JPS61290727A

JPS61290727A - リ−ドフレ−ム搬送装置

Info

Publication number: JPS61290727A
Application number: JP13180785A
Authority: JP
Inventors: Yasuo Kawada; 川田　保夫; Tsutomu Mimata; 巳亦　力; Mikiyoshi Kawamura; 幹義河村
Original assignee: Hitachi Tokyo Electronics Co Ltd; Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd; Renesas Eastern Japan Semiconductor Inc
Priority date: 1985-06-19
Filing date: 1985-06-19
Publication date: 1986-12-20

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔技術分野〕本発明は、リードフレームの搬送に適用して有効な技術
に関する。

〔背景技術〕

半導体装置の組立方式の一つにリードフレームを用いて
行うものがある。

上記方式においては、リードフレームの所定部に半導体
ペレットをボンディングするためや、ボンディングした
半導体ペレットのワイヤボンディングを行うために、リ
ードフレームまたは仕掛は中のそれをボンディング位置
まで正確に搬送することが必要である。そのために自動
搬送装置が使用されている。

自動搬送によって作業位置を特定する方法としては、そ
の近傍までリードフレームを移動させ、正確な位置合わ
せをフレームに設けられた位置決め用の孔にビンを差し
込んで行うことが考えられる。

その場合、複数の単位からなるリードフレームの最先の
作業単位を特定した後、該リードフレームをほぼ一定ピ
ッチで送り、その都度各単位について上記の如く位置決
め用孔にビンを差し込み正確な位置決めを行わなければ
ならない。

しかしながら、リードフレームは、適用される半導体装
置の品種により、その巾、一単位の長さおよびビンの位
置等が区々である。したがって、個々のリードフレーム
について上記搬送方法を適用するためには、搬送装置を
そのリードフレームに適合するように調整する必要があ
る。

ところが、リードフレームの品種交換を行う場合の装置
の調整に長時間を要するため、作業効率が悪いという問
題があることが本発明者により見い出された。

なお、半導体ペレットの取り付けのためのリードフレー
ムの搬送については、株式会社工業調査会発行、昭和５
６年１１月１０日発行、「電子材料Ｊ　１９８２年１１
月号別冊、Ｐ２Ｓ５に記載がある。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、リードフレームを一定のピッチで正確
に送ることができる技術を提供することにある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。

〔発明Ｃ概要〕

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。

すなわち、リードフレーム搬送装置の送り手段を対向さ
れた送り用クランプと固定用クランプとで形成し、往復
運動を行う送り用クランプの往動時に、該送り用クラン
プが閉鎖され、固定用クランプが開放され、復動時には
前者が開放され後者が閉鎖される機能を付与する。これ
により、送り用クランプを閉鎖しリードフレームの片側
を挟持した状態で該送り手段を往動させ、所定位置へ送
ることができ、その送った位置で、該リードフレームの
反対側を固定用クランプで固定した後、送り用クラーン
ブを開放して復動させることにより、リードフレームの
戻り等の位置ずれを防止した上で該送り用クランプを始
点に戻すことができる。

始点に戻した送り用クランプでリードフレームを挟持し
た後、固定用クランプを開放し、再び上記動作を行う。

以上の動作を繰り返すことにより、正確なピンチで該リ
ードフレームを送ることができるものである。

〔実施例〕

第１図は、本発明の一実施例であるリードフレーム搬送
装置の送り手段を示す概略斜視図であり、第２図は、本
実施例の搬送装置を示す概略部分平面図である。

本実施例の搬送装置は、平面方向に対向形成されたシュ
ートが、図中左右方向に連続形成されてなるもので、そ
のシュートの所定部に送り手段であるクランプ１が設け
られているものである。

上記シュートは、クランプ１の左側の前方シュート２と
右側の後方シュート３とからなり、それぞれリードフレ
ーム４を両側で保持できるように対向構造で形成されて
いる。

上記クランプは、送り用クランプ５と固定用クランプ６
とが対向して形成されてなるものである。

そして、送り用クランプ１は、片側の前方シュー）２ａ
と後方シュート３ａの対向する端部にある突出部７およ
び７ａに固定された２本のガイドポス）８．８ａにその
突出部９で摺動可能な状態で取り付けられている。その
一方の突出部９には、カム機構の第１アーム１０がビン
１１を介して回動可能な状態で取り付けられている。

上記送り用クランプ１の詳細は、第１図にその動作とと
もに示されている。本図においては、リードフレーム４
が矢印方向に送り出される状態が示されている。

すなわち、リードフレーム４は、前方シュート２のロー
ラ等の搬送機構（図示せず）により送り用クランプ５で
挟持可能な位置に移動され、その正確な位置決めが行わ
れる。その後、送り用クランプ５で挟持、固定した状態
で、カム機構により矢印方向に正確に一定ピッチで送り
出すことができる。その間、固定用クランプ６は開放状
態にある。

送り用クランプ５によりリードフレーム４を一定ピンチ
移動させたとこで、固定用クランプ６を閉鎖して該リー
ドフレーム４の挟持、固定を行う。

その後、送り用クランプ５を解除し、開放状態のまま元
の位置へ戻す。このとき、リードフレーム４は固定され
ているため、位置ずれが防止される。

再び、送り用クランプ５でリードフレームを挟持した後
、固定用クランプ６を解除し、上記動作を行う。

上記動作を繰り返すことにより、リードフレーム４を正
確に１ピンチずつ送り出すことが可能となる。

すなわち、往復運動機構を備えた送り用クランプ５とそ
れに対向して設けられた固定用クランプ６とに、往動時
には送り用クランプ５が閉鎖され、固定用クランプ６が
開放され、復動時に前者５が開放され、後者が固定され
る機能を付与することにより、単に送り用クランプ５を
往復運動させるだけで、リードフレーム４を正確なピン
チで送り出すことができるものである。

上記のクランプ１の動きを送り方向の正面図で示したの
が第３図（ａｇ、　（ｂｌである。

第３図（ａｌは、往動時の各クランプの状態を示すもの
で、送り用クランプ５が閉鎖され、固定用クランプ６は
開放されている。第３図（ｂｌは、復動時の場合を示す
もので、同図（ａｌとは反対に、送り用クランプ５が開
放され、固定用クランプ６が閉鎖されている。

なお、クランプの開閉は、上部クランプ５ａ。

６ａを上下動させて行うものであり、その一端が各上部
クランプ５ａ、６ａに接続された軸１２゜１２２の他端
を上下駆動部１３．］、３ａに接続し、その駆動部１３
．１３ａを制御部１４で制御することにより容易に達成
できる。

第４図は、上記両クランプの開閉の関係を示す説明図図
である。

本図においては、送り用クランプ５が２往復する場合の
クランプ５，６の開閉を示しである。実際には、各往復
運動の間にペレット取り付は等の作業が行われる。

第５図は、前記の送り用クランプ５を往復運動させるた
めのカム機構を示す概略説明図である。

すなわち、送り用クランプ５に取り付けられている第１
アームＩＯの他端部には、ピン１５を介して回動可能な
状態で第２アーム１０ａが取り付けられ、該第２アーム
１０ａは支点１６で支持されており、その途中のカムフ
ォロア１７でカム１８に連結されているものである。し
たがって、カム１８の回転運動により、送り用クランプ
が左右方向に繰り返して一部ピッチの往復運動を行うも
のである。

以上説明した如く、前方シュート２で搬送されてきたリ
ードフレーム４を正確なピッチで送り出し、該リードフ
レームの各単位についてベレットボンディング、ワイヤ
ボンディング等の作業を正確に行うことが達成される。

作業が完了したリードフレームは、右方向の後方シュー
ト３に移動され、該シュート３により次工程へ搬送され
る。

本実施例の搬送装置においては、送り手段としてクラン
プ機構が用いられ、かつ正確なピッチで送り出すことが
できるので、各単位ごとの位置決めが不要である。その
ため、単に送りピッチを変えるだけで多種類のリードフ
レームに容易に適用できるものである。また、シュート
中の間隔および送り用クランプ５と固定用クランプ６と
の間隔を変えることにより、さらに多くの種類に適用可
能となる。

さらに、リードフレーム４の送りを、たとえば送り用の
爪をリードフレーム４の一部に引っかける場合等のよう
に、フレームの内側に触れずに行うことができるので、
リードフレームのリード曲がり等の発生を防止すること
もできる。

〔効果〕

（１）、リードフレーム搬送装置の送り手段を、対向さ
れた往復運動可能な送り用クランプと固定用クランプと
で形成し、往動時には送り用クランプが閉鎖され、固定
用クランプが開放され、復動時には前者が開放され、後
者が閉鎖される機構にすることにより、送り用クランプ
を閉鎖しリードフレームの片側を挟持した状態で該送り
用クランプを往動させ、所定位置へ送ったところで該リ
ードフレームの反対側を固定用クランプで固定し、その
後送り用クランプを復動させることにより、リードフレ
ームの位置ずれを防止した上で送り用クランプを往復運
動させることができるため、正確なピッチで１亥リード
フレームを送ることができる。

（２）、送り手段をクランプ機構で形成することによリ
、任意種類のリードフレームに適用できる。

（３）、前記（２）により、送りピンチ、クランプ間隔
およびシュート巾等を変更することにより、容易に別品
種のリードフレームに適用することができるので、作業
効率を大巾に向上させることができる。

（４）、リードフレームの送り時にフレーム内側部を利
用しないため、リード曲がり等の欠陥の発生を防止でき
る。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではな（、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。

たとえば、送り手段の駆動をカム機構で行う例について
説明したが、これに限るものでないことはいうまでもな
い。

〔利用分野〕

以上の説明では主として本発明者によってなされた発ツ
について説明したが、本発明はリードフレームの搬送を
必要とする、たとえばペレットボンディング、ワイヤボ
ンディング等の種々の半導体装置組立工程に適用して有
効な技術である。

【図面の簡単な説明】第１図は、本発明の一実施例であるリードフレーム搬送
装置の送り手段を示す概略斜視図、第２図は、本実施例
の搬送装置を示す概略部分平面図、第３図は、上記クランプの動きを示す送り方向の正面図
、第３図ｆａｌは、往動時の各クランプの状態を示す図、第３図滴は、復動時の場合を示す図、第４図は、上記両クランプの開閉の関係を示す説明図図
、第５図は、前記の送り用クランプ５を往復運動させるた
めのカム機構を示す概略説明図である。１・・・クランプ、２・・・左側の前方シュート、２ａ
・・・右側の前方シュート、３・・・右側の後方シュー
ト、３ａ・・・左側の後方シュート、４・・・リードフ
レーム、５・・・送り用クランプ、５ａ、６ａ・・・上
部クランプ、６・・・固定用クランプ、７，７ａ・・・
突出部、８゜８ａ・・・ガイドポスト、９・・・突出部
、１０・・・第１アーム、１０ａ・・・第２アーム、１
１・・・ビン、１２．１２２−・−軸、１３，１３ａ・
・・上下駆動部、１４・・・制御部、１５・・・ピン、
１６・・・支点、１７・・・カムフォロア、１８・・・
カム。第　　２　　図１θ 第　　３　　図（（Ｌ　）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　（ｂツム第　　　４　　図響つｍ′７ラン７′ 一−−−−固足羽クラ〉７′ 第　　５　　図ロー］

Claims

【特許請求の範囲】１、対向して設けられた送り用クランプと固定用クラン
プとからなる送り手段を備え、該送り手段が往復運動す
る際、往動時には送り用クランプが閉鎖され、かつ固定
用クランプが開放され、復動時には前者が開放され、か
つ後者が閉鎖されるリードフレーム搬送装置。２、送り手段の往復運動がカム機構により行われること
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載のリードフレー
ム搬送装置。