JP3452270B2 - 半導体部品製造装置 - Google Patents
半導体部品製造装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ダイボンダやワイヤボ
ンダ等の半導体部品製造装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】従来、トランジスタやダイオード等の半
導体部品を製造する際にはダイボンダやワイヤボンダ等
の半導体部品製造装置であるボンディング装置が用いら
れている。かかるボンディング装置では、型抜き加工に
よって複数のリードが形成されたリードフレーム等のワ
ークを、搬送路の供給側から送出側に向かって一定距離
づつ間欠的に移動させる一方、搬送路の途中に設けた作
業地点で、停止した前記ワークに対してダイボンディン
グやワイヤボンディング等の製造作業を行うものが一般
的である。 【０００３】また、この種のボンディング装置のうち、
所定の長さを有する短冊状のワークを扱うものにあって
は、例えば図５に示すように、複数の送り爪１によって
ワークを間欠的に移動させている。すなわち、ボンディ
ング装置には、ワークＷの搬送路Ａと平行して延在する
作動軸２が設けられている。なお、作動軸２は図示しな
い駆動機構に連結されている。また作動軸２には、その
先端が前記搬送路Ａの上方に位置するアーム３が所定の
間隔おいて複数設けられており、それぞれのアーム３の
先端に前記送り爪１が設けられている。 【０００４】そして、かかる構成においては、作動軸２
が前記駆動機構の作動に伴いその延在方向及び回転方向
に所定の順序、すなわち図５，６に示した〜の順序
に従って作動されると、各送り爪１，１が、図７に示す
ように、下降、送り、上昇、戻り、の各動作を１サイク
ルとして周期的に作動される。このとき、送り爪１はそ
の下降動作に伴い、搬送路Ａの供給側Ｂから連続して供
給されたワークＷに存在する穴又は切欠部分に遊挿され
たのち、次の送り動作によってワークＷを送出側Ｃへ移
動させる。したがって、この作動が繰り返し行われるこ
とにより、搬送路ＡのワークＷが送出側Ｃへ向かって一
定距離づつ間欠的に移動される。 【０００５】一方、各ワークＷ間には、搬送路Ａの供給
側Ｂに供給さる時点において予め１ピッチＬ分の隙間が
設けられている。これは、製造作業の終了したワークＷ
が搬送路Ａの送出側の所定の地点まで達した際、先行す
るワークＷと後続するワークＷとの切れ目を検知できる
ようにするためであって、例えば、光りセンサ等により
前記隙間を検知させ、その検知に基づき図外の移載機構
を作動させ、製造作業を終えたワークＷを図外の収納棚
等に送出するのである。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の半導体部品製造装置にあっては、搬送路Ａの
作業地点においても、先行するワークＷと後続するワー
クＷとの間に隙間が存在している。このため、先行する
ワークＷの製造作業が終了した後、後続するワークＷに
対して製造作業を行う間には、１ピッチＬ分すなわち送
り爪１が１サイクル作動する間のタイムロスがあり、単
位時間当たりの生産効率が悪い。無論、こうしたタイム
ロスを無くすには、各ワークＷに隙間を設けることなく
搬送路ＡにワークをワークＷを供給すればよいが、その
場合には、作業地点を通過した後に各ワークＷの切れ目
が検出できなくなるという不具合が生じるものであっ
た。 【０００７】本発明は、このような従来の課題に鑑みて
なされたものであり、短冊状のワークの搬送に際して、
製造作業が行われる以前には各ワーク間に隙間を設ける
ことなく、製造作業の終了後には各ワーク間に自動的に
隙間を設けることができる半導体部品製造装置の提供を
目的とする。 【０００８】 【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
請求項１の発明にあっては、搬送路に沿って延在する作
動軸の複数地点に送り爪を有するアームを設け、前記搬
送路の供給側から連続して供給した短冊状のワークを、
前記作動軸の作動に伴う複数の前記送り爪の周期的な送
り動作によって、前記搬送路の送出側へ向かって一定距
離づつ移動させるとともに、前記搬送路の途中に位置す
る作業地点に達したワークに対し、ダイボンデイング等
の製造作業を行う半導体部品製造装置において、前記作
動軸に、前記作業地点より前記送出側に位置して、前記
作動軸に固定された原動部と、前記作動軸の作動が反転
して伝達される従動部とを有する反転機構が設けられ、
前記従動部に、前記ワークを前記送出側へ向かって一定
距離づつ移動させる第二の送り爪が設けられたことを特
徴としている。 【０００９】 【００１０】 【作用】請求項１の構成において、第二の送り爪は作動
軸に設けられた反転機構の従動部に設けられているた
め、作動軸の作動に伴いアームの送り爪が周期的に送り
動作を繰り返すとき、第二の送り爪は、アームの送り爪
の動作周期と反転した位相の動作周期で送り動作を繰り
返す。また、第二の送り爪が設けられた反転機構が、搬
送路の作業地点より送出側に位置して設けられているこ
とから、上記と同様に、第二の送り爪によって、作業地
点を通過した後の先行するワークと後続するワークとの
間に、一定距離、すなわちワークが各送り爪の１回の送
り動作により移動される距離の隙間を生じさせることが
できる。しかも、第二の送り爪が、送り爪と同様に作動
軸の作動に伴い作動されるであることから、第二の送り
爪を作動するために別途他の作動軸等を設ける必要がな
い。 【００１１】 【００１２】 【実施例】以下、本発明の一実施例を図にしたがって説
明する。図１は、本発明にかかるボンディング装置の要
部を示す平面図である。ボンディング装置には搬送用レ
ール（図示せず）によって搬送路Ａが形成されており、
搬送路Ａの途中には、図外の供給側Ｂに位置して、連続
して供給された短冊状のワークＷに対しボンディング作
業を施すボンディング機構が設けられている。 【００１３】また、ボンディング装置には、従来例で示
したものと同様に、搬送路Ａに平行して作動軸２が設け
られている。作動軸２の複数箇所には所定の間隔をおい
てアーム３，３が取り付けられており、搬送路Ａの上方
に位置するアーム３，３の先端にワークＷを移動する送
り爪１がそれぞれ設けられている。そして、それぞれの
送り爪３は、従来例で説明したように、作動軸２が図示
しない駆動機構により作動軸２が延在方向及び回転方向
に所定の順序、すなわち図１，図２に示した〜の順
序で作動されることにより、周期的に送り動作を行うよ
うになっている（図７参照）。 【００１４】一方、前記作動軸２には、前記アーム３，
３の間に位置して反転機構１０が設けられている。この
反転機構１０は、作動軸２に外挿した状態で固定された
直方体形状の取付部材１１と、後述する支持器１５及び
リンク板２１とによって構成されている。前記取付部材
１１は反転機構１０の原動部であって、図２にも示すよ
うに、その搬送路Ａ側に位置する一側面１１ａには、搬
送路Ａに向かってやや斜め上方に延出する伝達軸１２が
設けられている。伝達軸１２には、その先端側に、全周
に突出する環状凸部１３が形成されており、更にその先
端には前記環状凸部１３よりも大径状の円板部１４が形
成されている。 【００１５】また、前記取付部材１１と搬送路Ａとの間
には支持器１５が配設されている。支持器１５は、ボン
ディング装置に支持されたＸ軸側軸受１６と、これに回
転自在に支持され、かつＸ軸方向つまり搬送路Ａの延在
方向へ突出する回転軸１７、該回転軸１７の先端に設け
られたＺ軸側軸受１８、該Ｚ軸側軸受１８に回転自在に
支持され、かつＺ軸に沿って上方へ突出する回転軸１９
とによって構成されている。 【００１６】前記Ｚ軸側軸受１８側の回転軸１９の先端
部には、前記伝達軸１２の先端部分から、搬送路Ａの上
方部分に延在するリンク板２１が支持されている。リン
ク板２１は、長手方向の中程部に位置する支点Ｏにおい
て前記支持器１５（回転軸１９）に支持されており、リ
ンク板２１は支点Ｏを回動中心としてＸ軸方向及びＺ軸
方向へ回動自在となっている。リンク板２１の一端部に
は、搬送路Ａの送出側Ｃに位置する右側辺２１ａに連続
して板状の突出部２２が形成されており、また、搬送路
Ａの上方に位置した反転機構１０の従動部であるリンク
板２１の他端部２１ｃには、ワークＷを移動させるため
の第二の送り爪２３が、搬送路Ａに向かって垂設されて
いる。 【００１７】さらに、リンク板２１の左側辺２１ｂに
は、前記支点Ｏよりも前記取付部材１１側に位置する部
位に、搬送路Ａの供給側Ｂに位置する、ボンディング装
置の図示しない上方部分にその一端を支持されたスプリ
ング３１の他端が連結されている。これにより、リンク
板２１は、一端側を略４５°の上げ角で前記供給側Ｂに
向かって付勢されており、その一端側の上面を前記伝達
軸１２の円板部１４に、また前記突出部２２を伝達軸１
２の環状凸部１３にそれぞれ圧し当てられている。 【００１８】以上の構成からなる本実施例において、作
動軸２が、図外の駆動機構によって図１，図２に示した
〜の順序で作動されると、前記反転機構１０が作動
し、すなわち前記リンク板２１が支点Ｏを回動中心とし
てＸ軸方向及びＺ軸方向へ回動することにより、従動部
であるリンク板２１の他端部２１ｃに作動軸２の作動が
反転して伝達される。これに伴い、前記第二の送り爪２
３は、図２に矢示したイ〜ニの順に、上昇、戻り、下
降、送り、の各動作を１サイクルとして周期的に作動す
る。しかも、第二の送り爪２３の動作は、図３に示すよ
うに、前記アーム３の送り爪１の動作とその位相が反転
したものとなる。 【００１９】一方、短冊状のワークＷが、供給側Ｂから
間隙なく連続的に搬送路Ａに供給されると、供給された
複数のワークＷは、従来例で示したものと同様に、複数
のアーム３の送り爪１によって連続した状態を維持され
たまま間欠的に移動され、やがて作業地点（図示せず）
に達した先行するワークＷから順次、ボンディング作業
を行われる。引き続き、ボンディング作業が終了したワ
ークＷは、作業地点を通過して搬送路の送出側へ間欠的
に移動され、やがて第二の送り爪２３が位置する地点に
達する。 【００２０】すると、アーム３の送り爪１と第二の爪２
３との動作が、位相が互いに反転した関係にあるため、
図４に示すように、先行するワークＷは、後続する他の
ワークＷが複数の送り爪１によって搬送路Ａの送出側Ｃ
へ移動させる以前に、第二の送り爪２３によって送出側
Ｃへ移動される。したがって、先行するワークと後続す
るワークとの間には、一定距離Ｌ、すなわちワークが各
送り爪の１回の送り動作により移動される距離の隙間が
生じる（図４で１サイクル目の）。これにより、各ワ
ークＷの切れ目を光りセンサ等によって検出することが
できる。なお、先行するワークＷが第二の送り爪２３に
よって移動される間、前記隙間は、双方の送り爪１，２
３が１サイクル作動する毎に一定距離Ｌづつ広がる。 【００２１】よって、本実施例のボンディング装置にお
いては、搬送路Ａに隙間なく連続して供給した複数のワ
ークＷを、ボンディング作業が行われる以前にはその状
態を維持したまま搬送し、しかもボンディング作業の終
了後には各ワークＷ間に自動的に隙間を設けることが可
能となる。その結果、短冊状のワークＷを間断無くボン
ディング作業地点へ搬送することにより、ボンディング
装置における単位時間当たりの生産効率を向上させるこ
とができる。 【００２２】また、本実施例においては、第二の送り爪
２３が、送り爪１と同様に作動軸２の作動に伴い作動さ
れる構成であることから、第二の送り爪２３を作動する
ために別途他の作動軸等を設ける必要がない。よって、
ボンディング装置の構造が複雑になることがない。しか
も、前記反転機構１０を付加するだけで従来のボンディ
ング装置を本発明のボンディング装置に変更することも
できる。 【００２３】 【００２４】 【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
おいては、他の送り爪と周期のずれた送り動作によりワ
ークを移動する第二の送り爪を、製造作業地点より送出
側に位置して、他の送り爪を作動させる作動軸に固定さ
れた原動部と、前記作動軸の作動が反転して伝達される
従動部とを有する反転機構の前記従動部に設け、第二の
送り爪によって、製造作業が終了したワークのうち先行
するワークを、後続する他のワークが他の送り爪によっ
て送出側へ移動させる以前に送出側へ移動させる構成と
した。 【００２５】よって、搬送路に隙間なく連続して供給し
た複数のワークを、製造作業が行われる以前にはその状
態を維持したまま搬送し、しかも製造作業の終了後には
各ワーク間に自動的に隙間を設けることが可能となる。
その結果、短冊状のワークを間断無く製造作業地点へ搬
送することにより、半導体部品製造装置における単位時
間当たりの生産効率を向上させることができる。しか
も、第二の送り爪を作動させるために別途他の作動軸等
の駆動源を設ける必要がないことから、ボンディング装
置の構造を複雑にすることがない。また、反転機構を付
加するだけで、従来のボンディング装置を本発明のボン
ディング装置に変更することもできる。 【００２６】 【００２７】
ンダ等の半導体部品製造装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】従来、トランジスタやダイオード等の半
導体部品を製造する際にはダイボンダやワイヤボンダ等
の半導体部品製造装置であるボンディング装置が用いら
れている。かかるボンディング装置では、型抜き加工に
よって複数のリードが形成されたリードフレーム等のワ
ークを、搬送路の供給側から送出側に向かって一定距離
づつ間欠的に移動させる一方、搬送路の途中に設けた作
業地点で、停止した前記ワークに対してダイボンディン
グやワイヤボンディング等の製造作業を行うものが一般
的である。 【０００３】また、この種のボンディング装置のうち、
所定の長さを有する短冊状のワークを扱うものにあって
は、例えば図５に示すように、複数の送り爪１によって
ワークを間欠的に移動させている。すなわち、ボンディ
ング装置には、ワークＷの搬送路Ａと平行して延在する
作動軸２が設けられている。なお、作動軸２は図示しな
い駆動機構に連結されている。また作動軸２には、その
先端が前記搬送路Ａの上方に位置するアーム３が所定の
間隔おいて複数設けられており、それぞれのアーム３の
先端に前記送り爪１が設けられている。 【０００４】そして、かかる構成においては、作動軸２
が前記駆動機構の作動に伴いその延在方向及び回転方向
に所定の順序、すなわち図５，６に示した〜の順序
に従って作動されると、各送り爪１，１が、図７に示す
ように、下降、送り、上昇、戻り、の各動作を１サイク
ルとして周期的に作動される。このとき、送り爪１はそ
の下降動作に伴い、搬送路Ａの供給側Ｂから連続して供
給されたワークＷに存在する穴又は切欠部分に遊挿され
たのち、次の送り動作によってワークＷを送出側Ｃへ移
動させる。したがって、この作動が繰り返し行われるこ
とにより、搬送路ＡのワークＷが送出側Ｃへ向かって一
定距離づつ間欠的に移動される。 【０００５】一方、各ワークＷ間には、搬送路Ａの供給
側Ｂに供給さる時点において予め１ピッチＬ分の隙間が
設けられている。これは、製造作業の終了したワークＷ
が搬送路Ａの送出側の所定の地点まで達した際、先行す
るワークＷと後続するワークＷとの切れ目を検知できる
ようにするためであって、例えば、光りセンサ等により
前記隙間を検知させ、その検知に基づき図外の移載機構
を作動させ、製造作業を終えたワークＷを図外の収納棚
等に送出するのである。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の半導体部品製造装置にあっては、搬送路Ａの
作業地点においても、先行するワークＷと後続するワー
クＷとの間に隙間が存在している。このため、先行する
ワークＷの製造作業が終了した後、後続するワークＷに
対して製造作業を行う間には、１ピッチＬ分すなわち送
り爪１が１サイクル作動する間のタイムロスがあり、単
位時間当たりの生産効率が悪い。無論、こうしたタイム
ロスを無くすには、各ワークＷに隙間を設けることなく
搬送路ＡにワークをワークＷを供給すればよいが、その
場合には、作業地点を通過した後に各ワークＷの切れ目
が検出できなくなるという不具合が生じるものであっ
た。 【０００７】本発明は、このような従来の課題に鑑みて
なされたものであり、短冊状のワークの搬送に際して、
製造作業が行われる以前には各ワーク間に隙間を設ける
ことなく、製造作業の終了後には各ワーク間に自動的に
隙間を設けることができる半導体部品製造装置の提供を
目的とする。 【０００８】 【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
請求項１の発明にあっては、搬送路に沿って延在する作
動軸の複数地点に送り爪を有するアームを設け、前記搬
送路の供給側から連続して供給した短冊状のワークを、
前記作動軸の作動に伴う複数の前記送り爪の周期的な送
り動作によって、前記搬送路の送出側へ向かって一定距
離づつ移動させるとともに、前記搬送路の途中に位置す
る作業地点に達したワークに対し、ダイボンデイング等
の製造作業を行う半導体部品製造装置において、前記作
動軸に、前記作業地点より前記送出側に位置して、前記
作動軸に固定された原動部と、前記作動軸の作動が反転
して伝達される従動部とを有する反転機構が設けられ、
前記従動部に、前記ワークを前記送出側へ向かって一定
距離づつ移動させる第二の送り爪が設けられたことを特
徴としている。 【０００９】 【００１０】 【作用】請求項１の構成において、第二の送り爪は作動
軸に設けられた反転機構の従動部に設けられているた
め、作動軸の作動に伴いアームの送り爪が周期的に送り
動作を繰り返すとき、第二の送り爪は、アームの送り爪
の動作周期と反転した位相の動作周期で送り動作を繰り
返す。また、第二の送り爪が設けられた反転機構が、搬
送路の作業地点より送出側に位置して設けられているこ
とから、上記と同様に、第二の送り爪によって、作業地
点を通過した後の先行するワークと後続するワークとの
間に、一定距離、すなわちワークが各送り爪の１回の送
り動作により移動される距離の隙間を生じさせることが
できる。しかも、第二の送り爪が、送り爪と同様に作動
軸の作動に伴い作動されるであることから、第二の送り
爪を作動するために別途他の作動軸等を設ける必要がな
い。 【００１１】 【００１２】 【実施例】以下、本発明の一実施例を図にしたがって説
明する。図１は、本発明にかかるボンディング装置の要
部を示す平面図である。ボンディング装置には搬送用レ
ール（図示せず）によって搬送路Ａが形成されており、
搬送路Ａの途中には、図外の供給側Ｂに位置して、連続
して供給された短冊状のワークＷに対しボンディング作
業を施すボンディング機構が設けられている。 【００１３】また、ボンディング装置には、従来例で示
したものと同様に、搬送路Ａに平行して作動軸２が設け
られている。作動軸２の複数箇所には所定の間隔をおい
てアーム３，３が取り付けられており、搬送路Ａの上方
に位置するアーム３，３の先端にワークＷを移動する送
り爪１がそれぞれ設けられている。そして、それぞれの
送り爪３は、従来例で説明したように、作動軸２が図示
しない駆動機構により作動軸２が延在方向及び回転方向
に所定の順序、すなわち図１，図２に示した〜の順
序で作動されることにより、周期的に送り動作を行うよ
うになっている（図７参照）。 【００１４】一方、前記作動軸２には、前記アーム３，
３の間に位置して反転機構１０が設けられている。この
反転機構１０は、作動軸２に外挿した状態で固定された
直方体形状の取付部材１１と、後述する支持器１５及び
リンク板２１とによって構成されている。前記取付部材
１１は反転機構１０の原動部であって、図２にも示すよ
うに、その搬送路Ａ側に位置する一側面１１ａには、搬
送路Ａに向かってやや斜め上方に延出する伝達軸１２が
設けられている。伝達軸１２には、その先端側に、全周
に突出する環状凸部１３が形成されており、更にその先
端には前記環状凸部１３よりも大径状の円板部１４が形
成されている。 【００１５】また、前記取付部材１１と搬送路Ａとの間
には支持器１５が配設されている。支持器１５は、ボン
ディング装置に支持されたＸ軸側軸受１６と、これに回
転自在に支持され、かつＸ軸方向つまり搬送路Ａの延在
方向へ突出する回転軸１７、該回転軸１７の先端に設け
られたＺ軸側軸受１８、該Ｚ軸側軸受１８に回転自在に
支持され、かつＺ軸に沿って上方へ突出する回転軸１９
とによって構成されている。 【００１６】前記Ｚ軸側軸受１８側の回転軸１９の先端
部には、前記伝達軸１２の先端部分から、搬送路Ａの上
方部分に延在するリンク板２１が支持されている。リン
ク板２１は、長手方向の中程部に位置する支点Ｏにおい
て前記支持器１５（回転軸１９）に支持されており、リ
ンク板２１は支点Ｏを回動中心としてＸ軸方向及びＺ軸
方向へ回動自在となっている。リンク板２１の一端部に
は、搬送路Ａの送出側Ｃに位置する右側辺２１ａに連続
して板状の突出部２２が形成されており、また、搬送路
Ａの上方に位置した反転機構１０の従動部であるリンク
板２１の他端部２１ｃには、ワークＷを移動させるため
の第二の送り爪２３が、搬送路Ａに向かって垂設されて
いる。 【００１７】さらに、リンク板２１の左側辺２１ｂに
は、前記支点Ｏよりも前記取付部材１１側に位置する部
位に、搬送路Ａの供給側Ｂに位置する、ボンディング装
置の図示しない上方部分にその一端を支持されたスプリ
ング３１の他端が連結されている。これにより、リンク
板２１は、一端側を略４５°の上げ角で前記供給側Ｂに
向かって付勢されており、その一端側の上面を前記伝達
軸１２の円板部１４に、また前記突出部２２を伝達軸１
２の環状凸部１３にそれぞれ圧し当てられている。 【００１８】以上の構成からなる本実施例において、作
動軸２が、図外の駆動機構によって図１，図２に示した
〜の順序で作動されると、前記反転機構１０が作動
し、すなわち前記リンク板２１が支点Ｏを回動中心とし
てＸ軸方向及びＺ軸方向へ回動することにより、従動部
であるリンク板２１の他端部２１ｃに作動軸２の作動が
反転して伝達される。これに伴い、前記第二の送り爪２
３は、図２に矢示したイ〜ニの順に、上昇、戻り、下
降、送り、の各動作を１サイクルとして周期的に作動す
る。しかも、第二の送り爪２３の動作は、図３に示すよ
うに、前記アーム３の送り爪１の動作とその位相が反転
したものとなる。 【００１９】一方、短冊状のワークＷが、供給側Ｂから
間隙なく連続的に搬送路Ａに供給されると、供給された
複数のワークＷは、従来例で示したものと同様に、複数
のアーム３の送り爪１によって連続した状態を維持され
たまま間欠的に移動され、やがて作業地点（図示せず）
に達した先行するワークＷから順次、ボンディング作業
を行われる。引き続き、ボンディング作業が終了したワ
ークＷは、作業地点を通過して搬送路の送出側へ間欠的
に移動され、やがて第二の送り爪２３が位置する地点に
達する。 【００２０】すると、アーム３の送り爪１と第二の爪２
３との動作が、位相が互いに反転した関係にあるため、
図４に示すように、先行するワークＷは、後続する他の
ワークＷが複数の送り爪１によって搬送路Ａの送出側Ｃ
へ移動させる以前に、第二の送り爪２３によって送出側
Ｃへ移動される。したがって、先行するワークと後続す
るワークとの間には、一定距離Ｌ、すなわちワークが各
送り爪の１回の送り動作により移動される距離の隙間が
生じる（図４で１サイクル目の）。これにより、各ワ
ークＷの切れ目を光りセンサ等によって検出することが
できる。なお、先行するワークＷが第二の送り爪２３に
よって移動される間、前記隙間は、双方の送り爪１，２
３が１サイクル作動する毎に一定距離Ｌづつ広がる。 【００２１】よって、本実施例のボンディング装置にお
いては、搬送路Ａに隙間なく連続して供給した複数のワ
ークＷを、ボンディング作業が行われる以前にはその状
態を維持したまま搬送し、しかもボンディング作業の終
了後には各ワークＷ間に自動的に隙間を設けることが可
能となる。その結果、短冊状のワークＷを間断無くボン
ディング作業地点へ搬送することにより、ボンディング
装置における単位時間当たりの生産効率を向上させるこ
とができる。 【００２２】また、本実施例においては、第二の送り爪
２３が、送り爪１と同様に作動軸２の作動に伴い作動さ
れる構成であることから、第二の送り爪２３を作動する
ために別途他の作動軸等を設ける必要がない。よって、
ボンディング装置の構造が複雑になることがない。しか
も、前記反転機構１０を付加するだけで従来のボンディ
ング装置を本発明のボンディング装置に変更することも
できる。 【００２３】 【００２４】 【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
おいては、他の送り爪と周期のずれた送り動作によりワ
ークを移動する第二の送り爪を、製造作業地点より送出
側に位置して、他の送り爪を作動させる作動軸に固定さ
れた原動部と、前記作動軸の作動が反転して伝達される
従動部とを有する反転機構の前記従動部に設け、第二の
送り爪によって、製造作業が終了したワークのうち先行
するワークを、後続する他のワークが他の送り爪によっ
て送出側へ移動させる以前に送出側へ移動させる構成と
した。 【００２５】よって、搬送路に隙間なく連続して供給し
た複数のワークを、製造作業が行われる以前にはその状
態を維持したまま搬送し、しかも製造作業の終了後には
各ワーク間に自動的に隙間を設けることが可能となる。
その結果、短冊状のワークを間断無く製造作業地点へ搬
送することにより、半導体部品製造装置における単位時
間当たりの生産効率を向上させることができる。しか
も、第二の送り爪を作動させるために別途他の作動軸等
の駆動源を設ける必要がないことから、ボンディング装
置の構造を複雑にすることがない。また、反転機構を付
加するだけで、従来のボンディング装置を本発明のボン
ディング装置に変更することもできる。 【００２６】 【００２７】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示すボンディング装置の要
部平面図である。 【図２】同実施例を示す反転機構の斜視図である。 【図３】同実施例において送り爪と第二の送り爪との動
作の関係を示す図である。 【図４】同実施例におけるワークの移動状態を示す説明
図である。 【図５】従来例を示すボンディング装置の要部平面図で
ある。 【図６】図５のＤ矢示側面図である。 【図７】本発明の一実施例及び従来例における送り爪の
動作順を示す説明図である。 【符号の説明】 １ 送り爪 ２ 作動軸 ３ アーム １０ 反転機構 １１ 取付部材（原動部） １５ 支持器 ２１ リンク板 ２１ｃ 他端部（従動部） ２３ 第二の送り爪 Ａ 搬送路 Ｂ 供給側 Ｃ 送出側
部平面図である。 【図２】同実施例を示す反転機構の斜視図である。 【図３】同実施例において送り爪と第二の送り爪との動
作の関係を示す図である。 【図４】同実施例におけるワークの移動状態を示す説明
図である。 【図５】従来例を示すボンディング装置の要部平面図で
ある。 【図６】図５のＤ矢示側面図である。 【図７】本発明の一実施例及び従来例における送り爪の
動作順を示す説明図である。 【符号の説明】 １ 送り爪 ２ 作動軸 ３ アーム １０ 反転機構 １１ 取付部材（原動部） １５ 支持器 ２１ リンク板 ２１ｃ 他端部（従動部） ２３ 第二の送り爪 Ａ 搬送路 Ｂ 供給側 Ｃ 送出側
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 21/50
H01L 21/68
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 搬送路に沿って延在する作動軸の複数地
点に送り爪を有するアームを設け、前記搬送路の供給側
から連続して供給した短冊状のワークを、前記作動軸の
作動に伴う複数の前記送り爪の周期的な送り動作によっ
て、前記搬送路の送出側へ向かって一定距離づつ移動さ
せるとともに、前記搬送路の途中に位置する作業地点に
達したワークに対し、ダイボンデイング等の製造作業を
行う半導体部品製造装置において、前記作動軸に、前記
作業地点より前記送出側に位置して、前記作動軸に固定
された原動部と、前記作動軸の作動が反転して伝達され
る従動部とを有する反転機構が設けられ、前記従動部
に、前記ワークを前記送出側へ向かって一定距離づつ移
動させる第二の送り爪が設けられたことを特徴とする半
導体部品製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23894993A JP3452270B2 (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | 半導体部品製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23894993A JP3452270B2 (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | 半導体部品製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0774187A JPH0774187A (ja) | 1995-03-17 |
| JP3452270B2 true JP3452270B2 (ja) | 2003-09-29 |
Family
ID=17037688
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23894993A Expired - Fee Related JP3452270B2 (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | 半導体部品製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3452270B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102064121B (zh) * | 2010-11-22 | 2012-08-22 | 南通富士通微电子股份有限公司 | 键合机右爪 |
-
1993
- 1993-08-31 JP JP23894993A patent/JP3452270B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0774187A (ja) | 1995-03-17 |
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