CN219003969U - 一种零部件净化设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种零部件净化设备，涉及半导体芯片生产技术领域。净化设备包括密封操作柜，所述密封操作柜内部集成有清洁子系统、颗粒物回收子系统以及气动真空子系统，其中清洁子系统用于容纳待清洁的零部件，且配置有对所述零部件进行除尘操作的清洁工具；颗粒物回收子系统用于收集所述零部件经除尘操作掉落的颗粒物；气动真空子系统，被配置为在密封操作柜内产生自上而下的气流，以将所述颗粒物引流至所述颗粒物回收子系统。净化设备使得整个除尘操作在密闭空间内进行，能够提高清洁效果与效率，减少对工作环境的污染。

Description

一种零部件净化设备

技术领域

本实用新型涉及半导体芯片生产技术领域，更具体地说涉及一种零部件净化设备。

背景技术

半导体芯片是在无尘车间进行生产的，整个生产过程中对于洁净度的控制标准极高。生产过程中涉及到的材料和机器都必须进行清洁以满足洁净度要求，工程人员也必须穿上防静电无尘工作服后方可进入无尘车间内进行生产工作，即使组成机器的零部件也必须遵循这个过程。因此，机器的零部件在维修后必须进行全面的清洁才能进入无尘车间内继续使用。

目前，对于机器零部件的清洁通常采用吸尘器吸除或者压缩空气吹扫零部件上的颗粒物以完成零部件的清洁工作。然而，吸除方式通常难以获得理想的清洁效果，例如对于零部件的死角区域存在清洁不到位的可能；吹扫方式则容易对工作环境造成污染，生产线上的工作人员若吸入部分泄露的微小颗粒，可能对身体健康造成影响。

实用新型内容

为了克服上述现有技术中存在的缺陷和不足，本申请提供了一种零部件净化设备，能够对零部件进行全面的清洁，提高清洁质量和清洁效率，同时减少对工作环境的污染。

本实用新型提供了一种零部件净化设备，该净化设备包括一个密封操作柜，所述密封操作柜内部有：

清洁子系统，用于容纳待清洁的零部件，且配置有对所述零部件进行除尘操作的清洁工具；

颗粒物回收子系统，用于收集所述零部件经除尘操作掉落的颗粒物；

气动真空子系统，被配置为在密封操作柜内产生自上而下的气流，以将所述颗粒物引流至所述颗粒物回收子系统中。

所述密封操作柜内部由上至下依次设置有筛板与隔板，筛板与隔板将密封操作柜内部由上至下分隔成净化层、回收层以及风机层三个空间。筛板结构不仅能够使气动真空子系统产生的气流顺利通过，同时筛板还能够防止在除尘清洁操作时，零部件上的组件掉入下层的颗粒物回收子系统中。

所述清洁工具包括：

气枪，被配置为喷射气流以清除所述零部件上附着的颗粒物；

调节所述气枪出气量的气流调节器；以及，

供使用者操作所述气枪和零部件的操作手套。

更为具体的，所述操作手套以及气枪设置在密封操作柜的净化层内，气流调节器设置在密封操作柜的右侧外壁上；所述密封操作柜上设置有手套口，手套口朝向密封操作柜内部的一侧固定安装所述操作手套，操作手套与所述手套口通过橡胶圈密封连接；所述密封操作柜的内壁设置有挂钩，气枪悬挂于所述挂钩上，并通过气管与气流调节器连接。清洁工具通过压缩空气吹扫零部件表面粘附的颗粒物，连同回收子系统产生的自上而下的气流将脱离零部件表面的颗粒物汇集至回收子系统，保证了清洁效果和清洁效率。

所述颗粒物回收子系统包括位于回收层内的颗粒物回收容器以及回收罩，颗粒物回收容器固定于所述隔板上，所述回收罩为一个漏斗形状，回收罩通过焊接的方式与密封操作柜的内壁固定连接，回收罩端部的敞口端朝向所述筛板，回收罩的尾部则与所述颗粒物回收容器连接。

所述气动真空子系统包括风机、进气口以及出气口；

所述风机位于风机层内，固定于所述密封操作柜的底板上，并通过管道与颗粒物回收容器连接；

所述进气口以及出气口分别设置在密封操作柜的顶板以及底板上。进气口与出气口在密封操作柜中形成气体对流通道，风机加速了密封操作柜中气体的对流速度，进而将净化层内的颗粒物加速引流至颗粒物回收子系统中，提高了零部件的除尘清洁效率。

所述净化设备还配置有配电箱，配电箱用于为清洁子系统以及气动真空子系统供电。

所述密封操作柜上设置有一个主开关、一个电源常开开关以及一个电源常闭开关，所述主开关用于控制配电箱的通电与断电，电源常开开关以及电源常闭开关则用于控制配电箱所供电的子系统的通电与断电，进而控制子系统的启停。

所述配电箱设置在密封操作柜的回收层内，配电箱中设置有AC-DC模块、第一继电器以及第二继电器；其中，

所述主开关、AC-DC模块以及风机依次连接组成净化设备的主电路，所述第一继电器的开关KM1接入主电路，且位于AC-DC模块与风机之间；所述AC-DC模块的通电与断电由主开关直接控制，主开关闭合后，AC-DC模块直接通电开始工作；所述风机的启停则由主开关以及第一继电器联动控制；

所述电源常开开关以及电源常闭开关依次连接组成净化设备的第一分支控制电路，所述第一继电器的线圈KM1以及第二继电器的线圈KM2串联接入所述第一分支控制电路中；

所述第二继电器的开关KM2-1与电源常开开关并联后接入第一分支控制电路；

所述第二继电器的开关KM2-2与气流调节器的控制阀依次连接组成净化设备的第二分支控制电路，气流调节器的启停由主开关以及第二继电器联动控制；

所述第一分支控制电路与第二分支控制电路并联后与AC-DC模块连接，通过AC-DC模块连接至主电路中，第一分支控制电路与第二分支控制电路的通电与断电由主开关进行控制。

进一步地，所述清洁子系统还配置有照明灯，照明灯位于净化层内，固定于所述密封操作柜的顶部。照明灯能够为使用者提供良好的照明操作视野，进而把控零部件的除尘清洁质量。所述照明灯可选用LED灯。

进一步地，所述照明灯直接接入主电路中，被配置为随主开关闭合而开启。

进一步地，所述净化层以及回收层对应的密封操作柜上分别设置有第一门体和第二门体，第一门体以及第二门体上分别设置有第一联锁开关与第二联锁开关，第一门体与第二门体通过上述两个联锁开关实现开门与关门操作，所述第一联锁开关与第二联锁开关依次接入所述第一分支控制电路中。

进一步地，所述进气口以及出气口处分别设置有PM2.5过滤器。进气口处的过滤器能够防止外界空气中的灰尘和杂质进入密封操作柜中，影响零部件的除尘清洁效果，而出气口处的过滤器则能够防止从零部件上清洁下来的颗粒物泄漏至外部环境。

进一步地，所述密封操作柜的净化层的至少一个侧面设置有可视窗口。可视窗口方便工作人员在对零部件进行除尘清理操作时，实时观察把控零部件的除尘效果进度，判断零部件是否被彻底清洁干净。

进一步地，所述密封操作柜底部四角处分别设置有滚轮，滚轮中至少有一个带有驻车锁，并且四个滚轮中至少有两个为万向轮。密封操作柜的底部设置滚轮结构方便进行移动和转向，在工作时通过驻车锁锁定滚轮，使得滚轮固定，不会发生相对滑动，保障密封操作柜的稳定性。

与现有技术相比，本实用新型所带来的有益的技术效果表现在：

本实用新型通过在密封操作柜内集成清洁子系统、颗粒物回收子系统以及气动真空子系统对零部件进行彻底的除尘清洁操作。净化设备利用清洁子系统对零部件上的颗粒物进行除尘清洁操作，通过气动真空子系统产生的气流将零部件上经除尘清洁操作掉落的颗粒物吸入颗粒物回收子系统中进行专门的收集回收处理。整个零部件的除尘清洁操作在密闭空间内进行，除尘清洁操作产生的颗粒物不会直接暴露在空气中，能够减少对工作环境的污染，降低对现场工作人员的身体伤害。

附图说明

图1为本实用新型密封操作柜主视图。

图2为本实用新型密封操作柜侧视图。

图3为本实用新型密封操作柜内部结构示意图。

图4为本实用新型密封操作柜另一角度内部结构示意图。

图5为本实用新型配电箱内部电路结构图。

附图标记：

1、密封操作柜；2、配电箱；3、主开关；4、电源常开开关；5、电源常闭开关；6、筛板；7、隔板；8、净化层；9、回收层；10、风机层；11、操作手套；12、气枪；13、气流调节器；14、手套口；15、风机；16、颗粒物回收容器；17、回收罩；18、AC-DC模块；19、控制阀；20、第一门体；21、第二门体；22、第一联锁开关；23、第二联锁开关；24、照明灯；25、可视窗口；26、滚轮。

具体实施方式

实施例1

作为本申请一较佳实施例，参照说明书附图1-5，本实施例公开了一种零部件净化设备，该净化设备包括密封操作柜1、清洁子系统、气动真空子系统以及颗粒物回收子系统，所述清洁子系统、气动真空子系统以及颗粒物回收子系统均集成在所述密封操作柜1中，其中，

清洁子系统，用于容纳待清洁的零部件，并且配置有对所述零部件进行除尘操作的清洁工具；

颗粒物回收子系统，用于收集所述零部件经除尘操作掉落的颗粒物；

气动真空子系统，被配置为在密封操作柜1内产生自上而下的气流，以将所述颗粒物引流至所述颗粒物回收子系统。

在本实施例中，所述清洁工具采用压缩空气，通过吹扫的方式对零部件进行除尘操作。

实施例2

在实施例1的基础上，参照说明书附图1-5，所述密封操作柜1的内部由上至下依次设置有筛板6与隔板7，上述两个筛板将密封操作柜1的内部分隔成净化层8、回收层9以及风机层10三个空间。

进一步地，所述清洁工具主要包括：

气枪12，被配置为喷射气流以清除所述零部件上附着的颗粒物；

调节所述气枪12出气量的气流调节器13；以及，

供使用者操作所述气枪12和零部件的操作手套11。

更为具体的，所述操作手套11以及气枪12设置在净化层8内，气流调节器13设置在密封操作柜1的外壁上；所述密封操作柜1上设置有手套口14，手套口14一端的密封操作柜1内部固定安装所述操作手套11，该操作手套11通过橡胶圈与手套口14密封连接，气枪12通过气管与气流调节器13连接。

在本实施例中，所述密封操作柜1的内壁上设置有挂钩，气枪12悬挂固定于所述挂钩上。

进一步地，所述清洁子系统还配置有照明灯24，照明灯24位于净化层8内，固定于所述密封操作柜1的顶板上。照明灯24能够为使用者提供良好的照明操作视野，进而把控零部件的除尘清洁质量。所述照明灯24可选用LED灯。

所述颗粒物回收子系统包括位于回收层9内的颗粒物回收容器16以及回收罩17，颗粒物回收容器16固定于所述隔板7上，所述回收罩17呈一个漏斗形状，从上往下逐渐收窄，回收罩17端部的敞口端朝向所述筛板6，尾部则接入颗粒物回收容器16中，所述回收罩17通过焊接的方式与密封操作柜1的内壁固定连接。漏斗形状的回收罩17能够对净化层8内的颗粒物起到更好的汇集与导流效果，将颗粒物精准的引入颗粒物回收容器16中进行集中收集。

所述气动真空子系统包括风机15、进气口以及出气口，风机15设置在风机层10内，并固定于所述密封操作柜1的底板上，所述风机15通过管道与颗粒物回收容器16连通；所述进气口以及出气口分别设置在密封操作柜1的顶板以及底板上。进气口与出气口在密封操作柜1中形成对流通道，风机15产生负压气流用于密封操作柜1内的通风与引风，加速密封操作柜1中气体的对流速度，进而将净化层8内的颗粒物加速引流至颗粒物回收子系统中。

在本实施例中，所述进气口以及出气口处分别设置有过滤器。进气口处的过滤器能够防止外界空气中的灰尘和杂质进入密封操作柜中，影响零部件的除尘清洁效果，而出气口处的过滤器则能够防止从零部件上清洁下来的颗粒物泄漏至外部空气中，对现场工作环境以及工作人员的身体健康造成影响。所述过滤器可选用PM2.5过滤器。

在本实施例中，所述颗粒物回收容器16内从上至下设置有多层过滤板，在保证风机15产生的负压气流能够顺利通过的前提下，将颗粒物挡在回收容器中，防止颗粒物外泄对环境造成污染。

所述净化层8以及回收层9对应的密封操作柜1上分别设置有第一门体20和第二门体21，第一门体20以及第二门体21上分别设置有第一联锁开关22与第二联锁开关23，两个门体通过联锁开关实现门体的打开与关闭。

实施例3

在实施例2的基础上，所述零部件净化设备还配置有配电箱2，配电箱2位于密封操作柜1的回收层9内，该配电箱2用于为上述清洁子系统以及气动真空子系统供电。

所述密封操作柜1上设置有主开关3、电源常开开关4以及电源常闭开关5，主开关3用于控制配电箱2的通电与断电，所述电源常开开关4以及电源常闭开关5则用于控制配电箱2所供电的清洁子系统与气动真空子系统的通电与断电，进而控制上述两个子系统的启停。

在本实施例中，净化设备可以通过主开关3接入市电，由市电作为电源，为整个净化设备进行供电。

进一步地，所述配电箱2中设置有AC-DC模块18、第一继电器以及第二继电器；其中，

所述主开关3、AC-DC模块18以及风机15依次连接构成零部件净化设备的主电路，所述风机15同时接地；所述第一继电器的开关KM1接入该主电路中，且位于AC-DC模块18与风机15之间；所述AC-DC模块18的通电与断电由主开关3直接控制，当主开关3闭合后，AC-DC模块18直接通电启动；所述风机15的启停则由主开关3以及第一继电器联动控制；

所述电源常开开关4与电源常闭开关5依次连接组成零部件净化设备的第一分支控制电路，所述第一继电器的线圈KM1以及第二继电器的线圈KM2串联接入第一分支控制电路中；

所述第二继电器的开关KM2-1与电源常开开关4并联后接入第一分支控制电路；

所述第二继电器的开关KM2-2与气流调节器13的控制阀19依次连接组成零部件净化设备的第二分支控制电路；

所述第一分支控制电路与第二分支控制电路并联后与AC-DC模块18连接，通过AC-DC模块接入主电路中。

在本实施例中，所述照明灯24直接接入主电路中，照明灯24的点亮与熄灭由主开关3直接进行控制，被配置为随主开关3的闭合而开启，主开关3闭合后照明灯24通电直接被点亮。

在本实施例中，第一联锁开关22与第二联锁开关23依次接入所述第一分支控制电路中。

在本实施例中，所述开关KM1、开关KM2-1以及开关KM2-2为常开开关。

在本实施例中，所述气流调节器13的控制阀19为电磁阀。

本实用新型具体进行零部件除尘操作时：将气枪12接上气流调节器13，闭合主开关3以及电源常开开关4给整个零部件净化设备上电，然后打开密封操作柜1的第一门体20，放入待清洁的零部件，关闭第一门体20，操作员从密封操作柜1上的手套口14处的操作手套11将双手伸入密封操作柜1内，其中一只手握住待清洁的零部件，另一只手握住气枪12将枪口对准待清洁的零部件，利用气枪12喷射出的压缩空气对零部件上的颗粒物进行清扫，除尘过程中，吹扫下来的颗粒物被风机15产生的气流经由筛板6上的孔洞以及回收罩17引入颗粒物回收容器16中。清洁除尘操作完成后，按下电源常闭开关5，风机15以及气流调节器13停止工作。

在本实施例中，所述第一联锁开关22以及第二联锁开关23为程控开关。当第一门体20或第二门体21被打开后，联锁开关断开，电路中继电器的线圈掉电，对应吸合的开关断开，整个第一控制分支电路与第二控制分支电路断电，同时主电路中的风机15断电，停止工作。

实施例4

在实施例2或实施例3的基础上，所述密封操作柜1的至少净化层8的至少一个侧壁设置有可视窗口25。在整个除尘操作过程中，操作员可通过所述可视窗口25实时观察零部件的清洁情况，判断零部件是否被清洁干净。

在本实施例中，所述密封操作柜1净化层8的前侧壁以及左右两侧壁均设置有上述可视窗口25。

进一步地，所述密封操作柜1底部四角处分别设置有滚轮26，滚轮26中至少有一个带有驻车锁，并且四个滚轮26中至少有两个为万向轮。密封操作柜1的底部设置滚轮26方便进行移动和转向，在工作时通过驻车锁锁定滚轮26，使得滚轮26固定，不会发生相对滑动，保障密封操作柜1的稳定性。

尽管已经结合本实用新型优选实施例对本实用新型进行了详细描述，但应当理解的是，这种详细描述仅是用于解释本实用新型而不构成对本实用新型的限制，例如作为清洁对象的零部件也包括具备独立功能的各类器具。本实用新型的范围由权利要求限定的技术方案来确定。

Claims (15)

1.一种零部件净化设备，其特征在于，包括密封操作柜(1)，所述密封操作柜(1)包括有：

清洁子系统，用于容纳待清洁的零部件，且配置有对所述零部件进行除尘操作的清洁工具；

颗粒物回收子系统，用于收集所述零部件经除尘操作掉落的颗粒物；

气动真空子系统，被配置为在密封操作柜(1)内产生自上而下的气流，以将所述颗粒物引流至所述颗粒物回收子系统。

2.根据权利要求1所述的一种零部件净化设备，其特征在于，所述清洁工具包括：

气枪(12)，被配置为喷射气流以清除所述零部件上附着的颗粒物；

调节所述气枪(12)出气量的气流调节器(13)；以及，

供使用者操作所述气枪和零部件的操作手套(11)。

3.根据权利要求2所述的一种零部件净化设备，其特征在于，所述密封操作柜(1)内部由上至下设置有筛板(6)与隔板(7)，筛板(6)与隔板(7)将密封操作柜(1)内部分隔成净化层(8)、回收层(9)以及风机层(10)三个空间。

4.根据权利要求3所述的一种零部件净化设备，其特征在于，所述气枪(12)以及操作手套(11)位于净化层(8)内，气流调节器(13)固定于密封操作柜(1)的外侧壁；

所述密封操作柜(1)上设置有手套口(14)，手套口(14)朝向密封操作柜(1)内部的一侧设置有所述操作手套(11)；

所述密封操作柜(1)的内壁设置有挂钩，气枪(12)悬挂于所述挂钩上，并通过气管与气流调节器(13)连接。

5.根据权利要求4所述的一种零部件净化设备，其特征在于，所述清洁子系统还包括设置在净化层(8)内的照明灯(24)，照明灯(24)固定于所述密封操作柜(1)的顶部。

6.根据权利要求3所述的一种零部件净化设备，其特征在于，所述颗粒物回收子系统包括位于回收层(9)内的颗粒物回收容器(16)以及回收罩(17)，颗粒物回收容器(16)固定于所述隔板(7)上，回收罩(17)呈漏斗形状，与密封操作柜(1)的内壁固定连接，所述回收罩(17)端部的敞口端朝向所述筛板(6)，尾部与所述颗粒物回收容器(16)连接。

7.根据权利要求3所述的一种零部件净化设备，其特征在于，所气动真空子系统包括风机(15)、进气口以及出气口；

风机(15)设置在风机层(10)内，固定于所述密封操作柜(1)的底板上，通过管道与颗粒物回收容器(16)连接；

所述进气口以及出气口分别设置在密封操作柜(1)的顶部和底部。

8.根据权利要求5所述的一种零部件净化设备，其特征在于，所述净化设备还配置有配电箱(2)，配电箱(2)设置在回收层(9)内，用于为清洁子系统以及气动真空子系统供电。

9.根据权利要求8所述的一种零部件净化设备，其特征在于，所述密封操作柜(1)上设置有一个主开关(3)、一个电源常开开关(4)以及一个电源常闭开关(5)，所述主开关(3)用于控制配电箱(2)的通电与断电，电源常开开关(4)以及电源常闭开关(5)用于控制配电箱(2)所供电的子系统的通电与断电。

10.根据权利要求9所述的一种零部件净化设备，其特征在于，所述配电箱(2)中设置有AC-DC模块(18)、第一继电器以及第二继电器；其中，

所述主开关(3)、AC-DC模块(18)以及风机(15)依次连接组成主电路，所述第一继电器的开关KM1接入主电路，且位于AC-DC模块(18)与风机(15)之间；

所述电源常开开关(4)以及电源常闭开关(5)依次连接组成第一分支控制电路，所述第一继电器的线圈KM1以及第二继电器的线圈KM2串联接入第一分支控制电路中；

所述第二继电器的开关KM2-1与电源常开开关(4)并联后接入第一分支控制电路；

所述第二继电器的开关KM2-2与气流调节器(13)的控制阀(19)依次连接组成第二分支控制电路；

所述第一分支控制电路与第二分支控制电路并联后与AC-DC模块(18)连接。

11.根据权利要求10所述的一种零部件净化设备，其特征在于，所述照明灯(24)接入主电路中，被配置为随主开关(3)闭合而开启。

12.根据权利要求10所述的一种零部件净化设备，其特征在于，所述净化层(8)以及回收层(9)对应的密封操作柜(1)上分别设置有第一门体(20)和第二门体(21)，第一门体(20)与第二门体(21)上分别设置有第一联锁开关(22)与第二联锁开关(23)，所述第一联锁开关(22)与第二联锁开关(23)依次接入所述第一分支控制电路中。

13.根据权利要求7所述的一种零部件净化设备，其特征在于，所述进气口以及出气口处均设置有PM2.5过滤器。

14.根据权利要求3所述的一种零部件净化设备，其特征在于，所述密封操作柜(1)的至少净化层(8)的至少一个侧面设置有可视窗口(25)。

15.根据权利要求1所述的一种零部件净化设备，其特征在于，所述密封操作柜(1)底部四角处分别设置有滚轮(26)，滚轮(26)中至少有一个带有驻车锁，并且四个滚轮(26)中至少有两个为万向轮。

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