JP2010503230A - 2クランプを形成する3ジョーを有するグリッパ - Google Patents
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Abstract
細片を投入マガジンからボンディング領域に、そして排出マガジンに移送するワイヤボンダの移送システムには、2つのグリッパを備える。第1グリッパを、投入マガジンから細片を引抜き、細片をワイヤボンダのボンディング領域に移送するよう構成したプラーグリッパとする。第2グリッパを、細片をボンディング領域から排出マガジンに移送し、細片を排出マガジンに押込むように構成したイジェクタグリッパとする。これらグリッパには、共通な軸に支持する3つのレバー(16、17、18)と、単一のモータと、該モータの回転を上記3レバーの回転に変換する手段と、を備える。
【選択図】図2
【選択図】図2
Description
本発明は、第1マガジンから材料細片を引抜き、所定の方向に沿って該細片を移送する、又は所定の方向に沿って該細片を移送し、該細片を第2マガジンに押込むように、設計したグリッパに関する。
ワイヤボンダで基板に半導体チップの配線を行う際に、基板を投入マガジンから次々と取り出して、所定方向に沿って、ワイヤボンディング・ステーションへと移送し、該ステーションでワイヤボンディングを行った後、排出マガジンへと移送する。この移送システムには、異なるタスクを行う多数の異なる要素、即ち、プル機構、可動グリッパ、及びプッシュ機構を備える。プル機構により、投入マガジンから基板を引抜き、基板をグリッパに渡す。グリッパは基板を、まずワイヤボンディング・ステーションに移送し、その後基板をプッシュ機構に引渡す。プッシュ機構により基板を排出マガジン内へと押込む。
本発明の目的は、安価で高機能性を備えた移送システムを開発することである。
本発明による移送システムには、2つのグリッパを備え、第1グリッパには、プル機構を含み、第2グリッパには、プッシュ機構を含む。第1グリッパを、投入マガジンから細片を引抜き、細片をワイヤボンダのボンディング領域に移送するよう構成したプラーグリッパとする。第2グリッパを、細片をボンディング領域から排出マガジンに移送し、細片を排出マガジンに押込むよう構成したイジェクタグリッパとする。第1グリッパには、第1レバーの前端部に取着する第1ジョーを有する該第1レバーと、第2レバーの前端部に取着する第2ジョーを有する該第2レバーと、第3レバーの前端部に取着する第3ジョーを有する該第3レバーと、を備えており、第1ジョーと第2ジョーとで第1クランプを形成し、第1ジョーと第3ジョーとで第2クランプを形成し、モータと、該モータの回転を、3レバーの回転に変換する手段であって、それにより上記モータの第1位置において両クランプを開状態にし、上記モータの第2位置において第1クランプを閉状態に、第2クランプを開状態にし、上記モータの第3位置において第1クランプを開状態に、第2クランプを閉状態にする手段と、を備える。第2グリッパには、第1レバーの前端部に取着する第1ジョーを有する該第1レバーと、第2レバーの前端部に取着するタッカを有する該第2レバーと第3レバーの前端部に取着する第3ジョーを有する該第3レバーと、を備えており、第1ジョーと第2ジョーとでクランプを形成し、モータと、該モータの回転を、該3レバーの回転に変換する手段であって、それにより該モータの第1位置において上記クランプを開状態に、上記タッカを上昇位置にし、上記モータの第2位置において上記クランプを閉状態に、上記タッカを上昇位置にし、上記モータの第3位置において上記クランプを開状態に、上記タッカを下降位置にする手段と、を備える。
本明細書に組込まれ、本明細書の一部を構成する添付図により、本発明の1実施例又は複数の実施例について例示し、詳細な記述と共に、本発明の原理及び実施について説明するのに添付図を用いる。図面は正確な縮尺ではない。
本発明による2つのグリッパを備える移送システムを示す。
本発明によるグリッパの第1実施例を示す。
本発明によるグリッパの第1実施例を示す。
グリッパの詳細を示す。
グリッパの詳細を示す。
本発明によるグリッパの第2実施例を示す。
図1は、ワイヤボンダの一部を示す。直交座標系の方向を、x、y、zで表す。ワイヤボンダには、細片1を第1マガジン又は投入マガジン2から取り出して、細片1に取着する半導体チップ4を細片1に配線するボンディング・ステーション(図示せず)のボンディング領域3に該細片を移送すると共に、該細片1を第2マガジン又は排出マガジン5に移送する移送システムを備える。該移送システムには、x方向に走るガイドレール8に担持する2つのグリッパ6及び7を備える。各グリッパ6、7には、固定的に設けたステータ11に突出する電気コイル9又は10を含む。コイル9とステータ11とで、第1リニアモータを形成し、コイル10とステータ11とで、第2リニアモータを形成する。
第1グリッパ6は、細片1を投入マガジン2から引抜く、及び細片1をボンディング領域3へ移送するという、2つの機能を果たすようになっている。そのため、プラーグリッパと呼ぶ。第2グリッパ7も、細片1をボンディング領域3から排出マガジン5まで(細片1がマガジン5前に来るように)移送する、及び細片1を排出マガジン5内に押込む又は排出するといった、2つの機能を果たすようになっている。そのため、イジェクタグリッパと呼ぶ。各グリッパには、移送中に細片1を把持するクランプを備える。プラーグリッパ6には、3つのジョーを備え、イジェクタグリッパ7には、2つのジョー及びイジェクタを備える。しかしながら、両グリッパ6、7には、3ジョー又は2ジョー及びイジェクタを夫々作動させる同じ機構を備える。制御ユニット(図示せず)により各グリッパの運動及び運転を制御する。
本発明の第1実施例によるグリッパ、即ちプラーグリッパとして用いるグリッパについて、次に図2乃至図5を援用して詳しく説明する。図2は、グリッパの正面斜視図である。図3は、グリッパ背面の略平面図である。図4及び図5は、第1ジョー12を作動する機構の詳細を示す。図2及び図3では、グリッパの殆どの部品が視認できるが、図4及び図5では一部の部品が視認できるのみである。グリッパには、3つのジョー12、13及び14を備える。第1ジョー12は、第2ジョー13と第3ジョー14の両方に対向して位置する長尺のジョーである。第1ジョー12と第2ジョー13とで、移送段階中に細片1を把持する第1クランプを形成する。第1ジョー12と第3ジョー14で、細片1を投入マガジン2から引抜く(図1)第2クランプを形成する。3つのジョー12〜14の各々は、下降位置か上昇位置かの2位置のどちらか一方を取ることができる。グリッパは、その後次のような異なる3状態を取ることができる。
状態1:第1ジョー12は下降位置にあり、第2ジョー13と第3ジョー14は上昇位置にある。この状態では、グリッパは投入マガジン2とボンディング領域3との間を、細片1と接触せずに、往復移動可能である。
状態2:第1ジョー12は上昇位置、第2ジョー13は下降位置、第3ジョー14は上昇位置にある。従って、第1クランプは、細片1が存在すれば、これを把持する。第2クランプは開状態であり、細片1が存在しても、これを把持しない。
状態3:第1ジョー12は上昇位置、第2ジョー13は上昇位置、第3ジョー14は下降位置にある。第1クランプは開状態であり、細片1が存在しても、これを把持しない。第2クランプは閉状態であり、細片1を把持する。
状態1:第1ジョー12は下降位置にあり、第2ジョー13と第3ジョー14は上昇位置にある。この状態では、グリッパは投入マガジン2とボンディング領域3との間を、細片1と接触せずに、往復移動可能である。
状態2:第1ジョー12は上昇位置、第2ジョー13は下降位置、第3ジョー14は上昇位置にある。従って、第1クランプは、細片1が存在すれば、これを把持する。第2クランプは開状態であり、細片1が存在しても、これを把持しない。
状態3:第1ジョー12は上昇位置、第2ジョー13は上昇位置、第3ジョー14は下降位置にある。第1クランプは開状態であり、細片1が存在しても、これを把持しない。第2クランプは閉状態であり、細片1を把持する。
状態1では、両クランプは開状態である。グリッパは、状態2及び状態3において、一方のクランプが閉状態であれば他方のクランプが開状態となるように、補完的に機能する。本発明によれば、グリッパはこれら3状態間で変化するのに1駆動部のみを備える:グリッパには、単一のモータ、好適には、ステッピング・モータ、そして該モータの回転をジョー12、13及び14の上下運動に変換する手段を備える。好適な実施例では、これらの手段は、
-x方向に走る共通の回転軸19で支持する3本のレバー16、17及び18であって、第1ジョー12を第1レバー16の前端部に取着し、第2ジョー13を第2レバー17の前端部に取着し、及び第3ジョー14を第3レバー18の前端部に取着して、各レバーをバネにより予張し、それによりレバー16〜18を無負荷状態で、第1ジョー12と第2ジョー13とで形成する第1クランプ、第1ジョー12と第3ジョー14とで形成する第2クランプを開状態とし、該両クランプで把持しないようにする該3レバー16、17及び18と、
-第2レバー17の後端部で支持する第1結合手段20、及び第3レバー18の後端部で支持する第2結合手段と、
-z方向に走るガイドレールに可動に支持した2つのシャトル22及び23と、
-第1シャトル22に取着した第1歯付ラック24及び第2シャトル23に取着した第2歯付ラック25と、
-y方向に走る軸27に支持する歯車26であって、該歯車26の歯は歯付ラック24、25の歯と噛合い、モータで直接又はギアを介して駆動する歯車26と、
-第1シャトル22において変位可能に支持し、第1結合手段20の方に突出する第1ロッド28、及び第2シャトル23において変位可能に支持し、第2結合手段21の方に突出する第2ロッド29と、
-第1ロッド28に巻着し、第1シャトル22と第1ロッド28に固定した第1停止手段31との間で圧縮し、それにより第1バネ30を予張するようにした該第1バネ30、及び第2ロッド29に巻着し、第2シャトル23と第2ロッド29に固定した第2停止手段33との間で圧縮し、それにより第2バネ32を予張するようにした該第2バネ32と、-y方向に走る軸35で回転可能に支持し、小輪38を有する第4レバー34と、
-第1シャトル22に取着したプレート36(図4を参照)であって、該プレート36には鼻部37を有し、該鼻部37が、プレート36の鼻部37が小輪38を通過すると、第4レバー34をx方向に移動させるように、第4レバー34の小輪38と相互作用する該プレート36と、
-z方向に走る軸40に支持する第5レバー39(再び、図2参照)であって、第5レバー39の第1端部を第4レバー34の第2端部に結合させ、第5レバー39の第2端部を第1レバー16の後端部に結合させる、第5レバー39と、から成る。第5レバー39の第2端部と第1レバー16の後端部を、楔形とし(図5参照)、即ち、これらは、x方向に対して斜めに走る互いに対向する面を有し、それによりx方向に指向する第5レバー39の第2端部の運動を、Z方向に指向する第1レバー16の第1端部の運動に変換する。従って、第4レバー34の前後運動が、最終的に第1ジョー12の上下運動となる。
-x方向に走る共通の回転軸19で支持する3本のレバー16、17及び18であって、第1ジョー12を第1レバー16の前端部に取着し、第2ジョー13を第2レバー17の前端部に取着し、及び第3ジョー14を第3レバー18の前端部に取着して、各レバーをバネにより予張し、それによりレバー16〜18を無負荷状態で、第1ジョー12と第2ジョー13とで形成する第1クランプ、第1ジョー12と第3ジョー14とで形成する第2クランプを開状態とし、該両クランプで把持しないようにする該3レバー16、17及び18と、
-第2レバー17の後端部で支持する第1結合手段20、及び第3レバー18の後端部で支持する第2結合手段と、
-z方向に走るガイドレールに可動に支持した2つのシャトル22及び23と、
-第1シャトル22に取着した第1歯付ラック24及び第2シャトル23に取着した第2歯付ラック25と、
-y方向に走る軸27に支持する歯車26であって、該歯車26の歯は歯付ラック24、25の歯と噛合い、モータで直接又はギアを介して駆動する歯車26と、
-第1シャトル22において変位可能に支持し、第1結合手段20の方に突出する第1ロッド28、及び第2シャトル23において変位可能に支持し、第2結合手段21の方に突出する第2ロッド29と、
-第1ロッド28に巻着し、第1シャトル22と第1ロッド28に固定した第1停止手段31との間で圧縮し、それにより第1バネ30を予張するようにした該第1バネ30、及び第2ロッド29に巻着し、第2シャトル23と第2ロッド29に固定した第2停止手段33との間で圧縮し、それにより第2バネ32を予張するようにした該第2バネ32と、-y方向に走る軸35で回転可能に支持し、小輪38を有する第4レバー34と、
-第1シャトル22に取着したプレート36(図4を参照)であって、該プレート36には鼻部37を有し、該鼻部37が、プレート36の鼻部37が小輪38を通過すると、第4レバー34をx方向に移動させるように、第4レバー34の小輪38と相互作用する該プレート36と、
-z方向に走る軸40に支持する第5レバー39(再び、図2参照)であって、第5レバー39の第1端部を第4レバー34の第2端部に結合させ、第5レバー39の第2端部を第1レバー16の後端部に結合させる、第5レバー39と、から成る。第5レバー39の第2端部と第1レバー16の後端部を、楔形とし(図5参照)、即ち、これらは、x方向に対して斜めに走る互いに対向する面を有し、それによりx方向に指向する第5レバー39の第2端部の運動を、Z方向に指向する第1レバー16の第1端部の運動に変換する。従って、第4レバー34の前後運動が、最終的に第1ジョー12の上下運動となる。
グリッパの3つのジョー12、13及び14の運転と作動について、以下に記述する。グリッパは、上記3状態間で所定の順序で、即ち状態2 -状態1 -状態3の順序で、モータを回動させて、前後に変化させることができる。グリッパが状態2にある、即ち第1クランプを形成するジョー12と13で細片1を把持していると仮定する。モータは第1位置に、歯車26は第1位置にある。第1シャトル22は上昇位置にあり、第1ロッド28が、第2レバー17の後端部で支持する第1結合手段20を一定の力で押圧する。これにより、第1ロッド28を第1シャトル22に対して、第2レバー17の後端部から離れる方向に向かい変位する。力は、第1シャトル22の位置、この第1ロッド28の変位程度及びバネ定数に従い、印加される。第2レバー17の前端部は、従って下降位置となる。第2シャトル23は下降位置にあり、第2ロッド29は、第3レバー18の後端部で支持する第2結合手段21と接触しない。第3レバー18は従って無負荷状態となり、該レバー18のジョー14は上昇位置となる。第1シャトル22に取着したプレート36の鼻部37は、小輪38の上方となり、小輪38には作用しない。第4レバー34の可動端部は、右側の第1位置(グリッパの背側から見たとき)にある。第5レバー39の後端部も右側にあり、第5レバー39の前端部は、左側にあり、それにより第1レバー16の後端部は下降位置になる。従って、第1レバー16の前端部は、上昇位置となる。第1ジョー12を有する第1レバー16の前端部が上昇位置となり、第2ジョー13を有する第2レバー17の前端部が下降位置となると、2つのジョー12及び13により細片1を把持する。これは、第3ジョー14を有する第3レバー18の前端部が上昇位置になり、2つのジョー12及び14で、細片1が存在しても、該細片1を把持しないためである。
状態2から状態1に変化するには、モータを時計回り方向に回動させて第2位置とする。モータが回動しながら、第1シャトル22は負のz方向に下降移動し、同時に第2シャトル23は正のz方向に上昇移動する。モータが第2位置に到達すると、第1シャトル22と第2シャトル23は両方共、第1ロッド28と第2ロッド29が夫々第1結合手段20又は21に接触しない位置になる。第2レバー17の前端部及び第3レバー18の前端部は、従って両方共上昇位置となる。よって、第1シャトル22の運動により、第2レバー17を回転軸19周りに枢動させ、それにより第1ジョー12を上昇位置へ移動させる。モータが第2位置に到達すると、プレート36の鼻部37は、第4レバー34の小輪38に作用し、それにより第4レバー34の端部を、(図3で示すように)左側の第2位置にする。第4レバー34の該端部を右側の第1位置から左側の第2位置へ移動させながら、第5レバー39を軸40について枢動させ、該第5レバー39によって第1レバー16を軸19について枢動させ、それにより第1ジョー12を最終的に下降位置に到達させる。グリッパはこの時点で、第1ジョー12が下降位置、第2ジョー13及び第3ジョー14の両方が上昇位置にある状態1となる。そのため、両クランプは細片1を把持しない。
状態1から状態3に変化させるには、モータを更に時計回り方向に回動させて第3位置にする。モータが回転しながら、第1シャトル22は再び負のZ方向に下降移動し、同時に第2シャトル23は正のZ方向に上昇移動する。モータが第2位置に到達すると、第1ロッド28は、第2レバー17の後端部に支持する第1結合手段20に接触しないが、第2ロッド29は、再び第3レバー18の後端部に支持する第2結合手段21を押圧する。プレート36の鼻部37が第4レバー34の小輪38の下方となり、それにより第4レバー34の端部を再び右側の第1位置にする。このため、結果的に第1ジョー12がこの時点で上昇位置に、第2ジョー13が上昇位置に、第3ジョー14が下降位置となる。従って、第1ジョー12と第2ジョー13間で形成する第1クランプは細片1を把持せず、第1ジョー12と第3ジョー14間で形成する第2クランプは細片1を把持する。
図6では、本発明によるグリッパの第2実施例を示しており、該実施例をボンディング領域3(図1)から排出マガジン5まで移送し、細片1を排出マガジン5に押込むのに用いる。従って、イジェクタグリッパと呼ばれる。該イジェクタグリッパの構成は、プラーグリッパの構成と基本的に同じだが、以下で説明する幾つかの相違点がある。グリッパには、2つのジョー12及び13により形成する1つのクランプだけを有する。ここでは、第2ジョー13を、第3レバー18の前端部に取着する。第1ジョー12の長さを、プラーグリッパの第1実施例より短くし、第2ジョー13にだけ対向して位置するようにする。このようにして、第1ジョー12と第2ジョー13とで、細片1を移送するクランプを形成する。タッカ41を第2レバー17の前端部に取着する。第2レバー17の前端部を上昇位置にすると、その結果タッカ41が細片1の上方に距離を置いて存在し、細片1に接触しない。第2レバー17の前端部を下降位置にすると、その結果タッカ41が細片1の縁部に面し、それにより細片1を排出マガジン5内に押込むことができるようになる。運転中、イジェクタグリッパが、まず細片1をジョー12及び13で把持し、該細片1をボンディング領域から排出マガジン5に移動させる。その後、イジェクタグリッパはジョー12及び13を開き、所定距離後退し、タッカ41を下降させ、細片1を排出マガジン5に押込む。
イジェクタグリッパには、ジャム検出機構を更に備える。残念ながら、基板が排出マガジン5のある部分で引っ掛る又は詰まることが、排出マガジン5の最終位置に到達する前に、しばしば発生する。そうなると、特に基板が比較的薄い場合には、基板が損傷する、或は破壊されてしまう可能性さえある。それを防止するために、イジェクタグリッパには、ジャム検出機構を備える。ジャム検出機構は、向かってタッカ41側で第1ジョー12に隣接して配設するローラ42から成る。第2ジョー13を、第1ジョー12と対向するだけでなくローラ42にも対向するように長くする。2つのジョー12及び13で細片1を把持すると、第2ジョー13は細片1をまたローラ42にも押圧する。細片1を通常状態で移送中は、ローラ42は回動しない。しかし、細片1が何処かで引っ掛ると直ぐに、細片1は停止するが、一方グリッパ及び、グリッパと共に第2ジョー13は依然として移動する。それによりローラ42が回動する。このローラ42の回動を、ローラ42と連結した歯車43と光バリアから成るセンサで検知する。ローラ42が回動すると、歯車43の歯が定期的に光バリアを開閉させる。ローラ42の回動を検知すると、グリッパの移動を直ぐに停止させる及び/又はジョー12及び13を開状態にする。
本発明の実施例及び用途を示し記述したが、本開示の利益を享受する当業者には、本明細書で示した発明概念から逸脱することなく、上記以外の多数の変更例が可能であることは、明らかである。本発明は、従って、付記されたクレーム及びそれらの同等なものの精神を除いて、限定されない。
1 細片
2 投入マガジン
3 ボンディング領域
4 半導体チップ
5 排出マガジン
6、7 グリッパ
8 ガイドレール
9、10 電気コイル
11 ステータ
12、13、14ジョー
16、17、18、34、39 レバー
19、27、35、40 軸
20、21 結合手段
22、23 シャトル
24、25 歯付ラック
26、43 歯車
28、29 ロッド
30、32 バネ
31、33 停止手段
36 プレート
37 鼻部
38 小輪
41 タッカ
42 ローラ
2 投入マガジン
3 ボンディング領域
4 半導体チップ
5 排出マガジン
6、7 グリッパ
8 ガイドレール
9、10 電気コイル
11 ステータ
12、13、14ジョー
16、17、18、34、39 レバー
19、27、35、40 軸
20、21 結合手段
22、23 シャトル
24、25 歯付ラック
26、43 歯車
28、29 ロッド
30、32 バネ
31、33 停止手段
36 プレート
37 鼻部
38 小輪
41 タッカ
42 ローラ
Claims (5)
- 第1レバー(16)の前端部に取着する第1ジョー(12)を有する第1レバー(16)と、
第2レバー(17)の前端部に取着する第2ジョー(13)を有する第2レバー(17)と、
第3レバー(18)の前端部に取着する第3ジョー(14)を有する第3レバー(18)と、を備えており、前記第1ジョー(12)と前記第2ジョー(13)とで第1クランプを形成し、前記第1ジョー(12)と前記第3ジョー(14)とで第2クランプを形成し、
モータと、
前記モータの回転を、前記3レバー(16、17、18)の回転に変換する手段であって、それにより前記モータの第1位置において両クランプを開状態にし、前記モータの第2位置において前記第1クランプを閉状態に、前記第2クランプを開状態にし、前記モータの第3位置において前記第1クランプを開状態に、前記第2クランプを閉状態にする手段と、を備えること、
を特徴とするグリッパ。 - 第1レバー(16)の前端部に取着する第1ジョー(12)を有する第1レバー(16)と、
第2レバー(17)の前端部に取着するタッカ(41)を有する第2レバー(17)と、
第3レバー(18)の前端部に取着する第3ジョー(14)を有する第3レバー(18)と、を備えており、前記第1ジョー(12)と前記第2ジョー(13)とでクランプを形成し、
モータと、
前記モータの回転を、前記3レバー(16、17、18)の回転に変換する手段であって、それにより前記モータの第1位置において前記クランプを開状態に、前記タッカ(41)を上昇位置にし、前記モータの第2位置において前記クランプを閉状態に、前記タッカ(41)を上昇位置にし、前記モータの第3位置において前記クランプを開状態に、前記タッカ(41)を下降位置にする手段と、を備えること、
を特徴とするグリッパ。 - 前記第2レバー(17)の後端部に取着する第1結合手段(20)と、
前記第3レバー(18)の後端部に取着する第2結合手段(21)と、
z方向に走るガイドレールに移動可能に支持した、第1歯付ラック(24)を有する第1シャトル(22)、及び第2歯付ラック(25)を有する第2シャトル(23)と、
前記モータによって駆動する歯車(26)であって、該歯車(26)の歯は歯付ラック(24、25)の歯と噛合う前記歯車(26)と、
前記第1シャトル(22)において変位可能に支持し、前記第1結合手段(20)の方に突出する第1ロッド(28)、及び前記第2シャトル(23)において変位可能に支持し、前記第2結合手段(21)の方に突出する第2ロッド(29)と、
前記第1ロッド(28)に巻着し、前記第1シャトル(22)と前記第1ロッド(28)に固定した第1停止手段(31)との間で圧縮し、それにより第1バネ(30)を予張する前記第1バネ(30)、及び前記第2ロッド(29)に巻着し、前記第2シャトル(23)と前記第2ロッド(29)に固定した第2停止手段(33)との間で圧縮し、それにより第2バネ(32)を予張する前記第2バネ(32)と、を更に備えており、前記モータの前記第2位置において、前記第1ロッド(28)は前記第1結合手段(20)を押圧する一方、前記第2ロッド(29)は前記第2結合手段(21)に接触せず、前記モータの前記第3位置において、前記第1ロッド(28)は前記第1結合手段(20)に接触しない一方、前記第2ロッド(29)は前記第2結合手段(21)を押圧すること、を特徴とする請求項1又は2に記載のグリッパ。 - 第4レバー(34)と、
第5レバー(39)と、を更に備えており、
前記第5レバー(39)の第1端部を前記第4レバー(34)の端部に結合し、前記第5レバー(39)の第2端部を前記第1レバー(16)の後端部に結合し、前記第5レバー(39)の第2端部と前記第1レバー(16)の後端部は、対向する表面を有し、楔形であり、
前記第1シャトル(22)に取着するプレート(36)であって、鼻部(37)を有する前記プレート(36)と、を更に備えており、前記モータの前記第1位置において、前記鼻部(37)は前記第4レバー(34)に作用し、前記モータの前記第2及び第3位置において、前記鼻部(37)は前記第4レバー(34)に作用しないようにして、前記第4レバー(34)の回転により結果的に、前記第1レバー(16)の前端部を上下運動させること、
を特徴とする請求項3に記載のグリッパ。 - ローラ(42)を有するジャム検出機構を更に備え、前記ローラ(42)は前記第2ジョー(13)に対向して位置すること、を特徴とする請求項2に記載のグリッパ。
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