JP2010501321A - 清掃装置および工作物を清掃する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
−通気導管を用いて、真空容器を工作物と接続し、その通気導管内には、真空容器と工作物の間の接続を遮断するための、遮断装置が配置されている;
−排気装置を用いて、真空容器を排気し;
−遮断装置の開放によって真空容器を通気し、それによって工作物の内部空間から汚れが吸い出される。
Claims (46)
- 工作物(104)の内部空間(102)から汚れを吸い出すための吸出し装置(100)を有する、工作物(104)を清掃するための清掃装置において、
吸出し装置(100)が、少なくとも1つの真空容器(106)、
真空容器(106)を排気するための、少なくとも1つの排気装置(128)、
真空容器(106)を工作物(104)と接続するための、少なくとも1つの通気導管(108)、および
真空容器(106)と工作物(104)の間の接続を遮断するための、少なくとも1つの遮断装置(110)、
を有していることを特徴とする、工作物を清掃するための清掃装置。 - 真空容器(106)が、最高で約10,000Pa、好ましくは最高で約5,000Paの圧力に、排気可能であることを特徴とする請求項1に記載の清掃装置。
- 遮断装置(110)が、急激に開放可能であることを特徴とする請求項1または2に記載の清掃装置。
- 遮断装置(110)が、最高で約2秒、好ましくは最高で約0.5秒の期間内に完全に開放可能であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の清掃装置。
- 真空容器(106)が、最高で約2秒の遮断装置(110)の開放時間内に、その内圧が外圧の少なくとも90%になるように、排気可能であることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の清掃装置。
- 工作物(104)が、少なくとも1つの中空室(118)を有し、前記中空室が、工作物(104)の外側の少なくとも1つの箇所(116)で開口していることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の清掃装置。
- 吸出し装置(100)が、複数の通気導管(108、108’)を有し、前記通気導管が同時に、工作物(104)の外側の異なる箇所(116、116’)に配置することができることを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の清掃装置。
- 通気導管(108、108’)の少なくとも2つが、互いに異なる少なくとも2つの遮断装置(110、110’)を用いて別々に遮断可能であることを特徴とする請求項7に記載の清掃装置。
- 少なくとも2つの遮断装置(110、110’)が、同時に開放することができることを特徴とする請求項8に記載の清掃装置。
- 少なくとも2つの遮断装置(110、110’)が、順次開放することができることを特徴とする請求項8または9のいずれか1項に記載の清掃装置。
- 吸出し装置(100)が、少なくとも2つの真空容器(106、106’)と、真空容器(106、106’)の各々のために、真空容器(106、106’)を工作物(104)と接続するための少なくとも1つの通気導管(108、108’)および、それぞれの真空容器(106、106’)と工作物(104)の間の接続を遮断するための少なくとも1つの遮断装置(110、110’)を有していることを特徴とする請求項1から10のいずれか1項に記載の清掃装置。
- 清掃装置(152)が、少なくとも1つの排気装置(128)を有しており、前記排気装置を用いて吸出し装置(100)の少なくとも2つの真空容器(106、106’)が排気可能であることを特徴とする請求項11に記載の清掃装置。
- 排気装置(128)が、少なくとも1つの真空ポンプ(126)、真空ポンプ(126)を少なくとも1つの真空容器(106)と接続するための、少なくとも1つの吸出し導管(120)および、真空ポンプ(126)と真空容器(106)の間の接続を遮断するための、少なくとも1つの遮断装置(122)を有していることを特徴とする請求項1から12のいずれか1項に記載の清掃装置。
- 吸出し装置(100)が、工作物(104)から真空容器(106)へ流れる空気流から汚れを分離するための、少なくとも1つの分離装置(132)を有していることを特徴とする請求項1から13のいずれか1項に記載の清掃装置。
- 少なくとも1つの分離装置(132)が、重力分離器(134)を有していることを特徴とする請求項14に記載の清掃装置。
- 少なくとも1つの分離装置(132)が、フィルタ部材(160)を有していることを特徴とする請求項14または15のいずれか1項に記載の清掃装置。
- 吸出し装置(100)が、取出し装置(144)を有しており、前記取出し装置によって、分離された汚れが分離装置(132)から取り出し可能であることを特徴とする請求項14から16のいずれか1項に記載の清掃装置。
- 分離装置(132)が、遮断装置(110)の下流に設けられていることを特徴とする請求項14から17のいずれか1項に記載の清掃装置。
- 分離装置(132)が、遮断装置(110)の上流に設けられていることを特徴とする請求項14から17のいずれか1項に記載の清掃装置。
- 分離装置(132)が、真空容器(106)の内部に配置されていることを特徴とする請求項14から18のいずれか1項に記載の清掃装置。
- 分離装置(132)が、工作物(104)と真空容器(106)の間に配置されていることを特徴とする請求項14から19のいずれか1項に記載の清掃装置。
- 真空容器(106)が、真空室(154)として形成されており、前記真空室内へ工作物(104’)を挿入することができることを特徴とする請求項1から21のいずれか1項に記載の清掃装置。
- 真空容器(106)が、真空乾燥室(154)として形成されていることを特徴とする請求項22に記載の清掃装置。
- 工作物(104)を清掃する方法であって、次のステップを有する:
−通気導管(108)を用いて真空容器(106)を工作物(104)と接続し、前記通気導管内に、真空容器(106)と工作物(104)の間の接続を遮断するための遮断装置(110)が配置されており;
−排気装置(128)を用いて、真空容器(106)を排気し;
−遮断装置(110)の開放によって真空容器(106)を通気し、それによって工作物(104)の内部空間(102)から汚れが吸い出される、
工作物を清掃する方法。 - 真空容器(106)が、最高で約10,000Pa、好ましくは最高で約5,000Paの圧力に、排気されることを特徴とする請求項24に記載の方法。
- 遮断装置(110)が、急激に開放されることを特徴とする請求項24または25のいずれか1項に記載の方法。
- 遮断装置(110)が、最高で約2秒、好ましくは最高で約0.5秒の期間内に、完全に開放されることを特徴とする請求項24から26のいずれか1項に記載の方法。
- 真空容器(106)が、最高で約2秒の遮断装置(110)の開放時間内に、その内圧が外圧の少なくとも90%になるように、通気されることを特徴とする請求項24から27のいずれか1項に記載の方法。
- 工作物(104)が、少なくとも1つの中空室(118)を有しており、前記中空室が、工作物(104)の外側の少なくとも1つの箇所(116)において開口していることを特徴とする請求項24から28のいずれか1項に記載の方法。
- 複数の通気導管(108、108’)が、同時に、工作物(104)の外側の異なる箇所(116、116’)に配置されることを特徴とする請求項24から29のいずれか1項に記載の方法。
- 通気導管(108、108’)の少なくとも2つが、少なくとも2つの互いに異なる遮断装置(110、110’)を用いて別々に遮断されることを特徴とする請求項30に記載の方法。
- 少なくとも2つの遮断装置(110、110’)が、同時に開放されることを特徴とする請求項31に記載の方法。
- 少なくとも2つの遮断装置(110、110’)が、順次開放されることを特徴とする請求項31に記載の方法。
- 少なくとも2つの真空容器(106、106’)が、それぞれ少なくとも1つの通気導管(108、108’)を介して工作物(104)と接続され、前記通気導管内にそれぞれ、それぞれの真空容器(106、106’)と工作物(104)の間の接続を遮断するための、少なくとも1つの遮断装置(110、110’)が配置されていることを特徴とする請求項24から33のいずれか1項に記載の方法。
- 少なくとも2つの真空容器(106、106’)が、同じ排気装置(128)を用いて排気されることを特徴とする請求項34に記載の方法。
- 排気装置(128)が、少なくとも1つの真空ポンプ(126)、真空ポンプ(126)を少なくとも1つの真空容器(106)と接続するための、少なくとも1つの吸出し導管(120)および、真空ポンプ(126)と真空容器(106)の間の接続を遮断するための、少なくとも1つの遮断装置(122)を有していることを特徴とする請求項24から35のいずれか1項に記載の方法。
- 工作物(104)から真空容器(106)へ流れる空気流から汚れが、分離装置(132)を用いて分離されることを特徴とする請求項24から36のいずれか1項に記載の方法。
- 汚れが、重力分離器(134)を用いて空気流から分離されることを特徴とする請求項37に記載の方法。
- 汚れが、フィルタ部材(160)を用いて空気流から分離されることを特徴とする請求項37または38のいずれか1項に記載の方法。
- 分離された汚れが、取出し装置(144)を用いて分離装置(132)から取り出されることを特徴とする請求項37から39のいずれか1項に記載の方法。
- 汚れが、遮断装置(110)の下流で分離されることを特徴とする請求項37から40のいずれか1項に記載の方法。
- 汚れが、遮断装置(110)の上流で分離されることを特徴とする請求項24から41のいずれか1項に記載の方法。
- 汚れが、真空容器(106)の内部で分離されることを特徴とする請求項24から42のいずれか1項に記載の方法。
- 汚れが、真空容器(106)の外部で分離されることを特徴とする請求項24から42のいずれか1項に記載の方法。
- 工作物(104’)が、真空容器(106)内へ挿入されることを特徴とする請求項24から44のいずれか1項に記載の方法。
- 真空容器(106)内へ挿入された工作物が、真空乾燥プロセスを受けることを特徴とする請求項45に記載の方法。
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