係合のための突出部を形成するように構成することもできる。突出部はテーブルの延長とすることができ、支持構造物の頂上に存在して、器具の搭載及び動作に関連する支持及び／又は仕事面を提供する。

フレームは、少なくとも部分的に、好適な輪郭の断面の部材から構成することができ、この部材のいくつかはＨ字状断面とすることができる。Ｈ字状断面ガーダ（girder）は、特に高い水準の剛性を有する構造的な要素を示し、被覆材材料で満たすことが可能なリエントリー性領域又はチャンネルを有し、フレーム及び被覆材の融合体を強化する。しかしながら、輪郭断面部材は、同様に、箱状断面、Ｉ字状断面、Ｚ字状断面、Ｕ字状断面及び他の好適な断面形状からなるか又は含むことができる。

マウントは、その上にマウントされるべき器具の性質に応じて様々な形態を有することができ、１つの実施形態においては、例えば、金属材料からなる、リングの形態を有する。マウントは、被覆材材料に結合することができ、そこでは、構造物内の所定の位置に保たれ、同時にその材料によってフレームから離間されている。マウントが被覆材材料で満たされた開口部又は凹所を有している場合には、マウントの追加的な固定が達成されうる。

本発明の第２側面によれば、本発明の第１側面による構造物を製造する方法が提供され、この方法は、フレームを提供するステップと、フレームに対して予め定められた位置に器具マウントを配置するステップと、フレーム及びマウントの少なくとも主要な部分を、モールドの壁がフレームから離間した状態で、モールド中に入れるステップと、モールドを微粒子無機又は金属材料並びに合成結合剤を基礎とした固化可能な鋳造材料で満たして、フレーム及びマウントの主要部分を覆う被覆材を形成するステップとを含む。

そのような方法は特に支持構造物を組み立てる合理的な手段を提供し、この方法においては、フレームと被覆材との緊密な結合及び被覆材によるフレームの被覆は２つの部分を永久に分離不可能にする。フレームからのモールド壁の間隔は、被覆材の厚さを決定し、したがって、かなりの程度で、最終構造物の追従の基準になる。それゆえ、構造物により支持されることを意図された器具に必要とされる減衰の程度に応じて、モールド壁は、被覆材の対応する厚さを備えるように位置決めすることができ、この位置決めは、所望に応じて、フレームの異なる領域において様々変化させることが可能であり、構造物の違う部分に違う減衰特性を備えさせる。

好ましくは、モールドは本質的に完全にフレームを包み、被覆材が、言い換えると、本質的にフレームの全部を包む。被覆材材料は、既に述べたように、微粒子御影石材料と結合剤としてのエポキシ樹脂の混合物を含み、混合物は流体状態でモールドに導入されて、フレーム及びマウントの周りに全体的に流れ、フレーム及び／又はマウントの満たされることが意図されている任意の開口部又は凹所を満たす。

モールドは好ましくはベースプレートを含み、その上にフレームがスペーサーの手段により支持される。その場合、プレートが最終支持構造物の滑らかで平らな頂面を規定することができるように、フレームは使用の際に意図する向きに対して反対の向きにベースプレート上に配置することができる。もちろん、フレームが支持される側に、プレートとフレームとの間に、すなわち、スペーサーの方法により形成される間隔中に、固化された鋳造材料にある相補的な形状を形成するための輪郭、隆起、又は他の手段を備えた、ベースプレートを提供することが可能である。スペーサーそれ自身は、最終構造物中に、構成物取り付け点、例えばネジ挿入物として作用するように、好都合に、組み立てられることができる。

有利にマウントは、マウントのフェイスが、プレートによって規定される最終支持構造物の側に露出する状態で、ベースプレート上に直接配置される。マウントは、好ましくは、フレームから間隔を空けてベースプレートに配置され、鋳造材料がマウントとフレームとの間に進入することができ、これらの構成要素の間に振動減衰領域を形成する。

鋳造材料の濃度は、重力のみの下で、フレームの周りに、完全にモールドを満たすように流れるように、選択されることができる。しかしながら、微粒子材料とエポキシ樹脂との組み合わせが比較的粘性を有する場合があるため、例えば振動性ベッド上にベースプレートを配置し、充填工程の間ベッドを振動させることにより、その流れを補助することが有利である場合がある。流動する鋳造材料全体に伝達される振動は、材料が、モールドの内部領域、特にフレームの一部に、まだ満たされていない領域に流れが継続することなく時期尚早に落ち着くことがないことを確実にする。その場合、振動させるステップは、鋳造材料の量が充填ステップ中に増加する際に振動を一定に維持するように調節するステップを含み、振動は連続的に、モールド内の材料の重量を順次増すように適用される。

モールドは単一の構造物とすることができるが、モールドがフレームの個々の部品を入れる壁要素から組み立てられる場合には、モールドによるフレームの収容は簡素化される。実際には、モールドは、フレームの周りにあるがままの状態で組み立てられることができ、それはフレームの任意の比較的複雑な又はリエントリー性形状への適用を単純化する。また、モールドはフレームの箱状本体部分に配置可能なコア要素を含むことができ、被覆材内に内部空洞を形成する。空洞は器具の構成部品又はサブシステムを収容するように作用するとともに、最終構造物の剛性に妥協することなしに、構造物の軽さを確実にする。

最終構造物中のマウントの固定は、マウントが鋳造材料を受容することを意図した開口部又は凹所を含む場合、及び、充填するステップが鋳造材料によって開口部又は凹所を充填するステップを含む場合には、強化することができる。これによって、マウントと被覆材との特に強い相互接続が達成される。本発明のさらなる側面が本発明の第１側面による支持構造物を備えるか、または、本発明の第２側面による方法により製造された装置、及びマウント上にマウントされた器具により説明される。装置は、例えば、電子ビームリソグラフィー機械及び装置の電子ビームカラムとすることができる。支持構造物はこのように、電子ビームカラム及び機械の他の構成部品の重量に耐え、特にカラムの敏感な部分への動きの伝達の抑圧を補助するための、ステージ及び装置の他の部分から発せられる振動を実質的な程度に減衰することができる台又は台座、例えば移動可能なステージを含む真空チャンバケースを提供することができる。

本願発明の実施形態はここでより詳しく、添付の図面を参照して例示の方法により記載される。

発明を具体化した器具支持構造物を組み込んだ装置の概略的な側面図であり、構造物上に支持される器具を示す図である。 図１に示される支持構造物の内部フレーム及びマウントリングそれ自身の、概略的な拡大斜視図である。 図２に対応する図であるが、完全な支持構造物を示す図である。 図３の支持構造物の製造の早い段階を示し、図１〜図３の図面に対して反転された構造を示す部分破断概略正面図である。 図４に類似する図であるが、製造の中間段階を示す図である。 図５に類似する部分破断断面図であるが、製造の最終段階を示す図である。

ここで図面を参照すると、本発明を具体化した器具支持構造物１１を組み込んだ装置１０が図１に概略的に示されている。簡便な例示の方法による、この例における装置は、電子ビームリソグラフィー機械である。電子ビームカラム１２の形態の器具は、支持構造物１１に支持され、パターン書き込みがカラム１２により生成された電子ビームにより実行される基体を移動可能に運ぶためのＸ−Ｙステージを含む真空チャンバケーシング１３を含むサブシステムにおいては、構造物１１の内部空洞に配置されている。構造物１１は、地面に対して振動／衝撃隔離ポスト１４により支持されている。支持構造物１１は、カラム１２、ケース１３及び他のシステムの重量で代表される実質的な負荷に耐えなければならないだけでなく、ひび割れ、砕け、曲がり、又は変形（拡大及び収縮を含む）のいかなる傾向に対しても耐性を持たなければならず、装置の個々の構成部品から発せられる振動及び他の動きを伝達することも抑制するか、又は少なくとも減衰させなければならない。電子ビームリソグラフィー機械は、特にナノメートル範囲にある場合の多い許容限度近辺まで作動し、完全な静止状態から僅かに逸脱しただけで、不正確な動作につながり、特に書き込みにおいて顕著なエラーにつながる。したがって、カラムは理想的には必要な剛性を減衰特性と組み合わせた支持構造により支持されるべきである。

これは、記載された実施形態においては、図２に示すように、金属材料、とりわけ、鉄のフレーム１５から支持構造物１１を組み立てることにより達成され、フレームは、図３に示すように、固化された複合鋳造材料、好ましくはエポキシ樹脂結合剤に組み入れられた数等級の御影石粒子により形成された被覆材１６に覆われている。フレーム１５は、ケーシング１３（図１）の受容のための空洞を境界付ける頑強な箱状本体１７を備え、この箱状本体１７は、適切な箇所において共に溶接され、鉄プレートガセット１９で補強されたＨ−断面、Ｉ−断面及びＵ−断面レール１８により形成され、この鉄プレートガセット１９は、本体１７の上部に意図された側を部分的に閉じる有孔ガセットプレートを含む。本体１７の頂部レールは、対抗する方向に延在して、図１に示されるポスト１４に対する支持負荷を究極的には受容する突出した腕２０を形成し、大きな突出長さを備えた２つのアームは対角状の支持具により追加的に本体に固定されている。ガセットで補強された外形要素からなる箱状本体１７は、曲がり、張力及び圧縮の負荷に対する耐性を有する、実質的に変形又は曲がりの危険なしに、カラム１２、ケーシング１３及び装置の他の構成要素の重量を受容することができる、特定の頑強な構造をもたらす。一方、封止被覆材１６は、例えば、裸の構造鋼鉄の減衰特性の約４０倍である場合のある所望の減衰特性を付与する。フレーム１５及び被覆材１６により形成される複合体の堅さは、記載され図示された実施形態に対して１００ヘルツの領域にある第１振動モードを達成可能である程度である。被覆材材料のフレーム１５との接続は、レール１８のチャンネル、及びレール１８及びガセット１９に任意的に設けることができる任意の穴への材料の進入により特に強化される。

支持構造物１１は、金属材料、好ましくは鋼鉄からなる、マウントリング２１をさらに備え、このマウントリング２１上に器具−この場合カラム１２−を搭載することができる。この目的のため、リング２１は、その表面が構造物１１の頂上に露出している状態で配置され、よって被覆材１６によって覆われていない。リング２１は好ましくはフレーム１５から、特に、箱状本体１７の上側の有孔ガセットプレートから、間隔を空けて配置されて、被覆材材料を形成する微粒子御影石化合物及び樹脂結合剤は、リングの周縁に伸びて結合するだけでなく、リングとフレームとの間に進入し、リングの下側に結合する。加えて、リング２１は開口部及び／又は凹所を備えることができ、その中に被覆材材料が進入して、リングの被覆材中における固定を強める。

また、構造物１１は、被覆材の様々な表面に接近可能な構成部品取り付け点、例えばその中にスクリューファスナーがネジ止めされることができるソケットの中のネジ開口を組み込むことができる。いくつかのそのような取り付け点２２が、任意の例示の方法のみにより、図３の被覆材１６の頂面に示されている。また、これら取り付け部品は、さらに下に記載されているように、構造物１１の製造における機能を満たすことができる。

図４〜図６に、支持構造物１１の製造の異なる段階が図示される。

最初に、フレーム１５は、ともに溶接された鋼鉄レール１８及びガセット１９並びに、キャスティング及びマシンニング又は単にマシンニングにより一体形状に製造されたマウントリング２１から製造される。レール、ガセット及びリングは、最終支持構造部の特定の設計及び意図した使用に従って要求されるように、取り付け位置又は被覆材材料の受容のための切り欠き、ドリリング及び／又は凹所を追加的に設けられる。フレーム及びリングの構成及び寸法は、もちろん、同様に、意図した使用により一部決定れる。

続いて、図４に示すように、それぞれの場合に必要とされる程度に、フレーム１５及びリング２１の封止のためのモールドの組立が、支持表面上にベースプレート２３を配置し、リング２１を、−最終の支持構造中のその向きに対して逆に、−直接プレート上に配置することにより開始される。ベースプレート２３の表面は、最終支持構造物の頂面を形成し、これによってプレート上に静止するリング２１の表面は、その頂面に露出する。フレーム１５は、同様に逆向きに、次いでベースプレート２３上に、フレームに対して正しく配置されているとともに、箱状本体１７の上側を意図された側を部分的に閉鎖する有孔のガセットプレートに特に近接しているが、このガセットプレートから離間したリング２１を伴ってスペーサー２４により支持される。スペーサー２４は、第１に、被覆材材料が、逆向きのフレームの下を流れることを可能にするように作用して、その上側を意図された側においてフレームを覆い、よって最終支持構造物の頂面を形成するが、第２にその頂面における取り付け点として作用する。この目的のために、スペーサー２４は、例えば、ネジ穴を有して形成することができる。

モールド組立のさらなる段階においては、図５に図示されているように、側壁２６（その１つのみが示されている）は、フレーム１５の側面から好適な間隔を空けてベースプレート２３上に支持されて、フレームの横断方向の封止被覆材材料の流れを制限する。図５に示されているように、側壁２６は横正面のフレームの外形に通常対応しているが、最終支持構造物中において、被覆材の局所厚さを示す範囲外の周辺領域を規定するように拡大された寸法の外形を有している。したがって、この厚さは側壁及び下で述べられるさらに協働するモールド部品の寸法により決定することができ、構造物の周りにおいて実質的に均一にすることができるか、或いは、動きに敏感な領域における高い減衰特性に対する必要に応じて変化させることができる。

モールド組立の最終段階が、図６に概略的に図示されており、そこでは、中央コア要素２７が箱状本体１７内に配置されて、真空チャンバケーシング１３を受容することを意図された空洞の形成を可能とし、端部コア要素２８は長い腕２０の間に配置されて、これらの腕の間に間隔を形成し、要素２８は横方向の拡張部を有して、図６における右側のフレーム１５のレールを閉鎖し、適切な形状をした端壁２９はフレームに近接して配置されて、同様に図６における左側のレールを閉鎖する。最後に、カバー壁３０が逆向きのフレームの上に間隔を空けて配置され、フレームの頂上−後のベース−を封鎖する。カバー壁３０は、モールド要素２６〜２９上及び／又はフレームに配置されたスペーサー（図示されていない）上に支持することができ、随意的に、最終構造物の下側における取り付け点を提供するように作用することができる。

ベースプレート２３及び他のモールド構成要素２６〜３０は、非常に概略的な形態で示されており、実際にはこれらの構成要素は様々な形状のフレーム及びガセットを収容するように適合された好適な形状の個々の部品から組み立てることができる。加えて、他のコア要素が、例えばリング２１の内部等の被覆材材料による充填が必要とされない異なる位置に必要とされる場合がある。

最後に、流動状態にある被覆材材料が、モールドに１以上の入口開口を介して導入され、モールド内部を通じて流動することを可能とされて、例えばベースプレート２３上に静止するリングの上面のような、材料に封止されていない状態に維持されるべき領域から離れたフレーム１５及びリング２１を完全に封止する。材料は、２部構成のエポキシ樹脂担体に混ぜられたいくつかの等級の御影石粒子からなり、粘性がモールド内部の完全な浸透を可能にするのにちょうど十分であるべきである。しかし、流れは、含まれているフレーム及びマウントリングと共にモールドの制御された振動により補助され、例えば、振動性ベッド上にベースプレート２３を配置することにより補助され、ベースプレートの振動が流動状態の被覆材材料に伝達することができる。その場合、流入する材料の量が増加する際に、振動モードを一定に維持するように調節することが有利である。また、その材料はレール１８のチャンネル並びにフレーム１５及びリング２１の他の開口部及び凹所中に流れて、被覆材とこれら構成要素との間の緊密な機械的結合が表面結合にさらに提供される。

微粒子御影石及びエポキシ樹脂の混合物が被覆材材料にとって好ましいが、例えば、組み込まれた微粒子金属又は無機成分を備えたポリマー分散物のような、適切な基準に合致する他の複合材料、特にモールド可能な、固化状態において、所望の減衰特性を提供するのに十分に適している非脆性な材料が可能である。

モールド空洞の完全な充填の後に、注がれた被覆材材料が硬化された場合、モールド形成要素は除去される。除去は、それらの被覆材材料に接触するモールド表面を、好ましい離型剤によってコーティングすることにより容易化される。この工程により製造された最終支持構造物１１は、その後逆向きにされ、必要であれば、例えば、支持ポスト１４上で支えるための腕２０の下側にある空気圧パッドを含み、装置１０の部品に適合される。他のそのような適合物は、要求に応じて、被覆材材料による封止の前又は後に、フレームに備えることができる。

１０ 装置
１１ 構造物
１２ 電子ビームカラム
１３ 真空チャンバケーシング
１４ 振動／衝撃隔離ポスト
１５ フレーム
１６ 被覆材
１７ 箱状本体
１８ レール
１９ ガセット
２０ 腕
２１ マウントリング
２２ 取り付け点
２３ ベースプレート
２４ スペーサー
２６ 側壁
２７ 中央コア要素
２８ 端部コア要素
２９ 端壁
３０ カバー壁

Claims (29)

1. 減衰特性を備えた器具支持構造物であって、
   曲げ及び引っ張りの負荷に耐性を有する金属材料からなる剛性フレーム、該フレームの少なくとも主要な部品を封止する被覆材、及び器具マウントを備え、
   前記被覆材は固化された複合鋳造材料であって、微粒子無機材料又は金属材料と合成結合剤とに基づいているとともに、前記構造物と前記マウントに取り付けられる前記器具との間に伝達される動きの減衰を可能にする追従を有する構造物。
2. 前記微粒子無機材料は御影石であり、前記結合剤はエポキシ樹脂である請求項１に記載の構造物。
3. 前記フレームは実質的に完全に前記被覆材によって封止されている請求項１又は２に記載の構造物。
4. 器具構成要素又は補助構成要素の取り付けのための、前記被覆材における外部からアクセス可能な取り付け点を備える請求項１〜３のいずれか一項に記載の構造物。
5. 前記フレーム及び前記被覆材が箱状本体部分を含む請求項１〜５のいずれか一項に記載されている構造物。
6. 前記本体部分が器具構成要素又は補助構成要素の受容のための空洞を形成する請求項５に記載の構造物。
7. 前記フレーム及び前記被覆材が、支持面上に前記構造物を支持するための支持手段による係合のための突出物を形成する請求項１〜６のいずれか一項に記載の構造物。
8. 前記フレームが少なくとも部分的にプロファイル断面部材から構成されている請求項１〜７のいずれか一項に記載の構造物。
9. 少なくともいくつかの前記部材がＨ断面を有する請求項８に記載の構造物。
10. 前記マウントがリングである請求項１〜９のいずれか一項に記載の構造物。
11. 前記マウントが金属材料からなる請求項１〜１０のいずれか一項に記載の構造物。
12. 前記マウントが前記フレームに結合されているとともに、前記被覆材材料により前記フレームから離間されている請求項１〜１１のいずれか一項に記載の構造物。
13. 前記マウントが、前記被覆材材料で満たされた開口部又は凹所を有し、前記マウントの追加的な固定を提供する請求項１〜１２のいずれか一項に記載の構造物。
14. フレームを提供するステップ、フレームに対して予め定められた位置に器具マウントを配置するステップ、モールドの壁がフレームから離間された状態で、フレームの少なくとも主要な部分及びマウントをモールド内に入れるステップ、並びに前記モールドを微粒子無機材料又は金属材料と合成結合剤とに基づく固化可能な鋳造材料で充填し、前記フレーム及びマウントの主要な部分を封止する被覆材を形成するステップを備えた請求項１〜１３のいずれか一項に記載されている構造物を製造する方法。
15. 前記モールドが実質的に完全に前記フレームを収容することにより、前記被覆材が実質的に前記フレームの全体を封止する請求項１４に記載の方法。
16. 前記微粒子無機材料又は金属材料が御影石であり、前記結合剤がエポキシ樹脂である請求項１４又は５に記載の方法。
17. 前記モールドがベースプレートを含み、前記フレームがスペーサーの手段により前記ベースプレート上に支持される請求項１４〜１６のいずれか一項に記載の方法。
18. 前記フレームは、使用の際に意図される向きに対して逆向きに前記ベースプレート上に配置される請求項１７に記載の方法。
19. 前記スペーサーは、前記最終構造物の構成要素取り付け点として構成され、かつ配置される請求項１７又は８に記載の方法。
20. 前記マウントは、直接的に前記ベースプレート上に配置される請求項１７〜１９のいずれか一項に記載の方法。
21. 前記マウントは、前記フレームから間隔を空けて前記ベースプレート上に配置される請求項２０に記載された方法。
22. 振動ベッド上に前記ベースプレートを配置させ、前記充填するステップ中に前記ベッドを振動させるステップを備える請求項１７〜２１のいずれか一項に記載の方法。
23. 前記振動させるステップは、鋳造材料の量が前記充填するステップ中に増大する際に振動モードを一定に維持するように調節するステップを備える請求項２２に記載の方法。
24. 前記モールドは前記フレームの個々の部品を収容する壁要素から組み立てられる請求項１４〜２３のいずれか一項に記載の方法。
25. 前記モールドが、前記フレームの箱状本体部分に配置可能なコア要素を含み、前記被覆材中に内部空洞を形成する請求項１４〜２４のいずれか一項に記載の方法。
26. 前記マウントが、前記鋳造材料を受容することを意図された開口部又は凹所を含み、前記充填するステップが前記開口部又は凹所を前記鋳造材料によって充填するステップを含む請求項１４〜２５のいずれか一項に記載の方法。
27. 請求項１４〜２６のいずれか一項に記載の方法により製造される構造物。
28. 請求項１〜１３及び２５のいずれか一項に記載の支持構造物並びに前記マウント上に搭載された器具を備えた装置
29. 請求項２８に記載された装置であって、前記装置は電子ビームリソグラフィー機械であって、前記器具が電子ビームカラムを備える装置。

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