KR20090080936A - 2개의 클램프를 형성하는 3개의 조를 구비한 그리퍼 - Google Patents

2개의 클램프를 형성하는 3개의 조를 구비한 그리퍼 Download PDF

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KR20090080936A
KR20090080936A KR1020097004771A KR20097004771A KR20090080936A KR 20090080936 A KR20090080936 A KR 20090080936A KR 1020097004771 A KR1020097004771 A KR 1020097004771A KR 20097004771 A KR20097004771 A KR 20097004771A KR 20090080936 A KR20090080936 A KR 20090080936A
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lever
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gripper
rod
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KR1020097004771A
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홍강 왕
야오밍 왕
펭 유
이란 로젠츠바이크
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외르리콘 어셈블리 이큅먼트 피티이. 엘티디.
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Abstract

스트립을 투입 매거진으로부터 본딩 영역 및 배출 매거진으로 이송하기 위한 와이어 본더의 이송 시스템은 2개의 그리퍼를 구비한다. 제1 그리퍼는 스트립을 투입 매거진 외부로 취출하여 그것을 본딩 영역으로 이송하도록 구성된 풀러 그리퍼(puller gripper)이다. 제2 그리퍼는 스트립을 본딩 영역으로부터 배출 매거진으로 이송하여 그것을 배출 매거진 내로 밀어넣도록 구성된 이젝터 그리퍼(ejector gripper)이다. 그리퍼는 공통 축에 지지되는 3개의 레버(16, 17, 18)와, 단일 모터와, 모터의 회전을 3개의 레버의 회전으로 변환시키는 수단을 포함한다.
스트립, 투입 매거진, 배출 매거진, 그리퍼, 와이어 본더

Description

2개의 클램프를 형성하는 3개의 조를 구비한 그리퍼{GRIPPER WITH THREE JAWS FORMING TWO CLAMPS}
본 발명은 제1 매거진(magazine)으로부터 재료의 스트립(strip)을 취출하여 그 스트립을 소정의 방향을 따라 이송시키거나, 스트립을 소정의 방향을 따라 이송시켜 그 스트립을 제2 매거진 내로 밀어넣도록 구성된 그리퍼에 관한 것이다.
반도체 칩을 와이어 본더(wire bonder)에서 기판에 배선시 투입 매거진(input magazine)으로부터 차례로 하나씩 기판이 취출되어, 소정의 방향을 따라 와이어 본딩 스테이션(wire bonding station)으로 이송되어서, 와이어 본드가 형성된 다음에, 배출 매거진(output magazine)으로 이송된다. 이송 시스템은 상이한 과제를 수행하기 위한 여러 상이한 부재들, 즉 견인 기구(pull mechanism), 이동가능 그리퍼 및 푸쉬 기구(push mechanism)를 포함한다. 견인 기구는 기판을 투입 매거진 외로 취출하여 이것을 그리퍼에 제공한다. 그리퍼는 기판을 우선 와이어 본딩 스테이션으로 이송한 다음에 그를 푸쉬 기구로 이송한다. 푸쉬 기구는 기판을 배출 매거진 내로 밀어넣는다.
본 발명의 목적은 낮은 비용으로 고기능성을 제공하는 이송 시스템을 개발하는 데 있다.
본 발명에 따른 이송 시스템은 2개의 그리퍼를 포함하며, 제1 그리퍼는 견인 기구를 포함하고, 제2 그리퍼는 푸쉬 기구를 포함한다. 제1 그리퍼는 스트립을 투입 매거진 외부로 취출하여 그것을 와이어 본더의 본딩 영역으로 이송하도록 구성된 풀러 그리퍼(puller gripper)이다. 제2 그리퍼는 스트립을 본딩 영역으로부터 배출 매거진으로 이송하여 그것을 배출 매거진 내로 밀어넣도록 구성된 이젝터 그리퍼(ejector gripper)이다. 제1 그리퍼는, 제1 조(first jaw)가 전단부에 부착되는 제1 레버와, 제2 조(second jaw)가 전단부에 부착되는 제2 레버와, 제3 조(third jaw)가 전단부에 부착되는 제3 레버를 포함하며, 여기서 제1 조 및 제2 조는 제1 클램프를 형성하고, 제1 조 및 제3 조는 제2 클램프를 형성하며, 또한 제1 그리퍼는, 모터와, 모터의 제1 위치에서는 양 클램프가 모두 개방되며 모터의 제2 위치에서는 제1 클램프는 밀폐되고 제2 클램프는 개방되며 모터의 제3 위치에서는 제1 클램프는 개방되고 제2 클램프는 밀페되도록 모터의 회전을 3개의 레버들의 회전들로 변환시키기 위한 수단을 포함한다. 제2 그리퍼는, 제1 조가 전단부에 부착되는 제1 레버와, 터커(tucker)가 전단부에 부착되는 제2 레버와, 제2 조가 전단부에 부착되는 제3 레버를 포함하며, 여기서 제1 조 및 제2 조는 클램프를 형성하고, 또한 제2 그리퍼는, 모터와, 모터의 제1 위치에서는 클램프가 개방되고 터커(tucker)는 상승 위치에 있으며 모터의 제2 위치에서는 클램프가 밀폐되고 터커는 상승 위치에 있으며 모터의 제3 위치에서는 클램프가 개방되고 터커는 하강 위치에 있도록 모터의 회전을 3개의 레버의 회전들로 변환시키기 위한 수단을 포함한다.
본 명세서에 통합되어 그의 일부를 구성하는 첨부 도면은 본 발명의 하나 또는 그 이상의 실시예를 나타내며, 상세한 설명과 함께 본 발명의 원리와 구현예를 설명한다. 도면은 실척이 아니다.
도 1은 본 발명에 따른 2개의 그리퍼를 포함한 이송 시스템을 도시한다.
도 2, 3은 본 발명에 따른 그리퍼의 제1 실시예를 도시한다.
도 4, 5는 그리퍼를 상세히 도시한다.
도 6은 본 발명에 따른 그리퍼의 제2 실시예를 도시한다.
도 1은 와이어 본더의 일부를 도시한다. 직교 좌표계의 방향은 x, y 및 z로 표시되어 있다. 와이어 본더는, 스트립(strip)(1)을 제1 또는 투입 매거진(input magazine)(2)의 외부로 취출하여 그것을 스트립(1)에 부착된 반도체 칩(4)이 스트립(1)으로 배선되는 본딩 스테이션(미도시)의 본딩 영역(3)으로 이송시키고, 또한 스트립(1)을 제2 또는 배출 매거진(output magazine)(5)으로 이송시키기 위한 이송 시스템을 포함한다. 이송 시스템은 x 방향으로 연장된 가이드 레일(8)에 지지되는 2개의 그리퍼(6, 7)를 포함한다. 그리퍼(6, 7)의 각각은 정치되어 배치된 스테이터(stator)(11) 내로 돌출되는 전기 코일(9, 10)을 포함한다. 코일(9)과 스테이터(11)는 제1 선형 모터(linear motor)를 형성하고, 코일(10)과 스테이터(11)는 제2 선형 모터를 형성한다.
제1 그리퍼(6)는 2가지 기능, 즉 스트립(1)을 투입 매거진(2)으로부터 취출하는 기능과, 스트립(1)을 본딩 영역(3)으로 이송하는 기능을 수행할 수 있다. 따라서 제1 그리퍼는 풀러 그리퍼(puller gripper)로 지칭된다. 제2 그리퍼(7)도 또한 2가지 기능, 즉 스트립(1)을 본딩 영역(3)으로부터 배출 매거진(5)까지 이송하는 기능(스트립(1)이 매거진(5)의 전방에 위치하도록)과, 스트립(1)을 배출 매거진(5)내로 밀어넣거나 배출시키는 기능을 수행할 수 있다. 따라서 제2 매거진은 이젝터 그리퍼(ejector gripper)로 지칭된다. 각각의 그리퍼는 이송 중에 스트립(1)을 클램핑하는 클램프를 포함한다. 풀러 그리퍼(6)는 3개의 조를 포함하며, 이젝터 그리퍼(7)는 2개의 조와 이젝터를 포함한다. 그러나, 양 그리퍼(6, 7)는 각각 3개의 조 또는 2개의 조 및 이젝터를 작동시키기 위한 동일한 기구를 포함한다. 컨트롤 유닛(미도시)이 각각의 그리퍼의 운동 및 작동을 제어한다.
이제, 본 발명의 제1 실시예에 따른 그리퍼, 즉 풀러 그리퍼로서 사용되는 그리퍼를 도 2 내지 도 5를 참조하여 상세히 설명한다. 도 2는 그리퍼의 전방 사시도를 도시한다. 도 3은 그리퍼의 배면의 개략적인 평면도를 도시한다. 도 4 및 도 5는 제1 조(12)를 작동시키는 기구를 상세히 도시한다. 그리퍼의 대부분의 부품을 도 2와 도 3에서 볼 수 있으나, 일부 부품은 단지 도 4와 도 5에서만 볼 수 있다. 그리퍼는 3개의 조(12, 13, 14)를 포함한다. 제1 조(12)는 제2 조(13) 및 제3 조(14) 양자에 대해 대향되어 위치되는 긴 조이다. 제1 조(12)와 제2 조(13)는 이송 단계 동안에 스트립(1)을 클램핑하는 제1 클램프를 형성한다. 제1 조(12)와 제3 조(14)는 스트립(1)을 투입 매거진(2)(도 1)의 외부로 취출하는 제2 클램프를 형성 한다(도1). 3개의 조(12, 13, 14) 각각은 2가지 위치 중 하나, 즉 하강 위치 또는 상승 위치를 가질 수 있다. 그리퍼는 다음과 같이 3개의 상이한 상태를 가질 수 있다.
상태 1: 제1 조(12)는 하강 위치에 있고, 제2 조(13) 및 제3 조(14)는 상승 위치에 있다. 이러한 상태에서 그리퍼는 스트립(1)과의 접촉 없이 투입 매거진(2)과 본딩 영역(3) 사이에서 앞뒤로 움직일 수 있다.
상태 2: 제1 조(12)는 상승 위치에 있고, 제2 조(13)는 하강 위치에 있으며, 제3 조(14)는 상승 위치에 있다. 따라서 제1 클램프는 존재하는 경우 스트립(1)을 클램핑한다. 제2 클램프는 개방되며 존재하는 경우 스트립(1)을 클램핑하지 않을 것이다.
상태 3: 제1 조(12)는 상승 위치에 있고, 제2 조(13)는 상승 위치에 있으며, 제3 조(14)는 하강 위치에 있다. 제1 클램프는 개방되고 존재하는 경우 스트립(1)을 클램핑하지 않을 것이다. 제2 클램프는 폐쇄되고 스트립(1)을 클램핑한다.
상태 1에서 양 클램프는 개방된다. 그리퍼는 상태 2 및 상태 3에서 한 클램프가 폐쇄되면 다른 클램프가 개방되는 방식의 상보적인 방식으로 작동한다. 본 발명에 따르면, 그리퍼는 3가지 상태로의 변경을 위해 단지 하나의 구동 장치만을 포함한다. 그리퍼는 단일 모터, 바람직하게는 스테퍼 모터(stepper motor)와, 모터의 회전을 조(12, 13, 14)의 상하 운동으로 변환시키는 수단을 포함한다. 바람직한 실시예에서 이러한 수단은 다음의 구성들, 즉
- x 방향으로 연장되는 공통 회전축(19)에 지지되는 3개의 레버(16, 17, 18) 와; 여기서 제1 조(12)는 제1 레버(16)의 전단부에 부착되며, 제2 조(13)는 제2 레버(17)의 전단부에 부착되며, 제3 조(14)는 제3 레버(18)의 전단부에 부착되고, 각각의 레버는 스프링에 의해 예비 인장되어, 레버(16, 17, 18)의 무부하 상태(unloaded state)에서 제1 조(12)와 제2 조(13) 사이에 형성된 제1 클램프 및 제1 조(12)와 제3 조(14) 사이에 형성된 제2 클램프가 개방되고 클램핑하지 않음.
- 제2 레버(17)의 후단부에 지지되는 제1 커플링 수단(20), 및 제3 레버(18)의 후단부에 지지되는 제2 커플링 수단(21)과;
- z 방향으로 연장되는 가이드 레일에 이동가능하게 지지되는 2개의 셔틀(22, 23)과;
- 제1 셔틀(22)에 부착되는 제1 치형 랙(toothed rack)(24), 및 제2 셔틀(23)에 부착되는 제2 치형 랙(25)과;
- y 방향으로 연장되는 축(27)에 지지되는 치형 휠(toothed wheel)(26)과; 여기에서 치형 휠(26)의 치형부는 치형 랙(24, 25)의 치형부와 치합되고, 치형 휠(26)은 모터에 의해 직접 또는 기어를 거쳐 구동됨.
- 제1 셔틀(22)에 변위 가능하게 지지되고 제1 커플링 수단(20)을 향해 돌출되는 제1 로드(28), 및 제2 셔틀(23)에 변위 가능하게 지지되고 제2 커플링 수단(21)을 향해 돌출되는 제2 로드(29)와;
- 제1 로드(28)를 감싸고 제1 로드(28)에 고정된 제1 정지 수단(31)과 제1 셔틀(22) 사이에서 압축되어 예비 가압되는 제1 스프링(30), 및 제2 로드(29)를 감싸고 제2 로드(29)에 고정된 제2 정지 수단(33)과 제2 셔틀(23) 사이에서 압축되어 예비 가압되는 제2 스프링(32)과;
- y 방향으로 연장되는 축(35)에 회전 가능하게 지지되고 작은 휠(38)을 구비하는 제4 레버(34)와;
- 제1 셔틀(22)에 부착되고 노즈(nose)(37)를 구비하는 플레이트(36)(도 4 참조)로서, 플레이트(36)의 노즈(37)는 작은 휠(38)을 지나갈 때 제4 레버(34)가 x 방향으로 이동하게 하도록 제4 레버(34)의 소형 휠(38)과 상호 작용하는 플레이트(36)와;
- z 방향으로 연장되는 축(40)에 지지되는 제5 레버(39)(도 2 재참조)로서, 제5 레버(39)의 제1 단부는 제4 레버(34)의 제2 단부에 결합되고, 제5 레버(39)의 제2 단부는 제1 레버(16)의 후단부에 결합되는, 제5 레버(39)로 구성된다. 제5 레버(39)의 제2 단부와 제1 레버(16)의 후단부는 웨지형(wedge-shaped)(도 5 참조)이며, 즉 그들은 x 방향으로 지향된 제5 레버(39)의 제2 단부의 운동을 z 방향으로 지향된 제1 레버(16)의 전단부의 운동으로 변환시키기 위해 x 방향에 대해 경사지게 연장되는 표면들로서 상호 대향되는 표면들을 구비한다. 따라서, 제4 레버(34)의 전후 운동은 최종적으로 제1 조(12)의 상하 운동을 발생시킨다.
이하에서는 그리퍼의 3개의 조(12, 13, 14)의 작동 및 작용을 설명한다. 그리퍼는 소정의 순서로, 즉 모터의 선회에 의한 상태 2 - 상태 1 - 상태 3의 순서로 그것의 전술한 3가지 상태들로 앞뒤로 변경될 수 있다. 그리퍼가 상태 2에 있는 것으로, 즉 제1 클램프를 형성하는 조(12, 13)가 스트립(1)을 클램핑한다고 가정하자. 모터는 제1 위치에 있으며, 치형 휠(26)은 제1 위치에 있다. 제1 셔틀(22)은 상승 위치에 있고, 제1 로드(28)는 제2 레버(17)의 후단부에 지지되는 제1 커플링 수단(20)을 어떤 일정한 힘으로 가압한다. 이는 제1 로드(28)가 제2 레버(17)의 후단부로부터 이격되는 방향으로 제1 셔틀(22)에 대해 변위되도록 한다. 이러한 힘은 제1 셔틀(22)의 위치, 제1 로드(28)의 변위 정도, 및 스프링 상수에 의해 주어진다. 따라서, 제2 레버(17)의 전단부는 그의 하강 위치에 있다. 제2 셔틀(23)은 하부 위치에 있고, 제2 로드(29)는 제3 레버(18)의 후단부에 지지되는 제2 커플링 수단(21)과 접촉하지 않는다. 따라서, 제3 레버(18)는 하중을 받지 않으며, 그의 조(14)는 상승 위치에 있다. 제1 셔틀(22)에 부착된 플레이트(36)의 노즈(37)는 작은 휠(38)의 위에 위치하며, 작은 휠(38)에 작용하지 않는다. 제4 레버(34)의 이동가능 단부는 우측(그것을 그리퍼의 배면으로부터 볼 때)에서 제1 위치에 위치한다. 제5 레버(39)의 후단부도 또한 우측에 있으며, 제5 레버(39)의 전단부는 좌측에 있어, 제1 레버(16)의 후단부는 하부 위치에 있다. 따라서, 제1 레버(16)의 전단부는 그의 상승 위치에 있다. 제1 조(12)를 구비한 제1 레버(16)의 전단부가 그의 상승 위치에 있고, 제2 조(13)를 구비한 제2 레버(17)의 전단부가 그의 하강 위치에 있어, 2개의 조(12, 13)가 스트립(1)을 클램핑한다. 제3 조(14)를 구비한 제3 레버(18)의 전단부가 그의 상승 위치에 있기 때문에, 2개의 조(12, 14)는 존재하는 경우 스트립(1)을 클램핑하지 않을 것이다.
상태 2로부터 상태 1로의 변경을 위해, 모터는 시계방향으로 제2 위치를 향해 선회한다. 모터가 선회하는 동안, 제1 셔틀(22)은 음의 z 방향으로 하향 이동하고, 제2 셔틀(23)은 동시에 양의 z 방향으로 상향 이동한다. 모터가 제2 위치에 도 달하면, 제1 셔틀(22) 및 제2 셔틀(23)은 모두 제1 로드(28)도 제2 로드(29)도 각각의 제1 또는 제2 커플링 수단(20, 21)에 접촉하지 않는 위치에 있다. 따라서, 제2 레버(17)의 전단부 및 제3 레버(18)의 전단부는 모두 그들의 상승 위치에 있다. 따라서, 제1 셔틀(22)의 운동은 제2 레버(17)가 회전축(19) 주위로 선회되도록 하여 제1 조(12)가 그의 상승 위치로 이동되도록 한다. 모터가 그의 제2 위치에 도달하면, 플레이트(36)의 노즈(37)는 제4 레버(34)의 작은 휠(38)에 작용하여, 제4 레버(34)의 단부는 좌측의 제2 위치에 있다(도 3 참조). 이러한 제4 레버(34)의 단부가 우측의 제1 위치로부터 좌측의 제2 위치로 이동되면, 제5 레버(39)는 축(40)을 중심으로 선회되고 제1 레버(16)가 축(19)을 중심으로 선회되도록 하여, 제1 조(12)가 최종적으로 하강 위치에 도달하도록 한다. 이제 그리퍼는 상태 1에 있으며, 즉 제1 조(12)는 그의 하강 위치에 있고 제2 조(13) 및 제3 조(14)는 모두 상승 위치에 있다. 따라서 양 클램프는 스트립(1)을 클램핑하지 않는다.
상태 1에서 상태 3으로의 변경을 위해 모터는 시계 방향으로 제3 위치를 향해 더욱 선회한다. 모터가 선회하는 동안, 제1 셔틀(22)은 다시 음의 z 방향으로 하향 이동하고, 동시에 제2 셔틀(23)은 양의 z 방향으로 상향 이동한다. 모터가 그의 제2 위치에 도달하면, 제1 로드(28)는 제2 레버(17)의 후단부에 지지된 제1 커플링 수단(20)과 접촉하지 않으나, 제2 로드(29)는 제3 레버(18)의 후단부에 지지된 제 2 커플링 수단(21)을 가압한다. 플레이트(36)의 노즈(37)는 제4 레버(34)의 작은 휠(38) 아래에 있어, 제4 레버(34)의 단부는 다시 우측의 제1 위치에 있다. 이로부터, 이제 제1 조(12)는 그의 상승 위치에 있으며, 제2 조(13)가 그의 상승 위치에 있고, 제3 조(14)가 그의 하강 위치에 있다. 따라서 제1 조(12)와 제2 조(13) 사이에 형성된 제1 클램프가 스트립(1)을 클램핑하지 않으며, 제1 조(12)와 제3 조(14) 사이에 형성된 제2 클램프가 스트립(1)을 클램핑한다.
도 6은 스트립(1)을 본딩 영역(3)(도 1)으로부터 배출 매거진(5)으로 이송하여 스트립(1)을 배출 매거진(5) 내로 밀어넣기 위해 사용되는, 본 발명에 따른 그리퍼의 제2 실시예를 도시한다. 따라서 그것은 이젝터 그리퍼(ejector gripper)로 지칭된다. 이젝터 그리퍼의 구성은 본질적으로 풀러 그리퍼의 구성과 동일하지만, 이하에서 설명되는 몇몇 차이점들을 갖는다. 그리퍼는 2개의 조(12, 13)에 의해 형성되는 단지 하나의 클램프만을 구비한다. 여기서 제2 조(13)는 제3 레버(18)의 전단부에 부착된다. 제1 조(12)의 길이는 풀러 그리퍼의 제1 실시예에서보다 짧아서 제1 조는 단지 제2 조(13)에 대향되게 위치한다. 따라서 제1 조(12) 및 제2 조(13)는 스트립(1)을 이송하는 클램프를 형성한다. 터커(tucker)(41)가 제2 레버(17)의 전단부에 부착된다. 제2 레버(17)의 전단부가 그의 상승 위치에 있을 때, 터커(41)는 스트립(1)의 위에 거리를 두고 위치하며, 스트립(1)과 접촉하지 않는다. 제2 레버(17)의 전단부가 그의 하강 위치에 있을 때, 터커(41)는 스트립(1)의 가장자리와 대면하여, 터커는 스트립(1)을 배출 매거진(5) 내로 밀어넣을 수 있다. 작동시에 이젝터 그리퍼는 우선 그의 조(12, 13)에 의해 스트립(1)을 클램핑하고 그것을 본딩 영역으로부터 배출 매거진(5)으로 이동시킨다. 이어서 이젝터 그리퍼는 조(12, 13)를 개방시켜, 소정의 거리로 후방으로 이동시켜서, 터커(41)를 하강시킨 후, 스트립(1)을 배출 매거진(5) 내로 밀어넣는다.
이젝터 그리퍼는 추가적으로 잼(jam) 감지 기구를 포함한다. 불행하게도, 종종 기판이 배출 매거진(5)에서의 최종 위치에 도달하기 전에 배출 매거진(5)의 몇몇 부분에 포획되거나 재밍(jamming)되는 현상이 일어난다. 이렇게 되면, 기판이 손상될 수 있거나, 또는 특히 기판이 비교적 얇은 경우 심지어 파손될 수도 있다. 이를 방지하기 위해, 이젝터 그리퍼는 잼 감지 기구를 포함한다. 잼 감지 기구는 터커(41) 쪽을 향하는 면에서 제1 조(12)에 인접하게 위치되는 롤러(42)로 구성된다. 제2 조(13)는 그가 제1 조(12)에 대향되게, 또한 롤러(42)에 대해 대향되게 놓이도록 길다. 2개의 조(12, 13)가 스트립(1)을 클램핑할 때, 제2 조(13)는 또한 스트립(1)을 롤러(42)에 가압시킨다. 정상 조건하에서 스트립(1)의 이송 중, 롤러(42)는 회전하지 않는다. 그러나, 스트립(1)이 어떤 장소에 포획되자마자, 스트립(1)은 정지하고, 그리퍼와 제2 조(13)는 여전히 이동한다. 이것은 롤러(42)가 회전하도록 한다. 롤러(42)의 회전은 롤러(42)에 결합된 치형 휠(43) 및 차광재(light barrier)를 포함하는 센서에 의해 검출된다. 롤러(42)가 회전할 때, 치형 휠(43)의 치형부는 차광재를 주기적으로 개폐시킨다. 롤러(42)의 회전의 검출시, 그리퍼의 운동은 즉각 정지되고, 그리고/또는 조(12, 13)가 개방된다.
이상 본 발명의 실시예와 적용예들을 도시하고 설명하였지만, 본 기술 분야의 당업자라면 본 명세서의 발명의 개념으로부터 벗어나지 않고 전술한 바와 다른 여러가지 변형예들이 가능함을 명확히 파악할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명은 첨부된 청구범위 및 그 동등물의 사상을 제외하고는 한정되지 않는다.
본 발명은 그리퍼에 이용될 수 있다.

Claims (5)

  1. 제1 조(12)가 전단부에 부착되는 제1 레버(16)와;
    제2 조(13)가 전단부에 부착되는 제2 레버(17)와;
    제3 조(14)가 전단부에 부착되는 제3 레버(18)와;
    여기서 제1 조(12) 및 제2 조(13)는 제1 클램프를 형성하고, 제1 조(12) 및 제3 조(14)는 제2 클램프를 형성하며,
    모터와;
    모터의 제1 위치에서 양 클램프가 개방되며, 모터의 제2 위치에서 제1 클램프는 밀폐되고 제2 클램프는 개방되며, 모터의 제3 위치에서 제1 클램프는 개방되고 제2 클램프는 밀페되도록 모터의 회전을 3개의 레버들(16, 17, 18)의 회전들로 변환시키기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 그리퍼.
  2. 제1 조(12)가 전단부에 부착되는 제1 레버(16)와;
    터커(41)가 전단부에 부착되는 제2 레버(17)와;
    제2 조(14)가 전단부에 부착되는 제3 레버(18)와;
    여기서 제1 조(12) 및 제2 조(14)는 클램프를 형성하며,
    모터와;
    모터의 제1 위치에서 클램프가 개방되고 터커(41)는 상승 위치에 있으며, 모터의 제2 위치에서 클램프가 밀폐되고 터커(41)는 상승 위치에 있으며, 모터의 제3 위치에서 클램프가 개방되고 터커(41)는 하강 위치에 있도록 모터의 회전을 3개의 레버들(16, 17, 18)의 회전들로 변환시키기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 그리퍼.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    제2 레버(17)의 후단부에 부착되는 제1 커플링 수단(20)과;
    제3 레버(18)의 후단부에 부착되는 제2 커플링 수단(21)과;
    제1 치형 랙(24)을 구비하는 제1 셔틀(22)과;
    z 방향으로 연장되는 가이드 레일에 이동가능하게 지지되는 제2 치형 랙(25)을 구비하는 제2 셔틀(23)과;
    모터에 의해 구동되는 치형 휠(26)로서, 치형 휠(26)의 치형부가 치형 랙(24, 25)의 치형부와 치합되는, 치형 휠(26)과;
    제1 셔틀(22)에 변위가능하게 지지되며 제1 커플링 수단(20)을 향해 돌출되는 제1 로드(28), 및 제2 셔틀(23)에 변위가능하게 지지되며 제2 커플링 수단(21)을 향해 돌출되는 제2 로드(29)와;
    제1 로드(28)를 감싸며 제1 로드(28)에 고정된 제1 정지 수단(31)과 제1 셔틀(22) 사이에서 압축되어 예비 가압되는 제1 스프링(30), 및 제2 로드(29)를 감싸며 제2 로드(29)에 고정된 제2 정지 수단(33)과 제2 셔틀(23) 사이에서 압축되어 예비 가압되는 제2 스프링(32)을 추가로 포함하며,
    모터의 제2 위치에서, 제1 로드(28)는 제1 커플링 수단(20)을 가압하고, 제2 로드(29)는 제2 커플링 수단(21)에 접촉하지 않으며,
    모터의 제3 위치에서, 제2 로드(29)는 제2 커플링 수단(21)을 가압하고, 제1 로드(28)는 제1 커플링 수단(20)에 접촉하지 않는 것을 특징으로 하는 그리퍼.
  4. 제3항에 있어서,
    제4 레버(34)와;
    제1 단부가 제4 레버(34)의 일단부에 결합되고 제2 단부가 제1 레버(16)의 후단부에 결합되는 제5 레버(39)로서, 제5 레버(39)의 상기 제2 단부와 제1 레버(16)의 후단부는 웨지형 대향 표면들을 구비하는, 제5 레버(39)와;
    제1 셔틀(22)에 부착되고 노즈(37)를 구비하는 플레이트(36)로서, 모터의 제1 위치에서는 노즈(37)가 제4 레버(34)에 작용하고 모터의 제2 위치 및 제3 위치에서는 노즈(37)가 제4 레버(34)에 작용하지 않아서 제4 레버(34)의 회전이 제1 레버(16)의 전단부의 상하 운동을 발생시키도록 하는, 플레이트(36)를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 그리퍼.
  5. 제2항에 있어서,
    롤러(42)를 구비한 잼 감지 기구를 추가로 포함하며, 상기 롤러(42)는 제2 조(14)에 대향되게 놓이는 것을 특징으로 하는 그리퍼.
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