CN210633107U - 一种激光加工设备的抽尘系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种激光加工设备的抽尘系统，包括抽尘罩，所述抽尘罩为内部中空且下端敞口的罩体，其上具有出尘口，所述抽尘罩安装于激光加工设备的扫描镜头处，且扫描镜头穿过并伸入所述抽尘罩的上端内部，所述抽尘罩的下端靠近所述扫描镜头下方的加工台；抽尘设备，所述抽尘设备包括至少两个抽尘机，所述抽尘机均具有粉尘入口；抽尘管，所述抽尘管的一端与所述抽尘罩的出尘口连接并连通，其另一端分别与每个所述抽尘机的粉尘入口连接并连通。优点：结构设计简单、合理，操作使用方便，能够有效清除激光加工产生的粉尘，并且通过多各抽尘机的交替工作实现激光加工设备不停机作业条件下的粉尘清理，提高生产效率。

Description

一种激光加工设备的抽尘系统

技术领域

本实用新型属于激光加工技术领域，特别涉及一种激光加工设备的抽尘系统。

背景技术

在使用激光设备加工产品时，会产生粉尘；在太阳能电池加工行业，采用激光对其进行消融、切割、划线、切割等加工，激光作用在硅片表面并完成相应的加工时，会产生硅粉粉尘。加工时产生的硅粉粉尘，不仅会影响加工产品的性能，还会对工作环境造成污染或对人身产生伤害。因此，现有技术的激光加工设备通常会设置抽尘系统清除激光加工所产生的粉尘。

一般的，当抽尘系统的滤筒等收集装置装满时，需要停机对其进行清理，会浪费激光加工的时间，降低激光加工设备的加工效率。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种激光加工设备的抽尘系统，有效的克服了现有技术的缺陷。

本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：一种激光加工设备的抽尘系统，包括抽尘罩，上述抽尘罩为内部中空且下端敞口的罩体，其上具有出尘口，上述抽尘罩安装于激光加工设备的扫描镜头处，且扫描镜头与上述抽尘罩上端开设的与之相匹配缺口连接，上述抽尘罩的下端靠近上述扫描镜头下方的加工台；抽尘设备，上述抽尘设备包括至少两个抽尘机，上述抽尘机均具有粉尘入口；抽尘管，上述抽尘管的一端与上述抽尘罩的出尘口连接并连通，其另一端分别与每个上述抽尘机的粉尘入口连接并连通。

本实用新型的有益效果是：结构设计简单、合理，操作使用方便，能够有效清除激光加工产生的粉尘，并且通过多各抽尘机的交替工作实现激光加工设备不停机作业条件下的粉尘清理，提高生产效率。

在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进。

进一步，上述抽尘罩一侧设有检修开口，并在该检出开口处安装有可打开或密封关闭其的盖板。

采用上述进一步方案的有益效果是便于对抽尘罩内部进行检修，同时，也利于对扫描镜头的日常维护。

进一步，上述抽尘机均包括集尘筒、第一滤筒、风轮和驱动机构，上述第一滤筒下部敞口，并安装于上述集尘筒上端，且其下部与上述集尘筒的内部连通，上述第一滤筒上具有气流入口和气流出口，上述气流入口通过进气管与上述抽尘管的另一端连接并连通，上述气流出口连接有排气管，上述排气管上连通设有气室，且其远离上述气流出口的一端设为出风口，上述风轮可转动的安装在上述气室内，上述驱动机构与上述风轮传动连接，用于驱动上述风轮旋转，以将管路内的气体向上述出风口输送。

采用上述进一步方案的有益效果是抽尘机结构设计合理，操作使用方便，能够有效的进行抽尘及过滤处理。

进一步，上述驱动机构为防爆电机，该防爆电机的驱动轴穿过上述气室侧壁，并与上述风轮同轴传动连接。

采用上述进一步方案的有益效果是防爆性能佳，运行稳定、安全。

进一步，上述进气管上均设有进气阀。

采用上述进一步方案的有益效果是便于控制进气管气的通断。

进一步，上述进气管以及上述排气管的出风口处分别设有用于检测二者内部风压压差的检测器。

采用上述进一步方案的有益效果是根据该检测器能够有效的判断每一路抽尘机及对应管路的气体流动状况，即就是判断是否有堵塞状况，从而快速做出后续清堵处理。

进一步，上述抽尘机还包括反吹装置，上述反吹装置包括反吹进气管和反吹排气管，上述反吹进气管和反吹排气管分别安装于上述第一滤筒的顶部，并分别与上述第一滤筒内部连通，上述反吹进气管通过管路连接高压气源，上述反吹排气管上连通设有泄压阀。

采用上述进一步方案的有益效果是能够有效的对抽尘机进行反吹调整改善其内部的堵塞状况。

进一步,上述反吹装置还包括第二滤筒，上述第二滤筒与上述反吹进气管远离上述第一滤筒的一端连接并连通。

采用上述进一步方案的有益效果是能对反吹扬尘进行过滤，并且具备一定泄压功能。

进一步，还包括粉尘防爆系统，上述粉尘防爆系统包括惰性粉体喷粉装置，上述惰性粉体喷粉装置的粉料出口与上述抽尘管的一端连接并连通。

采用上述进一步方案的有益效果是能够提升整个系统内粉尘的防爆性能，即就是提升整个系统的安全性能。

进一步，上述惰性粉体喷粉装置包括粉料箱以及分别与上述箱体内部的上端连通的高压进气管和粉料输送管，上述高压进气管远离上述粉料箱的一端通过管路连接高压气源，上述粉料输送管远离上述粉料箱的一端形成上述粉料出口。

采用上述进一步方案的有益效果是结构设计合理，能够有效的向抽尘管内输送惰性粉料，提升粉尘的防爆性能。

附图说明

图1为本实用新型的激光加工设备的抽尘系统的结构示意图；

图2为本实用新型的激光加工设备的抽尘系统中各个机构连接的示意图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1、抽尘罩，2、抽尘机，3、抽尘管，4、加工台，5、惰性粉体喷粉装置，21、集尘筒，22、第一滤筒，23、风轮，24、驱动机构，25、进气阀，26、反吹装置，27、进气管，28、排气管，51、粉料箱，52、高压进气管，53、粉料输送管，261、反吹进气管，262、反吹排气管，263、泄压阀，264、第二滤筒。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。

实施例：如图1和2所示，本实施例的激光加工设备的抽尘系统包括抽尘罩1，上述抽尘罩1为内部中空且下端敞口的罩体，其上具有出尘口，上述抽尘罩1安装于激光加工设备的扫描镜头处，且扫描镜头与上述抽尘罩1上端开设的与之相匹配缺口连接(可以穿过缺口伸入抽尘罩1内，且二者在缺口处密封连接，或者扫描镜头直接在缺口处于缺口密封连接，但，必须确保扫描镜头发出的光出能够到达抽尘罩1的下端敞口处)，上述抽尘罩1的下端靠近上述扫描镜头下方的加工台4；抽尘设备，上述抽尘设备包括至少两个抽尘机2，上述抽尘机2均具有粉尘入口；抽尘管3，上述抽尘管3的一端与上述抽尘罩1的出尘口连接并连通，其另一端分别与每个上述抽尘机2的粉尘入口连接并连通。

以硅片加工为例，加工时，硅片放置于加工台4上，激光加工设备通过扫描镜头对下方加工台4上的硅片发出激光束进行扫描加工，同时，整个抽尘系统开启，并在抽尘罩1和抽尘管3内产生负压，激光加工过程中产生的粉尘进入抽尘罩1内部，并由出尘口进入抽尘管3，再经抽尘管3进入与抽尘管3气路连通的一个抽尘机2内进行粉尘处理，处理后的洁净空气达标后直接排放，在上述加工过程中，抽尘系统的抽尘机2择一开启，并且当其中一台抽尘机2内部发生粉尘堵塞故障后，立马开启其他抽尘机2进行抽尘作业，并清理发生堵塞故障的抽尘机2及配套的管路，如此，整个抽尘系即可实现持续性出尘作业的目的，不需要激光加工设备停机进行粉尘处理，避免设备停机造成的生产效率浪费。

需要特别说明的是：上述抽尘罩1的数量根据激光加工设备的加工台4的数量设定，如加工台4具有多个，则相应的抽尘罩1也应对应的设有多个，同时，扫描镜头也应对应的设有多个，三者应成套适配。

作为一种优选的实施方式，上述抽尘罩1一侧设有检修开口，并在该检出开口处安装有可打开或密封关闭其的盖板，一般的，出尘口设置在抽尘罩1其中一侧侧壁上，检修开口设置于抽尘罩1其他侧侧壁上，并且以方便打开的一侧为佳，抽尘罩1顶部设有供扫描镜头连接并伸入的开口，通过检修门的打开能方便的对抽尘罩1内部进行清理，或/和对扫描镜头可能出现的故障进行排查检修，该检修门的设计非常方便日常维护。

作为一种优选的实施方式，上述抽尘机2均包括集尘筒21、第一滤筒22、风轮23和驱动机构24，上述第一滤筒22下部敞口，并安装于上述集尘筒21上端，且其下部与上述集尘筒21的内部连通，上述第一滤筒22上具有气流入口和气流出口，上述气流入口通过进气管27与上述抽尘管3的另一端连接并连通，上述气流出口连接有排气管28，上述排气管28上连通设有气室，且其远离上述气流出口的一端设为出风口，上述风轮23可转动的安装在上述气室内，上述驱动机构24与上述风轮23传动连接，用于驱动上述风轮23旋转，以将管路内的气体向上述出风口输送，除尘作业过程中，粉尘依次经抽尘管3和进气管27后由气流入口进入第一滤筒22内部，大颗粒粉尘在重力作用下掉落在集尘筒21内，细颗粒经第一滤筒22过滤后由气流出口流出，最终经出风口排出，整个过程中，驱动机构24驱动风轮23旋转，使得气流快速向出风口流动，从而在抽尘罩1和抽尘管3内产生负压，整个抽尘机2设计简单，能有效过滤粉尘。

上述第一滤筒22实际上由外壳和设置在外壳内部的滤芯构成，滤芯可以是滤网网筒，滤芯内部通过外壳与排气管28形成一个腔室，滤芯的外部通过外壳与集尘筒形成一个腔室。在使用过程中，带粉尘的气流进入滤筒，粉尘被滤芯隔离在滤芯外部，洁净的气流流入滤芯内部。滤筒的下部敞口，大部分粉尘会掉落在下方的集尘筒中。

作为一种优选的实施方式，上述驱动机构24为防爆电机，该防爆电机的驱动轴穿过上述气室侧壁，并与上述风轮23同轴传动连接，其防爆性能佳，稳定性较好。

最佳的，还包括控制器，该控制器与防爆电机电连接，用于控制防爆电机的运行，即就是控制单个抽尘机2的运行。

作为一种优选的实施方式，上述进气管上均设有进气阀25，通过该进气阀25能够灵活的控制进气管的通断状况，方便每个抽尘机2及与其适配的抽尘管路的交替控制。

最佳的，上述进气阀25为电磁阀，其与控制器电连接，能够快捷的对进气管的通断进行调节控制。

作为一种优选的实施方式，上述进气管27上以及上述排气管28的出风口处分别设有用于检测二者内部风压压差的检测器，该检测器用以检测进气管27内部和出风口处的压力差，当压力差达到设定数值时，即可控制该路抽尘机2停止工作，切换至另一路抽尘机2进行工作。

具体的，上述检测器为压差传感器，该压差传感器可以是电子数显传感器，作业人员可以通过压差传感器的数据人工切换抽尘机2的运行；当然，该压差传感器也可以与控制器电连接，通过在控制器设定预设值，控制器再与抽尘机2电连接(具体与抽尘机2的驱动机构24电连接)，当检测到两处压差达到设定值时，控制器即可发出控制指令，然后控制对应的抽尘机2停止运行，并且切换至其他路的抽尘机2进行作业，上述压差传感器的设置及连接方式与现有的过滤设备中采用的压差传感器相同，此处不再赘述。

作为一种优选的实施方式，上述抽尘机2还包括反吹装置26，上述反吹装置26包括反吹进气管261和反吹排气管262，上述反吹进气管261和反吹排气管262分别安装于上述第一滤筒22的顶部，并分别与上述第一滤筒22内部连通(具体与第一滤筒22的滤芯内部)，上述反吹进气管261通过管路连接高压气源，上述反吹排气管262上连通设有泄压阀263，通过反吹装置26可对抽尘机2内部进行反吹清堵，具体的，反吹进气管261连接第一滤筒22内部的滤芯内，通过高压气体的吹入即可对第一滤筒22内部(具体对第一滤筒22的滤芯内部)进行高压吹气清理，将粘附残留的粉尘颗粒向下吹入集尘筒21内，整个设计可有效、快捷的实现抽尘机2内部的清堵反吹处理，并且，反吹清理时，关闭电磁阀25，打开电磁阀263，关闭电磁阀25可以防止高压气体吹入滤筒时有气流带着粉尘倒流到抽尘罩1，打开电磁阀263可以卸掉吹入的高压气体。当设备正常运行时打开电磁阀25，闭合泄压阀263即可。

更具体的，高压气源的吹气口设有阀门，阀门可以电磁阀，且电磁阀与控制器电连接，实现控制器的便捷化控制，并且，该控制器可以设定为在当前抽尘机2停机时，同时控制停机的抽尘机2对应的电磁阀(高压气源的吹气口处的阀门)开路，即就是实现反吹的智能化控制；当然，该阀门也可以是手动阀，人工操作器通断。

作为一种优选的实施方式，上述反吹装置26还包括第二滤筒264(该第二滤筒264具有空气排出口)，上述第二滤筒264与上述反吹进气管261远离上述第一滤筒22的一端连接并连通，在反吹处理时，可选择性的打开泄压阀263，从而使得第一滤筒22内反吹的气体(粉尘气体)部分进入集尘筒21，其与部分分流进入第二滤筒264内部进行清理，在确保安全的前提下，确保经第二滤筒264排出的气体的洁净度(该第二滤筒264即可泄压，同时也可进一步过滤粉尘气体)。

作为一种优选的实施方式，还包括粉尘防爆系统，上述粉尘防爆系统包括惰性粉体喷粉装置5，上述惰性粉体喷粉装置5的粉料出口与上述抽尘管3的一端连接并连通，在抽尘作业时，惰性粉体喷粉装置5同时向抽尘管3内部送入惰性粉体，从而使得惰性粉体与进入抽尘管3内的硅片粉尘混合，提升该粉尘气体的防爆性能。

作为一种更优选的实施方式，上述惰性粉体喷粉装置5包括粉料箱51以及分别与上述粉料箱51内部的上端连通的高压进气管52和粉料输送管53，上述高压进气管52远离上述粉料箱51的一端通过管路连接高压气源，上述粉料输送管53远离上述粉料箱51的一端形成上述粉料出口，作业时，通过高压气源经高压进气管52向粉料箱51内部吹入高压气体，从而使得粉料箱51内部的惰性粉料飞扬形成雾状的惰性粉料颗粒，该惰性粉料颗粒在抽尘管3负压作用下吸入抽尘管3内与硅片粉尘充分混合，整个过程粉料运送比较平稳、方便，有效的提升了粉尘气体的防爆性能。

更具体的，上述与高压进气管52连接的高压气源的吹气口设有阀门，阀门可以电磁阀，且电磁阀与控制器电连接，实现控制器的便捷化控制，并且，该控制器可以设定为在当前抽尘机2作业时，同时控制电磁阀(高压气源的吹气口处的阀门)开路，即就是实现惰性粉料的智能化输送；当然，该阀门也可以是手动阀，人工操作器通断。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种激光加工设备的抽尘系统，其特征在于，包括：

抽尘罩(1)，所述抽尘罩(1)为内部中空且下端敞口的罩体，其上具有出尘口，所述抽尘罩(1)安装于激光加工设备的扫描镜头处，且扫描镜头与所述抽尘罩(1)上端开设的与之相匹配缺口连接，所述抽尘罩(1)的下端靠近所述扫描镜头下方的加工台(4)；

抽尘设备，所述抽尘设备包括至少两个抽尘机(2)，所述抽尘机(2)均具有粉尘入口；

抽尘管(3)，所述抽尘管(3)的一端与所述抽尘罩(1)的出尘口连接并连通，其另一端分别与每个所述抽尘机(2)的粉尘入口连接并连通。

2.根据权利要求1所述的一种激光加工设备的抽尘系统，其特征在于：所述抽尘罩(1)一侧设有检修开口，并在该检出开口处安装有可打开或密封关闭其的盖板。

3.根据权利要求1所述的一种激光加工设备的抽尘系统，其特征在于：所述抽尘机(2)均包括集尘筒(21)、第一滤筒(22)、风轮(23)和驱动机构(24)，所述第一滤筒(22)下部敞口，并安装于所述集尘筒(21)上端，且其下部与所述集尘筒(21)的内部连通，所述第一滤筒(22)上具有气流入口和气流出口，所述气流入口通过进气管(27)与所述抽尘管(3)的另一端连接并连通，所述气流出口连接有排气管(28)，所述排气管(28)上连通设有气室，且其远离所述气流出口的一端设为出风口，所述风轮(23)可转动的安装在所述气室内，所述驱动机构(24)与所述风轮(23)传动连接，用于驱动所述风轮(23)旋转，以将管路内的气体向所述出风口输送。

4.根据权利要求3所述的一种激光加工设备的抽尘系统，其特征在于：所述驱动机构(24)为防爆电机，该防爆电机的驱动轴穿过所述气室侧壁，并与所述风轮(23)同轴传动连接。

5.根据权利要求3所述的一种激光加工设备的抽尘系统，其特征在于：所述进气管(27)上均设有进气阀(25)。

6.根据权利要求3所述的一种激光加工设备的抽尘系统，其特征在于：所述进气管(27)以及所述排气管(28)的出风口处分别设有用于检测二者内部风压压差的检测器。

7.根据权利要求6所述的一种激光加工设备的抽尘系统，其特征在于：所述抽尘机(2)还包括反吹装置(26)，所述反吹装置(26)包括反吹进气管(261)和反吹排气管(262)，所述反吹进气管(261)和反吹排气管(262)分别安装于所述第一滤筒(22)的顶部，并分别与所述第一滤筒(22)内部连通，所述反吹进气管(261)通过管路连接高压气源，所述反吹排气管(262)上连通设有泄压阀(263)。

8.根据权利要求7所述的一种激光加工设备的抽尘系统，其特征在于：所述反吹装置(26)还包括第二滤筒(264)，所述第二滤筒(264)与所述反吹进气管(261)远离所述第一滤筒(22)的一端连接并连通。

9.根据权利要求1至8任一项所述的一种激光加工设备的抽尘系统，其特征在于：还包括粉尘防爆系统，所述粉尘防爆系统包括惰性粉体喷粉装置(5)，所述惰性粉体喷粉装置(5)的粉料出口与所述抽尘管(3)的一端连接并连通。

10.根据权利要求9所述的一种激光加工设备的抽尘系统，其特征在于：所述惰性粉体喷粉装置(5)包括粉料箱(51)以及分别与所述粉料箱(51)内部的上端连通的高压进气管(52)和粉料输送管(53)，所述高压进气管(52)远离所述粉料箱(51)的一端通过管路连接高压气源，所述粉料输送管(53)远离所述粉料箱(51)的一端形成所述粉料出口。

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