JP6336329B2

JP6336329B2 - 基板搬送装置

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Inventors: 明伸伊藤; 祐介土谷
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Description

本発明は、基板搬送装置に関する。

従来より、電子部品が実装される基板を搬送する搬送経路において、基板検査装置の下流に配置される基板搬送装置が知られている。例えば、特許文献１の基板搬送装置は、上段にメインコンベア、下段にサブコンベアを有しており、基板検査装置の検査結果が不良基板だった場合には、メインコンベアを搬送位置から目視確認位置に真上に上昇させてメインコンベア上の基板を再判定可能な状態とする。その際、サブコンベアが待機位置から搬送位置に上昇して基板の搬送を継続する。そのため、基板検査装置で不良基板と判定された場合でも、製造ラインを止めることなく、基板の製造を継続することができる。

特開２００８−６６５１９号公報

しかしながら、上述の基板搬送装置では、搬送位置の真上に目視確認位置が設けられているため、オペレータは搬送位置の真上まで移動する必要があり、目視作業が繁雑であった。

本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、不良基板が発生したとしても他の良好な基板の搬送を継続可能な基板搬送装置において、オペレータが容易に不良基板に対する処理を行えるようにすることを主目的とする。

本発明の基板搬送装置は、上述の主目的を達成するために以下の手段を採った。

本発明の基板搬送装置は、
第１搬送経路上の第１搬送位置にて上流側の装置から基板を受け取り所定のＸ軸に沿って搬送して下流側の装置へ渡す第１コンベアと、
前記Ｘ軸と直交するＹ軸に沿って前記第１コンベアと並ぶように設けられた第２コンベアと、
前記第１コンベアがアクセス可能で前記第１搬送位置から前記Ｙ軸方向に外れた位置に設けられた第１取出位置と、
前記第１コンベアを前記Ｙ軸に沿って移動可能な第１コンベア移動手段と、
前記第２コンベアを前記Ｙ軸に沿って移動可能な第２コンベア移動手段と、
前記第１コンベア、前記第２コンベア、前記第１コンベア移動手段及び前記第２コンベア移動手段の動作を制御する制御手段と、
を備え、
前記制御手段は、前記上流側の装置から前記第１搬送位置へ送られる基板が不良基板だった場合には、前記第１コンベアに前記第１搬送位置にて前記不良基板を受け取らせたあと前記第１取出位置へ前記不良基板を運ばせると共に、前記第１コンベアが前記不良基板を前記第１取出位置で保持している間、前記第２コンベアに前記第１搬送経路の基板搬送を行わせる
ものである。

この基板搬送装置では、上流側の装置から第１搬送位置へ送られる基板が良好な基板だった場合には、第１コンベアは第１搬送経路上の第１搬送位置にて上流側の装置から基板を受け取りＸ軸に沿って搬送して下流側の装置へ渡す。一方、上流側の装置から送られてきた基板が不良基板だった場合には、第１コンベアは第１搬送位置にて不良基板を受け取ったあと第１取出位置へ不良基板を運ばせる。また、第１コンベアが不良基板を第１取出位置で保持している間、第２コンベアが第１搬送経路の基板搬送を行う。このように、上流側の装置から第１搬送位置へ送られてくる基板が不良基板だった場合、第１コンベアはその不良基板を第１取出位置に運んでそこで待機することになるが、その期間中は第２コンベアが第１搬送経路の基板搬送を行う。そのため、他の良好な基板の搬送を継続することができる。また、不良基板を配置する第１取出位置は第１搬送位置からＹ軸方向に外れた位置であるため、オペレータは容易に不良基板に対する処理（例えば目視確認や修正作業、取出作業など）を行うことができる。

本発明の基板搬送装置において、前記第１及び第２コンベアは、それぞれ、前記Ｘ方向に延びる一対の無端状ベルトに前記基板を載せて搬送する装置であって前記一対の無端状ベルトの間隔を変更可能なものであり、前記制御手段は、前記基板の大きさに応じて前記第１及び第２コンベアが有する前記一対の無端状ベルトの間隔を変更すると共に、前記第１コンベアが前記第１搬送経路の基板搬送を行っている間、前記第２コンベアが有する前記一対の無端状ベルトの間隔が前記基板の大きさよりも小さくなるようにして、前記第２コンベアを前記第１取出位置とは反対側の退避位置へ退避させるものとしてもよい。こうすれば、大きさが一定の基板のみならず、種々の大きさの基板を搬送することができる。また、第２コンベアが有する一対の無端状ベルトの間隔を狭くして退避位置へ退避させるため、Ｙ軸方向の長さをコンパクトにすることができる。

本発明の基板搬送装置において、前記第２コンベアは、第２搬送経路上の第２搬送位置にて前記上流側の装置から基板を受け取り前記Ｘ軸に沿って搬送して前記下流側の装置へ渡すものであり、前記制御手段は、（ａ）前記上流側の装置から前記第１搬送位置へ送られる基板が不良基板だった場合には、前記第１コンベアに前記第１搬送位置にて前記不良基板を受け取らせたあと前記第１取出位置へ前記不良基板を運ばせると共に、前記第１コンベアが前記不良基板を前記第１取出位置で保持している間、前記第２コンベアに前記第１搬送経路の基板搬送と前記第２搬送経路の基板搬送を行わせ、（ｂ）前記上流側の装置から前記第２搬送位置へ送られる基板が不良基板だった場合には、前記第２コンベアを前記第１取出位置とは反対側の退避位置へ退避させ、前記第１コンベアに前記第２搬送位置にて前記不良基板を受け取らせたあと前記第１取出位置へ前記不良基板を運ばせると共に、前記第１コンベアが前記不良基板を前記第１取出位置で保持している間、前記第２コンベアに前記第１搬送経路の基板搬送と前記第２搬送経路の基板搬送を行わせるものとしてもよい。こうすれば、上流側の装置から第１搬送位置へ送られてくる基板が不良基板であった場合でも第２搬送位置へ送られてくる基板が不良基板であった場合でも、他の良好な基板の搬送を継続することができる。

本発明の基板搬送装置において、前記第１及び第２コンベアは、それぞれ、前記Ｘ方向に延びる一対の無端状ベルトに前記基板を載せて搬送する装置であって前記一対の無端状ベルトの間隔を変更可能なものであり、前記制御手段は、前記基板の大きさに応じて前記第１及び第２コンベアが有する前記一対の無端状ベルトの間隔を変更すると共に、前記上流側の装置から前記第２搬送位置へ送られる基板が不良基板だった場合に前記第２コンベアを前記退避位置へ退避させるにあたり、前記第２コンベアが有する前記一対の無端状ベルトの間隔が前記基板の大きさよりも小さくなるようにしてもよい。こうすれば、大きさが一定の基板のみならず、種々の大きさの基板を搬送することができる。また、第２コンベアが有する一対の無端状ベルトの間隔が広すぎて第１コンベアが第２搬送位置へ移動することができないという事態が生じるのを防止できる。

本発明の基板搬送装置において、前記第２コンベアは、第２搬送経路上の第２搬送位置にて前記上流側の装置から基板を受け取り前記Ｘ軸に沿って搬送して前記下流側の装置へ渡すものであり、前記制御手段は、前記上流側の装置から前記第２搬送位置へ送られる基板が不良基板だった場合には、前記第２コンベアに前記第２搬送位置にて前記不良基板を受け取らせたあと前記Ｙ軸上の前記第１取出位置とは反対側の第２取出位置へ前記不良基板を運ばせると共に、前記第２コンベアが前記不良基板を前記第２取出位置で保持している間、前記第１コンベアに前記第１搬送経路の基板搬送と前記第２搬送経路の基板搬送を行わせるものとしてもよい。つまり、第１コンベアが不良基板を受け取って第１取出位置に運ぶ場合には、第２コンベアが両方の経路の基板搬送を行い、第２コンベアが不良基板を受け取って第２取出位置に運ぶ場合には、第１コンベアが両方の経路の基板搬送を行う。このようにしても、上流側の装置から第１搬送位置へ送られてくる基板が不良基板であった場合でも第２搬送位置へ送られてくる基板が不良基板であった場合でも、他の良好な基板の搬送を継続することができる。

本発明の基板搬送装置は、前記上流側の装置の複数の箇所から前記基板を受け取り前記下流側の装置の１カ所に渡す集約機能、及び／又は、前記上流側の装置の所定の１カ所から前記基板を受け取り前記下流側の装置の複数箇所へ渡す分配機能を有するものとしてもよい。集約機能や分配機能を実現するには、例えば、第１及び第２コンベアの一方のみを利用してもよいし、両方のコンベアを交互に利用してもよい。また、搬送経路が上流側（又は下流側）の装置と本発明の基板搬送装置との間で水平方向の位置がずれていたとしても、容易に対処することができる。

基板搬送装置１０の平面図。基板搬送装置１０の斜視図。第１幅替機構３０の斜視図。コントローラ７０の電気的接続を示すブロック図。シングルレーンでの基板搬送処理のフローチャート。シングルレーンでの基板搬送処理の説明図。シングルレーンでの基板搬送処理の説明図。デュアルレーンでの基板搬送処理のフローチャート。デュアルレーンでの基板搬送処理の説明図。デュアルレーンでの基板搬送処理の説明図。デュアルレーンでの基板搬送処理の説明図。他の実施形態のデュアルレーンの基板搬送処理の説明図。他の実施形態のデュアルレーンの基板搬送処理の説明図。

本発明の好適な実施形態を図面を参照しながら以下に説明する。図１は基板搬送装置１０の平面図、図２は斜視図である。なお、本実施形態において、左右方向（Ｘ軸）、前後方向（Ｙ軸）及び上下方向（Ｚ軸）は、図１及び図２に示した通りとする。

［基板搬送装置１０の構成］
基板搬送装置１０は、上流側の装置８０から基板Ｓ１，Ｓ２を受け取り、Ｘ軸に沿って搬送して下流側の装置９０へ渡すものである。上流側の装置８０としては、はんだ印刷装置の下流に位置する印刷検査装置や部品実装装置の下流に位置する実装検査装置などが挙げられる。印刷検査装置は、予め定められたパターン通りにはんだが印刷されたか否かを検査する装置である。実装検査装置は、予め定められた電子部品が基板上の所定の位置に実装されたか否かを検査する装置である。各検査装置は、検査結果が良好だったか不良だったかを基板搬送装置１０のコントローラ７０に送信する。上流側の装置８０が印刷検査装置の場合には、下流側の装置９０として部品実装装置などを配置する。上流側の装置８０が実装検査装置の場合には、下流側の装置９０としてリフロー装置などを配置する。

基板搬送装置１０は、第１コンベア１２と、第１コンベア移動機構２０と、第２コンベア４２と、第２コンベア移動機構５０と、コントローラ７０（図４参照）とを備えている。

第１コンベア１２は、基本的には、第１搬送経路Ｃ１上の第１搬送位置Ｐ１にて上流側の装置８０から基板Ｓ１を受け取りＸ軸に沿って搬送して下流側の装置９０へ渡すものである。この第１コンベア１２は、間隔を開けて設けられ左右方向に延びる一対の第１支持板１４，１４と、両第１支持板１４，１４の互いに対向する面に設けられた第１コンベアベルト１６，１６（図２では片方のみ図示）とを備えている。第１コンベアベルト１６は、図２に示すように、第１支持板１４の左右に設けられた駆動輪１６ａ及び従動輪１６ｂに無端状となるように架け渡されている。駆動輪１６ａは、第１コンベアモータ１８の動力が伝達されるように構成されている。基板Ｓ１は、一対の第１コンベアベルト１６，１６の上面に乗せられて左から右へと搬送される。

第１コンベア移動機構２０は、リニアレール２２，２２と、リニアレール２２，２２をスライド可能な第１リニアスライダ２４，２４，２４，２４と、リニアレール２２，２２と平行に設けられた第１タイミングベルト２６と、第１タイミングベルト２６を回転駆動させる第１シャトルモータ２８とを備えている。リニアレール２２，２２は、Ｙ軸に沿って延びるレールであり、左右一対となるように設けられている。一対の第１リニアスライダ２４，２４は、前方の第１支持板１４の左右に取り付けられ、もう一対の第１リニアスライダ２４，２４は、後方の第１支持板１４の左右に取り付けられている。各第１リニアスライダ２４は、ボールベアリングを内蔵しており、低い摩擦でスムーズにリニアレール２２をＹ軸に沿ってスライドする。第１タイミングベルト２６は、図２に示すように、前方の駆動歯車２６ａと後方の従動歯車２６ｂとの間に無端状となるように架け渡されている。そのため、第１タイミングベルト２６は、駆動歯車２６ａと従動歯車２６ｂとの間で上段部分と下段部分とに分かれている。この第１タイミングベルト２６は、駆動歯車２６ａや従動歯車２６ｂの歯と噛み合うベルト歯を備えている。また、第１タイミングベルト２６の下段部分は、前方の第１支持板１４と金具１４ａ（図２参照）を介して一体化されると共に、後方の第１支持板１４と後述する第１幅替機構３０を介して接続されている。第１シャトルモータ２８は、モータ軸の回転を駆動歯車２６ａに伝達し、それによって第１タイミングベルト２６を回転駆動させる。第１シャトルモータ２８によって駆動歯車２６ａが図２で時計回りに回転すると、第１タイミングベルト２６の下段部分は前方へ移動するため、第１コンベア１２はそれに伴って前方へ移動する。一方、第１シャトルモータ２８によって駆動歯車２６ａが図２で反時計回りに回転すると、第１タイミングベルト２６の下段部分は後方へ移動するため、第１コンベア１２はそれに伴って後方へ移動する。

第１幅替機構３０は、図３に示すように、第１幅替モータ３２と、二段プーリ３４と、２つのテンションプーリ３６，３６とを備えている。第１幅替モータ３２は、後方の第１支持板１４に取り付けられている。この第１幅替モータ３２は、モータ軸３２ａがベルト３８を介して二段プーリ３４の大径プーリ３４ａに架け渡されている。二段プーリ３４と２つのテンションプーリ３４，３４は、それぞれの回転軸が後方の第１支持板１４の図示しないステーに支持されている。２つのテンションプーリ３６，３６は、二段プーリ３４の前方と後方に配置されている。第１タイミングベルト２６の下段部分は、前方のテンションプーリ３６の上側、二段プーリ３４の小径プーリ３４ｂの下側及び後方のテンションプーリ３６の上側を通るように架けられている。その結果、第１タイミングベルト２６の下段部分は、前方のテンションプーリ３６から二段プーリ３４を経て後方のテンションプーリ３６へ至る箇所では略Ｕ字状になっている。小径プーリ３４ｂの外周面には、第１タイミングベルト２６のベルト歯と噛み合う凹凸が設けられている。第１幅替モータ３２が停止している状態では、小径プーリ３４ｂは第１タイミングベルト２６の下段部分と噛み合って停止しているため、後方の第１支持板１４はその小径プーリ３４ｂを介して第１タイミングベルト２６の下段部分に固定されている。また、前方の第１支持板１４は、金具１４ａを介して第１タイミングベルト２６の下段部分に固定されている。そのため、前方及び後方の支持板１４，１４は、第１タイミングベルト２６の下段部分が移動するのに伴って、両第１支持板１４，１４の間隔を一定に保ったまま同じ方向に移動する。また、第１タイミングベルト２６が停止している状態で第１幅替モータ３２を回転させると、その動力が二段プーリ３４の小径プーリ３４ｂに伝達されるため、小径プーリ３４ｂが第１タイミングベルト２６の下段部分を前方又は後方へ移動する。つまり、前方の第１支持板１４に対して後方の第１支持板１４が接近したり離間したりする。その結果、一対の第１支持板１４，１４の間隔（一対の第１コンベアベルト１６，１６の間隔）が変更される。

第２コンベア４２は、基本的には、第２搬送経路Ｃ２上の第２搬送位置Ｐ２にて上流側の装置８０から基板Ｓ２を受け取りＸ軸に沿って搬送して下流側の装置９０へ渡すものである。この第２コンベア４２は、第１コンベア１２と同じ構成である。そのため、第１コンベア１２と同じ構成要素については、符号を１０番台から４０番台に変更し、構成要素の名称の先頭に「第１」を付したものは「第２」に読み替えるものとする。

第２コンベア移動機構５０は、リニアレール２２，２２と、リニアレール２２，２２をスライド可能な第２リニアスライダ５４，５４，５４，５４と、リニアレール２２，２２と平行に設けられた第２タイミングベルト５６と、第２タイミングベルト５６を回転駆動させる第２シャトルモータ５８とを備えている。リニアレール２２，２２は、第１コンベア移動機構２０と共通の部材である。一対の第２リニアスライダ５４，５４は、前方の第２支持板４４の左右に取り付けられ、もう一対の第２リニアスライダ５４，５４は、後方の第２支持板４４の左右に取り付けられている。第２リニアスライダ５４の具体的構成は、第１リニアスライダ２４と同じである。第２タイミングベルト５６は、図２に示すように、前方の駆動歯車５６ａと後方の従動歯車５６ｂとの間に無端状となるように架け渡されている。第２タイミングベルト５６の具体的構成は、第１タイミングベルト２６と同じである。また、第２タイミングベルト５６の下段部分は、前方の第２支持板４４と金具４４ａ（図２参照）を介して一体化されると共に、後方の第２支持板４４と第２幅替機構６０を介して接続されている。第２シャトルモータ５８は、モータ軸の回転を駆動歯車５６ａに伝達し、それによって第２タイミングベルト５６を回転駆動させる。第２シャトルモータ５８によって駆動歯車５６ａが図２で時計回りに回転すると、第２タイミングベルト５６の下段部分は前方へ移動するため、第２コンベア４２はそれに伴って前方へ移動する。一方、第２シャトルモータ５８によって駆動歯車５６ａが図２で反時計回りに回転すると、第２タイミングベルト５６の下段部分は後方へ移動するため、第２コンベア４２はそれに伴って後方へ移動する。

第２幅替機構６０は、後方の第２支持板４４と一体化されている。第２幅替機構６０のは、第１幅替機構３０と同じ構成であるため、ここではその説明を省略する。第２振替機構６０の振替モータを第２振替モータ６２（図４参照）と称することとする。第２タイミングベルト２６が停止している状態で第２幅替モータ３２を回転させると、前方の第２支持板４４に対して後方の第２支持板４４が接近したり離間したりする。その結果、一対の第２支持板４４，４４の間隔（一対の第２コンベアベルト４６，４６の間隔）が変更される。

コントローラ７０は、図４に示すように、ＣＰＵ７１を中心とするマイクロプロセッサとして構成されており、処理プログラムを記憶するＲＯＭ７２、各種データを記憶するＨＤＤ７３、作業領域として用いられるＲＡＭ７４、外部装置と電気信号のやり取りを行うための入出力インターフェース７５などを備えており、これらはバス７６を介して接続されている。このコントローラ７０は、図示しない操作パネルからの信号や上流側の装置８０、下流側の装置９０からの信号を入力する。また、コントローラ７０は、第１及び第２コンベアモータ１８，４８や第１及び第２シャトルモータ２８，５８、第１及び第２幅替モータ３２，６２へ駆動信号を出力する。これらのモータは、１ステップごとに所定角度だけ回転するステッピングモータであり、コントローラ７０によって与えられた駆動信号（パルス信号）に応じたステップ数だけ回転する。コントローラ７０は、第１及び第２コンベア１２，４２や第１及び第２コンベア移動機構２０，５０、第１及び第２幅替機構３０，６０の動作を制御する。

［基板搬送装置１０の動作］
次に、基板搬送装置１０の動作について、上流側の装置８０が実装検査装置、下流側の装置９０がリフロー装置の場合を例に挙げて説明する。

・シングルレーンの基板搬送処理
まず、第１搬送経路Ｃ１のみを用いたシングルレーンの基板搬送処理について、図５のフローチャートにしたがって説明する。基板搬送処理プログラムは、コントローラ７０のＲＯＭ７２に記憶されている。コントローラ７０のＣＰＵ７１は、オペレータによって図示しない操作パネルからシングルレーンの基板搬送処理開始が指示されると、このプログラムを読み出して処理を開始する。以下には、図６及び図７のシングルレーンの基板搬送処理の説明図を適時使用して説明する。

ＣＰＵ７１は、まず、初期設定を行う（ステップＳ１００）。初期設定では、第１コンベア１２を第１搬送経路Ｃ１上の第１搬送位置Ｐ１に位置決めし、第２コンベア４２を第２搬送経路Ｃ２上の第２搬送位置Ｐ２に位置決めする。なお、このシングルレーンの基板搬送処理では、第２搬送位置Ｐ２が第２コンベア４２の退避位置となる。

続いて、ＣＰＵ７１は、次の基板Ｓ１の検査結果を上流側の装置８０から取得する（ステップＳ１０２）。次の基板Ｓ１とは、次のタイミングで上流側の装置８０から第１搬送位置Ｐ１へ送られてくる基板Ｓ１のことである。また、基板Ｓ１の検査結果は、基板Ｓ１上の部品がすべて適切に実装されている場合にはその基板Ｓ１の検査結果は良好基板、基板Ｓ１上の部品のいずれかが不適切に実装されている場合にはその基板Ｓ１の検査結果は不良基板とされる。

続いて、ＣＰＵ７１は、次の基板Ｓ１の検査結果が良好基板か否かを判定し（ステップＳ１０４）、良好基板だった場合には、第１コンベア１２に第１搬送経路Ｃ１の基板搬送を実行させる（ステップＳ１０６）。これにより、第１コンベア１２は、図６に示すように、第１搬送位置Ｐ１においてその基板Ｓ１を上流側の装置８０から受け取り、Ｘ軸に沿って搬送し、下流側の装置９０へ渡す。このとき、第２コンベア４２は、退避位置である第２搬送位置Ｐ２で退避している。ＣＰＵ７１は、その基板Ｓ１の搬送終了後、再びステップＳ１０２へ戻る。

一方、ステップＳ１０４で次の基板Ｓ１の検査結果が不良基板だった場合には、ＣＰＵ７１は、第１コンベア１２にその不良基板を載置する（ステップＳ１０８）。つまり、第１コンベア１２は、第１搬送位置Ｐ１において不良基板を上流側の装置８０から受け取る。このときの様子を図７（ａ）に示す。続いて、ＣＰＵ７１は、第１コンベア移動機構２０に第１コンベア１２を第１取出位置Ｐ３へ移動させる（ステップＳ１１０）。このときの様子を図７（ｂ）に示す。第１取出位置Ｐ３は、第１搬送位置Ｐ１からＹ軸方向（前方）に外れた位置であり、第１搬送位置Ｐ１と同一平面上にある。

続いて、ＣＰＵ７１は、第１取出位置Ｐ３の不良基板が取り出されたか否かを判定する（ステップＳ１１２）。第１取出位置Ｐ３の不良基板が取り出されたか否かは、第１取出位置Ｐ３に取り付けられた図示しないセンサからコントローラ７０へ入力される信号に基づいて判定される。ステップＳ１１２で不良基板が取り出されていなかった場合には、ＣＰＵ７１は、第２コンベア移動機構５０に第２コンベア４２を第１搬送位置Ｐ１へ移動させ（ステップＳ１１４）、第２コンベア４２に第１搬送経路Ｃ１の基板搬送を実行させ（ステップＳ１１６）、再びステップＳ１１２へ戻る。このときの様子を図７（ｃ）に示す。一方、ステップＳ１１２で不良基板が取り出されていた場合には、ＣＰＵ７１は、第２コンベア移動機構５０に第２コンベア４２を第２搬送位置Ｐ２へ移動させ（ステップＳ１１８）、第１コンベア移動機構２０に第１コンベア１２を第１搬送位置Ｐ１へ移動させ（ステップＳ１２０）、再びステップＳ１０２へ戻る。これにより、第１コンベア１２は、第１搬送経路Ｃ１の基板搬送を実行可能となる。

なお、図５のフローチャートでは、この基板搬送処理を終了するか否かの判断ブロックを省略したが、実際には、ＣＰＵ７１は、第１搬送経路Ｃ１で搬送すべきすべての基板Ｓ１の搬送が終了した時点でこの基板搬送処理を終了する。

・デュアルレーンの基板搬送処理
次に、第１及び第２搬送経路Ｃ１，Ｃ２を用いたデュアルレーンの基板搬送処理について、図８のフローチャートにしたがって説明する。この基板搬送処理プログラムも、コントローラ７０のＲＯＭ７２に記憶されている。コントローラ７０のＣＰＵ７１は、オペレータによって図示しない操作パネルからデュアルレーンの基板搬送処理開始が指示されると、このプログラムを読み出して処理を開始する。なお、このデュアルレーンの基板搬送処理では、Ｙ軸方向の幅の狭い後方位置Ｐ４が第２コンベア４２の退避位置となる。以下には、図８〜図１０のデュアルレーンの基板搬送処理の説明図を適時使用して説明する。

ＣＰＵ７１は、まず、初期設定を行う（ステップＳ２００）。初期設定では、第１コンベア１２を第１搬送経路Ｃ１上の第１搬送位置Ｐ１に位置決めし、第２コンベア４２を第２搬送経路Ｃ２上の第２搬送位置Ｐ２に位置決めする。

続いて、ＣＰＵ７１は、次の基板Ｓ１の検査結果を上流側の装置８０から取得する（ステップＳ２０２）。次の基板Ｓ１とは、次のタイミングで上流側の装置８０から第１搬送位置Ｐ１へ送られてくる基板Ｓ１のことである。基板Ｓ１の検査結果については、シングルレーンの基板搬送処理で説明したとおりである。続いて、ＣＰＵ７１は、その基板Ｓ１の検査結果が良好基板か否かを判定し（ステップＳ２０４）、良好基板だった場合には、第１コンベア１２に第１搬送経路Ｃ１の基板搬送を実行させる（ステップＳ２０６）。これにより、第１コンベア１２は、図９に示すように、第１搬送位置Ｐ１において基板Ｓ１を上流側の装置８０から受け取り、Ｘ軸に沿って搬送させ、下流側の装置９０へ渡す。

続いて、ＣＰＵ７１は、次の基板Ｓ２の検査結果を上流側の装置８０から取得する（ステップＳ２０８）。次の基板Ｓ２とは、次のタイミングで上流側の装置８０から第２搬送位置Ｐ２へ送られてくる基板Ｓ２のことである。基板Ｓ２の検査結果については、基板Ｓ１と同様である。続いて、ＣＰＵ７１は、その基板Ｓ２の検査結果が良好基板か否かを判定し（ステップＳ２１０）、検査結果が良好基板だった場合には、第２コンベア４２に第２搬送経路Ｃ２の基板搬送を実行させる（ステップＳ２１２）。これにより、第２コンベア４２は、図９に示すように、第２搬送位置Ｐ２において基板Ｓ２を上流側の装置８０から受け取り、Ｘ軸に沿って搬送させ、下流側の装置９０へ渡す。ＣＰＵ７１は、基板Ｓ２の搬送終了後、再びステップＳ２０２へ戻る。

さて、ステップＳ２０４で次の基板Ｓ１の検査結果が不良基板だった場合には、ＣＰＵ７１は、第１コンベア１２にその不良基板を載置する（ステップＳ２１４）。つまり、第１コンベア１２は、第１搬送位置Ｐ１において不良基板を上流側の装置８０から受け取る。続いて、ＣＰＵ７１は、第１コンベア移動機構２０に第１コンベア１２を第１取出位置Ｐ３へ移動させる（ステップＳ２１６）。このときの様子を図１０（ａ）に示す。続いて、ＣＰＵ７１は、第１取出位置Ｐ３の不良基板が取り出されたか否かを判定する（ステップＳ２１８）。ステップＳ２１８で不良基板が取り出されていなかった場合には、ＣＰＵ７１は、第２コンベア４２に第２搬送経路Ｃ２の基板搬送と第１搬送経路Ｃ１の基板搬送とを実行させ（ステップＳ２２０）、再びステップＳ２１８へ戻る。具体的には、ステップＳ２１８で否定判定された場合には、ＣＰＵ７１は、第２コンベア４２に第２搬送経路Ｃ２の基板搬送（図１０（ｂ）参照）を実行させ、次に再びステップＳ２１８で否定判定された場合には、ＣＰＵ７１は、第２コンベア４２に第１搬送経路Ｃ１の基板搬送（図１０（ｃ）参照）を実行させる。一方、ステップＳ２１８で不良基板が取り出されていた場合には、ＣＰＵ７１は、第２コンベア移動機構５０に第２コンベア４２を第２搬送位置Ｐ２へ移動させ（ステップＳ２２２）、第１コンベア移動機構２０に第１コンベア１２を第１搬送位置Ｐ１へ移動させる（ステップＳ２２４）。これにより、第１コンベア１２は、第１搬送経路Ｃ１の基板搬送を実行可能となり、第２コンベア４２は、第２搬送経路Ｃ２の基板搬送を実行可能となる。続いて、ＣＰＵ７１は、次の基板が基板Ｓ１か基板Ｓ２かを判定し（ステップＳ２２５）、基板Ｓ１の場合にはステップＳ２０２へ戻り、基板Ｓ２の場合にはステップＳ２０８へ戻る。

また、ステップＳ２１０で基板Ｓ２が不良基板だった場合には、ＣＰＵ７１は、第２コンベア移動機構５０に第２コンベア４２を後方位置Ｐ４に移動させ（ステップＳ２２６）、第１コンベア移動機構２０に第１コンベア１２を第２搬送位置Ｐ２に移動させる（ステップＳ２２８）。続いて、ＣＰＵ７１は、第１コンベア１２に不良基板である基板Ｓ２を載置し（ステップＳ２３０）、第１コンベア移動機構２０に第１コンベア１２を第１取出位置Ｐ３へ移動させる（ステップＳ２３２）。このときの様子を図１１（ａ）に示す。後方位置Ｐ４は、第２搬送位置Ｐ２よりも後方の位置であり、前後方向の幅は他の位置Ｐ１〜Ｐ３よりも狭くなっている。このため、ＣＰＵ７１は、第２コンベア４２を後方位置Ｐ４に移動させる際には、第２幅替モータ６２を回転させて両第２コンベアベルト４６，４６の間隔を狭くする。続いて、ＣＰＵ７１は、第１取出位置Ｐ３の不良基板が取り出されたか否かを判定する（ステップＳ２３４）。ステップＳ２３４で不良基板が取り出されていなかった場合には、ＣＰＵ７１は、第２コンベア４２に第１搬送経路Ｃ１の基板搬送と第２搬送経路Ｃ２の基板搬送とを実行させ（ステップＳ２３６）、再びステップＳ２３４へ戻る。具体的には、ステップＳ２３４で否定判定された場合には、ＣＰＵ７１は、第２コンベア４２に第１搬送経路Ｃ１の基板搬送（図１１（ｂ）参照）を実行させ、次に再びステップＳ２３４で否定判定された場合には、ＣＰＵ７１は、第２コンベア４２に第２搬送経路Ｃ２の基板搬送（図１１（ｃ）参照）を実行させる。なお、ＣＰＵ７１は、第２コンベア４２に基板搬送を実行させる際には、第２幅替モータ６２を回転させて両第２コンベアベルト４６，４６の間隔を元に戻す。一方、ステップＳ２３４で不良基板が取り出されていた場合には、ＣＰＵ７１は、第２コンベア移動機構５０に第２コンベア４２を第２搬送位置Ｐ２へ移動させ（ステップＳ２３８）、第１コンベア移動機構２０に第１コンベア１２を第１搬送位置Ｐ１へ移動させる（ステップＳ２４０）。これにより、第１コンベア１２は、第１搬送経路Ｃ１の基板搬送を実行可能となり、第２コンベア４２は、第２搬送経路Ｃ２の基板搬送を実行可能となる。続いて、ＣＰＵ７１は、次の基板が基板Ｓ１か基板Ｓ２かを判定し（ステップＳ２４１）、基板Ｓ１の場合にはステップＳ２０２へ戻り、基板Ｓ２の場合にはステップＳ２０８へ戻る。

なお、図８のフローチャートでは、この基板搬送処理を終了するか否かの判断ブロックを省略したが、実際には、ＣＰＵ７１は、第１及び第２搬送経路Ｃ１，Ｃ２で搬送すべきすべての基板Ｓ１，Ｓ２の搬送が終了した時点でこの基板搬送処理を終了する

［基板搬送装置１０の効果］
以上詳述した基板搬送装置１０によれば、以下の効果が得られる。すなわち、シングルレーンの基板搬送処理では、上流側の装置８０から基板搬送装置１０へ送られてくる基板Ｓ１が良好基板である限り、第１コンベア１２が第１搬送経路Ｃ１の基板搬送を行う。一方、送られてくる基板Ｓ１が不良基板だった場合には、第１コンベア１２はその不良基板を受け取って第１取出位置Ｐ３へ不良基板を運ぶ。そして、第１コンベア１２が不良基板を第１取出位置Ｐ３で保持している間、第２コンベア４２が第１搬送経路Ｃ１の基板搬送を行う。そのため、他の良好な基板Ｓ１の搬送を継続することができる。また、第１取出位置Ｐ３は第１搬送位置Ｐ１をＹ軸に沿って前方にずらした位置であるため、オペレータは容易に不良基板に対する処理（例えば目視確認や修正作業、取出作業など）を行うことができる。

また、デュアルレーンの基板搬送処理では、上流側の装置８０から基板搬送装置１０へ送られてくる基板Ｓ１，Ｓ２が良好基板である限り、第１コンベア１２が第１搬送経路Ｃ１の基板搬送を行い、第２コンベア４２が第２搬送経路Ｃ２の基板搬送を行う。一方、送られてくる基板Ｓ１が不良基板だった場合には、第１コンベア１２はその不良基板を受け取って第１取出位置Ｐ３へ不良基板を運ぶ。そして、第１コンベア１２が不良基板を第１取出位置Ｐ３で保持している間、第２コンベア４２が第１及び第２搬送経路Ｃ１，Ｃ２の基板搬送を行う。また、送られてくる基板Ｓ２が不良基板だった場合には、第２コンベア４２を第２搬送位置Ｐ２より後方位置Ｐ４へ第２コンベアベルト４６，４６の間隔を狭めて配置するとともに、第１コンベア１２がその不良基板を受け取って第１取出位置Ｐ３へ不良基板を運ぶ。そして、第１コンベア１２が不良基板を第１取出位置Ｐ３で保持している間、第２コンベア４２が第１及び第２搬送経路Ｃ１，Ｃ２の基板搬送を行う。そのため、上流側の装置８０から第１搬送位置Ｐ１へ送られてくる基板Ｓ１が不良基板であった場合でも第２搬送位置Ｐ２へ送られてくる基板Ｓ２が不良基板であった場合でも、他の良好な基板Ｓ１，Ｓ２の搬送を継続することができる。また、第１取出位置Ｐ３は第１搬送位置Ｐ１をＹ軸に沿って前方にずらした位置であるため、オペレータは容易に不良基板に対する処理を行うことができる。

更に、第１コンベア１２は両第１コンベアベルト１６，１６の間隔を変更可能なため、大きさが一定の基板のみならず、種々の大きさの基板を搬送することができる。この点は、第２コンベア４２も同様である。

更にまた、デュアルレーンの基板搬送処理において、送られてくる基板Ｓ２が不良基板だった場合には、第２コンベア４２を後方位置Ｐ４へ第２支持板４４，４４の間隔を狭めて配置する。そのため、第２コンベア４２の両第２コンベアベルト４６，４６の間隔が広すぎて第１コンベア１２が第２搬送位置Ｐ２へ移動することができないという事態が生じることを防止できる。

［その他の実施形態］
なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。

例えば、上述した実施形態の基板搬送装置１０では、第１コンベア１２の前方に第１取出位置Ｐ３を設けたが、図１２（ａ）に示すように、第２コンベア４２の後方位置Ｐ４を廃止し、その代わりに第２取出位置Ｐ５を設けてもよい。第２取出位置Ｐ５は、オペレータがアクセス可能な位置であり、前後方向の幅は基板Ｓ２と同等の大きさに設定されている。この場合、デュアルレーンの基板搬送処理において、上流側の装置８０から送られてくる基板Ｓ１，Ｓ２が良好基板である限り、第１コンベア１２が第１搬送経路Ｃ１の基板搬送を実行し、第２コンベア４２が第２搬送経路Ｃ２の基板搬送を実行する。一方、上流側の装置８０から第１搬送位置Ｐ１へ送られてくる基板Ｓ１が不良基板である場合、その不良基板を第１コンベア１２が受け取って第１取出位置Ｐ３へ運ぶ（図１２（ａ）参照）。そして、その不良基板が取り出されるまで第１コンベア１２はその不良基板を保持する。その間、第２コンベア４２が第１及び第２搬送経路Ｃ１，Ｃ２の基板搬送を実行する（図１２（ｂ）及び（ｃ）参照）。第１取出位置Ｐ３から不良基板が取り出された後は、再び各コンベア１２，４２が各搬送経路Ｃ１，Ｃ２の基板搬送を実行する。また、上流側の装置８０から第２搬送位置Ｐ２へ送られてくる基板Ｓ２が不良基板である場合、その不良基板を第２コンベア４２が受け取って第２取出位置Ｐ５へ運ぶ（図１３（ａ）参照）。そして、その不良基板が取り出されるまで第２コンベア４２はその不良基板を保持する。その間、第１コンベア１２が第１及び第２搬送経路Ｃ１，Ｃ２の基板搬送を実行する（図１３（ｂ）及び（ｃ）参照）。第２取出位置Ｐ５から不良基板が取り出された後は、再び各コンベア１２，４２が各搬送経路Ｃ１，Ｃ２の基板搬送を実行する。このようにしても、上流側の装置８０から第１搬送位置Ｐ１へ送られてくる基板Ｓ１が不良基板であった場合でも第２搬送位置Ｐ２へ送られてくる基板Ｓ２が不良基板であった場合でも、他の良好な基板Ｓ１，Ｓ２の搬送を継続することができる。

上述した実施形態の基板搬送装置１０は、シングルレーンの基板搬送とデュアルレーンの基板搬送の両方に対応できるものとしたが、いずれか一方のみに対応できるものとしてもよい。シングルレーンの基板搬送のみに対応できるものとした場合、第２搬送位置Ｐ２を省略して退避位置である後方位置Ｐ４を残し、第１コンベア１２が第１搬送経路Ｃ１の基板搬送を行っている間は、第２コンベア４２は両第２コンベアベルト４６，４６の間隔を狭めて後方位置Ｐ４で退避するようにしてもよい。こうすれば、第２搬送位置Ｐ２を省略するため、その第２搬送位置Ｐ２のＹ軸方向の長さ分だけ装置全体のＹ軸方向の長さを短くすることができる。

上述した実施形態において、上流側の装置８０から第１搬送位置Ｐ１へ送られてくる基板Ｓ１を下流側の装置９０の異なる２つの位置、すなわち第１搬送位置Ｐ１と平行な位置及び第２搬送位置Ｐ２と平行な位置に交互に搬送してもよい。つまり、シングル搬送で流れてきた基板Ｓ１をデュアル搬送に分配してもよい（分配機能）。この場合、第２コンベア４２を後方位置Ｐ４へ退避させた状態で、第１コンベア１２がこの搬送を実行してもよいし、あるいは、第１コンベア１２を第１取出位置Ｐ３へ退避させた状態で、第２コンベア４２がこの搬送を実行してもよい。

上述した実施形態において、上流側の装置８０から第１搬送位置Ｐ１へ送られてくる基板Ｓ１も第２搬送位置Ｐ２へ送られてくる基板Ｓ２も、下流側の装置９０の一つの位置、例えば第１搬送位置Ｐ１と平行な位置に搬送してもよい。つまり、デュアル搬送で流れてきた基板Ｓ１，Ｓ２をシングル搬送に集約してもよい（集約機能）。この場合、第２コンベア４２を後方位置Ｐ４へ退避させた状態で、第１コンベア１２がこの搬送を実行してもよいし、あるいは、第１コンベア１２を第１取出位置Ｐ３へ退避させた状態で、第２コンベア４２がこの搬送を実行してもよい。

上述した実施形態では、第１及び第２搬送経路Ｃ１，Ｃ２は上流側の装置８０から下流側の装置９０へＸ軸に沿う直線的な経路としたが、例えば、第１搬送経路Ｃ１を、上流側の装置８０から基板Ｓ１を受け取る位置と下流側の装置９０へ基板Ｓ１を渡す位置とがＹ軸方向にずれた経路であってもよい。こうした第１搬送経路Ｃ１の基板搬送を第１コンベア１２で実行してもよいし、第２コンベア４２で実行してもよい。第２搬送経路Ｃ２についても同様である。

上述した実施形態では、第１幅替機構３０を用いて第１コンベア１２の両第１コンベアベルト１６，１６の間隔を調節することができ、第２幅替機構６０を用いて第２コンベア４２の両第２コンベアベルト４６，４６の間隔を調節することができる。そのため、シングルレーン及びデュアルレーンの基板搬送において、基板Ｓ１，Ｓ２のサイズは同じであっても異なっていても対応することができる。すなわち、第１コンベア１２が第１取出位置Ｐ３で不良基板を保持している間、第２コンベア４２が第１及び第２搬送経路Ｃ１，Ｃ２の基板搬送を実行するが、基板Ｓ１と基板Ｓ２のサイズが異なっている場合には、各搬送位置Ｐ１，Ｐ２で両第２コンベアベルト４６，４６の間隔を変更すればよい。

上述した実施形態では、第１取出位置Ｐ３を第１搬送位置Ｐ１からＹ軸方向に外れた位置であって第１搬送位置Ｐ１と同一平面上としたが、この位置Ｐ３から第１コンベア１２を上昇させた位置を第１取出位置としてもよい。つまり、第１取出位置を、第１搬送位置Ｐ１からＹ軸方向に外れた位置であって第１搬送位置Ｐ１よりも上方の位置としてもよい。このようにしても上述した実施形態と同様の効果が得られる。

上述した実施形態の基板搬送装置１０は、上流側の装置８０及び下流側の装置９０の一方又は両方と一体化されていてもよいし、部品実装装置と一体化されていてもよい。基板搬送装置１０を部品実装装置と一体化する場合には、例えば、図１の基板搬送装置１０の後方部分に部品供給ユニットを装着し、ＸＹ方向に移動可能なヘッドを基板搬送装置１０の上方に配備し、Ｚ方向に移動可能なノズルをヘッドに装着する。そして、部品供給ユニットから供給される部品をノズルが吸着して上流側から送られてきた基板上の所定位置に実装していくように制御し、実装終了後に検査を行い、良好基板だった場合には下流側へ送り出し、不良基板だった場合には第１取出位置Ｐ３へ運び出す。このようにしても上述した実施形態と同様の効果が得られる。

１０基板搬送装置、１２第１コンベア、１４第１支持板、１４ａ金具、１６第１コンベアベルト、１６ａ駆動輪、１６ｂ従動輪、１８第１コンベアモータ、２０第１コンベア移動機構、２２リニアレール、２４第１リニアスライダ、２６第１タイミングベルト、２６ａ駆動歯車、２６ｂ従動歯車、２８第１シャトルモータ、３０第１幅替機構、３２第１幅替モータ、３２ａモータ軸、３４二段プーリ、３４ａ大径プーリ、３４ｂ小径プーリ、３６テンションプーリ、３８ベルト、４２第２コンベア、４４第２支持板、４４ａ金具、４６第２コンベアベルト、４６ａ駆動輪、４６ｂ従動輪、４８第２コンベアモータ、５０第２コンベア移動機構、５４第２リニアスライダ、５６第２タイミングベルト、５６ａ駆動歯車、５６ｂ従動歯車、５８第２シャトルモータ、６０第２幅替機構、６２第２幅替モータ、７０コントローラ、７１ＣＰＵ、７２ＲＯＭ、７３ＨＤＤ、７４ＲＡＭ、７５入出力インターフェース、７６バス、８０上流側の装置、９０下流側の装置、Ｃ１第１搬送経路、Ｃ２第２搬送経路、Ｐ１第１搬送位置、Ｐ２第２搬送位置、Ｐ３第１取出位置、Ｐ４後方位置、Ｐ５第２取出位置。

Claims

第１搬送経路上の第１搬送位置にて上流側の装置から基板を受け取り所定のＸ軸に沿って搬送して下流側の装置へ渡す第１コンベアと、
前記Ｘ軸と直交するＹ軸に沿って前記第１コンベアと並ぶように設けられ、第２搬送経路上の第２搬送位置にて前記上流側の装置から基板を受け取り前記Ｘ軸に沿って搬送して前記下流側の装置へ渡す第２コンベアと、
前記第１コンベアがアクセス可能で前記第１搬送位置から前記Ｙ軸方向に外れた位置に設けられた第１取出位置と、
前記第１コンベアを前記Ｙ軸に沿って移動可能な第１コンベア移動手段と、
前記第２コンベアを前記Ｙ軸に沿って移動可能な第２コンベア移動手段と、
前記第１コンベア、前記第２コンベア、前記第１コンベア移動手段及び前記第２コンベア移動手段の動作を制御する制御手段と、
を備え、
前記第１及び第２コンベアは、それぞれ、前記Ｘ軸方向に延びる一対の無端状ベルトに前記基板を載せて搬送する装置であって前記一対の無端状ベルトの間隔を変更可能なものであり、
前記制御手段は、前記基板の大きさに応じて前記第１及び第２コンベアが有する前記一対の無端状ベルトの間隔を変更すると共に、
（ａ）前記上流側の装置から前記第１搬送位置へ送られる基板が不良基板だった場合には、前記第１コンベアに前記第１搬送位置にて前記不良基板を受け取らせたあと前記第１取出位置へ前記不良基板を運ばせると共に、前記第１コンベアが前記不良基板を前記第１取出位置で保持している間、前記第２コンベアに前記第１搬送経路の基板搬送と前記第２搬送経路の基板搬送を行わせ、
（ｂ）前記上流側の装置から前記第２搬送位置へ送られる基板が不良基板だった場合には、前記第２コンベアを前記第１取出位置とは反対側であって前記第１搬送位置、前記第２搬送位置及び前記第１取出位置よりも前記Ｙ軸方向の幅が狭い退避位置へ退避させ、前記第２コンベアを前記退避位置へ退避するにあたり、前記第２コンベアが前記退避位置に収まるように前記第２コンベアが有する前記一対の無端状ベルトの間隔を狭くし、前記第１コンベアに前記第２搬送位置にて前記不良基板を受け取らせたあと前記第１取出位置へ前記不良基板を運ばせると共に、前記第１コンベアが前記不良基板を前記第１取出位置で保持している間、前記第２コンベアに前記第１搬送経路の基板搬送と前記第２搬送経路の基板搬送を行わせる、
基板搬送装置。
前記上流側の装置の複数の箇所から前記基板を受け取り前記下流側の装置の１カ所に渡す集約機能、及び／又は、前記上流側の装置の所定の１カ所から前記基板を受け取り前記下流側の装置の複数箇所へ渡す分配機能を有する、
請求項１に記載の基板搬送装置。